JPS6225419A - 半導体製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の分野］ 本発明は、ＬＳ１．ＶＬＳＩ等の半導体デバイスを製造
する装置に関し、特に、多数の動作パラメータを、製造
すべき半導体デバイスの種類、工程およびショット等の
作業単位に関連して分類し、適宜表示できるようにした
半導体製造装置に関する。

［発明の背景］ 半導体集積回路の集積度の向上に伴い、この半導体集積
回路を製造する装置の高機能化や島性能化が計られてい
る。これらの高機能化や高性能化に伴ってこの種の装置
を動作させる際のパラメータも増加してきた。このよう
なパラメータは、例えばステップアンドリピート式の投
影露光装置においては、数」−個から時には数百側にも
及ぶ場合がある。

従って、このような装置において、マスク工程やロフト
を切換えた場合等の必要時に、パラメータの設定状態を
確認するためには上記のように膨大な数のパラメータを
チェックする必要があり、これは、最早、半導体製造装
置について主に日常の動作開始および停止の操作を行な
うために配置されているオペレータにとっては不可能で
さえある。そこで、例えばマスク工程等の作業単位ごと
にパラメータの最適値を記憶しておき、作業が決まれば
記憶されているパラメータ値を一括して設定するように
した装置も提案されている。しかし、この場合であって
もピント位置や露光時間等は雰囲気や経時等により変化
し易く、変更しなければならない場合がままある。従来
の装置において、この一部のパラメータを変更しようと
すれば、上記の数百側にも及ぶパラメータの内から所望
のものを一覧表等により検索し、そのパラメータのコー
ド名をキー人力して特定した後そのパラメータを変更設
定しており、コード名を誤検索したり誤入力し勝ちであ
った。すなわち、従来の装置におけるパラメータ変更の
作業はオペレータにとって至難の業であり、誤操作従っ
て半導体製品不良の発生するおそれが多分にあった。

［発明の目的］ 本発明は、上述従来形の問題点に鑑み、動作パラメータ
を作業単位に応じて選択表示できるようにし、オペレー
タがパラメータの確ＨＪ３よび変更を極めて容易に行な
うことができて動作開始時のパラメータの間違いによる
誤操作を低減することの可能な半導体製造装置を提供す
ることを目的とする。

［実施例の説明１ 以下、図面に従って本発明の詳細な説明する。

第１図は、本発明の一実施例に係る投影露光装置の外観
を示す。同図において、１は集積回路パターンを具えた
マスクで、他にマスクアライメントマークやマスク・ウ
ェハ・アライメントマークを具えるものとする。２はマ
スクステージで、マスク１を保持してマスク１を平面内
（ＸＹ方向）及び回転方向（θ方向）に移動させる。３
は縮小投影レンズ、４は感光層を具えるウェハで、マス
ク・ウェハ・アライメントマークとテレビ・ウェハアラ
イメントマークを具えるものとする。５はウェハステー
ジである。ウェハステージ５はウェハ４を保持してそれ
を平面内および回転方向に移動させるものであり、また
ウェハ焼付位ｌｉ！（投影視野内）とテレビ・ウェハア
ライメント位置間を移動する。６はテレビ・ウェハアラ
イメント用検知装置の対物レンズ、７は撮像管（または
固体撮＠素子）である。９は双眼ユニットで、投影レン
ズ３を介してウェハ４の表面を観察するために役立つ。

１０は照明光学系およびマスク・ウェハ・アライメント
用の検知装置を収容する上部ユニットである。１１はモ
ニタ受ｆ＆機（コンソールＣＲＴ）、１２は装置におけ
る各種の動作指令やパラメータを入力するためのキーボ
ードである。

第２図は、第１図の装置の電気回路構成を示す。

同図において、２１は装置全体の制御を司る本体ＣＰＵ
で、マイクロコンピュータまたはミニコンピユータ等の
中央演算処理装置からなる。２２はウェハステージ駆動
装置、２３はアライメント検出系、２４はレチクルステ
ージ駆動ＩＩ、２５は照明系、２６はシャッタ駆動装置
、２７はフォーカス検出系、２８は２駆動装置で、これ
らは、本゛体ＣＰ　Ｕ　２１により制御される。２９は
搬送系である。

３０はコンソールユニットで、本体ｃ　ｐ　Ｕ　２１に
この露光装置の動作にｌする各種の指令やパラメータを
与えるためのものである。３１はコンソールＣＰＵ、３
２はパラメータ等を記憶する外部メモリである。なお、
ＣＲＴｌｌおよびキーボード１２は第１図のものと同一
である。

本実施例の装置においては、作業単位を■半導体製品の
品種単位の作業、 ■工程単位の作業、および ■ショット単位の作業 に階層化し、多数の動作パラメータのうち主なもの（設
定変更の頻度の高いもの）をこれらの作業単位に関連づ
けて階層化している。

この動作パラメータのｒ＠層化は、例えば（上）品種単
位で定まる動作パラメータ（レイアウトに関するもの） ステップサイズ、行および列数等 （中）工程単位で定まる動作パラメータ（プロセスに関
するもの） モード（ファーストマスクであるか否か、セカンドマス
ク以降であればアライメント方式はＴＴＬダイバイダイ
かＴＴＬグローバルか）、レチクルナンバ、アライメン
トマーク位置、およびＴＶアプリライメント位置等 〈下）ショットに関する動作パラメータ露光時間、およ
びマスキングブレードコントロール（実素子焼付か、テ
ストチップまたはＴＶアプリライメントマークの焼付か
）等 のように分類することによって実現する。

第７図は、この階層化の様子を示す。つまり、各パラメ
ータを上述のように分類し、品種に関するパラメータは
レイアウトファイル１，２．−・・に、工程に関するパ
ラメータはプロセスファイル１゜２、・−・に、そして
ショットに関するパラメータはショットファイル１，２
．・・・に格納する。

次に、第３図のフローチャートならびに第４および５図
の表示画面例を参照しながら、本実施例の装置の動作を
説明する。

この装置においては、先ず、各階層ごとに動作パラメー
タの設定内容が様々な複数のファイルを作成し、次に各
階層から１つずつのファイルを選択して繋ぎ合せること
により、１つのジョブを作成する。第３図のフローチャ
ートは、本実施例の装置におけるジョブ作成処理を示す
。

第１図の装置においては、電源投入後の初期化が終了し
たとき等にコマンド入力待機状態となる。

つまり、コンソールＣＰ　ＩＪ　３１はキーボード１２
におけるキー操作を待機し、本体ＣＰ　Ｕ　２１はコン
ソールＣＰ　Ｕ　３１からの通信待ち状態となる。そし
て、この状態でキーボード１２からジョブ作成のための
コマンド（例えばＪＯＢ）が入力されると、コンソール
ＣＰＵ３１の制御のもとに以下のジョブ作成処理を開始
する。

第３図を参照して、ステップ５０では、図示しないがＣ
ＲＴ　１１にファイル作成モード（Ｆ／Ｇ）とファイル
リンクモード（Ｆ／Ｌ）とジョブ作成終了モード（ＥＮ
Ｄ）のうちいずれを選択するか、その入力を促すプロン
プトメツセージを表示する。

そして、キーボード１２からの入力データを基に選択さ
れたモードを判定する。

ステップ５０において、ファイル作成モード（Ｆ／Ｇ）
が選択されたときは、ステップ５１に進む。

ステップ５１では、ＣＲＴｌｌの画面表示を第４図（ａ
）のもの（但し、点線部４３内のデータは表示されてい
ない）に切換え、キーボード１２から順次入力される数
字または英字をＣＲＴ　１１の画面の最下段（第４図（
ａ）の点線部４３）に表示し、さらに、キーボード１２
で改行キーが押下された後この改行キーが押下される前
までに入力されたデータ（またはデータ列）に基づいて
ＣＲＴｌｌの画面に婁芋オホ実順泪＃＃＝≧ 表示された項目（。１．レイアウトファイル、２゜プロ
セスファイル、３．ショットファイル）で示されるいず
れかの階層のファイル作成モードまたはファイル作成終
了モードのいずれが選択されたかを判定する。ここでは
、各モードは上記項目に付された１〜３の数字および終
了を示すＥのいずれかをキー人力することにより選択さ
れる。

ステップ５１において２がキー人力されプロセスファイ
ル作成モードが選択されたときは、ステップ５２に進む
。ステップ５２では、ＣＲＴｌｌにプロセスファイル名
の入力を促すプロンプトメツセージを表示する。そして
、キーボード１２からファイル名が入力されると、外部
メモリ３２に格納されているファイルを検索して該当す
るプロセスファイルを読出しくステップ５３）、さらに
、ステップ５４でそのファイルにパスワード（Ｐ／Ｗ）
が付されているか否かを判定する。もし、パスワードが
付されていれば後述するステップ６０以下のパスワード
入力処理を実行した後、パスワードが付されていなけれ
ばそのまま、ステップ５５の処理に進む。なお、ステッ
プ５３においてキー人力されたファイル名のファイルが
外部メモリ３２に格納されていないときは、新たなブＯ
セスファイルを作成する場合であるからパスワード無し
のときと同様にそのままステップ５５に進む。

ステップ５５においては、第４図（ｂ）に示すように、
プロセスファイル作成モードである旨と、変更または設
定すべき項目とを表示し、さらにいずれかの項目を番号
で選択すべき旨をプロンプト表示する。この表示に応じ
て、いずれかの項目番号が選択されると、第４図（Ｃ）
に示すようにその項目の該当データ入力を促すプロンプ
トメツセージを表示しくステップ５６）、該当データが
キーボード１２から入力されると、このデータに基づい
てファイルの変更もしくは作成（ステップ５７）または
パスワードの変更もしくは設定（ステップ５８）の処理
を実行した後、ステップ５５に戻る。また、ステップ５
５の表示に応じてキーボード１２からｒＥＪを入力する
と、プロセスファイル作成モードを終了してステップ５
１に戻る。

ステップ５１において１または３がキー人力されたとき
は、そのキー人力に応じてレイアウトファイル作成モー
ドまたはショットファイル作成モードの処理を実行する
が、これらの処理は、上述のプロセスファイル作成モー
ドにおいて、「プロセス」がルイアウト」または「ショ
ット」に、そして各表示および入力項目が各階層に応じ
たものに変更されることを除いては全く同様にして実行
する。

ステップ５０において、ファイルリンクモード（Ｆ／Ｌ
）が選択されたときは、ステップ７１に進む。ステップ
７１では、ＣＲＴｌｌにジョブファイル名の入力を促す
プロンプトメツセージを表示する。

そして、キーボード１２からファイル名が入力される（
ステップ７２）と、外部メモリ３２に格納されているフ
ァイルを検索して該当するジョブファイルを読出し、さ
らに、ステップ７３でそのファイルにパスワード（Ｐ／
Ｗ）が付されているか否かを判定する。もし、パスワー
ドが付されていれば後述するステップ６０以下のパスワ
ード入力処理を実行した侵、パスワードが付されていな
ければそのまま、ステップ７４の処理に進む。なお、ス
テップ７４においてキー人力されたファイル名のファイ
ルが外部メモリ３２に格納されていないときは、新たな
ジョブファイルを作成する場合であるからパスワード無
しのときと同様にそのままステップ７４に進む。

ステップ７４においては、ＣＲＴｌｌにファイルリンク
（ジョブファイル作成）モードである旨と、外部メモリ
３２から読出したジョブファイルの内容とを表示し、ざ
らに変更または設定すべき項目を番号で選択すべき旨を
プロンプト表示する（第５図（ａ））。この表示に応じ
て、いずれかの項目番号が選択されると、第５図（ｂ）
に示すようにその項目の該当データ入力を促すプロンプ
トメツセージを表示しくステップ７５）　、該当データ
がキーボード１２から入力されると、このデータに基づ
いてファイルの変更もしくは作成（ステップ７６）また
はパスワードの変更もしくは設定（ステップ７７）を実
行した後、ステップ７４に戻る。また、ステップ７４の
表示に応じてキーボード１２からｒＥＪを入力すると、
ファイルリンクモードを終了してステップ５０に戻る。

上記の各ファイル作成処理において、ファイルにパスワ
ードが付されているときくステップ５４または７３）は
、ステップ６０のパスワード入力処理に移行する。この
パスワード入力処理において、先ず、ステップ６１では
ＣＲＴｌｌにパスワードの入力を促すプロンプトメツセ
ージを表示する。そして、キーボード１２からパスワー
ドが入力される（ステップ６２）と、先のステップで読
出したパスワードと比較する（ステップ６３）。もし、
一致すればこのパスワード人ツノ処理を終了し、もとの
ルーチン（ステップ５５または７４）に戻る。一方、不
一致の場合はエラー表示したくステップ６４）の後、ス
テップ６５に進む。ステップ６５ではパスワードの不一
致回数をカウントしており、この不一致回数が３回未満
であればステップ６１に戻ってパスワードの再入力を待
機する。一方、ステップ６５でパスワード不一致が３回
目になっていれば、ステップ６６に進んでエラー表示し
た後、現在のファイル作成モードを解除してステップ５
０に戻る。

このようにパスワードを登録したファイルを呼出す際は
、必ずパスワードの入力を要求し、この入力したパスワ
ードと登録されているパスワードとが一致しない限りそ
のファイルへのアクセスを禁止することによって、ファ
イル内容が知らないうちに書換られ、そのファイルを用
いた場合に装置が不本意に動作し製品不良が発生すると
いうような事故を防止することができる。

第６図は、上述のようにして作成したファイルを用いて
装置の主動作であるステップアンドリピート露光動作を
実行する際の処理を示す。

上記コマンド入力待ち状態において、キーボード１２よ
りスタート（主動作開始）コマンドおよび該主動作にお
いて用いるジョブファイル名が入力される（ステップ８
１）と、コンソールＣＰ　ｔＪ　２１は、外部メモリ３
２に格納されているファイルを検索して該当するジョブ
ファイルを読出し、さらに、そのファイルにパスワード
（Ｐ／Ｗ）が付されているか否かを判定する（ステップ
８２）。もし、パスワードが付されていれば現在使用し
ようとしているジョブファイルのパスワードと一致する
パスワードがキーボード１２から入力されるまで待った
くステップ８３および８４）優、一方、パスワードが付
されていなければそのまま、ステップ８５に進む。

ステップ８５では、上記ジョブファイルの内容のうち所
定の動作パラメータを選択してＣＲＴ１２に表示する。

ここで表示する動作パラメータは、焦点位置（Ｆｏｃｕ
ｓ）および露光時間（ＥＸ、ＴＩＭＥ）等オペレータに
よる変更の可能性が高いものを表示する。この後、必要
に応じて動作パラメータ変更（モード選択キー人力Ｃ）
等を実行し、ステップ８５の状態で主動作開始確認（同
Ｙ）すれば、主動作が開始する。また、ステップ８５の
状態で主動作中止（同Ｎ）を選択すれば、装置はコマン
ド持ち状態に戻る。このように、スタート時、使用しよ
うとするジョブファイルにパスワードが付されていると
きはそのパスワードをキーボード１２から入力しない限
り動作を開始できないようにしているため、オペレータ
が指定外のジョブファイルを誤使用すること、およびそ
れによる不良発生を未然に防止することかできる。

［発明の効果］ 以上のように、本発明によると、動作パラメータを半導
体製品の品種に関するもの、工程に関するものおよびシ
ミツトに関するものというように作業単位ごとに特に設
定の機会の多い作業単位に対応させて分類し、所望に応
じて表示できるようにしているため、動作パラメータの
確認や変更（特に主動作開始時の確認や変更）等が極め
て簡略となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例に係る投影露光装置の外観
斜視図、 第２図は、第１図の装置の電気回路構成図、第３および
６図は第１図の装置の動作を説明するためのフローチャ
ート、 第４および５図は、第１図の装置におけるＣＲＴの表示
画面例を示す図、そして 第７図は、第１図の装置における動作パラメータ階層化
の様子を示す図である。 １１：モニタ用ＣＲＴ、１２：キーボード、２１：本体
ＣＰＬＩ、３１：コンソールＣＰＵ、３２：外部メモリ
。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、多数の動作パラメータに従つて動作する半導体製造
   装置において、該装置における作業単位をその大きさに
   ついて上位の概念から下位の概念へ少なくとも２以上の
   階層に分類し上記動作パラメータをこれらの各階層に対
   応してグループ化して予め記憶させた記憶手段と、作業
   単位指定手段と、指定された作業単位に対応する動作パ
   ラメータ群を上記記憶手段から読出して表示する手段と
   を設けたことを特徴とする半導体製造装置。 ２、前記動作パラメータが、半導体製品の品種に関する
   もの、工程に関するもの、およびショットに関するもの
   のいずれかにグループ化されている特許請求の範囲第１
   項記載の半導体製造装置。 ３、前記記憶手段に、前記動作パラメータのうち日常の
   操作において変更する頻度の比較的高い特定のパラメー
   タのみを選択的に記憶させた特許請求の範囲第１項記載
   の半導体製造装置。 ４、前記動作がステップアンドリピート方式の露光動作
   であり、前記特定パラメータが露光時間および焦点位置
   である特許請求の範囲第３項記載の半導体製造装置。