JPH0534659B2 - - Google Patents

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JPH0534659B2
JPH0534659B2 JP57205031A JP20503182A JPH0534659B2 JP H0534659 B2 JPH0534659 B2 JP H0534659B2 JP 57205031 A JP57205031 A JP 57205031A JP 20503182 A JP20503182 A JP 20503182A JP H0534659 B2 JPH0534659 B2 JP H0534659B2
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JP
Japan
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light
receiving element
light receiving
pupil
optical system
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JP57205031A
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JPS59116604A (ja
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Juji Imai
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Olympus Corp
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Olympus Optical Co Ltd
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Publication date
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Priority to JP57205031A priority Critical patent/JPS59116604A/ja
Priority to US06/552,612 priority patent/US4613748A/en
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Publication of JPH0534659B2 publication Critical patent/JPH0534659B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/28Systems for automatic generation of focusing signals
    • G02B7/34Systems for automatic generation of focusing signals using different areas in a pupil plane

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Focusing (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、結像光学系の射出瞳の第1および第
2の領域からの光束を瞳分割手段を介してそれぞ
れ複数の受光素子で受光し、これら第1および第
2の領域に対応する複数の受光素子上にそれぞれ
形成される像の横ずれを検出して前記結像光学系
の焦点状態を検出する焦点検出装置に関するもの
である。
かかる焦点検出装置は従来種々提案されてお
り、例えば第1図に示すように結像レンズ1の射
出瞳をストライプマスク、多数の微小レンズある
いは多数の微小プリズムより成る瞳分割手段2に
より分割して受光素子列3上に投影するようにし
たものがある。瞳分割手段2は、これによつて分
割する射出瞳の異なる領域を受光素子列3を構成
する順次の受光素子が交互に受光するよう構成さ
れ、これにより奇数番目の受光素子31-A,32-
,……,3o-Aおよび偶数番目の受光素子31-B
2-B,……,3o-B上にそれぞれ形成される像
が、合焦状態においては一致し、非合焦状態にお
いてはそのずれの方向に応じて互いに逆方向に横
ずれするのを、これら奇数番目の受光素子群と偶
数番目の受光素子群との出力に基づいて検出して
結像レンズ1の焦点状態を検出している。
しかしながら、このように射出瞳を瞳分割手段
2により分割して受光素子列3上に投影する場合
には、第2図に示すように結像レンズ1によつて
被写体4の投影像が形成される像面5と結像レン
ズ1の射出瞳面6との間の距離をL0、物点4−
1の像点5−1と光軸7との間の距離すなわち像
高をxとすると、像面5に形成される被写体4の
投影像は、像高に応じて像点5−1に到達する物
点4−1からの主光線8が光軸7に対してα(x)
=tan-1(x/L0)で表されるように傾くため、受
光素子が光軸7から離れるに従つて隣接する受光
素子に対する瞳分割手段2による射出瞳の分割割
合が異なるようになり、その結果として光量のア
ンバランスが生じ、高精度の焦点検出ができない
欠点がある。以下この現象を像高の影響と呼ぶ。
以下、この像高による悪影響を第3図を参照し
て更に詳細に説明する。
第3図に示す焦点検出装置は、瞳分割手段2を
ストライプマスクを用いて構成したもので、スト
ライプマスク2の光透過部のピツチを2P、受光
素子列3の受光素子のピツチをPとして各光透過
部(図面では2i,2jのみを示す)を対を成す
受光素子(図面では光透過部2i,2jに対応す
る受光素子3i−A;3i−B,3j−A;3J
−bのみを示す)にそれぞれ対応させ、これによ
り各受光素子対を構成する隣接する奇数番目の受
光素子と偶数番目の受光素子とが射出瞳の互いに
異なる領域からの光束を受光するようにしたもの
である。
いま、ストライプマスク2の光透過部の光通過
の中心点2i−S,2j−Sに注目して考えてみ
ると、光軸7に近い受光素子対3i-A,3i-Bは、
ストライプマスク2のその受光素子対に対応する
位置の光透過部2iの中心点2i−Sに関して相
等しく結像レンズ1の瞳を分割している。しか
し、光軸7から離れた受光素子対3j−A,3j
−Bは、それに対応するストライプマスク2の光
透過部2jの中心点2j−Sに関して結像レンズ
1の射出瞳を相等しく分割していない。すなわ
ち、像高が上の方になる程一方の受光素子3j−
Bは結像レンズ1の射出瞳の半分以上の領域から
の光束を受光し、他方の受光素子3j−Aは射出
瞳の周辺に近い半分以下の領域からの光束を受光
することになる。したがつて、例えば全面白の被
写体を結像した状態で受光素子列3の各受光素子
の出力を一端から他端に向けて順次読み出すと、
その出力分布は第4図に示すように、ストライプ
マスクの光透過部の中心点が光軸7と一致する光
透過部に対応する受光素子対3i−A,3i−B
の出力Ai,Biは等しくなるが、光軸7から離れ
た光透過部に対応する受光素子対の出力はアンバ
ランスとなり、その大小関係は光軸7を境に逆転
する。
このため、例えば被写体の像面強度分布が第5
図Aに示すように正弦波状の場合、非合焦状態に
おいて奇数番目および偶数番目の受光素子群のそ
れぞれのエンベローブ3Aおよび3Bは、像高の
影響がなければ第5図Bに実線および破線でそれ
ぞれ示すように平行にシフトするものが、像高の
影響により第5図Cに示すようにその光量アンバ
ランスにより変調されたものとなり、検出精度に
悪影響を及ぼすことになる。
このような不具合を解決する方法として、例え
ば特開昭55−130524号公報には結像レンズと瞳分
割手段との間に補正レンズを配置し、これにより
像高位置に対する結像レンズの主光線の傾きを補
正して、各受光素子対を成すそれぞれの受光素子
に対し、一定の瞳分割比で結像レンズからの瞳分
割光束を入射させるようにしたものがある。第6
図は、その補正レンズを第3図の瞳分割手段とし
てストライプマスクを用いるものに適用した場合
の説明図であり、第3図と同一部分は同一符号を
付して示してある。すなわち、この方法ではスト
ライプマスク2の結像レンズ1側に補正レンズ9
を介挿することにより、結像レンズ1からの光束
をその補正レンズ9によつて平行光にし、これを
ストライプマスク2に入射させることにより像高
による光束の主光線の傾きを補正する。しかし、
この方法は瞳分割手段のほかに、光束補正用の補
正レンズを必要とするため、コストが高くなるば
かりでなく、調整個所が増大し、また実装スペー
スもその補正レンズ分だけ広く必要とするなどの
不具合がある。
以上、受光素子に入射する光量の像高の影響に
基づくアンバランスについて説明したが、受光素
子に入射する光量アンバランスは、上記の像高に
よる他、瞳分割手段と受光素子との相対的位置ず
れによつても生じる。例えば、第7図に示すよう
に、本来ならばストライプマスク2はその光透過
部2iの中心点2i−Sが受光素子3i−A,3
i−B,の間の中心点3i−Sの真上に配置され
なければならないのに、一方の側に平行にずれて
配置された場合には、奇数番目の受光素子群に入
射する光量が大きくなり、偶数番目の受光素子群
に入射する光量は小さくなる。このストライプマ
スク2および受光素子列3の相対的位置ずれに
は、ストライプマスク2の光透過部の大きさやピ
ツチ、受光素子列3の大きさやピツチ、あるいは
両者のずれの方向等の種々の形態があり、このよ
うな相対位置ずれがあると、結像レンズを通して
均一照明を与えたときの受光素子列の出力分布
は、例えば第8図に示すようになり、奇数番目の
受光素子群および偶数番目の受光素子群の出力分
布がそれぞれ単調に変化する。このため、第5図
Aに示したような像面強度分布が正弦波状の被写
体像を受光したときの奇数および偶数番目の受光
素子群のそれぞれの出力のエンベローブ3Aおよ
び3Bは、第9図に示すように第8図に示した相
対的位置ずれによる光量アンバランスによつて変
調されたものとなり、検出精度に悪影響を及ぼす
ことになる。なお、第9図は非合焦状態でのエン
ベローブを表す。このようなストライプマスク2
と受光素子列3との相対的位置ずれに基づく光量
アンバランスは、第6図に示したようにストライ
プマスク2の前方に補正レンズを配置しても補正
することはできない。
上述したように、結像レンズの射出瞳を瞳分割
手段により2分割し、それぞれの領域からの光束
を複数の受光素子で受光して像の横ずれから焦点
状態を検出するものにおいては、像高の影響およ
び瞳分割手段と受光素子との相対的位置ずれによ
つて受光素子に入射する光量がアンバランスとな
り、これがため焦点状態を高精度で検出すること
ができなかつた。
本発明の目的は上述した不具合を解決し、光学
系を簡単かつ小形、安価にできると共に、像高の
影響および相対的位置ずれに基づく光量アンバラ
ンスがあつても、これに影響されることなく常に
高精度で焦点状態を検出できるよう適切に構成し
た焦点検出装置を提供しようとするものである。
本発明の焦点検出装置は、結像光学系の後方に
配置され、前記結像光学系の射出瞳の第1および
第2の領域を通過した光束によりそれぞれ第1お
よび第2の像を発生させる瞳分割手段と、 この瞳分割手段の後方に配置され、前記第1お
よび第2の像をそれぞれ受光する第1および第2
の受光素子群を有する受光素子アレイと、 この受光素子アレイ中の個々の受光素子の光軸
からの距離の相違によつて発生する受光々量のア
ンバランスを補正するための複数の補正係数を記
憶する書き込み可能なデジタルメモリと、このデ
ジタルメモリからの補正係数に基づいて前記第1
および第2の受光素子群を構成する受光素子の出
力を各々補正演算する補正演算手段と、この補正
演算手段の出力に基づいて前記第1および第2の
像間の像の横変位量を算定する横変位量算定手段
と、この横変位量算定手段の出力に基づいて前記
結像光学系の焦点状態を検出する焦点状態検出手
段とを具えることを特徴とするものである。
すなわち、本発明においては複数の受光素子に
入射する光量の像高の影響および瞳分割手段と受
光素子との相対的位置ずれに基づくアンバランス
を、受光素子の出力を予め記憶した補正係数によ
り処理して補正する。したがつて、光学系として
は第1図に示したような補正レンズ等を用いない
ものを使用することができるから、光学系が簡単
かつ小形、安価にでき、しかも常に高精度で焦点
状態を検出することができる。
以下図面を参照して本発明を詳細に説明する。
第10図は本発明の焦点検出装置の一例の構成
を示すブロツク図である。本例では結像光学系1
1の射出瞳をストライプマスクより成る瞳分割手
段12により第1および第2の領域に分割し、こ
れら領域からの光束を受光素子列13で受光す
る。瞳分割手段12および受光素子列13は、瞳
分割手段12によつて分割される第1および第2
の領域からの光束を、受光素子列13の順次の受
光素子が交互に受光するように構成する。したが
つて、この場合には受光素子列18の各受光素子
に入射する光量は像高の影響によつてアンバラン
スになると共に、瞳分割手段12と受光素子との
配置に相対的位置ずれがある場合にはこの相対的
位置ずれによつても光量アンバランスが生じるよ
うになる。そこで、本例では光学系の設定後、結
像光学系11を通して均一照明を与え、そのとき
の各受光素子の出力の逆数を規格化して各受光素
子についての補正係数を求め、その補正係数を不
揮発性メモリ、例えばP−ROM14に予め記憶し
ておく。
受光素子列13の各受光素子の出力は制御回路
15により順次読み出し、A−D変換器16でデ
ジタル信号に変換して乗算器17に供給する。こ
の乗算器17には制御回路15の制御の下に、P
−ROM14から対応する受光素子の補正係数を
順次供給して各受光素子のデジタル信号と補正係
数(デジタル値)とを乗算し、その結果を順次評
価値演算回路18に供給する。このように各受光
素子の出力と補正係数とを乗算することにより、
像高の影響および相対的位置ずれに基づく受光素
子の光量アンバランスを補正することができる。
評価値演算回路18では、乗算器17から順次供
給される補正された受光素子出力に基づいて、奇
数番目の受光素子の出力をao、偶数番目の受光素
子の出力をboとするとき、例えばF=Σn(|ao+1
−bo|−|ao−bo|)により評価値Fを演算す
る。この評価値Fは結像光学系11が合焦位置に
あるときは零、非合焦位置にあるときはそのずれ
の方向に応じて極性が反転するものとなるから、
この評価値Fを判定回路19に供給して判定する
ことにより、合焦、前ピン、後ピンの各状態を表
す焦点情報を得ることができる。この焦点情報
は、表示器に供給して各焦点状態を表示させた
り、結像光学系11を駆動するモータに供給して
自動的に合焦調整を行わせることができる。
第11図は本発明の焦点検出装置の他の例の構
成を示すブロツク図である。本例では、受光素子
列13の光量アンバランスをアナログ乗算により
補正するようにした点のみが第10図と異なる。
このため、受光素子列13からの順次の出力をア
ナログ乗算器20の一方の入力端子に供給し、こ
の乗算器20の他方の入力端子にはP−ROM1
4に予め記憶した各受光素子の補正係数を制御回
路15の制御の下に、D−A変換器21を経てア
ナログ値に変換して供給して、各受光素子の光量
アンバランスによる出力の変動を補正し、この乗
算器20の出力をA−D変換器16で順次デジタ
ル信号に変換して評価値演算回路18に供給す
る。このように、受光素子の出力と補正係数との
乗算をアナログ方式により行えば、デジタル方式
に比べ演算時間を短くできるから、焦点情報を高
速で得ることができる。
第12図は本発明の焦点検出装置の更に他の例
の構成を示すブロツク図である。本例では、上述
した実施例と同様に結像光学系11の射出瞳をス
トライプマスクより成る瞳分割手段12により第
1および第2の領域に分割して、これら領域から
の光束を受光素子列13で受光するが、各受光素
子の光量アンバランスによる出力の変動を補正す
る補正係数は、一部の受光素子に対する補正係数
のみをP−ROM25に予め記憶し、この記憶し
た補正係数に基づいて他の受光素子に対する補正
係数を演算により求める。すなわち、受光素子列
13上での像高の影響および受光素子と瞳分割手
段12との相対的位置ずれに基づく光量アンバラ
ンスによる奇数番目および偶数番目の受光素子群
の出力分布は、それぞれほぼ直線的なものとな
る。したがつて、各受光素子群について、1つの
受光素子に対する補正係数と、この補正係数と次
の受光素子に対する補正係数との差を求めておけ
ば、この差は順次の受光素子においてほぼ一定で
あるから、これら1つの補正係数と順次の受光素
子における補正係数の差とから順次の受光素子に
対する補正係数を演算により求めることができ
る。
そこで、本例では受光素子列13の奇数番目の
受光素子群については、第1番目の受光素子13
A−1に対する補正係数X1と、この補正係数X1
と次の受光素子13A−2に対する補正係数X2
との差(X2−X1)とをP−ROM25に予め記憶
し、偶数番目の受光素子群については最後の受光
素子13B−nに対する補正係数Yoと、この補
正係数Yoと一つ前の受光素子13B−(n−1)
に対する補正係数Yo-1との差(Yo-1−Yo)とを
P−ROM25に予め記憶しておく。このように
して、受光素子列13を制御回路26により制御
して、奇数番目の受光素子群については、その出
力を第1番目の受光素子13A−1から順次読み
出してA−D変換器27Aでデジタル信号に変換
して乗算器28Aの一方の入力端子に供給し、偶
数番目の受光素子群についてはその出力を逆方
向、すなわち最後の受光素子13B−nから第1
番目の受光素子13B−1に向けて順次読み出し
てA−D変換器27Bでデジタル信号に変換して
乗算器28Bの一方の入力端子に供給する。
一方、P−ROM25に予め記憶したデータは
制御回路26の制御の下に補正係数作成器29A
および29Bに供給し、ここで乗算器28Aおよ
び28Bに順次供給される受光素子出力に対する
補正係数をそれぞれ演算により求めて、乗算器2
8Aおよび28Bの他方の入力端子に順次供給す
る。すなわち、補正係数作成器29Aにおいて
は、P−ROM25に予め記憶したデータX1
(X2−X1)から順次読み出される奇数番目の受光
素子の補正係数X1,X2,X3,……,Xo-1,Xo
以下のようにして求める。
X1=X1 X2=X1+(X2−X1) X3=X2+(X2−X1) … Xo-1=Xo-2+(X2−X1) Xo=Xo-1+(X2−X1) また、補正係数作成器29Bにおいては、P−
ROM25に予め記憶したデータYo,(Yo-1−Yo
から、順次読み出される偶数番目の受光素子の補
正係数Yo,Yo-1,Yo-2,……,Y2,Y1を以下の
ようにして求める。
Yo=Yo Yo-1=Yo+(Yo-1−Yo) Yo-2=Yo-1+(Yo-1−Yo) … Y2=Y3+(Yo-1−Yo) Y1=Y2+(Yo-1−Yo) このようにすれば、第10図および第11図と
同様に、各受光素子に対する光量アンバランスに
よる出力の変動を補正することができるから、こ
れら乗算器28Aおよび28Bの出力を評価値演
算回路18に供給して評価値を求め、これを判定
回路19において判定することにより所要の焦点
情報を得ることができる。
かかる構成においては、P−ROM25に記憶
させるデータ量が少なくて済むから、上述した光
量アンバランスがレンズ交換により開口数および
焦点距離の変化によつて変わる場合にも、各レン
ズに対するデータを記憶し、これを切り換えるこ
とによつて容易に対処できる。
なお、本発明は上述した例にのみ限定されるも
のではなく、結像光学系と受光素子アレイとの間
に設けた瞳分割手段を有し、結像光学系より瞳分
割手段に入射する光束の角度が変化するために、
受光素子アレイの像高方向に光量アンバランスが
発生するような構成の焦点検出装置に広く適用す
ることができる。また、上述した例では瞳分割手
段12をストライプマスクをもつて構成したが、
第13図Aに示すようなプリズムアレイをもつて
構成することもできるし、第13図Bに示すよう
なフライアレイレンズをもつて構成することもで
きる。第13図Aに示すプリズムアレイは結像光
学系11の光軸に対してほぼ臨界角に設定した互
いに逆向きの光学面30A,30Bを交互に配列
して構成したもので、各光学面に受光素子列13
を構成する受光素子を対応させることにより、奇
数番目の受光素子群が結像光学系11の射出瞳の
一方の領域からの光束を受光し、偶数番目の受光
素子が射出瞳の他方の領域からの光束を受光する
ようにしたものである。また、第13図Bに示す
フライアレイレンズは各フライアレイレンズ31
に受光素子列13を構成する隣接する2個の受光
素子を対応させて、これら2個の受光素子に結像
光学系11の射出瞳の互いに異なる領域の像を分
離して結像させるようにしたものである。また、
上述した例では各受光素子の出力に補正係数を乗
算することにより光量アンバランスによる変動を
補正するようにしたが、各受光素子の出力を補正
係数で割り算して補正することもできる。更に、
P−ROM等の不揮発性メモリの代わりにRAM
等の揮発性メモリを用い、これに補正係数を記憶
させるようにしてもよい。
以上述べたように本発明においては、瞳分割方
式による像の横ずれに基づいて焦点状態を検出す
る焦点検出装置において、受光素子アレイ中の
個々の受光素子の光軸からの距離の相違によつて
発生する受光々量のアンバランスを補正するため
の複数の補正係数を書き込み可能なデジタルメモ
リに記憶し、このデジタルメモリに記憶した補正
係数に基づいて受光素子アレイの個々の受光素子
の出力を電気的に補正するようにしたので、受光
素子アレイの像高方向に発生する光量アンバラン
スを有効に補正することができる。また、焦点検
出装置を含む製品個々に対応して、そのメモリに
は光学系の設定後結像光学系を通して均一照明を
与えた時に得られる受光素子出力が基づく補正係
数を記憶することができるので、各製品について
結像光学系、瞳分割手段および受光素子アレイの
位置関係により設計的に発生する光量アンバラン
スだけでなく、上記光学系を組立てる際に生じる
組立誤差により発生する光量アンバランス、さら
には受光素子自体が持つ感度のバラツキまで含め
て補正することができる。したがつて、常に高精
度で焦点状態を検出できると共に、光学系には何
らの細工を施す必要がないので、光学系を簡単か
つ小形、安価にできる。
【図面の簡単な説明】
第1図は横ずれ像検出方式における焦点検出装
置の光学系の基本構成を示す図、第2図、第3
図、第4図および第5図A〜Cは第1図に示す光
学系における像高の影響を説明するための線図、
第6図は像高の影響を周知の補正レンズで補正す
る場合の説明図、第7図、第8図および第9図は
瞳分割手段と受光素子との相対的位置ずれによる
光量アンバランスを説明するための線図、第10
図は本発明の焦点検出装置の一例の構成を示すブ
ロツク図、第11図は同じく他の例の構成を示す
ブロツク図、第12図は本発明の焦点検出装置の
更に他の例の構成を示すブロツク図、第13図A
およびBは瞳分割手段の他の2つの例の構成をそ
れぞれ示す線図である。 11……結像光学系、12……瞳分割手段、1
3……受光素子列、14……P−ROM、15…
…制御回路、16……A−D変換器、17……デ
ジタル乗算器、18……評価値演算回路、19…
…判定回路、20……アナログ乗算器、21……
D−A変換器、25……P−ROM、26……制
御回路、27A,27B……A−D変換器、28
A,28B……デジタル乗算器、29A,29B
……補正係数作成器、30A,30B……フライ
アイレンズ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 結像光学系の後方に配置され、前記結像光学
    系の射出瞳の第1および第2の領域を通過した光
    束によりそれぞれ第1および第2の像を発生させ
    る瞳分割手段と、 この瞳分割手段の後方に配置され、前記第1お
    よび第2の像をそれぞれ受光する第1および第2
    の受光素子群をそれぞれ有する受光素子アレイ
    と、 この受光素子アレイ中の個々の受光素子の光軸
    からの距離の相違によつて発生する受光々量のア
    ンバランスを補正するための複数の補正係数を記
    憶する書き込み可能なデジタルメモリと、 このデジタルメモリからの補正係数に基づいて
    前記第1および第2の受光素子群を構成する受光
    素子の出力を各々補正演算する補正演算手段と、 この補正演算手段の出力に基づいて前記第1お
    よび第2の像間の像の横変位量を算定する横変位
    量算定手段と、 この横変位量算定手段の出力に基づいて前記結
    像光学系の焦点状態を検出する焦点状態検出手段
    と、 を具えることを特徴とする焦点検出装置。
JP57205031A 1982-11-22 1982-11-22 焦点検出方法 Granted JPS59116604A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57205031A JPS59116604A (ja) 1982-11-22 1982-11-22 焦点検出方法
US06/552,612 US4613748A (en) 1982-11-22 1983-11-17 Focus detection apparatus employing image height correction

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP57205031A JPS59116604A (ja) 1982-11-22 1982-11-22 焦点検出方法

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