JPH05343405A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
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- JPH05343405A JPH05343405A JP4311594A JP31159492A JPH05343405A JP H05343405 A JPH05343405 A JP H05343405A JP 4311594 A JP4311594 A JP 4311594A JP 31159492 A JP31159492 A JP 31159492A JP H05343405 A JPH05343405 A JP H05343405A
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- H01L23/53209—Conductive materials based on metals, e.g. alloys, metal silicides
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-
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Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】 アルミシリコン配線6とBPSG膜との組合
せにおいて、コンタクトホール7の析出シリコンを防止
するため。 【構成】 BPSG膜4上にボロンの拡散を抑制する金
属膜5を設ける。 【効果】 コンタクト抵抗が減少し、対ビッド不良が少
なくなった。
せにおいて、コンタクトホール7の析出シリコンを防止
するため。 【構成】 BPSG膜4上にボロンの拡散を抑制する金
属膜5を設ける。 【効果】 コンタクト抵抗が減少し、対ビッド不良が少
なくなった。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は半導体装置の構造に関
係し、特に大規模集積回路(VLSI)装置において、
絶縁膜にBPSG膜を用いた際の金属電極の構造に関す
るものである。
係し、特に大規模集積回路(VLSI)装置において、
絶縁膜にBPSG膜を用いた際の金属電極の構造に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】第2図は絶縁膜にシリコンの熱酸化膜と
リン(P)を含むシリコン酸化膜(PSG)を、配線用
金属膜としてシリコンを含むアルミを用いた従来の金属
電極配線構造の断面図を示し、以下これを用いて従来の
方法を説明する。
リン(P)を含むシリコン酸化膜(PSG)を、配線用
金属膜としてシリコンを含むアルミを用いた従来の金属
電極配線構造の断面図を示し、以下これを用いて従来の
方法を説明する。
【0003】まず図に示す様に、シリコン基板(1)の
主面上にシリコン酸化膜(3)及びPSG膜(8)を形
成した後、写真製版・エッチング法によって選択的にコ
ンタクト穴(7)を形成する。続いてイオン注入法・熱
拡散法を用いてシリコン基板の表面付近に不純物層
(2)を形成する。最後にスパッタ法・CVD法等を用
いてシリコンを含むアルミニウム合金膜(6)を形成
し、熱処理を行ってこの合金膜(6)のシンタを行う。
主面上にシリコン酸化膜(3)及びPSG膜(8)を形
成した後、写真製版・エッチング法によって選択的にコ
ンタクト穴(7)を形成する。続いてイオン注入法・熱
拡散法を用いてシリコン基板の表面付近に不純物層
(2)を形成する。最後にスパッタ法・CVD法等を用
いてシリコンを含むアルミニウム合金膜(6)を形成
し、熱処理を行ってこの合金膜(6)のシンタを行う。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】絶縁膜にPSG膜が用
いられる従来の半導体装置では、第4図に示す様に素子
の微細化に伴う回路パターンのアスペクト比(パターン
ニングピッチに対する膜厚の比)が増加するに従い、良
好な平坦化を行う為には熱処理温度を上げるかリンの含
有量をふやす必要が生じるが、前者は素子内の不純物分
布に影響を与え、後者は耐湿性を劣化させるという問題
がある。この為従来の処理温度においてより粘性の低い
BPSGが次材料として注目されて来たが、BPSGを
絶縁膜に用いて第2図に示す様な従来の構造をとると、
図3に示す様にBPSG中のボロンがコンタクト穴底部
のシリコン基板表面付近またはシリコンを含むアルミ合
金膜(6)中に拡散しアルミ中のシリコンの動きを助長
する為に、熱処理後シリコン基板と電極の界面に多量の
シリコン(9)が、固相エピタキシャル成長により析出
し、接触抵抗が1〜2桁程度大きくなるという問題があ
った。この発明は上記のような問題点を解決するために
なされたもので、大規模集積回路における回路パターン
の良好な平坦化を行うとともに、低抵抗のすぐれたオー
ミック接合を得る事を目的とする。
いられる従来の半導体装置では、第4図に示す様に素子
の微細化に伴う回路パターンのアスペクト比(パターン
ニングピッチに対する膜厚の比)が増加するに従い、良
好な平坦化を行う為には熱処理温度を上げるかリンの含
有量をふやす必要が生じるが、前者は素子内の不純物分
布に影響を与え、後者は耐湿性を劣化させるという問題
がある。この為従来の処理温度においてより粘性の低い
BPSGが次材料として注目されて来たが、BPSGを
絶縁膜に用いて第2図に示す様な従来の構造をとると、
図3に示す様にBPSG中のボロンがコンタクト穴底部
のシリコン基板表面付近またはシリコンを含むアルミ合
金膜(6)中に拡散しアルミ中のシリコンの動きを助長
する為に、熱処理後シリコン基板と電極の界面に多量の
シリコン(9)が、固相エピタキシャル成長により析出
し、接触抵抗が1〜2桁程度大きくなるという問題があ
った。この発明は上記のような問題点を解決するために
なされたもので、大規模集積回路における回路パターン
の良好な平坦化を行うとともに、低抵抗のすぐれたオー
ミック接合を得る事を目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる半導体
装置の構造は、第2の絶縁膜として特にBPSG膜を用
いた素子において、バリアメタルとしてチタン窒化膜よ
りなる第1の金属膜を形成した後、シリコンを含むアル
ミを第2の配線用金属膜として用いる事により、シリコ
ン基板と電極間界面へのシリコン析出を防ぐようにした
ものである。
装置の構造は、第2の絶縁膜として特にBPSG膜を用
いた素子において、バリアメタルとしてチタン窒化膜よ
りなる第1の金属膜を形成した後、シリコンを含むアル
ミを第2の配線用金属膜として用いる事により、シリコ
ン基板と電極間界面へのシリコン析出を防ぐようにした
ものである。
【0006】
【作用】この発明におけるBPSG膜はアスペクト比の
大きな回路パターン上の凹凸を平坦化するのに有効であ
り、またこの時チタン窒化膜よりなる第1の金属膜はB
PSG膜中のボロンの第2の金属膜中への拡散を抑制
し、また第2の金属膜とシリコン基板との間にチタン窒
化膜よりなる第1の金属膜をはさむ事により、第2の金
属膜中のシリコンがコンタクト穴底部のシリコン基板表
面に選択的に固相エピタキシャル成長する現象を防止す
る。
大きな回路パターン上の凹凸を平坦化するのに有効であ
り、またこの時チタン窒化膜よりなる第1の金属膜はB
PSG膜中のボロンの第2の金属膜中への拡散を抑制
し、また第2の金属膜とシリコン基板との間にチタン窒
化膜よりなる第1の金属膜をはさむ事により、第2の金
属膜中のシリコンがコンタクト穴底部のシリコン基板表
面に選択的に固相エピタキシャル成長する現象を防止す
る。
【0007】
【実施例】実施例1.以下、この発明の一実施例を図に
ついて説明する。第1図は本発明の一実施例による半導
体装置の断面図を示す。まず図に示す様に、シリコン基
板(1)の主面上にシリコン酸化膜約1000A(3)
を熱酸化によって形成し、その上部にリン5〜10%と
ボロン2〜5%を含むシリコン酸化膜BPSG(4)を
形成した後、写真製版・エッチング法によって選択的に
コンタクト穴(7)を形成する。次にイオン注入法また
は熱拡散法を用いてシリコン基板の表面付近に不純物拡
散層(2)を形成する。続いて第1の金属膜(5)とし
て、チタン窒化物をスパッタ法、CVD法などを用いて
形成する。この金属はシリコン基板との接合面において
アロイ・スパイク現象を起こさず、低抵抗のオーミック
接合が得られる事、またアルミとシリコン間の良好な拡
散バリアとなる物として選ばれた。最後に、第2の金属
膜(6)としてシリコンを含むアルミ、アルミ・シリコ
ン・銅の合金、及びアルミ単体の膜をスパッタ法・CV
D法などを用いて形成し、熱処理を行って金属膜のシン
タを行う。大規模集積回路において、パターン面上の平
坦化を兼ねた絶縁膜としてBPSG膜を用いる場合、第
1図に示す構造をとる事により、BPSG中のボロンが
シリコンを含むアルミによって形成された第2の金属膜
中へ拡散を防止し、かつシリコン基板と金属電極界面へ
のシリコンの固層エピタキシャル成長に起因した析出を
防ぐ事が出来、具体的には1×1μm2 形状のコンタク
ト穴の場合でも10Ω以下のオーミック接合を得る事が
出来る。またこの構造により、第2の金属膜にアルミの
単体を用いる事も可能となり、この場合第1の金属膜は
シリコンとアルミのアロイ・スパイク現象を防止する働
きをする。
ついて説明する。第1図は本発明の一実施例による半導
体装置の断面図を示す。まず図に示す様に、シリコン基
板(1)の主面上にシリコン酸化膜約1000A(3)
を熱酸化によって形成し、その上部にリン5〜10%と
ボロン2〜5%を含むシリコン酸化膜BPSG(4)を
形成した後、写真製版・エッチング法によって選択的に
コンタクト穴(7)を形成する。次にイオン注入法また
は熱拡散法を用いてシリコン基板の表面付近に不純物拡
散層(2)を形成する。続いて第1の金属膜(5)とし
て、チタン窒化物をスパッタ法、CVD法などを用いて
形成する。この金属はシリコン基板との接合面において
アロイ・スパイク現象を起こさず、低抵抗のオーミック
接合が得られる事、またアルミとシリコン間の良好な拡
散バリアとなる物として選ばれた。最後に、第2の金属
膜(6)としてシリコンを含むアルミ、アルミ・シリコ
ン・銅の合金、及びアルミ単体の膜をスパッタ法・CV
D法などを用いて形成し、熱処理を行って金属膜のシン
タを行う。大規模集積回路において、パターン面上の平
坦化を兼ねた絶縁膜としてBPSG膜を用いる場合、第
1図に示す構造をとる事により、BPSG中のボロンが
シリコンを含むアルミによって形成された第2の金属膜
中へ拡散を防止し、かつシリコン基板と金属電極界面へ
のシリコンの固層エピタキシャル成長に起因した析出を
防ぐ事が出来、具体的には1×1μm2 形状のコンタク
ト穴の場合でも10Ω以下のオーミック接合を得る事が
出来る。またこの構造により、第2の金属膜にアルミの
単体を用いる事も可能となり、この場合第1の金属膜は
シリコンとアルミのアロイ・スパイク現象を防止する働
きをする。
【0008】
【発明の効果】以上の様に、この発明によればBPSG
絶縁膜とチタン窒化膜よりなるバリアメタルを組み合わ
せる事によって大規模集積回路における回路パターンの
微細化にもかかわらず、回路面の平坦化を行いながらす
ぐれたオーミックコンタクトが得られる効果がある。
絶縁膜とチタン窒化膜よりなるバリアメタルを組み合わ
せる事によって大規模集積回路における回路パターンの
微細化にもかかわらず、回路面の平坦化を行いながらす
ぐれたオーミックコンタクトが得られる効果がある。
【図1】この発明の一実施例による半導体装置の構造を
示す断面図
示す断面図
【図2】従来の半導体の断面図
【図3】金属膜とシリコン基板界面へのシリコン析出の
状態を示す図
状態を示す図
【図4】素子の微細化に伴う回路パターンのアスペクト
比の増加を示す図
比の増加を示す図
1 シリコン基板 2 不純物拡散層 3 酸化膜 4 BPSG膜 5 バリアメタル膜 6 金属膜 7 コンタクト穴 8 PSG膜 9 析出シリコン
Claims (1)
- 【請求項1】 シリコン基板上に絶縁膜として配置され
たボロン(B)とリン(P)を含むシリコン酸化膜(B
PSG)と、上記絶縁膜の上部に配置されたチタン窒化
膜を含む第1の金属膜とシリコンを含むアルミ合金から
なる第2の金属膜と、上記絶縁膜に形成されたコンタク
ト穴を通して上記第1、第2の金属膜とシリコン基板に
形成された不純物拡散層が電気的に接続されていること
を特徴とする半導体装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60201009A JPH0715990B2 (ja) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | 半導体装置 |
US07/203,445 US4903117A (en) | 1985-09-11 | 1988-06-07 | Semiconductor device |
JP4311593A JPH06105706B2 (ja) | 1985-09-11 | 1992-11-20 | 半導体装置 |
JP4311594A JPH06105707B2 (ja) | 1985-09-11 | 1992-11-20 | 半導体装置 |
JP4311592A JPH06105705B2 (ja) | 1985-09-11 | 1992-11-20 | 半導体装置 |
JP4311595A JPH06105708B2 (ja) | 1985-09-11 | 1992-11-20 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60201009A JPH0715990B2 (ja) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | 半導体装置 |
JP4311593A JPH06105706B2 (ja) | 1985-09-11 | 1992-11-20 | 半導体装置 |
JP4311594A JPH06105707B2 (ja) | 1985-09-11 | 1992-11-20 | 半導体装置 |
JP4311592A JPH06105705B2 (ja) | 1985-09-11 | 1992-11-20 | 半導体装置 |
JP4311595A JPH06105708B2 (ja) | 1985-09-11 | 1992-11-20 | 半導体装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60201009A Division JPH0715990B2 (ja) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05343405A true JPH05343405A (ja) | 1993-12-24 |
JPH06105707B2 JPH06105707B2 (ja) | 1994-12-21 |
Family
ID=27529274
Family Applications (5)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60201009A Expired - Lifetime JPH0715990B2 (ja) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | 半導体装置 |
JP4311595A Expired - Lifetime JPH06105708B2 (ja) | 1985-09-11 | 1992-11-20 | 半導体装置 |
JP4311593A Expired - Lifetime JPH06105706B2 (ja) | 1985-09-11 | 1992-11-20 | 半導体装置 |
JP4311594A Expired - Lifetime JPH06105707B2 (ja) | 1985-09-11 | 1992-11-20 | 半導体装置 |
JP4311592A Expired - Fee Related JPH06105705B2 (ja) | 1985-09-11 | 1992-11-20 | 半導体装置 |
Family Applications Before (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60201009A Expired - Lifetime JPH0715990B2 (ja) | 1985-09-11 | 1985-09-11 | 半導体装置 |
JP4311595A Expired - Lifetime JPH06105708B2 (ja) | 1985-09-11 | 1992-11-20 | 半導体装置 |
JP4311593A Expired - Lifetime JPH06105706B2 (ja) | 1985-09-11 | 1992-11-20 | 半導体装置 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4311592A Expired - Fee Related JPH06105705B2 (ja) | 1985-09-11 | 1992-11-20 | 半導体装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4903117A (ja) |
JP (5) | JPH0715990B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US4926237A (en) * | 1988-04-04 | 1990-05-15 | Motorola, Inc. | Device metallization, device and method |
JP2857170B2 (ja) * | 1989-06-19 | 1999-02-10 | 松下電子工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
KR970009491B1 (ko) * | 1989-11-30 | 1997-06-13 | 가부시끼가이샤 도시바 | 배선재료와 이를 이용한 전자장치 및 액정표시장치 |
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US5268333A (en) * | 1990-12-19 | 1993-12-07 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of reflowing a semiconductor device |
JP2856562B2 (ja) * | 1991-03-23 | 1999-02-10 | 山口日本電気株式会社 | 絶縁膜の検査方法 |
JP3022637B2 (ja) * | 1991-08-07 | 2000-03-21 | 日本電気株式会社 | 固体撮像装置 |
IT1252056B (it) * | 1991-11-22 | 1995-05-29 | St Microelectronics Srl | Procedimento per la realizzazione di contatti metallici ad alta stabilita' in un circuito integrato ad uno o piu' livelli di metallizzazione |
JPH05198790A (ja) * | 1992-11-20 | 1993-08-06 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP2684978B2 (ja) * | 1993-11-25 | 1997-12-03 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
JP3583633B2 (ja) | 1998-12-21 | 2004-11-04 | シャープ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US6096651A (en) * | 1999-01-11 | 2000-08-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Key-hole reduction during tungsten plug formation |
JP3582437B2 (ja) * | 1999-12-24 | 2004-10-27 | 株式会社村田製作所 | 薄膜製造方法及びそれに用いる薄膜製造装置 |
AU2001275184A1 (en) * | 2000-08-15 | 2002-02-25 | Honeywell International, Inc. | Sputtering target |
US20030227068A1 (en) * | 2001-05-31 | 2003-12-11 | Jianxing Li | Sputtering target |
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JPS60201009A (ja) * | 1984-03-27 | 1985-10-11 | Toshiba Corp | 再熱蒸気タ−ビンプラントの運転方法 |
-
1985
- 1985-09-11 JP JP60201009A patent/JPH0715990B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-06-07 US US07/203,445 patent/US4903117A/en not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-11-20 JP JP4311595A patent/JPH06105708B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1992-11-20 JP JP4311593A patent/JPH06105706B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1992-11-20 JP JP4311594A patent/JPH06105707B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1992-11-20 JP JP4311592A patent/JPH06105705B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6261358A (ja) * | 1985-09-11 | 1987-03-18 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JPH0715990A (ja) * | 1993-06-29 | 1995-01-17 | Mitsubishi Electric Corp | 産業用ロボットの制御装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05343406A (ja) | 1993-12-24 |
JPH06105706B2 (ja) | 1994-12-21 |
JPH05343403A (ja) | 1993-12-24 |
JPH0715990B2 (ja) | 1995-02-22 |
JPH06105707B2 (ja) | 1994-12-21 |
US4903117A (en) | 1990-02-20 |
JPS6261358A (ja) | 1987-03-18 |
JPH06105705B2 (ja) | 1994-12-21 |
JPH05343404A (ja) | 1993-12-24 |
JPH06105708B2 (ja) | 1994-12-21 |
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