JPH05332006A - クリーンルームアクセスフロアパネル - Google Patents
クリーンルームアクセスフロアパネルInfo
- Publication number
- JPH05332006A JPH05332006A JP14388792A JP14388792A JPH05332006A JP H05332006 A JPH05332006 A JP H05332006A JP 14388792 A JP14388792 A JP 14388792A JP 14388792 A JP14388792 A JP 14388792A JP H05332006 A JPH05332006 A JP H05332006A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- floor panel
- floor
- nitrogen
- access floor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Floor Finish (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】生産設備に必要な窒素，乾燥空気等の用力ガス
配管をクリーンルーム床下の工場配管と接続する際の、
クリーンルームアクセスフロアパネルへの開口作業を省
く。 【構成】クリーンルームアクセスフロアパネル１１に、
生産設備に供給する窒素，乾燥空気等のガスをクリーン
ルーム床下の工場配管から、床上の生産設備まで中継す
る為の継手１２を備えている。これにより、生産設備の
新設，移設の際に、窒素，乾燥空気等のガスの接続、撤
去作業が容易となる。
配管をクリーンルーム床下の工場配管と接続する際の、
クリーンルームアクセスフロアパネルへの開口作業を省
く。 【構成】クリーンルームアクセスフロアパネル１１に、
生産設備に供給する窒素，乾燥空気等のガスをクリーン
ルーム床下の工場配管から、床上の生産設備まで中継す
る為の継手１２を備えている。これにより、生産設備の
新設，移設の際に、窒素，乾燥空気等のガスの接続、撤
去作業が容易となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は二重床構造となるクリー
ンルームに使用されるクリーンルームアクセスフロアパ
ネルに関する。
ンルームに使用されるクリーンルームアクセスフロアパ
ネルに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のクリーンルームアクセスフロアパ
ネルでは、窒素，乾燥空気等のガスをクリーンルーム床
下の工場配管から床上の生産設備に供給する際には、配
管工事の度にクリーンルームアクセスパネルに開口を設
けなければならなかった。この為、設備の新設，移設工
事の際には、必ず、パネル開口工事が必要となり、工事
は専門の作業者による施工が必要であった。
ネルでは、窒素，乾燥空気等のガスをクリーンルーム床
下の工場配管から床上の生産設備に供給する際には、配
管工事の度にクリーンルームアクセスパネルに開口を設
けなければならなかった。この為、設備の新設，移設工
事の際には、必ず、パネル開口工事が必要となり、工事
は専門の作業者による施工が必要であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のクリーンル
ームアクセスフロアパネルでは、生産設備を新設又は移
設する度に、配管用の開口を設けなければならないとい
う欠点があった。また、配管及び開口工事は特殊作業と
なるため、施工には専門の作業者が必要であった。
ームアクセスフロアパネルでは、生産設備を新設又は移
設する度に、配管用の開口を設けなければならないとい
う欠点があった。また、配管及び開口工事は特殊作業と
なるため、施工には専門の作業者が必要であった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のクリーンルーム
アクセスフロアパネルは、生産設備に供給する窒素，乾
燥空気等のガスをクリーンルーム床下の工場配管から床
上の生産設備まで中継する為の継手を備えている。
アクセスフロアパネルは、生産設備に供給する窒素，乾
燥空気等のガスをクリーンルーム床下の工場配管から床
上の生産設備まで中継する為の継手を備えている。
【０００５】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１（ａ），（ｂ）は本発明の実施例１のクリーン
ルームアクセスフロアパネルの平面図および断面図であ
る。また、図２は本実施例のクリーンルームアクセスフ
ロアパネルの使用状態を説明する断面図である。
る。図１（ａ），（ｂ）は本発明の実施例１のクリーン
ルームアクセスフロアパネルの平面図および断面図であ
る。また、図２は本実施例のクリーンルームアクセスフ
ロアパネルの使用状態を説明する断面図である。
【０００６】クリーンルームアクセスフロアパネル１１
に組み込まれた継手１２の継手一次側１４は、クリーン
ルーム床下のクリーンルーム床スラブとの間に敷設され
た窒素，乾燥空気等のガスの工場配管２７のバルブ２６
との間をプラスチックチューブ２５により予め接続して
おく。このときバルブ２６を開、クリーンルームアクセ
スフロアパネル１１のコック１３を閉としておく。
に組み込まれた継手１２の継手一次側１４は、クリーン
ルーム床下のクリーンルーム床スラブとの間に敷設され
た窒素，乾燥空気等のガスの工場配管２７のバルブ２６
との間をプラスチックチューブ２５により予め接続して
おく。このときバルブ２６を開、クリーンルームアクセ
スフロアパネル１１のコック１３を閉としておく。
【０００７】継手二次側１５はワンタッチ式になってお
り、生産設備２２が据え付けられた時点で、プラスチッ
クチューブ２４を用いて生産設備２２のバルブ２３に接
続される。この時点で、コック１３を開とすることで、
窒素，乾燥空気等のガスは使用可能となる。
り、生産設備２２が据え付けられた時点で、プラスチッ
クチューブ２４を用いて生産設備２２のバルブ２３に接
続される。この時点で、コック１３を開とすることで、
窒素，乾燥空気等のガスは使用可能となる。
【０００８】また、生産設備２２の移設などで、窒素，
乾燥空気等のガスを撤去する場合は、コック１３を閉に
し、プラスチックチューブ２４を継手二次側１５のワン
タッチ継手から外すという床上の作業のみで撤去が可能
である。
乾燥空気等のガスを撤去する場合は、コック１３を閉に
し、プラスチックチューブ２４を継手二次側１５のワン
タッチ継手から外すという床上の作業のみで撤去が可能
である。
【０００９】図３は本発明の実施例２の断面図である。
クリーンアクセスフロアパネル３１に組み込まれた継手
３２は、継手一次側３３と床下の工場配管とを、また継
手二次側３４と床上の生産設備とを、それぞれプラスチ
ックチューブによって接続する様になっている。継手３
２の継手一次側３３と継手二次側３４は、それぞれワン
タッチ継手であり、プラスチックチューブを外した場合
にはガスが流れない様ストップ機能を備えている。この
場合、実施例１に比べてパネル表面への露出部が少ない
という利点を有する。
クリーンアクセスフロアパネル３１に組み込まれた継手
３２は、継手一次側３３と床下の工場配管とを、また継
手二次側３４と床上の生産設備とを、それぞれプラスチ
ックチューブによって接続する様になっている。継手３
２の継手一次側３３と継手二次側３４は、それぞれワン
タッチ継手であり、プラスチックチューブを外した場合
にはガスが流れない様ストップ機能を備えている。この
場合、実施例１に比べてパネル表面への露出部が少ない
という利点を有する。
【００１０】
【発明の効果】以上説明した様に本発明は、クリーンル
ームアクセスフロアパネルに窒素，乾燥空気等のガスを
クリーンルーム床下の工場配管から中継して、床上の生
産設備に供給する為の継手を備えているので、予めクリ
ーンルーム床下の工場配管と継手の一次側の接続工事を
行なっておくことで、以後、生産設備の新設，移設の際
に、窒素，乾燥空気等のガスの配管工事によるパネル開
口作業がなくなるという効果が有る。
ームアクセスフロアパネルに窒素，乾燥空気等のガスを
クリーンルーム床下の工場配管から中継して、床上の生
産設備に供給する為の継手を備えているので、予めクリ
ーンルーム床下の工場配管と継手の一次側の接続工事を
行なっておくことで、以後、生産設備の新設，移設の際
に、窒素，乾燥空気等のガスの配管工事によるパネル開
口作業がなくなるという効果が有る。
【図１】本発明の実施例１を示す図で、同図（ａ）は平
面図、同図（ｂ）は断面図である。
面図、同図（ｂ）は断面図である。
【図２】本発明の実施例１の使用状態を説明する断面図
である。
である。
【図３】本発明の実施例２の断面図である。
１１，２１，３１ クリーンルームアクセスフロアパ
ネル １２，３２ 継手 １３ コック １４，３３ 継手一次側 １５，３４ 継手二次側 ２２ 生産設備 ２３ 生産設備バルブ ２４，２５ プラスチックチューブ ２６ 工場配管バルブ ２７ 工場配管 ２８ クリーンルーム床スラブ
ネル １２，３２ 継手 １３ コック １４，３３ 継手一次側 １５，３４ 継手二次側 ２２ 生産設備 ２３ 生産設備バルブ ２４，２５ プラスチックチューブ ２６ 工場配管バルブ ２７ 工場配管 ２８ クリーンルーム床スラブ
Claims (1)
- 【請求項１】 生産設備を設置する二重床構造のクリー
ンルームアクセスフロアパネルにおいて、窒素，乾燥空
気等のガスをクリーンルーム床下の工場配管から中継し
て床上の生産設備に供給する為の継手を備えることを特
徴とするクリーンルームアクセスフロアパネル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14388792A JPH05332006A (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | クリーンルームアクセスフロアパネル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14388792A JPH05332006A (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | クリーンルームアクセスフロアパネル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05332006A true JPH05332006A (ja) | 1993-12-14 |
Family
ID=15349344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14388792A Withdrawn JPH05332006A (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | クリーンルームアクセスフロアパネル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05332006A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000060653A1 (fr) * | 1999-03-30 | 2000-10-12 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement au plasma, procede de maintenance et procede d'installation dudit dispositif |
| KR20170006932A (ko) * | 2015-07-10 | 2017-01-18 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 에어 라인 마스크용 커넥터 고정 장치 |
-
1992
- 1992-06-04 JP JP14388792A patent/JPH05332006A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000060653A1 (fr) * | 1999-03-30 | 2000-10-12 | Tokyo Electron Limited | Dispositif de traitement au plasma, procede de maintenance et procede d'installation dudit dispositif |
| US6700089B1 (en) | 1999-03-30 | 2004-03-02 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing device, its maintenance method, and its installation method |
| KR20170006932A (ko) * | 2015-07-10 | 2017-01-18 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 에어 라인 마스크용 커넥터 고정 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |