JPH0532874B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、薄膜EL素子によつて光を得る薄膜
EL装置に関するものである。

背景技術とその問題点 第１図は、上記の様な薄膜EL装置の従来例を
示している。この第１図に示す様に、薄膜EL装
置１では薄膜EL素子２がガラス基板３上に形成
されている。

薄膜EL素子２を形成する為には、第２図に示
す様に、ガラス基板３上にITOを真空蒸着するこ
とによつてまず透明電極４を形成する。次いで、
透明電極４上に透明な下部絶縁膜５をスパツタリ
ングで形成し、更にその上にZnS：Mn（Mnが付
活剤として添加されたZnS）を電子ビーム蒸着す
ることによつて薄膜状の発光層６を形成する。そ
して、発光層６上に上部絶縁膜７をスパツタリン
グで形成し、最後にその上にAlを真空蒸着する
ことによつて背面電極１１を形成する。

EL素子２が形成されているガラス基板３上に
は、一方の端面が閉塞されている扁平な四角筒状
のガラス蓋１２が載置され、このガラス蓋１２と
ガラス基板３とによつて空間１３が形成されて、
この空間１３内にEL素子２が収容されている。
つまり、ガラス基板３とガラス蓋１２とで、EL
素子２を収容する為の容器が形成されている。そ
して、これらのガラス基板３とガラス蓋１２と
は、エポキシ樹脂１４によつて封止されている。
なお、電極４，１１は、外部の電源（図示せず）
への接続の為に、互いに接触しない様にガラス蓋
１２の外側へ延出されている。

ガラス蓋１２のガラス基板３に対向する面には
貫通孔１５が形成されており、この貫通孔１５か
ら空間１３内へシリコーンオイル１６が注入され
ている。貫通孔１５は、シリコーンオイル１６の
注入後に、ガラス板１７で覆われエポキシ樹脂２
１によつて封止されている。

シリコーンオイル１６は、その中に浸されてい
るEL素子２の透明電極４と背面電極１１とを絶
縁すると共に、もしこれらの間で放電が起こり
EL素子２の一部が破壊された場合にはその部分
に入り込むことによつてそれ以上の破壊の拡大を
防止する為のものである。

シリコーンオイル１６の空間１３内への注入
は、液晶を注入する場合と同様の方法によつて行
われる。即ち、シリコーンオイル１６の貯溜槽
（図示せず）とEL素子１とを真空容器（図示せ
ず）内にまず配置する。そして、シリコーンオイ
ル１６の通路となるパイプ（図示せず）の一端部
を貫通孔１５内に位置させるが他端部は貯溜槽か
た離した状態で、真空容器内を真空にする。する
と、空間１３内もパイプを通じて真空にされる。
次いで、この真空状態を保持したままで、パイプ
の他端部を貯溜槽内に位置させる。この後、真空
容器内を大気圧に戻すと、パイプ及び貫通孔１５
を通じて空間１３内へシリコーンオイル１６が注
入される。

以上の様なEL装置１の電極４，１１間に電圧
を印加すると、発光層６が発光し、ガラス基板３
を通してその光を取出すことができる。

ところで、特に薄膜EL素子２は水分によつて
劣化され易い。しかし以上の様な構造の薄膜EL
装置１では、時間の経過と共に空気中の水分が封
止部のエポキシ樹脂１４，２１を透過して空間１
３内へ浸入する。そして、この水分によつて薄膜
EL素子２が劣化されるので、薄膜EL装置１の寿
命は非常に短い。エポキシ樹脂１４，２１の代わ
りに封止部にフリツトガラスを使用すると水分の
透過はないが、フリツトガラスは融点が300〜
1500℃の高温であるので、熱にも弱い薄膜EL素
子２は、今度は封止時のこの熱によつて劣化され
る。

そこで従来は、シリコーンオイル１６またはエ
ポキシ樹脂１４，２１に水分吸収剤を混入して、
薄膜EL素子２への水分の到達を阻止しようとし
ていた。しかしこの様な構造では、浸入した水分
が水分吸収剤に完全には吸収されず、薄膜EL装
置１の寿命がやはり短かかつた。

発明の目的 本発明は、上述の問題点に鑑み、製造工程が極
めて容易であるにも拘らず薄膜EL素子への水分
の到達が阻止されて寿命が長い薄膜EL装置を提
供することを目的としている。

発明の概要 本発明は、薄膜EL素子と、この薄膜EL素子を
収容すると共に封止しているガラス容器とを有す
る薄膜EL装置であつて、前記ガラス容器は、前
記薄膜EL素子を収容している空間と外部とを連
通させると共に圧入されている金属によつて密閉
されている貫通孔を有しており、前記ガラス容器
の封止部に沿つて溝部が形成されており、この溝
部内にその全長に亘つてモレキユラーシーブが配
されていることを特徴とする薄膜EL装置に係る
ものである。

実施例 以下、本発明の一実施例を第３図及び第４図を
参照しながら説明する。

第３図及び第４図に示す様に、本実施例による
薄膜EL装置３１は、ガラス基板３とガラス蓋１
２との封止部に臨み且つこの封止部に沿う様に水
分吸着用のモレキユラーシーブ３２が配置されて
おり、貫通孔１５内にIn３３が圧入されエポキシ
樹脂２１によつて抜止めされていることを除い
て、第１図及び第２図に示した従来例の薄膜EL
装置１と実質的に同様の構成であつてよい。

モレキユラーシーブ３２を上記の様に配置する
為に、ガラス蓋１２のロ字状の開口端面に開口を
取囲む様な溝部３４が、ケミカルエツチングによ
つて形成されている。そして、溝部３４から僅か
に突出する様に、板状のモレキユラーシーブ３２
がこの溝部３４内にその全長に亘つて配置されて
いる。

ガラス蓋１２は、溝部３４内にモレキユラーシ
ーブ３２が配置されている状態で、エポキシ樹脂
１４によつてガラス基板３に接着されている。モ
レキユラシーブ３２はガラス蓋１２の開口端面か
ら僅かに突出しているので、ガラス蓋１２がガラ
ス基板３に接着されると、エポキシ樹脂１４がモ
レキユラーシーブ３２の両側方に分断され、この
エポキシ樹脂１４を透過しようとする水分は、モ
レキユラーシーブ３２によつて吸着される。

なお、ガラス基板３とガラス蓋１２との接着作
業は、乾燥したArやN₂等の雰囲気中で行われる
ので、溝部３４の内壁面とモレキユラーシーブ３
２との間の僅かな間隙には、空気ではなく乾燥し
たArやN₂等が入つている。従つて、上記の間隙
に閉じ込められている気体中の水分によつてEL
素子２が劣化されることはない。

In３３は柔らかい金属であり、貫通孔１５内に
圧入されると、貫通孔１５の内壁面と完全に密接
する。

この様に、本実施例による薄膜EL装置３１は、
シリコーンオイル１６を空間１３内へ注入する為
の貫通孔１５にIn３３が圧入されており、このIn
３３がエポキシ樹脂２１によつて抜止めされてい
るので、時間の経過と共に、空気中の水分がエポ
キシ樹脂２１及び貫通孔１５を通つて空間１３内
に浸入することはない。従つて、空間１３内に収
容されている薄膜EL素子２への水分の到達が阻
止されて、薄膜EL装置１の寿命は非常に長い。

応用例 以上、本発明を一実施例に基いて説明したが、
本発明はこの実施例に限定されるものではなく、
各種の変更が可能である。

例えば、上記の実施例に於いてはモレキユラー
シーブ３２を配置する為の溝部３４がガラス蓋１
２の開口端面に形成されているが、この溝部３４
は、ガラス基板３の上記開口端面に対向する位置
に形成されていてもよく、またガラス基板３とガ
ラス蓋１２との両方に形成されていてもよい。

発明の効果 以上の様に、本発明による薄膜EL装置に於い
ては、薄膜EL素子が収容されている容器の封止
部に沿つて溝部を形成し、この溝部内にその全長
に亘つてモレキユラーシーブを配する様にしてい
る。

従つて、封止部を透過して容器内へ浸入する水
分がモレキユラーシーブによつて有効に吸着さ
れ、容器内に収納されている薄膜EL素子への水
分の到達が阻止される。

しかも、ガラス容器の貫通孔は圧入されている
金属によつて密閉されており、金属の圧入は極め
て容易な製造工程で行うことができるにも拘らず
高い密封性を実現することができる。

従つて、水分が貫通孔を通つて容器内へ浸入す
ることもなく、このことによつても容器内に収容
されている薄膜EL素子への水分の到達が阻止さ
れる。

このため、本発明による薄膜EL装置では薄膜
EL素子が水分によつて劣化されず、薄膜EL装置
の寿命が非常に長い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の従来例を示す概略的な断面
図、第２図は第１図の要部の拡大図、第３図は本
発明の一実施例を示す概略的な断面図、第４図は
第３図に於ける矢視図である。 なお図面に用いた符号において、２……薄膜
EL素子、３……ガラス基板、１２……ガラス蓋、
３１……薄膜EL装置、３２……モレキユラーシ
ーブ、３４……溝部、である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 薄膜EL素子と、この薄膜EL素子を収容する
   と共に封止しているガラス容器とを有する薄膜
   EL装置であつて、 前記ガラス容器は、前記薄膜EL素子を収容し
   ている空間と外部とを連通させると共に圧入され
   ている金属によつて密閉されている貫通孔を有し
   ており、 前記ガラス容器の封止部に沿つて溝部が形成さ
   れており、 この溝部内にその全長に亘つてモレキユラーシ
   ーブが配されていることを特徴とする薄膜EL装
   置。