JPS6235495A - 薄膜ｅｌパネル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産ｌ上夏机且分立 この発明は、各種の↑１報ディスプレイをＥＬ（電界発
光）で行う薄膜ＥＬパネル、詳しくは薄膜ＥＬマトリク
ス型ディスプレイパネルに関するものである。

従」０プ鼓」社 薄膜ＥＬマトリクス型ディスプレイパネルの一般的構造
を、第４図を参照して説明する。尚、第４図の左半分は
Ｘ方向の断面図、右半分はＹ方向の断面図を示す。図に
於いて、（１）は透明なガラス基板、（２）はガラス基
板（１）上に形成されたマトリクス型の薄膜ＥＬ素子で
ある。ＥＬ素子（２）に於ける（３）はガラス基板（１
）上に１．Ｔ、Ｏを蒸着法やスパッタ法でＸ方向に所定
のピッチで形成したストライブ状の透明電極、（４）は
透明電極（３）上を覆うＹ２Ｏ３等の透明な第１絶縁層
、（５）は第１絶縁層（４）上に形成したＺｎＳ：Ｍｎ
等の発光層、（６）は発光層（５）上を覆うｙ２　ｏ３
等の透明な第２絶と象眉、（７）は第２絶縁層（６）上
にＹ方向に所定のピッチで形成したストライプ状のＡｔ
蒸着膜による背面電極である。

ＥＬ素子（２）の各電極（３）、（４）の一端部（３゛
）、（７゛）は外部引出しリード（図示せず）との接続
の為のガラス基板（１）の周辺部上に延長させて形成し
ている。

また、（８）はガラス基板（１）上でＥＬ素子（２）を
気密封止する逆皿状のカバーガラスで、電極（３）、（
７）の端部（３°）、（７°）の一部を横切る位置にエ
ポキシ樹脂等の接着剤（９）でもって気密に固着され、
ガラス基板（１）とでＥＬ素子（２）を封入する外囲器
（１０）を構成する。（１１）は外囲”ａ　＜’、ｏ）
の内部空間に充填されたシリコンオイル等の絶縁性保護
流体で、外囲器（１０）の内部空間を真空引きした後、
カバーガラス（８）の一部に形成された注入穴（１２）
から注入され、注入後注大穴（１２）を蓋板（１３）で
密封して封入される。この保護流体（１工）は外囲器（
１０）内に於けるＥＬ素子（２）の外部湿気に対する防
湿作用、ＥＬ素子（２）から作動時に発熱する熱を放出
する冷却作用、Ｅ　Ｌｒ　ｆｉ子（２）の絶縁保護作用
等を効果的に発揮する品質のものが使用される。

Ｂ　＜　　しよ゛と　るｔｆｔｒ点 上記薄Ｉ！！ＥＬパネルの製造時、外囲器（１０）の内
部空間に絶縁性保護流体（１１）を注入した後、注入穴
（１２）を密閉して外囲！　（１０）を封止することは
容易なことでない。即ち、カバーガラス（８）の注入穴
（１２）に保護流体（１１）を満さないで蓋体（１３）
でもって密閉封止すると、外囲器（１０）内の保護流体
（１１）に気泡が混入し、特性劣化の原因となる。そこ
で、気泡の混入を防止する為に、注入穴（１２）に保護
流体（１１）を表面張力により外囲器（１０）の内部空
間の容積より少し多めに満たして蓋板（１３）でもって
密閉封止すると、保護流体（１１）に気泡は混入されな
いが、注入穴（１２）から保護流体（１１）が漏洩し、
封止が困難になるという問題点があった。

四　占を　“　るための　且 この発明は上記問題点に鑑み提案されたもので、ガラス
基板とカバーガラスを接着してなる外囲器内に薄膜ＥＬ
素子並びに薄膜ＥＬ素子に対する絶縁性保護流体を封入
した薄膜ＥＬパネルに於いて、前記カバーガラスの裏面
端部に、外囲器の薄膜ＥＬ素子並びに絶縁性保護流体を
封入する内部空間を囲繞して流体貯溜部を穿設し、かつ
、流体貯溜部の内外周部に０リングシールを配設したも
のである。

作■ 上記手段によれば、薄膜ＥＬ素子並びに絶縁性保護流体
を外囲器の内部空間に封入する時、ガラス基板とカバー
ガラスを真空槽内で真空状態のまま接着すると、内部空
間からあふれ出た絶縁性保護流体は流体貯溜部に流入し
てここに貯溜されると共に、その後で真空槽内を大気圧
に戻すと、流体貯溜部の残った空間が負圧状態となり、
この負圧によりガラス基板とカバーガラスを吸着保持す
る。

、実−万■ この発明を第４図と同一タイプの薄１１ｆｌｉＥＬマト
リクス型ディスプレイパネルに適用した一実施例を第１
図及び第２圀に基づき説明する。尚、第１図の左半分は
Ｘ方向の断面図、右半分はＹ方向の断面図を示す。

第１図及び第２図に於いて、（２１）は透明なガラス基
板、（２２）はガラス基板（２１）上に形成されたマト
リクス型の薄膜ＥＬ素子である。

ＥＬ棄子（２２）に於ける（２３）は１．Ｔ、０を蒸着
法やスパッタ法でＸ方向に所定のピンチで形成したスト
ライブ状の透明電極、（２４）は透明電極（２３）上を
覆うＹ２Ｏ３等の透明な第１絶縁層、（２５）は第１絶
縁Ｍ　（２４）上に形成したＺｎＳ：Ｍｎ等の発光層、
（２６）は発光Ｎ　（２５）上を覆うＹ２Ｏ３の透明な
第２絶縁層、（２７）は第２絶縁Ｋａ　（２６）上にＹ
方向に所定のピッチで形成したストライプ状のＡ５蒸着
膜による背面電極である。ＥＬ素子（２２）の各電極（
２３）、（２７）の一端部（２３’）、（２７’）は外
部引出しリード（図示せず）との接続の為ガラス基板（
２１）の周辺部上に延長させて形成している。

以上構成は第４図の従来例と同様であり、従来例と相違
する点はガラス基板（２１）上のＥＬ素子（２２）を、
次のカバーガラス（２８）とシリコンゴム製等の第１及
び第２の０リングシール（２９）、（３０）で気密封止
したことである。

カバーガラス（２８）は、第３図に示すように、裏面中
央部にＥＬ素子（２２）を収納する凹部（３１）を形成
し、この凹部（３１）の外側に該凹部（３１）を囲繞し
て第１のＯリングシール溝（３２）を形成し、そして、
この第１の０リングシール溝（３２）の外側に、該第１
の０リングンール溝（３２）を囲繞して、流体貯溜部（
３３）を形成し、更に、この流体貯溜部（３３）の外側
に、該流体貯溜部（３３）を囲繞して、第２の０リンク
シール溝（３４）を形成してなり、各Ｏリングシール溝
（３２）、（３４）にＯリングシール（２９）、（３０
）を各々装着して、端部をＥＬ素子（２２）の電極、（
２３）、（２７）の端部（２３’）、（２７“）の一部
を横切る位置にエポキシ樹脂等の接着剤（３５）でもっ
て気密に固着されて、ガラス基板（２１）とでＥＬ素子
（２２）を封入する外囲器（３６）を構成する。（３７
）は外囲器（３６）のＥＬ素子（２２）を封入する内部
空間に充瞑されたシリコンオイル等の絶縁性保護流体で
、外囲器　（３６）内に於けるＥＬ素子（２２）の外部
湿気に対する防湿作用、ＥＬ素子（２２）が作動時に発
熱する熱を放出する冷却作用、ＥＬ素子（２２）の絶縁
保護作用等を有する。

以上がこの発明のＮ膜Ｐ、！、パネルの構成で、この３
１ｉ５ｉ！ＥＬパネルは、次のようにして製造される。

先ず、ガラス基板（２１）上に、透明電慟（２３）、第
１絶縁層（２４）　、発光層（２５）　、第２箱縁層（
２６）及び背面電極（２７）を順次債層してなる薄ＭＩ
ＡＥＬｆｉ子（２２）を形成する。その後、薄膜ＥＬ素
子（２２）を形成した面を下向きにしたガラス基板（２
１）と、内面を上向きにし、かつ、各０リングシール溝
（３２）、（３４’）（ＺＯリングシール（２９）、（
３０）を各々装着したカバーガラス（２８）とを、真空
槽内にガラス基板（２１）を上ＩＩＩに、カバーガラ；
ζ（２８）を下側にして対向配置する。そして、真空槽
内に設けた保護流体（３７）の液槽からカバーガラス（
２８）の凹部（３１）内へ絶縁性保護流体（３７）を、
表面張力により該凹部（３１）の容積より少し多めに満
されるように注入する。次に、真空槽に設けられた排気
口から真空引きにより真空槽内を減圧し、ガラス基板（
２１）上に形成した薄膜ＥＬ素子（２２）及びカバーガ
ラス（２８）の凹部（３１）内の絶縁性保護流体（３７
）のガス出しを行う。この真空状態を保持したまま、ガ
ラス基板（２１）とカバーガラス（２８）の対向する面
同志をＯリングシール（２９）、（３０）を介して吸着
する。

この時、カバーガラス（２８）の凹部（３１）から余剰
の絶縁性保護流体（３７）が若干量あふれ出るのみで、
絶縁性保護流体（３７）中に気泡が入ることはない。そ
して、あふれ出た絶縁性保護流体（３７）は、流体貯溜
部（３３）内に流入してここに貯溜され、外部に漏洩す
ることはない。

この後、真空槽内にＮ２ガス等の不活性ガスを大気圧ま
で充垣させると、カバーガラス（２８）の流体貯溜部（
３３）の残った空間が負圧状態となり、この負圧により
ガラス基板（２１）とカバーガラス（２８）とは吸着さ
れ仮固定される。この後、更にカバーガラス（２８）と
ガラス基板（２１）の周縁部同士を接着剤（３５）を介
して本固着させ、ガラス基板（２１）及びカバーガラス
（２８）からなる外囲器（３６）を形成する。従って、
ガラス基板（２１）とカバーガラス（２８）の固着は完
全気密に行われ、ＥＬ素子（２２）は高信頼度で気密封
止される。

光ユ■立来 この発明によれば、従来のように絶縁性保護流体の注入
穴の封止が不要となるので、外囲器内への封入作業が容
易になる。また、絶縁性保護流体に気泡が入らず、しか
も周辺部をＯリングシールでも密封するようになしたか
ら、ＥＬ素子を高信頼度で気密封止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例の薄１ｐＪＥＬパネルを示
す断面図、第２図はこの発明の要部拡大断面図、第３図
はこの発明のカバーガラスの内面側からの平面図、第４
図は従来の薄膜ＥＬパネルを示す断面図である。 （２１）　−ガラス基板、（２２）・−薄膜ＥＬ素子、
（２８）　−・カバーガラス、　（２９）　　（３０）
・−・０す手続補正書 昭和６０年１１月２Ｖ日 １、事件の表示 昭和６０年　特許！扮　第１７５３００号２、発明の名
称　薄膜ＥＬパネル ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 名称　関西日本電気株式会社 ４、代理人 住　所　　大阪府大阪市西区江戸堀１丁目１５番２６号
昭和６０年１０月　９日 （発送日昭和６０年１０月２９日） ６．１！正の対象　図　面 ７、？ｉ正の内容　図面企図を別紙の通り補正する。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　（１）ガラス基板とカバーガラスを接着してなる外囲
   器内に薄膜ＥＬ素子並びに絶縁性保護流体を封入した薄
   膜ＥＬパネルに於いて、 　前記カバーガラスの裏面端部に、外囲器の薄膜ＥＬ素
   子並びに絶縁性保護流体を封入する内部空間を囲繞して
   流体貯溜部を穿設し、かつ、流体貯溜部の内外周部にＯ
   リングシールを配設したことを特徴とする薄膜ＥＬパネ
   ル。