JPS6010320Y2 - 薄膜elパネル - Google Patents

薄膜elパネル

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Publication number
JPS6010320Y2
JPS6010320Y2 JP11754080U JP11754080U JPS6010320Y2 JP S6010320 Y2 JPS6010320 Y2 JP S6010320Y2 JP 11754080 U JP11754080 U JP 11754080U JP 11754080 U JP11754080 U JP 11754080U JP S6010320 Y2 JPS6010320 Y2 JP S6010320Y2
Authority
JP
Japan
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thin film
panel
moisture
layer
insulating film
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Expired
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JP11754080U
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JPS5740291U (ja
Inventor
幹郎 竹田
Original Assignee
シャープ株式会社
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Publication date
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Description

【考案の詳細な説明】 本考案は大気中の湿気から薄膜EL (エレクトロルミ
ネッセント)層を保護した薄膜ELパネルの改良に関す
るものである。
従来から第1図aに示すような二重絶縁膜構造をもった
薄膜ELパネルの開発が試みられ、各種の表示装置とし
ての応用が考えられている。
まず同図を用いて二重絶縁膜をもつ薄[Lの概要を説明
する。
透明なガラス板1を基板として、該基板1上に■n20
3,5n02等からなる透明電極2が所望のパターンで
蒸着等によって形成され、続いて透明電極2上に例えば
Y2O3,Si3N4.TiO2゜Al2O3等からな
る誘電体層3が第1の絶縁膜として、Mn等の活性剤を
ドープしたZnSがEL発光層4として、上記第1絶縁
膜と同様の材料からなる誘電体層5が第2絶縁膜として
、夫々蒸着法、スパッタリング法等のような薄膜技術を
用いて積層されている。
図中6は上記第2絶縁膜5上に所望パターンに形成され
た背面電極で、N蒸着膜等からなり、上記透明電極2と
の間で所定レベルの電圧が印加される。
両電極に挾まれたサンドウィッチ型EL発光層4は印加
電圧が所定レベルに達すると発光し、文字、図形等のた
めの絵素となる。
上記構造の薄膜ELパネルは、古くから開発されている
分散型EL素子に比べて高輝度発光し、寿命が長く特性
が安定している等多数のすぐれた利点を有しているため
、将来が期待されている。
上記のようなすぐれた利点がある反面、大気中の湿気に
対しては今一つの問題があった。
即ち大気中の湿気が多層構造のELパネルに侵入すると
、長期間に亘る使用の間には図に示す如く湿気がZn5
EL発光層4と第2絶縁膜との界面7に侵入し、絶縁膜
5をZn5EL発光層から剥離させて密着状態を損う事
態を生じさせ、その結果発光に必要なレベルの電圧が印
加されているにも拘わらず、剥離の部分では印加電圧が
有効に印加されず第1図すに示す如く絵素全体が均一に
発光することなく非発光領域Aが生じ、表示品質が著し
く損われる欠点があった。
このような第2絶縁膜5とEL層4との界面を剥離させ
る湿気は各薄膜の形成時に生じたピンホールやクラック
等の欠陥8或いは動作中に生じた電気絶縁破壊個所から
侵入し、発光の劣化現象は動作時間の経過と共に進行し
、非発光領域Aの大きさは次第に拡大して一層表示品質
を損うという欠点があった。
上記のような欠点を除去するために従来から第2図に示
すようにELパネル背面電極側をカバーガラス9で被い
、パネル背面とカバーガラス間にできる空間にシリコー
ンオイル単体10又はシリコーンオイル中にシリカゲル
微粉末を混合した湿気吸着用シリコーンオイルを封入す
ることによって湿気による非発光領域の拡大防止策とし
ていた。
しかし上記従来の湿気防止方法は、液体状のシリコーン
オイルを使用するためオイル注入工程の煩雑さ、オイル
漏れ発生の危険性など実用上大きな障害になるもので、
発光部分が固体状態で形成されているにも拘わらず液体
をも利用しなければならず、ELパネルの応用拡大を図
る上で問題になっていた。
本考案は上記従来装置の欠点を除去して、簡単な構成を
付加するのみで、耐湿性を著しく高めた薄膜ELパネル
を提供する。
次に実施例を挙げて本考案を詳細に説明する。
第3図は本考案による薄膜ELパネルの要部断面を示し
、ガラス基板1上に透明電極2、第1絶縁膜3、Zn5
EL発光層4、第2絶縁膜5及び背面電極6が順次積層
されてEL発光部分が二重絶縁膜をもつ構造番゛こ形成
されている点においては第1図に示した従来装置と変り
がない。
しかし本考案においては、積層されたEL発光部分を大
気環境から遮蔽するための構造として、EL発光部分を
被う形状に成型加工されたガラス、金属又は樹脂等から
なるカバー11を設け、該カバー11のEL発光層と対
向する内壁側に予め湿気を吸着する性質をもつ吸湿剤1
2を塗布或いは張装等によって設けてなる。
上記湿気吸着剤12としては、 1 活性アルミナ+バインダ 2 モレキュラーシーブ+バインダ 3 シリカゲル+バインダ 4 陽極酸化N2O3膜 5 蒸着式にはスパッタにより形成した N2O3膜 5 CVD法により形成したA1゜O3膜7 蒸着に
より形成したフッ化マグネシウム等を用いることができ
、バインダは通常エポキシ樹脂、或いはシリコーン樹脂
が適当である。
上記湿気吸着剤の一つ或いは複数組が選ばれて、カバー
11内壁に適当な膜厚で塗布された後、脱ガス処理のた
めに一旦加熱され、ELパネル背面電極側に有機接着剤
、ガラスフリット或いは低融点金属によるハーメチック
シール等を用いて、上pL発光部分を収納した空間がカ
バー11とガラス基板1によって完全に密封される。
尚カバーで封止する際に内部空間は超乾燥窒素ガス或い
はアルゴンガス等の不活性ガスが同時に封入される。
以上本考案によれば、湿気吸着層を予めカバー内壁に形
成してEL発光層を気密封止することにより、簡単な構
造で大気中の湿気がEL発光層を損うのを防ぎ、耐湿性
を高めて長期間に亘って特性の安定した発光動作を行わ
せることができ、装置の信頼を高めると共にまた装置は
固体化されるために製造工程が大幅に簡略化され、生産
性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図aは従来装置の断面図、第1図すは同平面図、第
2図は従来装置の封止構造を示す断面図、第3図は本考
案による実施例の断面図である。 1ニガラス基板、2:透明電極、3:第1絶縁膜、4:
EL発光層、5:第2絶縁膜、6:背面電極、11:カ
バー、12:湿気吸着剤。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基板上にZnSを主成分とするEL層を形成した薄膜E
    Lパネルにおいて、EL層と対向する内壁側に吸湿層を
    設けてなるカバーで上pL層を気密封止してなる薄膜E
    Lパネル。
JP11754080U 1980-08-18 1980-08-18 薄膜elパネル Expired JPS6010320Y2 (ja)

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JP11754080U JPS6010320Y2 (ja) 1980-08-18 1980-08-18 薄膜elパネル

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JP11754080U JPS6010320Y2 (ja) 1980-08-18 1980-08-18 薄膜elパネル

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JPS5740291U JPS5740291U (ja) 1982-03-04
JPS6010320Y2 true JPS6010320Y2 (ja) 1985-04-09

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JP11754080U Expired JPS6010320Y2 (ja) 1980-08-18 1980-08-18 薄膜elパネル

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JPH0634363Y2 (ja) * 1989-12-26 1994-09-07 住友金属工業株式会社 製鋼設備用転炉

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JPS5740291U (ja) 1982-03-04

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