JPH05322506A - 平坦度測定ゲージ - Google Patents
平坦度測定ゲージInfo
- Publication number
- JPH05322506A JPH05322506A JP15750592A JP15750592A JPH05322506A JP H05322506 A JPH05322506 A JP H05322506A JP 15750592 A JP15750592 A JP 15750592A JP 15750592 A JP15750592 A JP 15750592A JP H05322506 A JPH05322506 A JP H05322506A
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- JP
- Japan
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- thin piece
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- measured
- parallel thin
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 平坦度を数値化して測定し、かつ測定精度を
高める。 【構成】 下面を基準面２とする基台１上に、一端を連
結した弾性体からなる少なくとも１つの平行薄片３を他
端の一方により基準面に対して垂直に立設し、かつ平行
薄片の他端の他方を基準面から所要長さで突出させた自
由端とする一方、前記基台に平行薄片の一端部の変位量
を検出する変位検出手段を設けることにより、基準面を
被測定面に当接して基台を摺動又は静止することによっ
て、平行薄片の他端の他方が被測定面の凹凸に追従して
線変位し、かつ線変位が一端部の角変位に拡大して変換
され、この一端部の変位量を変位検出手段により平坦度
として検出する。
高める。 【構成】 下面を基準面２とする基台１上に、一端を連
結した弾性体からなる少なくとも１つの平行薄片３を他
端の一方により基準面に対して垂直に立設し、かつ平行
薄片の他端の他方を基準面から所要長さで突出させた自
由端とする一方、前記基台に平行薄片の一端部の変位量
を検出する変位検出手段を設けることにより、基準面を
被測定面に当接して基台を摺動又は静止することによっ
て、平行薄片の他端の他方が被測定面の凹凸に追従して
線変位し、かつ線変位が一端部の角変位に拡大して変換
され、この一端部の変位量を変位検出手段により平坦度
として検出する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定物の表面の平坦
度を測定する平坦度測定ゲージに関する。
度を測定する平坦度測定ゲージに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、平坦度測定は、被測定物の表面に
基準となるゲージ、例えばストレートエッジを当接し、
被測定面とストレートエッジとの間にリーフ状のスキマ
ゲージを挿入できる間隔があるが否かを測定し、密着度
を確認することによって行われている。
基準となるゲージ、例えばストレートエッジを当接し、
被測定面とストレートエッジとの間にリーフ状のスキマ
ゲージを挿入できる間隔があるが否かを測定し、密着度
を確認することによって行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の平
坦度の測定では、当然の結果として、測定に用いたスキ
マゲージに対しての隙間が有るか無いかだけであり、隙
間の大きさを具体的な数値として測定することができな
かった。
坦度の測定では、当然の結果として、測定に用いたスキ
マゲージに対しての隙間が有るか無いかだけであり、隙
間の大きさを具体的な数値として測定することができな
かった。
【０００４】又、使用頻度に伴うスキマゲージの曲が
り、摩耗等の劣化による測定誤差を生じ易い問題があっ
た。
り、摩耗等の劣化による測定誤差を生じ易い問題があっ
た。
【０００５】そこで、本発明は、平坦度を数値化して測
定し得、かつ測定誤差を生じない平坦度測定ゲージの提
供を目的とする。
定し得、かつ測定誤差を生じない平坦度測定ゲージの提
供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明の平坦度測定ゲージは、下面を基準面とする
基台上に、一端を連結した弾性体からなる少なくとも１
つの平行薄片を他端の一方により基準面に対して垂直に
立設し、かつ平行薄片の他端の他方を基準面から所要長
さで突出させた自由端とする一方、前記基台に平行薄片
の一端部の変位量を検出する変位検出手段を設けたもの
である。
め、本発明の平坦度測定ゲージは、下面を基準面とする
基台上に、一端を連結した弾性体からなる少なくとも１
つの平行薄片を他端の一方により基準面に対して垂直に
立設し、かつ平行薄片の他端の他方を基準面から所要長
さで突出させた自由端とする一方、前記基台に平行薄片
の一端部の変位量を検出する変位検出手段を設けたもの
である。
【０００７】
【作用】上記手段においては、基準面を被測定面に当接
して基台を摺動又は静止することによって、平行薄片の
他端の他方が被測定面の凹凸に追従して線変位し、かつ
線変位が一端部（連結端）の角変位に拡大して変換さ
れ、この一端部の変位量が変位検出手段により被測定面
の平坦度として検出される。
して基台を摺動又は静止することによって、平行薄片の
他端の他方が被測定面の凹凸に追従して線変位し、かつ
線変位が一端部（連結端）の角変位に拡大して変換さ
れ、この一端部の変位量が変位検出手段により被測定面
の平坦度として検出される。
【０００８】平行薄片を形成する弾性体としては、プラ
スチックや鋼等のように弾性率（ヤング率）が大きく、
剛性率の小さいものが好ましい。
スチックや鋼等のように弾性率（ヤング率）が大きく、
剛性率の小さいものが好ましい。
【０００９】平行薄片の他端の他方が基準面から突出す
る長さは、被測定面に許容される凹凸の高低差に対応す
る大きさとすることが好ましい。
る長さは、被測定面に許容される凹凸の高低差に対応す
る大きさとすることが好ましい。
【００１０】変位検出手段としては、基台に立設され、
平行薄片の一端部の移動軌跡に対応する目盛を付した目
盛板が用いられ、目盛を読み取り易くするため、平行薄
片の一端部に補助針を取り付けて変位量を拡大したり、
あるいは平行薄片の一端部の上面及び／又は側面にミラ
ーを取り付けたりすることが好ましい。
平行薄片の一端部の移動軌跡に対応する目盛を付した目
盛板が用いられ、目盛を読み取り易くするため、平行薄
片の一端部に補助針を取り付けて変位量を拡大したり、
あるいは平行薄片の一端部の上面及び／又は側面にミラ
ーを取り付けたりすることが好ましい。
【００１１】又、目盛板には、凹凸の上限又は下限の確
認等を容易にするため、平行薄片の一端部に取り付けた
短絡片によって閉成され、ランプを点灯する点灯回路を
付設したり、あるいは目盛板の所要個所に取り付けた電
極と、これと対向するように平行薄片に取り付けた電極
との間に静電容量の変化を検出する静電容量検出回路を
付設することが好ましい。
認等を容易にするため、平行薄片の一端部に取り付けた
短絡片によって閉成され、ランプを点灯する点灯回路を
付設したり、あるいは目盛板の所要個所に取り付けた電
極と、これと対向するように平行薄片に取り付けた電極
との間に静電容量の変化を検出する静電容量検出回路を
付設することが好ましい。
【００１２】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図１は本発明の第１実施例の平坦度測定ゲ
ージの斜視図である。図中１は下面を基準面２とする直
方体状の基台で、この基台１上には、アクリル樹脂等の
弾性を有するプラスチックからなり、一端（図１におい
ては上端）を連結した平行薄片３が、他端（図１におい
ては下端）の一方（図１においては右方）により基準面
２に対して垂直に立設されている。平行薄片３の他端の
他方（図１において左方）は、基台１に設けた穴４を挿
通して基準面２から所要長さで突出した自由端とされて
いる。平行薄片３は、いわゆるエデン（Ｅｄｅｎ）の平
行薄片として知られているもので、自由端の材軸方向の
線変位を一端部の角変位に変換すると共に、拡大するも
のであり、その一端部には、補助針５が取り付けられて
いる。
て説明する。図１は本発明の第１実施例の平坦度測定ゲ
ージの斜視図である。図中１は下面を基準面２とする直
方体状の基台で、この基台１上には、アクリル樹脂等の
弾性を有するプラスチックからなり、一端（図１におい
ては上端）を連結した平行薄片３が、他端（図１におい
ては下端）の一方（図１においては右方）により基準面
２に対して垂直に立設されている。平行薄片３の他端の
他方（図１において左方）は、基台１に設けた穴４を挿
通して基準面２から所要長さで突出した自由端とされて
いる。平行薄片３は、いわゆるエデン（Ｅｄｅｎ）の平
行薄片として知られているもので、自由端の材軸方向の
線変位を一端部の角変位に変換すると共に、拡大するも
のであり、その一端部には、補助針５が取り付けられて
いる。
【００１３】そして、基台１上には、平行薄片３の一端
部の変位量を検出する変位検出手段として、平行薄片３
の一端部の移動軌跡に対応する目盛６を付した矩形の目
盛板７が支持柱８によって立設されている。
部の変位量を検出する変位検出手段として、平行薄片３
の一端部の移動軌跡に対応する目盛６を付した矩形の目
盛板７が支持柱８によって立設されている。
【００１４】上記構成の平坦度測定ゲージにおいては、
基準面２を図示しない被測定物の被測定面に当接し、基
台１を被測定面に沿って摺動することによって、平行薄
片３の自由端が被測定面の凹凸に追従して材軸方向へ線
変位し、かつ線変位が一端部の角変位に拡大されて変換
され、この一端部の変位量が、変位検出手段としての補
助針５と目盛６により被測定面の平坦度として検出され
る。
基準面２を図示しない被測定物の被測定面に当接し、基
台１を被測定面に沿って摺動することによって、平行薄
片３の自由端が被測定面の凹凸に追従して材軸方向へ線
変位し、かつ線変位が一端部の角変位に拡大されて変換
され、この一端部の変位量が、変位検出手段としての補
助針５と目盛６により被測定面の平坦度として検出され
る。
【００１５】ここで、図２に示すように、弾性率の高い
アクリル薄片により間隔ｄ（２ｍｍ）が一定で長さＬが
異なる平行薄片を作製し、図３に示すように、自由端の
線変位量ｘを変えた際の平行薄片の連結端の撓み量ｙ
は、表１に示すようになった。
アクリル薄片により間隔ｄ（２ｍｍ）が一定で長さＬが
異なる平行薄片を作製し、図３に示すように、自由端の
線変位量ｘを変えた際の平行薄片の連結端の撓み量ｙ
は、表１に示すようになった。
【００１６】
【表１】
【００１７】又、同様のアクリル薄片により長さＬ（５
０ｍｍ）が一定で間隔ｄが異なる平行薄片を作製し、自
由端の線変位量ｘを変えた際の平行薄片の連結端の撓み
量ｙは、表２に示すようになった。
０ｍｍ）が一定で間隔ｄが異なる平行薄片を作製し、自
由端の線変位量ｘを変えた際の平行薄片の連結端の撓み
量ｙは、表２に示すようになった。
【００１８】
【表２】
【００１９】従って、平行薄片の間隔ｄを２ｍｍ以上、
長さＬを５０ｍｍ以上とすることによって、線変位量
０．０１〜１．００ｍｍ、すなわち被測定面の凹凸の高
低差０．０１〜１．００ｍｍに対応し得ることがわか
る。
長さＬを５０ｍｍ以上とすることによって、線変位量
０．０１〜１．００ｍｍ、すなわち被測定面の凹凸の高
低差０．０１〜１．００ｍｍに対応し得ることがわか
る。
【００２０】図４は本発明の第２実施例の平坦度測定ゲ
ージの要部の斜視図である。この平坦度測定ゲージは、
目盛板７の目盛６の読み取りを容易にするため、補助針
５の代わりに、平行薄片３の一端部の上面及び側面にミ
ラー９、１０をそれぞれ貼付したものである。
ージの要部の斜視図である。この平坦度測定ゲージは、
目盛板７の目盛６の読み取りを容易にするため、補助針
５の代わりに、平行薄片３の一端部の上面及び側面にミ
ラー９、１０をそれぞれ貼付したものである。
【００２１】他の構成及び作用効果は、図１のものと同
様であるので、同一の構成部材等には同一の符号を付し
てその説明を省略する。
様であるので、同一の構成部材等には同一の符号を付し
てその説明を省略する。
【００２２】図５は本発明の第３実施例の平坦度測定ゲ
ージの要部の斜視図である。この平坦度測定ゲージは、
被測定面の凹凸の上限又は下限の確認や零点調整等を容
易にするため、目盛板７にランプ１１を点灯可能とする
点灯回路１２を付設する一方、この点灯回路１２を閉成
可能とする短絡片１３を平行薄片３の一端部に適宜に取
り付けたものである。
ージの要部の斜視図である。この平坦度測定ゲージは、
被測定面の凹凸の上限又は下限の確認や零点調整等を容
易にするため、目盛板７にランプ１１を点灯可能とする
点灯回路１２を付設する一方、この点灯回路１２を閉成
可能とする短絡片１３を平行薄片３の一端部に適宜に取
り付けたものである。
【００２３】他の構成及び作用効果は、図１のものと同
様であるので、同一の構成部材等には同一の符号を付し
てその説明を省略する。
様であるので、同一の構成部材等には同一の符号を付し
てその説明を省略する。
【００２４】図６は本発明の第４実施例の平坦度測定ゲ
ージの要部の斜視図である。この平坦度測定ゲージは、
被測定面の凹凸の上限又は下限の確認等を容易にするた
め、図５の点灯回路１２等の代わりに、目盛板７の所要
個所に取り付けた電極１４と、これと対向するように平
行薄片３の一端部に取り付けた電極１５との間の静電容
量の変化を検出する静電容量検出回路１６を付設し、無
接触で検出可能としたものである。
ージの要部の斜視図である。この平坦度測定ゲージは、
被測定面の凹凸の上限又は下限の確認等を容易にするた
め、図５の点灯回路１２等の代わりに、目盛板７の所要
個所に取り付けた電極１４と、これと対向するように平
行薄片３の一端部に取り付けた電極１５との間の静電容
量の変化を検出する静電容量検出回路１６を付設し、無
接触で検出可能としたものである。
【００２５】他の構成及び作用効果は、図１のものと同
様であるので同一の構成部材等には同一の符号を付して
その説明を省略する。
様であるので同一の構成部材等には同一の符号を付して
その説明を省略する。
【００２６】なお、上述した各実施例においては、基台
１上に平行薄片３を１つ立設する場合について説明した
が、これに限定されるものではなく、２つ以上の平行薄
片３を基台１上に立設するようにしてもよい。この場
合、各平行薄片３は、同一方向に変位するようにする。
１上に平行薄片３を１つ立設する場合について説明した
が、これに限定されるものではなく、２つ以上の平行薄
片３を基台１上に立設するようにしてもよい。この場
合、各平行薄片３は、同一方向に変位するようにする。
【００２７】又、変位検出手段としての目盛板７は、支
持柱８に固定して取り付ける場合に限らず、目盛６の曲
率中心を中心として回転可能に設けるようにしてもよ
い。このようにすることにより、零点の調節が容易とな
る等の効果がある。
持柱８に固定して取り付ける場合に限らず、目盛６の曲
率中心を中心として回転可能に設けるようにしてもよ
い。このようにすることにより、零点の調節が容易とな
る等の効果がある。
【００２８】
【考案の効果】以上説明したように、本発明の平坦度測
定ゲージによれば、基準面を被測定面に当接して基台を
摺動又は静止することによって、平行薄片の他端の他方
が被測定面の凹凸に追従して線変位し、かつ線変位が一
端部の角変位に拡大して変換され、この一端部の変位量
が変位検出手段により被測定面の平坦度として検出され
るので、従来のスキマゲージの挿入による場合のように
所定の隙間が有るか無いかの測定ではなく、被測定面の
平坦度を数値化して測定することができ、かつ測定誤差
を生じにくくなる効果がある。
定ゲージによれば、基準面を被測定面に当接して基台を
摺動又は静止することによって、平行薄片の他端の他方
が被測定面の凹凸に追従して線変位し、かつ線変位が一
端部の角変位に拡大して変換され、この一端部の変位量
が変位検出手段により被測定面の平坦度として検出され
るので、従来のスキマゲージの挿入による場合のように
所定の隙間が有るか無いかの測定ではなく、被測定面の
平坦度を数値化して測定することができ、かつ測定誤差
を生じにくくなる効果がある。
【図１】本発明の第１実施例の平坦度測定ゲージの斜視
図である。
図である。
【図２】図１の平坦度測定ゲージの作用を表わす概略説
明図である。
明図である。
【図３】図１の平坦度測定ゲージの作用を表わす概略説
明図である。
明図である。
【図４】本発明の第２実施例の平坦度測定ゲージの要部
の斜視図である。
の斜視図である。
【図５】本発明の第３実施例の平坦度測定ゲージの要部
の斜視図である。
の斜視図である。
【図６】本発明の第４実施例の平坦度測定ゲージの要部
の斜視図である。
の斜視図である。
１ 基台 ２ 基準面 ３ 平行薄片 ６ 目盛 ７ 目盛板
Claims (1)
- 【請求項１】 下面を基準面とする基台上に、一端を連
結した弾性体からなる少なくとも１つの平行薄片を他端
の一方により基準面に対して垂直に立設し、かつ平行薄
片の他端の他方を基準面から所要長さで突出させた自由
端とする一方、前記基台に平行薄片の一端部の変位量を
検出する変位検出手段を設けたことを特徴とする平坦度
測定ゲージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15750592A JPH05322506A (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 平坦度測定ゲージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15750592A JPH05322506A (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 平坦度測定ゲージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05322506A true JPH05322506A (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=15651155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15750592A Pending JPH05322506A (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 平坦度測定ゲージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05322506A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007114106A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Mitsutoyo Corp | 変位センサおよび表面性状測定装置 |
| CN113959307A (zh) * | 2021-09-10 | 2022-01-21 | 江苏大学 | 一种基于包络线的平行度检具及其检测方法 |
-
1992
- 1992-05-25 JP JP15750592A patent/JPH05322506A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007114106A (ja) * | 2005-10-21 | 2007-05-10 | Mitsutoyo Corp | 変位センサおよび表面性状測定装置 |
| CN113959307A (zh) * | 2021-09-10 | 2022-01-21 | 江苏大学 | 一种基于包络线的平行度检具及其检测方法 |
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