JPH0531248U - 樹脂封止型電力半導体装置 - Google Patents

樹脂封止型電力半導体装置

Info

Publication number
JPH0531248U
JPH0531248U JP078608U JP7860891U JPH0531248U JP H0531248 U JPH0531248 U JP H0531248U JP 078608 U JP078608 U JP 078608U JP 7860891 U JP7860891 U JP 7860891U JP H0531248 U JPH0531248 U JP H0531248U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
power semiconductor
semiconductor device
resin
outer frame
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP078608U
Other languages
English (en)
Inventor
篤雄 小西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP078608U priority Critical patent/JPH0531248U/ja
Publication of JPH0531248U publication Critical patent/JPH0531248U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32225Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors

Abstract

(57)【要約】 【目的】 樹脂封止型電力半導体装置の放熱性、強度の
向上と製造工程の簡略化を図る。 【構成】 外枠ケース及び放熱板を、深しぼり加工(A
部)を施し、さらにつば部分に折り曲げ加工(B部)を
施した一枚の金属板からなる一体構造としてなることを
特徴とする。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は電力半導体装置に関し、更に詳しくは放熱板及び外枠ケースを一体化 した電力半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の技術について、図4及び図5を参照して説明する。図4は従来例による 樹脂封止型の電力半導体装置(以下、単に電力半導体装置と記す)の縦断面図、 図5は同じく放熱フィンを取り付けた電力半導体装置の側面図である。
【0003】 従来の電力半導体装置は、図4に示すように、セラミック基板1上のマウント に電力半導体素子2をハンダ3によって接合、搭載し、アルミワイヤーリード線 4でパターン配線を行う。次に外部入出力端子5を、セラミック基板1上のマウ ントにハンダ付け接合を行う。次に、上記作業完品を、金属放熱板6に搭載し、 次に上部の開口した外枠ケース7を、セットし、周辺部を囲む。その後外枠ケー ス上部開口部より電力半導体素子2を保護するための、シリコンゲル8を注入、 熱硬化させ、最後に半導体装置内部を外気より遮断するためにエポキシ樹脂9を 注入、熱硬化させる。
【0004】 この後金属放熱板6の下部に空冷用放熱フィン10を配置し、両者をビスどめ 穴11を介してビス12によりビス留めする。
【0005】 以上の様にして図5に示すような電力半導体装置が得られる。
【0006】
【考案が解決しようとする課題】
ところで、従来の半導体装置の外枠ケース材料には、PET(ポリエチレン・ テレフタレート樹脂)PBT(ポリエチレン・テレフタレート樹脂)、PPS( ポリフェニレン・サルファイド樹脂)、等の高耐熱性のものが使用されているが 、なお充分な耐熱性が、確保されておらず、生産工程での細かな温度管理が必要 であった。
【0007】 又、外枠ケース接着工程が、他の工程(電力半導体素子2とセラミック基板1 との接合工程、セラミック基板1と放熱板との接合工程、等)と耐熱性の関係上 同一工程で出来ない、もしくは、やりにくいといった問題があった。
【0008】 さらに、樹脂を使用した外枠ケースはその物理的強度に問題があり電力半導体 素子2動作時の発熱による膨張、収縮により、破断することもある。
【0009】 また、電力半導体素子2の動作時に発生する熱の放熱は、放熱板のみからしか 行なわれず、後ずけで、前述したような大型の空冷用放熱フィン10の取付けが 必要であった。
【0010】 そこで本考案の目的は、外枠ケース部が高耐熱性と高い物理的強度を有し、ま た優れた放熱性を有する電力半導体装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために本考案は、外枠ケースの下部に放熱板を設けた樹脂 封止型電力半導体装置において、前記外枠ケース及び前記放熱板を、深しぼり加 工を施した金属板からなる一体構造としてなることを特徴とする。
【0012】
【作用】
外枠ケース及び放熱板を、深しぼり加工を施した金属板からなる一体構造とし ているので、放熱板面積が拡大されることになり、従来より放熱性を格段に向上 でき、電力損失の大幅な減少を図れ、また放熱フィンが不要となる。また、放熱 フィンを後付けする場合でも放熱フィンの形状を小型化できる。
【0013】 さらに、全体の強度を向上できるとともに、電力半導体装置内部の熱分布を均 一化できるので電力半導体装置への熱応力及び機械的な歪みを低減でき信頼性を 向上できる。
【0014】 しかも外枠ケース部が金属であることから、従来の樹脂材を使用した際のよう な生産工程での細かな温度管理が必要でなくなった。
【0015】 また従来のような外枠ケース取り付け工程が削除できるので製造工程の簡略化 、コストダウンを図れる。
【0016】
【実施例】
本考案の一実施例について、図1乃至図3を参照して説明する。
【0017】 図1(a)及び(b)は本実施例による樹脂封止型電力半導体装置(以下、単 に電力半導体装置と記す)の放熱板一体型金属外枠ケースの加工工程図(部分断 面図)、図2は同じく電力半導体装置の縦断面図、図3は同じく電力半導体装置 の側面図である。
【0018】 なお、図4及び図5に示す従来例と同一機能部分には同一記号を付している。 図1(a)に示すように、まず、厚みが1mm前後の金属放熱板(アルミ板に ニッケルメッキ品、銅板、etc)に深絞り加工を行い(A部)、次に、図1( b)のごとく深絞り品つば部(B部)を再度折り返し曲げ加工を行い、本考案の 放熱板一体型金属外枠ケース13を得る。
【0019】 なお、図1(a)及び(b)は部分断面図であり、全体としては、上部が開口 した筺体が形成されるように加工する。
【0020】 次に、図2に示すようにセラミック基板1のマウントへ電力半導体素子2を半 田3で金属接合を行い、次に電力半導体素子2の内部電極を入出力するためにア ルミワイヤーリード線4でセラミック基板1の回路パターン上にワイヤーボンド を行う。次にセラミック基板1上の電極を、外部に入出力をおこなうために、タ ブ端子5を半田3で金属接合を行う。次に上記工程完品を、図1(b)に示す放 熱板一体型金属外枠ケース13の上部開口部より挿入、半田3にて半田付け固定 する。次に電力半導体素子2の表面保護及び、アルミワイヤーリード線4、セラ ミック基板1上の電極の腐食防止の為に、シリコーンゲル剤8を、注入、熱硬化 を行う。
【0021】 そして最後に電力半導体装置の内部と外部とを、遮断するためにエポキシ樹脂 9を、注入、熱硬化をおこなうために行い、本実施例の電力半導体装置を得る。 以上のように、本実施例の電力半導体装置においては、金属放熱板と外枠ケー スとを一体化構造にすることにより、放熱板面積が拡大されるため、ケース内部 の電力半導体素子2の動作時に発生する熱をより効率的に、放熱することが可能 となり、電力半導体素子動作時の電力損失を、減少させることが可能となる。
【0022】 又、先に述べているように放熱板面積が拡大されているため、半導体装置に後 付けされる空冷用放熱フィン10の小型設計が可能となるか若しくは、不要とな る。
【0023】 さらに、半導体装置の上部開口部以外が金属で構成されているため、全体の強 度アップがはかれるほか、半導体装置内部の熱分布が従来の樹脂を使用した外枠 品に比べ格段均一化され、熱応力により、電力半導体素子2に加わる歪みは、従 来の1/2以下に低減され、より信頼性の向上がはかれる。
【0024】 しかも、外枠ケース材利用にPET,PBT,PPS等の樹脂材を使用せず、 金属材料になったため、生産工程での細かな温度管理が必要でなくなった。また 従来不可能であった電力半導体素子2とセラミック基板1、セラミック基板1と タブ端子5、セラミック基板1と外枠ケース、外枠ケースと放熱板との接着工程 が、本実施例の放熱板一体型金属外枠ケース13を、使うことにより同一作業工 程で処理が可能となり製造工程の簡素化が、はかれる上、外枠ケース取り付け工 程を削除できるなど、製造工程の簡素化、並びにコスト低減が図れる。
【0025】 図3は本考案の電力半導体装置において、より放熱を必要とした場合に空冷用 放熱フィン14を取り付けた状態を示す側面図である。
【0026】 この場合、図5に示す従来例の空冷用放熱フィン10よりも小型、薄型の空冷 用放熱フィン14で充分な放熱性を確保できる。
【0027】
【考案の効果】
以上説明したように本考案によれば、放熱板と外枠ケースとが金属板による一 体化構造となっているので、放熱板の放熱面積が拡大され、効率的な放熱ができ 電力損失の大幅な低減を図れる。
【0028】 また、従来不可欠であった空冷用放熱フィンが不要となるか、小型化が図れる 。
【0029】 さらに、半導体装置全体の強度アップを図れ、電力半導体素子に加わる歪みを 低減でき高信頼性が得られる。
【0030】 しかも、製造工程を簡略化できるのでコストダウンもできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)及び(b)は本考案の一実施例による樹
脂封止型電力半導体装置の放熱板一体型金属外枠ケース
の加工工程図である。
【図2】本考案の一実施例による樹脂封止型電力半導体
装置の縦断面図である。
【図3】本考案の他の実施例による樹脂封止型電力半導
体装置の側面図である。
【図4】従来例による樹脂封止型電力半導体装置の縦断
面図である。
【図5】従来例による樹脂封止型電力半導体装置の側面
図である。
【符号の説明】
13 外枠ケース(放熱板と一体) A 深しぼり部

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 外枠ケースの下部に放熱板を設けた樹脂
    封止型電力半導体装置において、 前記外枠ケース及び前記放熱板を、深しぼり加工を施し
    た金属板からなる一体構造としてなることを特徴とする
    樹脂封止型電力半導体装置。
JP078608U 1991-09-30 1991-09-30 樹脂封止型電力半導体装置 Pending JPH0531248U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP078608U JPH0531248U (ja) 1991-09-30 1991-09-30 樹脂封止型電力半導体装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP078608U JPH0531248U (ja) 1991-09-30 1991-09-30 樹脂封止型電力半導体装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0531248U true JPH0531248U (ja) 1993-04-23

Family

ID=13666600

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP078608U Pending JPH0531248U (ja) 1991-09-30 1991-09-30 樹脂封止型電力半導体装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0531248U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2015198411A1 (ja) * 2014-06-25 2017-04-20 株式会社日立製作所 パワーモジュール装置、電力変換装置およびパワーモジュール装置の製造方法
JPWO2015194023A1 (ja) * 2014-06-20 2017-04-20 株式会社日立製作所 パワーモジュール装置及び電力変換装置
JP2019009292A (ja) * 2017-06-26 2019-01-17 新光電気工業株式会社 放熱板及びその製造方法と電子部品装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2015194023A1 (ja) * 2014-06-20 2017-04-20 株式会社日立製作所 パワーモジュール装置及び電力変換装置
JPWO2015198411A1 (ja) * 2014-06-25 2017-04-20 株式会社日立製作所 パワーモジュール装置、電力変換装置およびパワーモジュール装置の製造方法
US10064310B2 (en) 2014-06-25 2018-08-28 Hitachi, Ltd. Power-module device, power conversion device, and method for manufacturing power-module device
JP2019009292A (ja) * 2017-06-26 2019-01-17 新光電気工業株式会社 放熱板及びその製造方法と電子部品装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5594234A (en) Downset exposed die mount pad leadframe and package
JP6065973B2 (ja) 半導体モジュール
JPH04291948A (ja) 半導体装置及びその製造方法及び放熱フィン
JP2982126B2 (ja) 半導体装置およびその製造方法
KR102172689B1 (ko) 반도체 패키지 및 그 제조방법
JPH0531248U (ja) 樹脂封止型電力半導体装置
JPS61144855A (ja) 半導体回路のためのパツケージ
JP2012074425A (ja) パワーモジュール
JP2001118961A (ja) 樹脂封止型電力用半導体装置及びその製造方法
JPH0773122B2 (ja) 封止型半導体装置
JPH0922970A (ja) 電子部品
JP2005327791A (ja) 半導体装置およびその実装構造
JPH09213847A (ja) 半導体集積回路装置及びこの製造方法並びにそれを用いた電子装置
JPS6329413B2 (ja)
JPH06125024A (ja) 半導体装置及びその冷却方法
JPH10313081A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP3013612B2 (ja) 半導体装置
JP2765242B2 (ja) 集積回路装置
KR100202676B1 (ko) 열방출용 버텀 리드 패키지
JP2878846B2 (ja) パッケージ
US6979900B2 (en) Integrated circuit package with integral leadframe convector and method therefor
JP2968704B2 (ja) 半導体装置
JPH1187576A (ja) 基 板
JPH0831986A (ja) 放熱板付半導体装置
JP2003007967A (ja) 半導体装置およびその製造方法並びに実装構造体