JPH05300517A - 画像処理方法 - Google Patents
画像処理方法Info
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- JPH05300517A JPH05300517A JP4125609A JP12560992A JPH05300517A JP H05300517 A JPH05300517 A JP H05300517A JP 4125609 A JP4125609 A JP 4125609A JP 12560992 A JP12560992 A JP 12560992A JP H05300517 A JPH05300517 A JP H05300517A
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 40
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 18
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 8
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/05—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
- H01L2224/0554—External layer
- H01L2224/0555—Shape
- H01L2224/05552—Shape in top view
- H01L2224/05554—Shape in top view being square
Landscapes
- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検出物に異物が含まれていたり、撮像手段
が撮像した画像が不鮮明であっても、検出率や検出信頼
性の低下を防止する。 【構成】 撮像カメラが取り込んだ画像を多値化処理す
るにあたり、多値化処理するときに用いる濃淡値と階調
との変換率を一様とせず、リードフレームからの濃淡域
Ａ−Ｂとペーストからの濃淡域Ｃ−Ｄにおいては、その
濃淡値の変化にかかわらずに同一階調値ａに設定し、そ
の他の濃淡域における濃淡値に対しては同一の傾きを有
する変換率とする。これにより画像処理時、ペースト部
分はリードフレーム部分と同一視される。
が撮像した画像が不鮮明であっても、検出率や検出信頼
性の低下を防止する。 【構成】 撮像カメラが取り込んだ画像を多値化処理す
るにあたり、多値化処理するときに用いる濃淡値と階調
との変換率を一様とせず、リードフレームからの濃淡域
Ａ−Ｂとペーストからの濃淡域Ｃ−Ｄにおいては、その
濃淡値の変化にかかわらずに同一階調値ａに設定し、そ
の他の濃淡域における濃淡値に対しては同一の傾きを有
する変換率とする。これにより画像処理時、ペースト部
分はリードフレーム部分と同一視される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被検出物を撮像手段に
て撮像し、得られた画像を処理する画像処理方法に関す
る。
て撮像し、得られた画像を処理する画像処理方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】例えばワイヤボンディング技術において
は、ボンディング動作に先立ち、ボンディング位置に位
置付けられた半導体ペレットにおける電極の画像を撮像
カメラにより取り込み、電極におけるボンディング点の
実際の位置と正規の位置とのずれ状態をパターン検出技
術を用いて求めるようにしている。
は、ボンディング動作に先立ち、ボンディング位置に位
置付けられた半導体ペレットにおける電極の画像を撮像
カメラにより取り込み、電極におけるボンディング点の
実際の位置と正規の位置とのずれ状態をパターン検出技
術を用いて求めるようにしている。
【０００３】このパターン検出には、撮像手段が取り込
んだ画像を所定レベルをしきい値として２値化処理し、
この２値化画像を基準パターンと比較する方法や、撮像
手段が取り込んだ画像を、例えば図８に示すような一定
の傾きを有する濃淡値−階調変換率に基づいて多値化
し、この多値化画像を基準パターンと比較する方法など
が公知である。そして２値化画像を用いるものにおいて
は、処理は比較的簡易な回路構成により行なえるもの
の、多値化画像を用いるものより検出精度が低いという
欠点を有する。そこで検出精度を向上させるため、後者
の多値化画像を用いるものが使用されるようになってき
ている。
んだ画像を所定レベルをしきい値として２値化処理し、
この２値化画像を基準パターンと比較する方法や、撮像
手段が取り込んだ画像を、例えば図８に示すような一定
の傾きを有する濃淡値−階調変換率に基づいて多値化
し、この多値化画像を基準パターンと比較する方法など
が公知である。そして２値化画像を用いるものにおいて
は、処理は比較的簡易な回路構成により行なえるもの
の、多値化画像を用いるものより検出精度が低いという
欠点を有する。そこで検出精度を向上させるため、後者
の多値化画像を用いるものが使用されるようになってき
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで多値化画像を
用いるものは精度の高い検出が行なえるものの、次のよ
うな欠点を有していた。すなわち、図７は撮像手段が撮
像しようとするパターンの一例の電極近辺の平面図であ
り、１はリードフレーム、２は半導体ペレット、３は電
極、４は回路パターンを示しているが、ここで５で示す
ようなキズや、６で示すようなペレットボンディング時
に塗布されたペーストなどの異物が不規則な分布状態で
存在していた場合、同様な電極近辺を順次撮像したにも
かかわらず、撮像した各画像内における濃淡値が異物の
存在状態に応じて変化するため、検出率や検出信頼性の
低下につながるということである。
用いるものは精度の高い検出が行なえるものの、次のよ
うな欠点を有していた。すなわち、図７は撮像手段が撮
像しようとするパターンの一例の電極近辺の平面図であ
り、１はリードフレーム、２は半導体ペレット、３は電
極、４は回路パターンを示しているが、ここで５で示す
ようなキズや、６で示すようなペレットボンディング時
に塗布されたペーストなどの異物が不規則な分布状態で
存在していた場合、同様な電極近辺を順次撮像したにも
かかわらず、撮像した各画像内における濃淡値が異物の
存在状態に応じて変化するため、検出率や検出信頼性の
低下につながるということである。
【０００５】また撮像して画像の濃淡値存在範囲が狭い
場合や画像自体が暗すぎたり明るすぎる場合などの不鮮
明画像であった場合にも、パターン検出を行なうことが
非常に困難となる。
場合や画像自体が暗すぎたり明るすぎる場合などの不鮮
明画像であった場合にも、パターン検出を行なうことが
非常に困難となる。
【０００６】本発明は、被検出物に異物が不規則に含ま
れていたり、撮像手段が撮像した画像が不鮮明の場合に
おいても、正確にパターン検出が行なえる、画像処理方
法を提供することを目的とする。
れていたり、撮像手段が撮像した画像が不鮮明の場合に
おいても、正確にパターン検出が行なえる、画像処理方
法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明においては、被検出物を撮像手段にて撮像し、得
られた画像の画素毎にその濃淡値−階調変換率に基づい
て画像処理を行なう画像処理方法において、前記濃淡値
−階調変換率における所定範囲の濃淡値に対する階調へ
の変換率を所定範囲外の変換率とは異ならせたことを特
徴とする。
本発明においては、被検出物を撮像手段にて撮像し、得
られた画像の画素毎にその濃淡値−階調変換率に基づい
て画像処理を行なう画像処理方法において、前記濃淡値
−階調変換率における所定範囲の濃淡値に対する階調へ
の変換率を所定範囲外の変換率とは異ならせたことを特
徴とする。
【０００８】
【作用】本発明によれば、撮像手段が撮像し、得られた
画像の各画素は、その濃淡値に応じて一定の変換率で階
調変換されるのではなく、所定範囲の濃淡値に対しては
他の範囲と異なる変換率にて階調変換処理されることと
なる。
画像の各画素は、その濃淡値に応じて一定の変換率で階
調変換されるのではなく、所定範囲の濃淡値に対しては
他の範囲と異なる変換率にて階調変換処理されることと
なる。
【０００９】
【実施例】以下本発明の実施例について図面を参照して
説明する。図１は本発明を備えたパターン検出装置の一
構成図、図２は図７に示すパターンの多値化画像におけ
る画素毎の濃淡値と出現頻度のヒストグラム、図３は図
７におけるペースト６とリードフレーム１の部分からの
濃淡値と出現頻度のヒストグラム、図４は本発明の第１
の実施例の濃淡値−階調変換率を示すグラフ、図５は濃
淡値存在領域が狭い場合の濃淡値と出現頻度のヒストグ
ラム、図６は本発明の第２の実施例の濃淡値−階調変換
率を示すグラフである。
説明する。図１は本発明を備えたパターン検出装置の一
構成図、図２は図７に示すパターンの多値化画像におけ
る画素毎の濃淡値と出現頻度のヒストグラム、図３は図
７におけるペースト６とリードフレーム１の部分からの
濃淡値と出現頻度のヒストグラム、図４は本発明の第１
の実施例の濃淡値−階調変換率を示すグラフ、図５は濃
淡値存在領域が狭い場合の濃淡値と出現頻度のヒストグ
ラム、図６は本発明の第２の実施例の濃淡値−階調変換
率を示すグラフである。
【００１０】まず図１に示したパターン検出装置１０
は、撮像カメラ１１と、画像処理部１２とを有する。撮
像カメラ１１は、ボンディング位置に位置付けられた半
導体ペレット２の画像を取り込むものである。画像処理
部１２は、撮像カメラ１１による取り込み画像を画素毎
にその濃淡値に基づいて多値化するＡ／Ｄ変換器１３、
このＡ／Ｄ変換器１３による多値化処理に用いる濃淡値
−階調変換率を記憶する変換テーブル１４、Ａ／Ｄ変換
器１３により処理された多値化画像を記憶する画像用メ
モリ１５、基準パターンを記憶する基準パターン用メモ
リ１６、この基準パターン用メモリ１６に記憶されてい
る基準パターンと画像用メモリ１５に記憶された多値化
画像をパターンマッチング技術を用いて比較する比較器
１７、これらを制御する制御部１８を有する。
は、撮像カメラ１１と、画像処理部１２とを有する。撮
像カメラ１１は、ボンディング位置に位置付けられた半
導体ペレット２の画像を取り込むものである。画像処理
部１２は、撮像カメラ１１による取り込み画像を画素毎
にその濃淡値に基づいて多値化するＡ／Ｄ変換器１３、
このＡ／Ｄ変換器１３による多値化処理に用いる濃淡値
−階調変換率を記憶する変換テーブル１４、Ａ／Ｄ変換
器１３により処理された多値化画像を記憶する画像用メ
モリ１５、基準パターンを記憶する基準パターン用メモ
リ１６、この基準パターン用メモリ１６に記憶されてい
る基準パターンと画像用メモリ１５に記憶された多値化
画像をパターンマッチング技術を用いて比較する比較器
１７、これらを制御する制御部１８を有する。
【００１１】そこでこのパターン検出装置１０において
は、ボンディング位置に位置付けられた半導体ペレット
２の画像を撮像カメラ１１が取り込むと、取り込んだ画
像は画像処理部１２に送られる。そこでこの画像は、ま
ず画像処理部１２のＡ／Ｄ変換器１３により、変換テー
ブル１４に記憶されている濃淡値−階調変換率に基づき
画素毎に多値化され、多値化処理後の画像が画像用メモ
リ１５に記憶される。次に比較器１７によって、この画
像用メモリ１５に記憶された多値化画像と基準パターン
用メモリ１６に予め記憶されている基準パターンとがパ
ターンマッチング技術を用いて比較され、ここで例えば
電極３の基準位置に対する実位置の位置ずれ量が検出さ
れる。なお基準パターン用メモリ１６に記憶されている
基準パターンは、上記の半導体ペレット２の画像が多値
化画像に変換されて画像用メモリ１５に記憶されると同
様にして、予め撮像カメラ１１により取り込んだ基準画
像を変換テーブル１４に記憶されている濃淡値−階調変
換率に基づき画素毎に多値化されたものである。
は、ボンディング位置に位置付けられた半導体ペレット
２の画像を撮像カメラ１１が取り込むと、取り込んだ画
像は画像処理部１２に送られる。そこでこの画像は、ま
ず画像処理部１２のＡ／Ｄ変換器１３により、変換テー
ブル１４に記憶されている濃淡値−階調変換率に基づき
画素毎に多値化され、多値化処理後の画像が画像用メモ
リ１５に記憶される。次に比較器１７によって、この画
像用メモリ１５に記憶された多値化画像と基準パターン
用メモリ１６に予め記憶されている基準パターンとがパ
ターンマッチング技術を用いて比較され、ここで例えば
電極３の基準位置に対する実位置の位置ずれ量が検出さ
れる。なお基準パターン用メモリ１６に記憶されている
基準パターンは、上記の半導体ペレット２の画像が多値
化画像に変換されて画像用メモリ１５に記憶されると同
様にして、予め撮像カメラ１１により取り込んだ基準画
像を変換テーブル１４に記憶されている濃淡値−階調変
換率に基づき画素毎に多値化されたものである。
【００１２】さてパターン検出装置１０において検出さ
れた位置ずれ量は、ボンディング装置が備える不図示の
制御部に送られる。そしてこの制御部においては、この
位置ずれ量を用いて実際のボンディング点座標を補正演
算して求め、求めたボンディング点座標に基づいて、ワ
イヤボンディング動作が行なわれることとなる。
れた位置ずれ量は、ボンディング装置が備える不図示の
制御部に送られる。そしてこの制御部においては、この
位置ずれ量を用いて実際のボンディング点座標を補正演
算して求め、求めたボンディング点座標に基づいて、ワ
イヤボンディング動作が行なわれることとなる。
【００１３】ここで、変換テーブル１４に設定される濃
淡値−階調変換率について詳説する。
淡値−階調変換率について詳説する。
【００１４】まず第１の実施例として、図７を用いて既
に説明したように、撮像カメラ１１によって撮像される
電極近辺に、異物として前工程で塗布されたペースト６
が含まれる可能性のある場合について説明する。この場
合、撮像カメラ１１が取り込んだ画像の各画素毎にその
濃淡値を検出し、各濃淡値に対する出現頻度を調べ、ヒ
ストグラム処理を施す。図２はこのヒストグラムを示
し、横軸に濃淡値、縦軸に出現頻度をとってあり、図例
では大きく５つの山が形成される。このヒストグラム処
理後、撮像カメラ１１が取り込んだ画像におけるペース
ト６の部分並びにリードフレーム１の部分にウインド１
９を設定し、同様なヒストグラム処理を施す。なおウイ
ンドの位置設定は、オペレータが行なうようにしてい
る。図３はこのようにして得られたヒストグラムを示
す。ここで例えばペースト６が半田からなる場合、この
部分からの反射光量は、リードフレーム１の部分からの
より多いため、図３においては、リードフレーム１の部
分の濃淡域は区域Ａ−Ｂに存在し、ペースト６の部分の
濃淡域は区域Ｃ−Ｄに存在することがわかる。そこで濃
淡値−階調変換率を図４のように設定する。すなわち図
４に示す濃淡値−階調変換率においては、図８に示した
ものに対して、横軸の濃淡値における区域Ａ−Ｂと区域
Ｃ−Ｄにおいては、その濃淡値の変化にかかわらずに同
一階調値ａに設定し、その他の濃淡域における濃淡値に
対しては同一の傾きを有する変換率に設定する。
に説明したように、撮像カメラ１１によって撮像される
電極近辺に、異物として前工程で塗布されたペースト６
が含まれる可能性のある場合について説明する。この場
合、撮像カメラ１１が取り込んだ画像の各画素毎にその
濃淡値を検出し、各濃淡値に対する出現頻度を調べ、ヒ
ストグラム処理を施す。図２はこのヒストグラムを示
し、横軸に濃淡値、縦軸に出現頻度をとってあり、図例
では大きく５つの山が形成される。このヒストグラム処
理後、撮像カメラ１１が取り込んだ画像におけるペース
ト６の部分並びにリードフレーム１の部分にウインド１
９を設定し、同様なヒストグラム処理を施す。なおウイ
ンドの位置設定は、オペレータが行なうようにしてい
る。図３はこのようにして得られたヒストグラムを示
す。ここで例えばペースト６が半田からなる場合、この
部分からの反射光量は、リードフレーム１の部分からの
より多いため、図３においては、リードフレーム１の部
分の濃淡域は区域Ａ−Ｂに存在し、ペースト６の部分の
濃淡域は区域Ｃ−Ｄに存在することがわかる。そこで濃
淡値−階調変換率を図４のように設定する。すなわち図
４に示す濃淡値−階調変換率においては、図８に示した
ものに対して、横軸の濃淡値における区域Ａ−Ｂと区域
Ｃ−Ｄにおいては、その濃淡値の変化にかかわらずに同
一階調値ａに設定し、その他の濃淡域における濃淡値に
対しては同一の傾きを有する変換率に設定する。
【００１５】従ってこの第１の実施例においては、撮像
カメラ１１によって撮像され処理される画像内にペース
ト６の画像が含まれる可能性のある場合においても、多
値化処理される際、ペースト６部分とリードフレーム１
部分からの濃淡値は、一律に同一階調値ａに変換され
る。このため画像処理時、ペースト６の部分はリードフ
レーム１の部分と同一視されることとなり、従って検出
率や検出信頼性の低下を防止することができる。
カメラ１１によって撮像され処理される画像内にペース
ト６の画像が含まれる可能性のある場合においても、多
値化処理される際、ペースト６部分とリードフレーム１
部分からの濃淡値は、一律に同一階調値ａに変換され
る。このため画像処理時、ペースト６の部分はリードフ
レーム１の部分と同一視されることとなり、従って検出
率や検出信頼性の低下を防止することができる。
【００１６】なお撮像カメラ１１によって撮像された画
像内にキズ５の画像が含まれる場合においても、上記と
同様な手順で処理できることは理解できよう。
像内にキズ５の画像が含まれる場合においても、上記と
同様な手順で処理できることは理解できよう。
【００１７】次に、変換テーブル１４に設定される濃淡
値−階調変換率についての第２の実施例として、検出し
ようとする画像の濃淡値存在領域が狭い場合について詳
説する。
値−階調変換率についての第２の実施例として、検出し
ようとする画像の濃淡値存在領域が狭い場合について詳
説する。
【００１８】これは、撮像カメラ１１が取り込んだ画像
の各画素毎にその濃淡値を検出してヒストグラム処理を
施したときに、図５の区域Ｅ−Ｆで示されるように、全
体の濃淡域が狭いものとなる場合である。そこでこの場
合は、図６に示すように区域Ｅ−Ｆにおける濃淡値−階
調変換率の傾き（レンジ）を拡大し、この区域における
変換率を高くしたものを変換テーブル１４に設定してお
く。これにより、わずかな濃淡値差であっても、大きな
階調差となって変換されることとなる。
の各画素毎にその濃淡値を検出してヒストグラム処理を
施したときに、図５の区域Ｅ−Ｆで示されるように、全
体の濃淡域が狭いものとなる場合である。そこでこの場
合は、図６に示すように区域Ｅ−Ｆにおける濃淡値−階
調変換率の傾き（レンジ）を拡大し、この区域における
変換率を高くしたものを変換テーブル１４に設定してお
く。これにより、わずかな濃淡値差であっても、大きな
階調差となって変換されることとなる。
【００１９】また、検出しようとする画像が暗すぎたり
明るすぎる場合、すなわち濃淡値存在領域が濃淡値の最
低値や最大値に近い領域に存在した場合にも、所定の濃
淡域における濃淡値−階調変換率の傾きを拡大すること
により同様に処理することができる。
明るすぎる場合、すなわち濃淡値存在領域が濃淡値の最
低値や最大値に近い領域に存在した場合にも、所定の濃
淡域における濃淡値−階調変換率の傾きを拡大すること
により同様に処理することができる。
【００２０】このように第２の実施例によれば、検出し
ようとする画像が不鮮明の時においても、濃淡値−階調
変換率が部分的に拡大されることにより、わずかな濃淡
値差であっても、階調変換時にその差が拡大されること
となり、鮮明度を増加させることができる。従って、検
出しようとする画像の鮮明度にかかかわらず、検出率や
検出信頼性の低下を防止することができる。
ようとする画像が不鮮明の時においても、濃淡値−階調
変換率が部分的に拡大されることにより、わずかな濃淡
値差であっても、階調変換時にその差が拡大されること
となり、鮮明度を増加させることができる。従って、検
出しようとする画像の鮮明度にかかかわらず、検出率や
検出信頼性の低下を防止することができる。
【００２１】
【発明の効果】本発明によれば、被検出物に異物が含ま
れていたり、画像自体が不鮮明な場合においても、検出
率や検出信頼性の低下を防止することができる。
れていたり、画像自体が不鮮明な場合においても、検出
率や検出信頼性の低下を防止することができる。
【図１】本発明を備えたパターン検出装置の一構成図で
ある。
ある。
【図２】図７に示すパターンの多値化画像における画素
毎の濃淡値と出現頻度のヒストグラムである。
毎の濃淡値と出現頻度のヒストグラムである。
【図３】図７におけるペースト６とリードフレーム１の
部分からの濃淡値と出現頻度のヒストグラムである。
部分からの濃淡値と出現頻度のヒストグラムである。
【図４】本発明の第１の実施例の濃淡値−階調変換率を
示すグラフである。
示すグラフである。
【図５】濃淡値存在領域が狭い場合の濃淡値と出現頻度
のヒストグラムである。
のヒストグラムである。
【図６】本発明の第２の実施例の濃淡値−階調変換率を
示すグラフである。
示すグラフである。
【図７】撮像手段が撮像しようとする電極近辺の平面図
である。
である。
【図８】従来の濃淡値−階調変換率を示すグラフであ
る。
る。
【符号の説明】 １ リードフレーム ２ 半導体ペレット ３ 電極 ４ 回路パターン ５ キズ ６ ペースト １０ パターン検出装置 １１ 撮像カメラ １２ 画像処理部 １３ Ａ／Ｄ変換器 １４ 変換テーブル １５ 画像用メモリ １６ 基準パターン用メモリ １７ 比較器 １８ 制御部 １９ ウインド
Claims (1)
- 【請求項１】 被検出物を撮像手段にて撮像し、得られ
た画像の画素毎にその濃淡値−階調変換率に基づいて画
像処理を行なう画像処理方法において、前記濃淡値−階
調変換率における所定範囲の濃淡値に対する階調への変
換率を所定範囲外の変換率とは異ならせたことを特徴と
する画像処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12560992A JP3248944B2 (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | パターン検出方法およびパターン検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12560992A JP3248944B2 (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | パターン検出方法およびパターン検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05300517A true JPH05300517A (ja) | 1993-11-12 |
| JP3248944B2 JP3248944B2 (ja) | 2002-01-21 |
Family
ID=14914341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12560992A Expired - Fee Related JP3248944B2 (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | パターン検出方法およびパターン検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3248944B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002310940A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 物品検査方法 |
| JP2002329194A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 物品検査方法 |
| JP2013030158A (ja) * | 2011-06-24 | 2013-02-07 | Tokyo Electron Ltd | 画像処理方法、画像表示方法、画像処理装置、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
-
1992
- 1992-04-17 JP JP12560992A patent/JP3248944B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002310940A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 物品検査方法 |
| JP2002329194A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 物品検査方法 |
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