JP3248944B2 - パターン検出方法およびパターン検出装置 - Google Patents
パターン検出方法およびパターン検出装置Info
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Description
て撮像し、得られた画像を処理することで被検出物の位
置を検出する、パターン検出方法およびパターン検出装
置に関する。
は、ボンディング動作に先立ち、ボンディング位置に位
置付けられた半導体ペレットにおける電極の画像を撮像
カメラにより取り込み、電極におけるボンディング点の
実際の位置と正規の位置とのずれ状態をパターン検出技
術を用いて求めるようにしている。
んだ画像を所定レベルをしきい値として2値化処理し、
この2値化画像を基準パターンと比較する方法や、撮像
手段が取り込んだ画像を、例えば図8に示すような一定
の傾きを有する濃淡値−階調変換率に基づいて多値化
し、この多値化画像を基準パターンと比較する方法など
が公知である。そして2値化画像を用いるものにおいて
は、処理は比較的簡易な回路構成により行なえるもの
の、多値化画像を用いるものより検出精度が低いという
欠点を有する。そこで検出精度を向上させるため、後者
の多値化画像を用いるものが使用されるようになってき
ている。
用いるものは精度の高い検出が行なえるものの、次のよ
うな欠点を有していた。すなわち、図7は撮像手段が撮
像しようとするパターンの一例の電極近辺の平面図であ
り、1はリードフレーム、2は半導体ペレット、3は電
極、4は回路パターンを示しているが、ここで5で示す
ようなキズや、6で示すようなペレットボンディング時
に塗布されたペーストなどの異物が不規則な分布状態で
存在していた場合、同様な電極近辺を順次撮像したにも
かかわらず、撮像した各画像内における濃淡値が異物の
存在状態に応じて変化するため、検出率や検出信頼性の
低下につながるということである。
場合や画像自体が暗すぎたり明るすぎる場合などの不鮮
明画像であった場合にも、パターン検出を行なうことが
非常に困難となる。
れていたり、撮像手段が撮像した画像が不鮮明の場合に
おいても、正確にパターン検出が行なえる、パターン検
出方法およびパターン検出装置を提供することを目的と
する。
め、請求項1記載のパターン検出方法は、被検出物を撮
像手段にて撮像し、得られた画像の画素毎にその濃淡値
−階調変換率に基づいて画像処理を行ない、処理した画
像を基準画像と比較することで前記被検出物の位置を検
出するパターン検出方法において、前記濃淡値−階調変
換率における所定範囲の濃淡値に対する階調への変換率
を所定範囲外の変換率より拡大させたことを特徴とす
る。また、請求項2記載のパターン検出装置は、被検出
物の撮像手段と、この撮像手段が取り込んだ画像を処理
する画像処理部を備え、この画像処理部は、前記撮像手
段が取り込んだ画像を多値化処理するための濃淡値−階
調変換率を記憶する変換テーブルと、基準パターンを記
憶する基準パターン用メモリと、前記撮像手段が取り込
んだ画像を前記濃淡値−階調変換率によって多値化処理
するA/D変換器と、このA/D変換器により処理され
た画像を前記基準パターンと比較し前記被検出物の位置
を検出する比較器とを有するパターン検出装置におい
て、前記変換テーブルに記憶された前記濃淡値−階調変
換率における所定範囲の濃淡値に対する階調への変換率
を所定範囲外の変換率とは異ならせたことを特徴とす
る。
物の画像は、その濃淡値に応じて一定の変換率で階調変
換されるものではなく、所定範囲の濃淡値に対しては他
の範囲と異なる変換率にて階調変換処理され、このよう
にして処理された画像が基準画像と比較されることで被
検出物の位置が検出される。
説明する。図1は本発明を備えたパターン検出装置の一
構成図、図2は図7に示すパターンの多値化画像におけ
る画素毎の濃淡値と出現頻度のヒストグラム、図3は図
7におけるペースト6とリードフレーム1の部分からの
濃淡値と出現頻度のヒストグラム、図4は本発明の第1
の実施例の濃淡値−階調変換率を示すグラフ、図5は濃
淡値存在領域が狭い場合の濃淡値と出現頻度のヒストグ
ラム、図6は本発明の第2の実施例の濃淡値−階調変換
率を示すグラフである。
は、撮像カメラ11と、画像処理部12とを有する。撮
像カメラ11は、ボンディング位置に位置付けられた半
導体ペレット2の画像を取り込むものである。画像処理
部12は、撮像カメラ11による取り込み画像を画素毎
にその濃淡値に基づいて多値化するA/D変換器13、
このA/D変換器13による多値化処理に用いる濃淡値
−階調変換率を記憶する変換テーブル14、A/D変換
器13により処理された多値化画像を記憶する画像用メ
モリ15、基準パターンを記憶する基準パターン用メモ
リ16、この基準パターン用メモリ16に記憶されてい
る基準パターンと画像用メモリ15に記憶された多値化
画像をパターンマッチング技術を用いて比較する比較器
17、これらを制御する制御部18を有する。
は、ボンディング位置に位置付けられた半導体ペレット
2の画像を撮像カメラ11が取り込むと、取り込んだ画
像は画像処理部12に送られる。そこでこの画像は、ま
ず画像処理部12のA/D変換器13により、変換テー
ブル14に記憶されている濃淡値−階調変換率に基づき
画素毎に多値化され、多値化処理後の画像が画像用メモ
リ15に記憶される。次に比較器17によって、この画
像用メモリ15に記憶された多値化画像と基準パターン
用メモリ16に予め記憶されている基準パターンとがパ
ターンマッチング技術を用いて比較され、ここで例えば
電極3の基準位置に対する実位置の位置ずれ量が検出さ
れる。なお基準パターン用メモリ16に記憶されている
基準パターンは、上記の半導体ペレット2の画像が多値
化画像に変換されて画像用メモリ15に記憶されると同
様にして、予め撮像カメラ11により取り込んだ基準画
像を変換テーブル14に記憶されている濃淡値−階調変
換率に基づき画素毎に多値化されたものである。
れた位置ずれ量は、ボンディング装置が備える不図示の
制御部に送られる。そしてこの制御部においては、この
位置ずれ量を用いて実際のボンディング点座標を補正演
算して求め、求めたボンディング点座標に基づいて、ワ
イヤボンディング動作が行なわれることとなる。
淡値−階調変換率について詳説する。
に説明したように、撮像カメラ11によって撮像される
電極近辺に、異物として前工程で塗布されたペースト6
が含まれる可能性のある場合について説明する。この場
合、撮像カメラ11が取り込んだ画像の各画素毎にその
濃淡値を検出し、各濃淡値に対する出現頻度を調べ、ヒ
ストグラム処理を施す。図2はこのヒストグラムを示
し、横軸に濃淡値、縦軸に出現頻度をとってあり、図例
では大きく5つの山が形成される。このヒストグラム処
理後、撮像カメラ11が取り込んだ画像におけるペース
ト6の部分並びにリードフレーム1の部分にウインド1
9(図7参照)を設定し、同様なヒストグラム処理を施
す。なおウインドの位置設定は、オペレータが行なうよ
うにしている。図3はこのようにして得られたヒストグ
ラムを示す。ここで例えばペースト6が半田からなる場
合、この部分からの反射光量は、リードフレーム1の部
分からのより多いため、図3においては、リードフレー
ム1の部分の濃淡域は区域A−Bに存在し、ペースト6
の部分の濃淡域は区域C−Dに存在することがわかる。
そこで濃淡値−階調変換率を図4のように設定する。す
なわち図4に示す濃淡値−階調変換率においては、図8
に示したものに対して、横軸の濃淡値における区域A−
Bと区域C−Dにおいては、その濃淡値の変化にかかわ
らずに同一階調値aに設定し、その他の濃淡域における
濃淡値に対しては同一の傾きを有する変換率に設定す
る。
カメラ11によって撮像され処理される画像内にペース
ト6の画像が含まれる可能性のある場合においても、多
値化処理される際、ペースト6部分とリードフレーム1
部分からの濃淡値は、一律に同一階調値aに変換され
る。このため画像処理時、ペースト6の部分はリードフ
レーム1の部分と同一視されることとなり、従って検出
率や検出信頼性の低下を防止することができる。
像内にキズ5の画像が含まれる場合においても、上記と
同様な手順で処理できることは理解できよう。
値−階調変換率についての第2の実施例として、検出し
ようとする画像の濃淡値存在領域が狭い場合について詳
説する。
の各画素毎にその濃淡値を検出してヒストグラム処理を
施したときに、図5の区域E−Fで示されるように、全
体の濃淡域が狭いものとなる場合である。そこでこの場
合は、図6に示すように区域E−Fにおける濃淡値−階
調変換率の傾き(レンジ)を拡大し、この区域における
変換率を高くしたものを変換テーブル14に設定してお
く。これにより、わずかな濃淡値差であっても、大きな
階調差となって変換されることとなる。
明るすぎる場合、すなわち濃淡値存在領域が濃淡値の最
低値や最大値に近い領域に存在した場合にも、所定の濃
淡域における濃淡値−階調変換率の傾きを拡大すること
により同様に処理することができる。
ようとする画像が不鮮明の時においても、濃淡値−階調
変換率が部分的に拡大されることにより、わずかな濃淡
値差であっても、階調変換時にその差が拡大されること
となり、鮮明度を増加させることができる。従って、検
出しようとする画像の鮮明度にかかかわらず、検出率や
検出信頼性の低下を防止することができる。
則に含まれていたり、撮像手段が撮像した画像が不鮮明
の場合においても、正確にパターン検出が行なえ、パタ
ーン検出率や検出信頼性の低下を防止できる。
ある。
毎の濃淡値と出現頻度のヒストグラムである。
部分からの濃淡値と出現頻度のヒストグラムである。
示すグラフである。
のヒストグラムである。
示すグラフである。
である。
る。
Claims (3)
- 【請求項1】 被検出物を撮像手段にて撮像し、得られ
た画像の画素毎にその濃淡値−階調変換率に基づいて画
像処理を行ない、処理した画像を基準画像と比較するこ
とで前記被検出物の位置を検出するパターン検出方法に
おいて、 前記濃淡値−階調変換率における所定範囲の濃淡値に対
する階調への変換率を所定範囲外の変換率より拡大させ
たことを特徴とするパターン検出方法。 - 【請求項2】 被検出物の撮像手段と、 この撮像手段が取り込んだ画像を処理する画像処理部を
備え、 この画像処理部は、前記撮像手段が取り込んだ画像を多
値化処理するための濃淡値−階調変換率を記憶する変換
テーブルと、基準パターンを記憶する基準パターン用メ
モリと、前記撮像手段が取り込んだ画像を前記濃淡値−
階調変換率によって多値化処理するA/D変換器と、こ
のA/D変換器により処理された画像を前記基準パター
ンと比較し前記被検出物の位置を検出する比較器とを有
するパターン検出装置において、 前記変換テーブルに記憶された前記濃淡値−階調変換率
における所定範囲の濃淡値に対する階調への変換率を所
定範囲外の変換率とは異ならせたことを特徴とするパタ
ーン検出装置。 - 【請求項3】 前記濃淡値−階調変換率における所定範
囲の濃淡値に対する階調への変換率を所定範囲外の変換
率より拡大させたことを特徴とする請求項2記載のパタ
ーン検出装置。
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---|---|---|---|
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---|---|---|---|
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JPH05300517A JPH05300517A (ja) | 1993-11-12 |
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Family
ID=14914341
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---|---|---|---|
JP12560992A Expired - Fee Related JP3248944B2 (ja) | 1992-04-17 | 1992-04-17 | パターン検出方法およびパターン検出装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101839156B1 (ko) * | 2011-06-24 | 2018-03-15 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 화상 처리 방법, 화상 표시 방법, 화상 처리 장치, 및 컴퓨터 기억 매체 |
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---|---|---|---|---|
JP2002310940A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 物品検査方法 |
JP4655404B2 (ja) * | 2001-04-27 | 2011-03-23 | 澁谷工業株式会社 | 物品検査方法 |
-
1992
- 1992-04-17 JP JP12560992A patent/JP3248944B2/ja not_active Expired - Fee Related
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KR101839156B1 (ko) * | 2011-06-24 | 2018-03-15 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 화상 처리 방법, 화상 표시 방법, 화상 처리 장치, 및 컴퓨터 기억 매체 |
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