JPH0246082B2 - Hyomenketsukanninshikisochi - Google Patents
HyomenketsukanninshikisochiInfo
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- JPH0246082B2 JPH0246082B2 JP9299383A JP9299383A JPH0246082B2 JP H0246082 B2 JPH0246082 B2 JP H0246082B2 JP 9299383 A JP9299383 A JP 9299383A JP 9299383 A JP9299383 A JP 9299383A JP H0246082 B2 JPH0246082 B2 JP H0246082B2
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- Japan
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 5
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 5
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
この発明は、被検査物の表面上の凹凸、傷、汚
れ等の欠陥を、テレビカメラによつて被検査物の
画像をとりこみ、この画像をコンピユータによつ
てソフトウエア処埋を行うことにより認識する表
面欠陥認識装置に関するものである。
れ等の欠陥を、テレビカメラによつて被検査物の
画像をとりこみ、この画像をコンピユータによつ
てソフトウエア処埋を行うことにより認識する表
面欠陥認識装置に関するものである。
従来の表面欠陥認識装置は、被検査物の表面に
ほぼ均一に光を照射する必要があり、また処理上
でも信号を複雑な浮動２値化を行う必要があつ
た。さらに、光量変動等により２値化のスライス
レベルを逐一設定する必要があるなどの欠点があ
つた。
ほぼ均一に光を照射する必要があり、また処理上
でも信号を複雑な浮動２値化を行う必要があつ
た。さらに、光量変動等により２値化のスライス
レベルを逐一設定する必要があるなどの欠点があ
つた。
この発明は、処理が簡単で処理時間を短縮で
き、２値化レベルの設定が不要であり、光量変動
があつても所定の検出精度を得ることができる表
面欠陥認識装置を提供することである。
き、２値化レベルの設定が不要であり、光量変動
があつても所定の検出精度を得ることができる表
面欠陥認識装置を提供することである。
この発明の表面欠陥認識装置は、被検査物の表
面に第１の方向には均一で前記第１の方向と直交
する第２の方向に一端から他端にかけて順次光量
が減少するように光を照射する光源と、前記被検
査物の前記第２の方向を水平方向とするとともに
前記被検査物の前記第１の方向を垂直方向として
前記被検査物の正反射像を撮像するテレビカメラ
と、このテレビカメラの出力をアナログ／デ
ジタル変換するアナログ／デジタル変換器と、
このアナログ／デジタル変換器の出力を画像デ
ータとして順次格納するフレームメモリと、こ
のフレームメモリに格納した画像データを第１
のスライスレベルとこの第１のスライスレベルよ
り高い第２のスライスレベルとで２値化すること
により前記フレームメモリ中において一定範囲
内の階調の画像データの存在する帯状領域を抽出
する固定２値化手段と、前記第１および第２の
スライスレベルを連動して順次変化させることに
より前記固定２値化手段により抽出される前記
帯状領域を順次前記第２の方向に移動させる帯状
領域移動手段と、前記固定２値化手段により
抽出された帯状領域の両境界線を抽出する境界線
抽出手段と、この境界線抽出手段により抽出
した両境界線間の距離を順次異なる前記第１の方
向の位置で求める距離検出手段と、この距離検
出手段により求めた前記両境界線間の距離を基
準値と比較する比較手段とを備えている。
面に第１の方向には均一で前記第１の方向と直交
する第２の方向に一端から他端にかけて順次光量
が減少するように光を照射する光源と、前記被検
査物の前記第２の方向を水平方向とするとともに
前記被検査物の前記第１の方向を垂直方向として
前記被検査物の正反射像を撮像するテレビカメラ
と、このテレビカメラの出力をアナログ／デ
ジタル変換するアナログ／デジタル変換器と、
このアナログ／デジタル変換器の出力を画像デ
ータとして順次格納するフレームメモリと、こ
のフレームメモリに格納した画像データを第１
のスライスレベルとこの第１のスライスレベルよ
り高い第２のスライスレベルとで２値化すること
により前記フレームメモリ中において一定範囲
内の階調の画像データの存在する帯状領域を抽出
する固定２値化手段と、前記第１および第２の
スライスレベルを連動して順次変化させることに
より前記固定２値化手段により抽出される前記
帯状領域を順次前記第２の方向に移動させる帯状
領域移動手段と、前記固定２値化手段により
抽出された帯状領域の両境界線を抽出する境界線
抽出手段と、この境界線抽出手段により抽出
した両境界線間の距離を順次異なる前記第１の方
向の位置で求める距離検出手段と、この距離検
出手段により求めた前記両境界線間の距離を基
準値と比較する比較手段とを備えている。
このような構成にすると、処理が簡単で処理時
間を短縮でき、２値化レベルの設定が不要であ
り、光量変動があつても所定の検出精度を得るこ
とができる。
間を短縮でき、２値化レベルの設定が不要であ
り、光量変動があつても所定の検出精度を得るこ
とができる。
この発明の一実施例の表面欠陥認識装置を第２
図ないし第１１図に基づいて説明する。この表面
欠陥認識装置は、第２図に示すように、ライン光
源１を用いて被検査物２を斜め上方から照明し、
被検査物２の正反射像をライン光源１と逆の位置
に配したテレビカメラ３より取り込むようになつ
ている。この場合、被検査物２の表面ではＡ位置
からＢ位置へ向かう方向（特許請求の範囲でいう
第１の方向と直交する第２の方向に相当する）に
明暗が生じている。なお、Ａ位置からＢ位置へ向
かう方向と直交する方向（特許請求の範囲でいう
第１の方向に相当する）についてはほぼ均一とな
つている。
図ないし第１１図に基づいて説明する。この表面
欠陥認識装置は、第２図に示すように、ライン光
源１を用いて被検査物２を斜め上方から照明し、
被検査物２の正反射像をライン光源１と逆の位置
に配したテレビカメラ３より取り込むようになつ
ている。この場合、被検査物２の表面ではＡ位置
からＢ位置へ向かう方向（特許請求の範囲でいう
第１の方向と直交する第２の方向に相当する）に
明暗が生じている。なお、Ａ位置からＢ位置へ向
かう方向と直交する方向（特許請求の範囲でいう
第１の方向に相当する）についてはほぼ均一とな
つている。
テレビカメラ３からの映像信号は、第３図に示
すように、信号増幅回路４に加えられたのち、
Ａ／Ｄ変換器５に入力されてＡ／Ｄ変換され、フ
レームメモリ６に書込まれることになる。この場
合、光量測定回路７が信号増幅回路４の出力より
正反射像の光量を測定し、信号増幅回路４のオフ
セツトおよびゲインを自動調整し、Ａ／Ｄ変換は
被検査物２の信号分の最大値と最小値との間で行
われることになる。
すように、信号増幅回路４に加えられたのち、
Ａ／Ｄ変換器５に入力されてＡ／Ｄ変換され、フ
レームメモリ６に書込まれることになる。この場
合、光量測定回路７が信号増幅回路４の出力より
正反射像の光量を測定し、信号増幅回路４のオフ
セツトおよびゲインを自動調整し、Ａ／Ｄ変換は
被検査物２の信号分の最大値と最小値との間で行
われることになる。
ここで、光量測定回路７および信号増幅回路４
の動作を第４図Ａ〜Ｃにより詳しく説明する。第
４図Ａはテレビカメラ３からの１水平期間のビデ
オ生波形を示し、Ａ位置のレベルがａとなり、Ｂ
位置のレベルがｂとなつている。前記両回路は、
第４図Ａのビデオ生波形のオフセツトを下げるこ
とによりｂレベルを０レベルにクランプして第４
図ＢのようにＡ位置のレベルをa′としＢ位置のレ
ベルをb′（０）とし、さらにゲインを上げてレベ
ルa′とレベルb′との差を大きくして第４図Ｃのよ
うにＡ位置のレベルをａとしてＢ位置のレベル
をｂとする。Ａ／Ｄ変換器５は第４図Ｃの波形
を例えば256階調（８ビツト）Ａ／Ｄ変換するこ
とになる。上記の２回路はＡ、Ｂ間の変化の割合
を強調してデジタル信号に変換するための前処理
をすることになる。
の動作を第４図Ａ〜Ｃにより詳しく説明する。第
４図Ａはテレビカメラ３からの１水平期間のビデ
オ生波形を示し、Ａ位置のレベルがａとなり、Ｂ
位置のレベルがｂとなつている。前記両回路は、
第４図Ａのビデオ生波形のオフセツトを下げるこ
とによりｂレベルを０レベルにクランプして第４
図ＢのようにＡ位置のレベルをa′としＢ位置のレ
ベルをb′（０）とし、さらにゲインを上げてレベ
ルa′とレベルb′との差を大きくして第４図Ｃのよ
うにＡ位置のレベルをａとしてＢ位置のレベル
をｂとする。Ａ／Ｄ変換器５は第４図Ｃの波形
を例えば256階調（８ビツト）Ａ／Ｄ変換するこ
とになる。上記の２回路はＡ、Ｂ間の変化の割合
を強調してデジタル信号に変換するための前処理
をすることになる。
そして、フレームメモリ６に書込まれた被検査
物２の画像データをコンピユータ８がソフトウエ
ア処埋することになる。処理は、まずフレームメ
モリ６に格納した256階調（８ビツト）の画像デ
ータを、第５図に示すように、０から255までの
階調のうちスライスレベル１より大きくかつスラ
イスレベル２より小さい範囲の階調をもつ画素を
「１」としそれ以外の階調をもつ画素を「０」と
して画像データを固定２値化することにより、フ
レームメモリ６中において一定範囲内の階調の画
像データの存在する第６図Ａに示すような帯状領
域Ｘを抽出する。被検査物２の表面に欠陥があれ
ば帯状領域Ｘは例えば第７図Ａのように凹むこと
になる。
物２の画像データをコンピユータ８がソフトウエ
ア処埋することになる。処理は、まずフレームメ
モリ６に格納した256階調（８ビツト）の画像デ
ータを、第５図に示すように、０から255までの
階調のうちスライスレベル１より大きくかつスラ
イスレベル２より小さい範囲の階調をもつ画素を
「１」としそれ以外の階調をもつ画素を「０」と
して画像データを固定２値化することにより、フ
レームメモリ６中において一定範囲内の階調の画
像データの存在する第６図Ａに示すような帯状領
域Ｘを抽出する。被検査物２の表面に欠陥があれ
ば帯状領域Ｘは例えば第７図Ａのように凹むこと
になる。
上記固定２値化をビデオ生信号の濃度レベルで
表わせば、第８図のようにａレベルからｂレベル
までの間のスライスレベル１より大きくかつスラ
イスレベル２より小さいレベルで「１」となり、
その他は「０」となる。
表わせば、第８図のようにａレベルからｂレベル
までの間のスライスレベル１より大きくかつスラ
イスレベル２より小さいレベルで「１」となり、
その他は「０」となる。
つぎに、上記固定２値化により抽出した帯状領
域Ｘから第６図Ｂのような両境界線X1，X2を抽
出する。帯状領域Ｘが第７図Ａのようであれば、
両境界線X1，X2は第７図Ｂのようになる。
域Ｘから第６図Ｂのような両境界線X1，X2を抽
出する。帯状領域Ｘが第７図Ａのようであれば、
両境界線X1，X2は第７図Ｂのようになる。
つぎに、両境界線X1，X2間の距離を順次異な
るｙ軸方向の位置でそれぞれ求める。被検査物２
の表面が平面である場合、両境界線X1，X2が平
行であるので、上記により求めた各縦方向位置の
距離出力も第６図Ｃのように同じである。ところ
が、被検査物２の表面に欠陥があると各縦方向位
置における両境界線X1，X2間の距離出力が第７
図Ｃのように異なることになり、これを検出すれ
ば欠陥を認識することができる。
るｙ軸方向の位置でそれぞれ求める。被検査物２
の表面が平面である場合、両境界線X1，X2が平
行であるので、上記により求めた各縦方向位置の
距離出力も第６図Ｃのように同じである。ところ
が、被検査物２の表面に欠陥があると各縦方向位
置における両境界線X1，X2間の距離出力が第７
図Ｃのように異なることになり、これを検出すれ
ば欠陥を認識することができる。
なお、上記欠陥認識は、特定の帯状領域Ｘを抽
出して行う説明をしたが、この欠陥認識はスライ
スレベル１，２を順次変化させることにより第９
図Ａ，Ｂに示すように帯状領域Ｘをｘ軸方向（第
２の方向）に順次移動させ、各位置において両境
界線X1，X2間の距離を求め、これに基づき、被
検査物２の表面全域にわたつて欠陥検査を行うも
のである。この方式では、被検査物の表面が平面
ではなくゆるやかな曲面であつても局所的な欠陥
の認識が可能である。
出して行う説明をしたが、この欠陥認識はスライ
スレベル１，２を順次変化させることにより第９
図Ａ，Ｂに示すように帯状領域Ｘをｘ軸方向（第
２の方向）に順次移動させ、各位置において両境
界線X1，X2間の距離を求め、これに基づき、被
検査物２の表面全域にわたつて欠陥検査を行うも
のである。この方式では、被検査物の表面が平面
ではなくゆるやかな曲面であつても局所的な欠陥
の認識が可能である。
つぎに、コンピユータの動作を第１０図のフロ
ーチヤートにより詳しく説明する。まず、スライ
スレベル１，２を設定する（スライスレベル１＜
スライスレベル２）。つぎに、フレームメモリ６
の画像データを走査線にしたがつて順次読出し、
スライスレベル１より小さいレベルおよびスライ
スレベル２より大きいレベルの階調の画素を
「０」とし、スライスレベル１より大きくかつス
ライスレベル２より小さい画素を「１」として各
画素の２値データをメモリに格納する。ここまで
の動作で一番最初の帯状領域Ｘが抽出されること
になる。
ーチヤートにより詳しく説明する。まず、スライ
スレベル１，２を設定する（スライスレベル１＜
スライスレベル２）。つぎに、フレームメモリ６
の画像データを走査線にしたがつて順次読出し、
スライスレベル１より小さいレベルおよびスライ
スレベル２より大きいレベルの階調の画素を
「０」とし、スライスレベル１より大きくかつス
ライスレベル２より小さい画素を「１」として各
画素の２値データをメモリに格納する。ここまで
の動作で一番最初の帯状領域Ｘが抽出されること
になる。
つぎに、メモリに格納した２値データに１行２
列のマスクを設定し、このマスクを左上より順次
走査し、「01」および「10」のペアを探す。「01」
または「10」のペアが見つかつた場合は、それぞ
れそのマスク内の画素の２値データを「10」と
し、その他のペア「00」または「11」の場合は、
それぞれそのマスク内の画素の２値データを
「00」としてメモリに格納する。この動作で帯状
領域Ｘの両境界線X1，X2が抽出されることにな
る。
列のマスクを設定し、このマスクを左上より順次
走査し、「01」および「10」のペアを探す。「01」
または「10」のペアが見つかつた場合は、それぞ
れそのマスク内の画素の２値データを「10」と
し、その他のペア「00」または「11」の場合は、
それぞれそのマスク内の画素の２値データを
「00」としてメモリに格納する。この動作で帯状
領域Ｘの両境界線X1，X2が抽出されることにな
る。
つぎに、メモリの２値データをｘ軸方向に順次
読出して、初めて「１」となつた画素からつぎに
「１」となる画素までの距離（境界線間の距離）
をカウントし、カウントデータを出力バツフア
（CPU内）に格納する。この動作で、両境界線
X1，X2間のｘ軸方向の距離が求められたことに
なる。
読出して、初めて「１」となつた画素からつぎに
「１」となる画素までの距離（境界線間の距離）
をカウントし、カウントデータを出力バツフア
（CPU内）に格納する。この動作で、両境界線
X1，X2間のｘ軸方向の距離が求められたことに
なる。
つぎにスライスレベル１，２のデクリメントを
してスライスレベル１，２をそれぞれ一定量下
げ、スライスレベル１，２が最も低くなつたかど
うか（全画面について２値化の走査が終了したか
どうか）を判定し、NOであれば固定２値化によ
る帯状領域Ｘの抽出から動作を繰返することによ
り全画面についての帯状領域Ｘのｘ軸方向の走査
を終了させる。
してスライスレベル１，２をそれぞれ一定量下
げ、スライスレベル１，２が最も低くなつたかど
うか（全画面について２値化の走査が終了したか
どうか）を判定し、NOであれば固定２値化によ
る帯状領域Ｘの抽出から動作を繰返することによ
り全画面についての帯状領域Ｘのｘ軸方向の走査
を終了させる。
具体的には、固定２値化により得られた２値デ
ータが第１１図Ａのようになつている場合、両境
界線X1，X2を抽出すると第１１図Ｂのようにな
る。この両境界線X1，X2間を求めると第１１図
Ｃのように各縦方向位置での距離が上から順に
５、５、４、３、４、５となり、距離が４、３、
４となつている部分が欠陥である。なお、欠陥が
ない場合は、距離が上から順に５、５、５、５、
５、５となる。
ータが第１１図Ａのようになつている場合、両境
界線X1，X2を抽出すると第１１図Ｂのようにな
る。この両境界線X1，X2間を求めると第１１図
Ｃのように各縦方向位置での距離が上から順に
５、５、４、３、４、５となり、距離が４、３、
４となつている部分が欠陥である。なお、欠陥が
ない場合は、距離が上から順に５、５、５、５、
５、５となる。
このように構成した結果、処理が簡単で処理時
間を短縮でき、２値化レベルの設定が不要であ
り、光量変動があつても所定の検出精度を得るこ
とができる。また、信号増幅回路４および光量測
定回路７でビデオ信号のレベル調整を行つている
ため、最大の分解能でＡ／Ｄ変換することができ
る。
間を短縮でき、２値化レベルの設定が不要であ
り、光量変動があつても所定の検出精度を得るこ
とができる。また、信号増幅回路４および光量測
定回路７でビデオ信号のレベル調整を行つている
ため、最大の分解能でＡ／Ｄ変換することができ
る。
この発明によれば、処理が簡単で処理時間を短
縮でき、２値化レベルの設定が不要であり、光量
変動があつても所定の検出精度を得ることができ
るという効果がある。
縮でき、２値化レベルの設定が不要であり、光量
変動があつても所定の検出精度を得ることができ
るという効果がある。
第１図はこの発明の構成を示す機能ブロツク
図、第２図はこの発明の一実施例の要部斜視図、
第３図は同じくブロツク図、第４図Ａ，Ｂ，Ｃそ
の動作説明のための波形図、第５図はスライスレ
ベルの説明図、第６図Ａ，Ｂ，Ｃおよび第７図
Ａ，Ｂ，Ｃは欠陥認識の説明図、第８図はビデオ
信号上のスライスレベルの説明図、第９図Ａ，Ｂ
は帯状領域の移動の説明図、第１０図は動作説明
のためのフローチヤート、第１１図Ａ，Ｂ，Ｃは
同じくその動作説明のための説明図である。 ……テレビカメラ、……アナログ／デジタ
ル変換器、……フレームメモリ、……固定２
値化手段、……帯状領域移動手段、……境界
線抽出手段、……距離検出手段、……比較手
段、１……ライン光源、２……被検査物、３……
テレビカメラ、４……信号増幅回路、５……アナ
ログ／デジタル変換器、６……フレームメモリ、
７……光量測定回路、８……コンピユータ。
図、第２図はこの発明の一実施例の要部斜視図、
第３図は同じくブロツク図、第４図Ａ，Ｂ，Ｃそ
の動作説明のための波形図、第５図はスライスレ
ベルの説明図、第６図Ａ，Ｂ，Ｃおよび第７図
Ａ，Ｂ，Ｃは欠陥認識の説明図、第８図はビデオ
信号上のスライスレベルの説明図、第９図Ａ，Ｂ
は帯状領域の移動の説明図、第１０図は動作説明
のためのフローチヤート、第１１図Ａ，Ｂ，Ｃは
同じくその動作説明のための説明図である。 ……テレビカメラ、……アナログ／デジタ
ル変換器、……フレームメモリ、……固定２
値化手段、……帯状領域移動手段、……境界
線抽出手段、……距離検出手段、……比較手
段、１……ライン光源、２……被検査物、３……
テレビカメラ、４……信号増幅回路、５……アナ
ログ／デジタル変換器、６……フレームメモリ、
７……光量測定回路、８……コンピユータ。
Claims (1)
- １ 被検査物の表面に第１の方向には均一で前記
第１の方向と直交する第２の方向に一端から他端
にかけて順次光量が減少するように光を照射する
光源と、前記被検査物の前記第２の方向を水平方
向とするとともに前記被検査物の前記第１の方向
を垂直方向として前記被検査物の正反射像を撮像
するテレビカメラと、このテレビカメラの出力を
アナログ／デジタル変換するアナログ／デジタル
変換器と、このアナログ／デジタル変換器の出力
を画像データとして順次格納するフレームメモリ
と、このフレームメモリに格納した画像データを
第１のスライスレベルとこの第１のスライスレベ
ルより高い第２のスライスレベルとで２値化する
ことにより前記フレームメモリ中において一定範
囲内の階調の画像データの存在する帯状領域を抽
出する２値化手段と、前記第１および第２のスラ
イスレベルを連動して順次変化させることにより
前記２値化手段により抽出される前記帯状領域を
順次前記第２の方向に移動させる帯状領域移動手
段と、前記２値化手段により抽出された帯状領域
の両境界線を抽出する境界線抽出手段と、この境
界線抽出手段により抽出した両境界線間の距離を
順次異なる前記第１の方向の位置で求める距離検
出手段と、この距離検出手段により求めた前記両
境界線間の距離を基準値と比較する比較手段とを
備えた表面欠陥認識装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9299383A JPH0246082B2 (ja) | 1983-05-25 | 1983-05-25 | Hyomenketsukanninshikisochi |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9299383A JPH0246082B2 (ja) | 1983-05-25 | 1983-05-25 | Hyomenketsukanninshikisochi |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59217109A JPS59217109A (ja) | 1984-12-07 |
| JPH0246082B2 true JPH0246082B2 (ja) | 1990-10-12 |
Family
ID=14069888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9299383A Expired - Lifetime JPH0246082B2 (ja) | 1983-05-25 | 1983-05-25 | Hyomenketsukanninshikisochi |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0246082B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61271405A (ja) * | 1985-05-27 | 1986-12-01 | Mitsubishi Metal Corp | 角部の平坦度検査装置 |
| JPH07119590B2 (ja) * | 1989-08-09 | 1995-12-20 | サンスター技研株式会社 | 薄膜状塗布剤の検査装置 |
-
1983
- 1983-05-25 JP JP9299383A patent/JPH0246082B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59217109A (ja) | 1984-12-07 |
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