JPH10111109A - 部品位置検出方法 - Google Patents
部品位置検出方法Info
- Publication number
- JPH10111109A JPH10111109A JP8263866A JP26386696A JPH10111109A JP H10111109 A JPH10111109 A JP H10111109A JP 8263866 A JP8263866 A JP 8263866A JP 26386696 A JP26386696 A JP 26386696A JP H10111109 A JPH10111109 A JP H10111109A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- component
- value
- frequency
- edges
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 部品位置検出のためのしきい値を動的に設定
でき、確実に部品位置を検出することを可能にする。 【解決手段】 撮像データから部品のエッジを表すデー
タ値の度数分布を作成し、部品データから得られるエッ
ジ数と前記度数分布からエッジ位置を検出するためのし
きい値を設定する。このような方法では、エッジを表す
データ値の度数分布に基づいてエッジ位置を求めるため
のしきい値を設定するようにしているので、照明装置の
劣化や部分的に発生する濃度のバラツキに影響を受けず
に、動的にしきい値を設定することができ、確実なエッ
ジ位置の検出が可能になる。
でき、確実に部品位置を検出することを可能にする。 【解決手段】 撮像データから部品のエッジを表すデー
タ値の度数分布を作成し、部品データから得られるエッ
ジ数と前記度数分布からエッジ位置を検出するためのし
きい値を設定する。このような方法では、エッジを表す
データ値の度数分布に基づいてエッジ位置を求めるため
のしきい値を設定するようにしているので、照明装置の
劣化や部分的に発生する濃度のバラツキに影響を受けず
に、動的にしきい値を設定することができ、確実なエッ
ジ位置の検出が可能になる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、部品位置検出方
法、更に詳細には、部品実装装置や部品検査装置におい
て、部品を画像認識により検出する際、個々の部品デー
タから部品を検出するための最適しきい値を設定して部
品位置を検出する部品位置検出方法に関するものであ
る。
法、更に詳細には、部品実装装置や部品検査装置におい
て、部品を画像認識により検出する際、個々の部品デー
タから部品を検出するための最適しきい値を設定して部
品位置を検出する部品位置検出方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、部品実装装置では、ＩＣチッ
プ部品等の電子部品（以下単に部品という）を吸着する
吸着ノズルを備えた吸着ヘッドが設けられており、フィ
ーダから供給される部品を吸着した吸着ノズルは、ＣＣ
Ｄカメラ等の撮像装置を備えた部品認識部へ移動し、こ
の部品認識部において、部品はＣＣＤカメラにより撮像
され、部品の画像データが取り込まれ、部品の画像認識
が行なわれている。この部品の画像認識に基づき部品の
吸着ノズルの中心位置からのずれ並びに傾き量が演算さ
れ、これらのずれ量が補正された後部品が回路基板上に
搭載されている。
プ部品等の電子部品（以下単に部品という）を吸着する
吸着ノズルを備えた吸着ヘッドが設けられており、フィ
ーダから供給される部品を吸着した吸着ノズルは、ＣＣ
Ｄカメラ等の撮像装置を備えた部品認識部へ移動し、こ
の部品認識部において、部品はＣＣＤカメラにより撮像
され、部品の画像データが取り込まれ、部品の画像認識
が行なわれている。この部品の画像認識に基づき部品の
吸着ノズルの中心位置からのずれ並びに傾き量が演算さ
れ、これらのずれ量が補正された後部品が回路基板上に
搭載されている。
【０００３】この種の部品認識部の構成が、図１に示さ
れており、端子２ａ〜２ｅ’を有し吸着ノズル１に吸着
される部品２は照明装置３により照射され、レンズ４を
介して、ＣＣＤカメラ等の撮像装置５により撮像され、
画像処理装置６により部品認識処理が行なわれている。
画像処理装置６において、例えばモニター７のラインＡ
に沿った画像の濃度が、図２（Ａ）に図示したように、
０から２５５の間に量子化され、また、この濃度データ
に対しｆ(n+1)-ｆ(n-1)のような差分フィルターをかけ
ることにより図２（Ｂ）のような波形処理が行なわれて
いる。同図において、正の極値ｌｅ１〜ｌｅ５はライン
Ａ上の部品端子の左側エッジが検出されたときに現れ、
一方負の極値ｒｅ１〜ｒｅ５は右側エッジが検出された
ときに現れる。
れており、端子２ａ〜２ｅ’を有し吸着ノズル１に吸着
される部品２は照明装置３により照射され、レンズ４を
介して、ＣＣＤカメラ等の撮像装置５により撮像され、
画像処理装置６により部品認識処理が行なわれている。
画像処理装置６において、例えばモニター７のラインＡ
に沿った画像の濃度が、図２（Ａ）に図示したように、
０から２５５の間に量子化され、また、この濃度データ
に対しｆ(n+1)-ｆ(n-1)のような差分フィルターをかけ
ることにより図２（Ｂ）のような波形処理が行なわれて
いる。同図において、正の極値ｌｅ１〜ｌｅ５はライン
Ａ上の部品端子の左側エッジが検出されたときに現れ、
一方負の極値ｒｅ１〜ｒｅ５は右側エッジが検出された
ときに現れる。
【０００４】そして、この波形の正負の極値を検出する
ことにより部品端子のエッジを検出し、これらのエッジ
座標から各々の部品端子の中心を計算し、また部品の各
辺の中心、そして部品の中心位置を計算していた。ま
た、極値を検出する際に、図２（Ｂ）に示す点線のライ
ン（例えば±２００）をしきい値として予め設定し、こ
れを超える極値をエッジとして認識し、それ以外はノイ
ズ等と判断しカットしていた。
ことにより部品端子のエッジを検出し、これらのエッジ
座標から各々の部品端子の中心を計算し、また部品の各
辺の中心、そして部品の中心位置を計算していた。ま
た、極値を検出する際に、図２（Ｂ）に示す点線のライ
ン（例えば±２００）をしきい値として予め設定し、こ
れを超える極値をエッジとして認識し、それ以外はノイ
ズ等と判断しカットしていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな部品位置検出方法では、極値を検出するためのしき
い値は実験値より求めた固定の値を用いていたため、例
えば図３（Ａ）に示すように部品端子の濃度が低い場合
（照射する光源の劣化や端子の反射率が低く光沢が少な
い場合）、あるいは図４（Ａ）に示すようにある一部の
部品端子の濃度が低い場合（光源の部分的な劣化や端子
の部分的なよごれ等による場合）は、図３（Ｂ）、図４
（Ｂ）に示すように差分フィルター結果の極値がしきい
値よりも低くなってしまい、端子が存在するにもかかわ
らず正常な認識ができなくなるという問題点があった。
うな部品位置検出方法では、極値を検出するためのしき
い値は実験値より求めた固定の値を用いていたため、例
えば図３（Ａ）に示すように部品端子の濃度が低い場合
（照射する光源の劣化や端子の反射率が低く光沢が少な
い場合）、あるいは図４（Ａ）に示すようにある一部の
部品端子の濃度が低い場合（光源の部分的な劣化や端子
の部分的なよごれ等による場合）は、図３（Ｂ）、図４
（Ｂ）に示すように差分フィルター結果の極値がしきい
値よりも低くなってしまい、端子が存在するにもかかわ
らず正常な認識ができなくなるという問題点があった。
【０００６】上記問題点を解決するために、認識エラー
が発生した時のみしきい値を下げ再び認識させることも
可能であるが、その分、認識時間がかかってしまい、認
識効率が低下するという、欠点があった。
が発生した時のみしきい値を下げ再び認識させることも
可能であるが、その分、認識時間がかかってしまい、認
識効率が低下するという、欠点があった。
【０００７】本発明は、このような問題点を解決するた
めになされたもので、位置検出のためのしきい値を動的
に設定でき、確実に部品位置を検出することを可能にす
る部品位置検出方法を提供することを課題とする。
めになされたもので、位置検出のためのしきい値を動的
に設定でき、確実に部品位置を検出することを可能にす
る部品位置検出方法を提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の部品位置検出方
法は、部品を撮像することにより得られる撮像データか
ら部品位置を検出する部品位置検出方法において、撮像
データから部品のエッジを表すデータ値の度数分布を作
成し、部品データから得られるエッジ数と前記度数分布
からエッジ位置を検出するためのしきい値を求めること
を特徴とする。
法は、部品を撮像することにより得られる撮像データか
ら部品位置を検出する部品位置検出方法において、撮像
データから部品のエッジを表すデータ値の度数分布を作
成し、部品データから得られるエッジ数と前記度数分布
からエッジ位置を検出するためのしきい値を求めること
を特徴とする。
【０００９】このような方法では、エッジを表すデータ
値の度数分布に基づいてエッジ位置を求めるためのしき
い値を設定するようにしているので、照射する光源の劣
化や端子の反射率が低く光沢が少ない場合、あるいは光
源の部分的な劣化や端子の部分的なよごれ等があって濃
度にバラツキがある場合でもそれに影響されることな
く、動的にしきい値を設定することができ、確実なエッ
ジ位置の検出が可能になる。
値の度数分布に基づいてエッジ位置を求めるためのしき
い値を設定するようにしているので、照射する光源の劣
化や端子の反射率が低く光沢が少ない場合、あるいは光
源の部分的な劣化や端子の部分的なよごれ等があって濃
度にバラツキがある場合でもそれに影響されることな
く、動的にしきい値を設定することができ、確実なエッ
ジ位置の検出が可能になる。
【００１０】通常、撮像データは各画素毎の量子化され
た濃度値となっており、エッジを表すデータ値は各濃度
値を差分フィルターにかけることにより求められる。こ
のエッジを表すデータ値のなかで最大データ値の度数か
ら順次度数の総和を求め、総和がエッジ数に達したとき
の度数に対応するデータ値近辺にしきい値が設定され
る。このようなしきい値に設定すると、ほぼ全てのエッ
ジ位置を補足することができ、安定したエッジ検出が可
能になる。
た濃度値となっており、エッジを表すデータ値は各濃度
値を差分フィルターにかけることにより求められる。こ
のエッジを表すデータ値のなかで最大データ値の度数か
ら順次度数の総和を求め、総和がエッジ数に達したとき
の度数に対応するデータ値近辺にしきい値が設定され
る。このようなしきい値に設定すると、ほぼ全てのエッ
ジ位置を補足することができ、安定したエッジ検出が可
能になる。
【００１１】また、差分フィルターをかけることにより
得られたデータの極値をエッジを表すデータ値とするこ
とにより、光源の部分的な劣化や端子の部分的なよごれ
等により不均一な照明となっている場合でも、最適なし
きい値を設定することができる。
得られたデータの極値をエッジを表すデータ値とするこ
とにより、光源の部分的な劣化や端子の部分的なよごれ
等により不均一な照明となっている場合でも、最適なし
きい値を設定することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に基づ
いて本発明を詳細に説明する。
いて本発明を詳細に説明する。
【００１３】本発明では、図１に示したような部品認識
装置が用いられる。部品２の撮像に先立ち、図５のステ
ップＳ１に示したように、部品のデータを参照し、存在
すべき部品端子のエッジの数ｅを計算する。ｅの値は、
例えば、部品２が端子数１０、端子の長さ５画素分とい
う部品データを持っているとすると、ｅ＝１０（端子
数）×５（端子長さ）×２（端子の両端エッジ）＝１０
０となる。
装置が用いられる。部品２の撮像に先立ち、図５のステ
ップＳ１に示したように、部品のデータを参照し、存在
すべき部品端子のエッジの数ｅを計算する。ｅの値は、
例えば、部品２が端子数１０、端子の長さ５画素分とい
う部品データを持っているとすると、ｅ＝１０（端子
数）×５（端子長さ）×２（端子の両端エッジ）＝１０
０となる。
【００１４】次に、ステップＳ２において図１の装置を
用いて部品２の撮像を行なう。このとき、図６に示した
ように、画素ごとに量子化し撮像データを０から２５５
の濃度値で表す。同図において、太線のブロック１２ａ
〜１２ｅは、部品２の上側端子２ａ〜２ｅを、またブロ
ック１２ａ’〜１２ｅ’は、部品２の下側端子２ａ’〜
２ｅ’をそれぞれ表している。この濃度マップは、均一
な照明下での正常な端子の部品に対応する撮像データで
あるので、規則的なデータ配列となっていることが理解
される。
用いて部品２の撮像を行なう。このとき、図６に示した
ように、画素ごとに量子化し撮像データを０から２５５
の濃度値で表す。同図において、太線のブロック１２ａ
〜１２ｅは、部品２の上側端子２ａ〜２ｅを、またブロ
ック１２ａ’〜１２ｅ’は、部品２の下側端子２ａ’〜
２ｅ’をそれぞれ表している。この濃度マップは、均一
な照明下での正常な端子の部品に対応する撮像データで
あるので、規則的なデータ配列となっていることが理解
される。
【００１５】続いて、ステップＳ３において、上記求め
た濃度マップに対して、ｆ(n+1)-ｆ(n-1)で表わされる
差分フィルター処理を実行する。その結果が図７に図示
されている。なお、差分フィルター結果は絶対値で表さ
れている。
た濃度マップに対して、ｆ(n+1)-ｆ(n-1)で表わされる
差分フィルター処理を実行する。その結果が図７に図示
されている。なお、差分フィルター結果は絶対値で表さ
れている。
【００１６】次に、ステップＳ４で、差分フィルター結
果に基づいて図８に示したような度数分布を生成する。
例えば、部品端子の左と右エッジでは、それぞれ差分が
大きくなることから、「２２０」（左エッジ）、「２４
０」（右エッジ）の値が得られ、端子が上下に合わせて
１０本あり、一つの端子の画素が上下方向に５個である
ことから、「２２０」と「２４０」の度数は、それぞれ
５０となっていることが理解される。
果に基づいて図８に示したような度数分布を生成する。
例えば、部品端子の左と右エッジでは、それぞれ差分が
大きくなることから、「２２０」（左エッジ）、「２４
０」（右エッジ）の値が得られ、端子が上下に合わせて
１０本あり、一つの端子の画素が上下方向に５個である
ことから、「２２０」と「２４０」の度数は、それぞれ
５０となっていることが理解される。
【００１７】次に、ステップＳ５において、図８の度数
分布において差分フィルター結果の最大値及びそれに続
く値の度数の総和を順次求め、その総和がステップＳ１
で求めたエッジ数ｅ＝１００に等しくなるときの度数の
データ値近辺の値をしきい値ｔｈｌに設定する。この値
ｔｈｌは、「２２０」以下の値の例えば「２００」近辺
に設定される。このしきい値は、図２（Ｂ）に示したよ
うに、部品端子のエッジ位置検出に適するしきい値とな
っている。
分布において差分フィルター結果の最大値及びそれに続
く値の度数の総和を順次求め、その総和がステップＳ１
で求めたエッジ数ｅ＝１００に等しくなるときの度数の
データ値近辺の値をしきい値ｔｈｌに設定する。この値
ｔｈｌは、「２２０」以下の値の例えば「２００」近辺
に設定される。このしきい値は、図２（Ｂ）に示したよ
うに、部品端子のエッジ位置検出に適するしきい値とな
っている。
【００１８】図９には、図４（Ｂ）に示したように、光
源の部分的な劣化や端子の部分的なよごれ等があって、
部品端子の一部に充分なエッジ濃度が得られない場合の
例が示されている。例えば、上側の中央端子２ｃに対応
する濃度マップ部分２２ｃが他の部分２２ａ〜２２ｅ’
より低い値になっている。
源の部分的な劣化や端子の部分的なよごれ等があって、
部品端子の一部に充分なエッジ濃度が得られない場合の
例が示されている。例えば、上側の中央端子２ｃに対応
する濃度マップ部分２２ｃが他の部分２２ａ〜２２ｅ’
より低い値になっている。
【００１９】これに対する差分フィルター結果のマップ
が図１０に、またその度数分布が図１１に示されてい
る。図１１の場合、すべての差分値に対して度数がとら
るのではなく、各走査ラインにおいて得られる極値の度
数が計数されている。すなわち、薄く網掛をした部分が
それぞれ極値となっており、その度数が図示されてい
る。黒く塗りつぶした部分は、絶対値を扱っているため
極値とはみなさないようになっている。濃度マップ部分
２２ｃでの差分の極値は、「９５」、「１１５」とそれ
ぞれ減少するが、その度数は、それぞれ５個あり、同様
に、部品データから求めたｅ＝１００を数え上げた度数
の位置にある、例えば「９０」近辺のしきい値を設定す
ることにより、全ての部品端子のエッジを検出すること
が可能になる。
が図１０に、またその度数分布が図１１に示されてい
る。図１１の場合、すべての差分値に対して度数がとら
るのではなく、各走査ラインにおいて得られる極値の度
数が計数されている。すなわち、薄く網掛をした部分が
それぞれ極値となっており、その度数が図示されてい
る。黒く塗りつぶした部分は、絶対値を扱っているため
極値とはみなさないようになっている。濃度マップ部分
２２ｃでの差分の極値は、「９５」、「１１５」とそれ
ぞれ減少するが、その度数は、それぞれ５個あり、同様
に、部品データから求めたｅ＝１００を数え上げた度数
の位置にある、例えば「９０」近辺のしきい値を設定す
ることにより、全ての部品端子のエッジを検出すること
が可能になる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
あらかじめ部品データから計算したエッジ数と、実際に
撮像した画像データから得られた度数分布とからしきい
値を動的に設定できるので、照明装置の劣化や部分的に
発生する濃度のバラツキに影響を受けずに、また部品の
反射率の影響を受けることなく、部品のエッジ位置を確
実に検出することが可能になる。
あらかじめ部品データから計算したエッジ数と、実際に
撮像した画像データから得られた度数分布とからしきい
値を動的に設定できるので、照明装置の劣化や部分的に
発生する濃度のバラツキに影響を受けずに、また部品の
反射率の影響を受けることなく、部品のエッジ位置を確
実に検出することが可能になる。
【図１】部品認識部の構成を示す構成図である。
【図２】部品の撮像データの濃度値並びにその差分デー
タを示す線図である。
タを示す線図である。
【図３】照明が不十分な場合の図２に対応する線図であ
る。
る。
【図４】部品の一部の照明が不十分な場合の図２に対応
する線図である。
する線図である。
【図５】全体の処理の流れを示すフローチャート図であ
る。
る。
【図６】撮像データの濃度マップの一例を示すマップ図
である。
である。
【図７】図６の濃度値に対する差分フィルター処理の結
果を示すマップ図である。
果を示すマップ図である。
【図８】図７の差分フィルター処理結果に対する度数分
布を示す線図である。
布を示す線図である。
【図９】撮像データの濃度マップの他の例を示すマップ
図である。
図である。
【図１０】図９の濃度値に対する差分フィルター処理の
結果を示すマップ図である。
結果を示すマップ図である。
【図１１】図１０の差分フィルター処理結果に対する度
数分布を示す線図である。
数分布を示す線図である。
２ 部品 ２ａ〜２ｅ’ 部品端子 １２ａ〜１２ｅ’ 部品端子の濃度マップ ２２ａ〜２２ｅ’ 部品端子の濃度マップ
Claims (4)
- 【請求項１】 部品を撮像することにより得られる撮像
データから部品位置を検出する部品位置検出方法におい
て、 撮像データから部品のエッジを表すデータ値の度数分布
を作成し、 部品データから得られるエッジ数と前記度数分布からエ
ッジ位置を検出するためのしきい値を求めることを特徴
とする部品位置検出方法。 - 【請求項２】 前記撮像データは各画素毎の濃度値であ
り、エッジを表すデータ値は各濃度値を差分フィルター
にかけることにより得られることを特徴とする請求項１
に記載の方法。 - 【請求項３】 最大データ値の度数から順次度数の総和
を求め、総和がエッジ数に達したときの度数に対応する
データ値近辺にしきい値を設定することを特徴とする請
求項１または２に記載の方法。 - 【請求項４】 差分フィルターをかけることにより得ら
れたデータの極値をエッジを表すデータ値とすることを
特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26386696A JP3695859B2 (ja) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | 部品位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26386696A JP3695859B2 (ja) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | 部品位置検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10111109A true JPH10111109A (ja) | 1998-04-28 |
| JP3695859B2 JP3695859B2 (ja) | 2005-09-14 |
Family
ID=17395341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26386696A Expired - Fee Related JP3695859B2 (ja) | 1996-10-04 | 1996-10-04 | 部品位置検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3695859B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005166850A (ja) * | 2003-12-02 | 2005-06-23 | Juki Corp | 部品認識方法及び装置 |
| JP2006133050A (ja) * | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Sick Optex Kk | カウントセンサ |
| JP2008203229A (ja) * | 2007-02-23 | 2008-09-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 電子部品の端子位置検出方法 |
| JP2009239150A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電子部品装着装置における部品認識方法 |
-
1996
- 1996-10-04 JP JP26386696A patent/JP3695859B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005166850A (ja) * | 2003-12-02 | 2005-06-23 | Juki Corp | 部品認識方法及び装置 |
| JP4551651B2 (ja) * | 2003-12-02 | 2010-09-29 | Ｊｕｋｉ株式会社 | 部品認識方法及び装置 |
| JP2006133050A (ja) * | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Sick Optex Kk | カウントセンサ |
| JP2008203229A (ja) * | 2007-02-23 | 2008-09-04 | Matsushita Electric Works Ltd | 電子部品の端子位置検出方法 |
| JP2009239150A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-15 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 電子部品装着装置における部品認識方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3695859B2 (ja) | 2005-09-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH03131173A (ja) | 画像処理方式 | |
| JPH10111109A (ja) | 部品位置検出方法 | |
| US7421143B2 (en) | Systems and methods for optimal dynamic range adjustment of scanned images | |
| JP3638028B2 (ja) | 車両ナンバー認識装置 | |
| JP4380864B2 (ja) | 部品検出方法及び装置 | |
| JP3015641B2 (ja) | 部品位置認識装置 | |
| JP3248944B2 (ja) | パターン検出方法およびパターン検出装置 | |
| JP4084257B2 (ja) | プリント基板検査装置 | |
| JP3412732B2 (ja) | 欠陥検査方法及びその装置 | |
| JP2517570B2 (ja) | パタ−ン検出方法 | |
| JPH0926313A (ja) | 電子部品実装基板外観検査装置における物体認識方法 | |
| JPH07330136A (ja) | パーツフィーダの画像処理装置 | |
| JP2005258724A (ja) | 製品検査装置 | |
| JP2647458B2 (ja) | 網点領域分離装置 | |
| JPH1040383A (ja) | 外観検査装置 | |
| JPH0654223B2 (ja) | 印刷配線基板のはんだ付検査装置及びその検査方法 | |
| JPH0410112B2 (ja) | ||
| JPH04207668A (ja) | 画像処理装置 | |
| JPH06341962A (ja) | 半導体装置の外観検査方法および外観検査装置 | |
| JPH11167639A (ja) | パターンマッチングによる検査装置 | |
| JPS61180382A (ja) | 画像認識装置 | |
| US20040021769A1 (en) | Method for detecting artifacts for use in a film scanner | |
| JP2003215050A (ja) | 欠陥検査方法及びその装置 | |
| JPH0556329A (ja) | 画像ぶれ量検出装置 | |
| JPH03211799A (ja) | 印刷配線板の検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050418 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050614 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050628 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080708 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090708 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090708 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100708 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110708 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120708 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120708 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130708 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |