JPH0529851B2 - - Google Patents
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- JPH0529851B2 JPH0529851B2 JP23175487A JP23175487A JPH0529851B2 JP H0529851 B2 JPH0529851 B2 JP H0529851B2 JP 23175487 A JP23175487 A JP 23175487A JP 23175487 A JP23175487 A JP 23175487A JP H0529851 B2 JPH0529851 B2 JP H0529851B2
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、光学式変位検出器に係り、特に二つ
の部材の相対位置を、光学的な格子の形成された
メインスケールと対応する光学的な格子を形成し
たインデツクススケールとの相対変位によつて生
ずる光電変換信号の変化から検出する光学式変位
検出器の改良に関するものである。
の部材の相対位置を、光学的な格子の形成された
メインスケールと対応する光学的な格子を形成し
たインデツクススケールとの相対変位によつて生
ずる光電変換信号の変化から検出する光学式変位
検出器の改良に関するものである。
工作機械の工具の送り量等を測定するために使
用されている従来の光学式変位検出器の一例を第
６図に示す。 この光学式変位検出器は、一定ピツチの明暗の
周期的目盛から成る計測用主格子１２、及び、例
えばランダムパターンから成る原点用主格子１４
が形成された第１の部材１０（いわゆるメインス
ケール）と、前記計測用主格子１２に対応する、
例えば位相が互いに90度ずれた二つのパターンか
らなる計測用副格子２２、及び、前記原点用主格
子１４と同一パターンの原点用副格子２４が形成
された第２の部材２０（いわゆるインデツクスス
キエール）と、互いに発光ダイオード（LED）
３２及びコリメータレンズ３４から成る平行照明
系３０と、前記両主格子１２，１４及び両副格子
２２，２４によつて制限された前記平行照明系３
０の照明光をそれぞれ光電変換する受光素子４０
と、該受光素子４０の出力をそれぞれ増幅するプ
リアンプ４２とを含んで構成されている。 これにより、計測用格子１２，２２に対応し
て、互いに位相が90度ずれた周期的な計測信号
ａ，ｂが得られる。又、原点用格子１４，２４に
対応して第１及び第２の部材１０，２０が、それ
らの原点用格子１４，２４がちょうど重なり合う
位置関係にあるときに変化する原点信号ｃが得ら
れる。
用されている従来の光学式変位検出器の一例を第
６図に示す。 この光学式変位検出器は、一定ピツチの明暗の
周期的目盛から成る計測用主格子１２、及び、例
えばランダムパターンから成る原点用主格子１４
が形成された第１の部材１０（いわゆるメインス
ケール）と、前記計測用主格子１２に対応する、
例えば位相が互いに90度ずれた二つのパターンか
らなる計測用副格子２２、及び、前記原点用主格
子１４と同一パターンの原点用副格子２４が形成
された第２の部材２０（いわゆるインデツクスス
キエール）と、互いに発光ダイオード（LED）
３２及びコリメータレンズ３４から成る平行照明
系３０と、前記両主格子１２，１４及び両副格子
２２，２４によつて制限された前記平行照明系３
０の照明光をそれぞれ光電変換する受光素子４０
と、該受光素子４０の出力をそれぞれ増幅するプ
リアンプ４２とを含んで構成されている。 これにより、計測用格子１２，２２に対応し
て、互いに位相が90度ずれた周期的な計測信号
ａ，ｂが得られる。又、原点用格子１４，２４に
対応して第１及び第２の部材１０，２０が、それ
らの原点用格子１４，２４がちょうど重なり合う
位置関係にあるときに変化する原点信号ｃが得ら
れる。
しかしながら、従来の検出器は、平行照明光を
必要とするため、高精度で、焦点距離が長く、大
きなコリメータレンズ３４が必要であり、検出器
が大型化してしまうという問題点を有していた。 このような問題点を解決すべく、出願人は既に
特願昭61−194183で、コリメータレンズを用いる
ことなく、発光素子を拡散光源のまま使用して、
周期的な計測信号を得ることができる光学式変位
検出器を提案している。しかしながら、これは、
一定ピツチの明暗の目盛からなる計測用目盛の部
分のみに関する提案であり、その際、原点信号用
目盛については考案されていなかつた。 従つて、たとえ周期的な計測信号ａ，ｂのみ
が、例えば特願昭61−194183で提案したような構
成で拡散光源を用いて得られても、原点信号を拡
散光源によつて得ることができなければ、原点信
号を得るために大きなコリメータレンズが依然と
して必要となり、原点信号の必要な用途では光学
式変位検出器を小型化できないという問題点を有
していた。
必要とするため、高精度で、焦点距離が長く、大
きなコリメータレンズ３４が必要であり、検出器
が大型化してしまうという問題点を有していた。 このような問題点を解決すべく、出願人は既に
特願昭61−194183で、コリメータレンズを用いる
ことなく、発光素子を拡散光源のまま使用して、
周期的な計測信号を得ることができる光学式変位
検出器を提案している。しかしながら、これは、
一定ピツチの明暗の目盛からなる計測用目盛の部
分のみに関する提案であり、その際、原点信号用
目盛については考案されていなかつた。 従つて、たとえ周期的な計測信号ａ，ｂのみ
が、例えば特願昭61−194183で提案したような構
成で拡散光源を用いて得られても、原点信号を拡
散光源によつて得ることができなければ、原点信
号を得るために大きなコリメータレンズが依然と
して必要となり、原点信号の必要な用途では光学
式変位検出器を小型化できないという問題点を有
していた。
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくな
されたもので、計測信号だけでなく、原点信号も
拡散光源を用いて得ることができる光学式変位検
出器を提供することを目的とする。
されたもので、計測信号だけでなく、原点信号も
拡散光源を用いて得ることができる光学式変位検
出器を提供することを目的とする。
本発明は、光学式変位検出器において、拡散光
源と、該拡散光源からの間隔がｕである位置に配
置される、一定ピツチの周期的目盛から成る計測
用主格子、及び、複数のスリツトから成る原点用
主格子が形成された第１の部材と、前記両主格子
からの間隔がｖである位置に配置される、前記計
測用主格子に対応する計測用副格子、及び、前記
複数のスリツトを（ｕ＋ｖ）／ｕ倍して成るパタ
ーンの原点用副格子が形成された第２の部材と、
前記拡散光源の照明による前記両主格子の影像と
前記両副格子との重なり合いによる光量変化を光
電変換する受光素子とを備え、前記第１及び第２
の部材の相対変位に応じて周期的に変化する計測
信号、及び、前記第１及び第２の部材が所定の位
置関係となつた時に変化する原点信号を生成する
ようにして、前記目的を達成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記原点用主格子の
複数のスリツトの最小のピツチを、前記計測用主
格子のピツチより大きく設定したものである。
源と、該拡散光源からの間隔がｕである位置に配
置される、一定ピツチの周期的目盛から成る計測
用主格子、及び、複数のスリツトから成る原点用
主格子が形成された第１の部材と、前記両主格子
からの間隔がｖである位置に配置される、前記計
測用主格子に対応する計測用副格子、及び、前記
複数のスリツトを（ｕ＋ｖ）／ｕ倍して成るパタ
ーンの原点用副格子が形成された第２の部材と、
前記拡散光源の照明による前記両主格子の影像と
前記両副格子との重なり合いによる光量変化を光
電変換する受光素子とを備え、前記第１及び第２
の部材の相対変位に応じて周期的に変化する計測
信号、及び、前記第１及び第２の部材が所定の位
置関係となつた時に変化する原点信号を生成する
ようにして、前記目的を達成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記原点用主格子の
複数のスリツトの最小のピツチを、前記計測用主
格子のピツチより大きく設定したものである。
本発明においては、計測信号用格子に関して
は、例えば特願昭61−194183で提案したような構
成によつて、拡散光源による回折効果を積極的に
利用して、計測信号を得るようにしている。一
方、原点信号用格子に関しては、原点用副格子の
パターンを、原点用主格子のパターンを拡散光源
と第１の部材間の距離ｕと第１の部材と第２の部
材間の距離ｖに応じて、（ｕ＋ｖ）／ｕ倍したも
のとして、回折効果を利用しないで、拡散光源に
より原点信号が得られるようにしている。従つ
て、計測信号だけでなく、原点信号についても、
平行照明光が不要となり、コリメータレンズを省
略できる。 又、原点用主格子の複数のスリツトの最小のピ
ツチを、計測用主格子のピツチより大きく設定し
た場合には、例えばランダムパターンを有するた
め回折効果では信号が鈍るだけである原点用主格
子の回折効果を減少させることができ、高精度の
原点信号を得ることができる。即ち、一般にピツ
チＰの格子からP2／λ（λは光源の有効波長）離
れたところに回折像ができるが、ピツチＰが大き
い程、遠方に回折像ができることになるので、回
折効果は減少する。
は、例えば特願昭61−194183で提案したような構
成によつて、拡散光源による回折効果を積極的に
利用して、計測信号を得るようにしている。一
方、原点信号用格子に関しては、原点用副格子の
パターンを、原点用主格子のパターンを拡散光源
と第１の部材間の距離ｕと第１の部材と第２の部
材間の距離ｖに応じて、（ｕ＋ｖ）／ｕ倍したも
のとして、回折効果を利用しないで、拡散光源に
より原点信号が得られるようにしている。従つ
て、計測信号だけでなく、原点信号についても、
平行照明光が不要となり、コリメータレンズを省
略できる。 又、原点用主格子の複数のスリツトの最小のピ
ツチを、計測用主格子のピツチより大きく設定し
た場合には、例えばランダムパターンを有するた
め回折効果では信号が鈍るだけである原点用主格
子の回折効果を減少させることができ、高精度の
原点信号を得ることができる。即ち、一般にピツ
チＰの格子からP2／λ（λは光源の有効波長）離
れたところに回折像ができるが、ピツチＰが大き
い程、遠方に回折像ができることになるので、回
折効果は減少する。
以下、図面を参照して、本発明の実施例を詳細
に説明する。 本発明の第１実施例においては、第１図に示す
如く、拡散光源として、点光源であるレーザダイ
オード５０が使用されている。又、第１の部材１
０及び第２の部材２０は、いずれもガラス製であ
り、第１の部材１０上の計測用主格子６２は、一
定ピツチP0の明暗の周期的目盛から成り、第２
の部材２０上の計測用副格子７２は、ピツチが
P0（ｕ＋ｖ）／ｕで、位相が互いに90度ずれた二
つのパターンから成つている。 なお、計測用副格子７２のピツチは、これに原
点されず、出願人が例えば特願昭61−208555で提
案した如く、Ｎを自然数として、P0（ｕ＋ｖ）／
（uN）等としてもよい。 前記第一の部材１０上の原点用主格子６４及び
第二の部材２０上の原点用副格子７４は、それぞ
れ第２図に示すような形状とされている。前記原
点用主格子６４は、スリツト幅w1，w2，w3の三
本のスリツトを、それぞれピツチp1，p2で配設し
たものとされ、前記原点用副格子７４は、前記ス
リツト幅、ピツチを、それぞれ（ｕ＋ｖ）／ｕ倍
して成るパターンから構成されている。即ち、原
点用副格子７４のスリツト幅Wi（ｉ＝１，２，
３）、ピツチPj（ｊ＝１、２）はそれぞれ次式で表
わされる。 Wi＝wi（ｕ＋ｖ）／ｕ ……(1) Pj＝pj（ｕ＋ｖ）／ｕ ……(2) ここで、原点用主格子６４のピツチp1，p2（p1
＜p2とする）は、次式に示す如く、計測用主格子
６２のピツチP0よりも大きく設定されている。 p1＞P0 ……(3) 更に、主格子６４と副格子７４の間隔ｖは、レ
ーザダイオード５０の有効波長をλとして、次式
を満足するように設定されている。 ｖ＜p1 2（ｕ＋ｖ）／（λu） ……(4) この(4)式の条件は、原点用格子６４，７４につ
いては、計測用格子６２，７２と異なつて、回折
効果が少ない領域で検出器を使用することを意味
している。 この場合、(4)式の条件が成立しても、(3)式の条
件があるため、ｎを自然数として、次式の条件を
成立させることができるため、計測用格子６２，
７２については、回折効果を利用することができ
る。 ｖ＝nP0 2（ｕ＋ｖ）／（λu） ……(5) 以下、第１実施例の作用を説明する。 第３図Ａは、第１図及び第２図に示した第１実
施例で、ピツチP0＝10μm、p1＝120μm、p2＝
180μm、スリツト幅w1＝w2＝w3＝40μm、間隔ｕ
＝ｖ≒６mmとした場合の、原点信号ｃの波形の例
を示したものである。この第１実施例では、ラン
ダムに三本のスリツトを配設しているため、ノイ
ズパルスk0等と信号パルスk1とのピークの比は略
１：３となり、ほぼ実用に耐えるＳ／Ｎ比が得ら
れている。 この場合、スリツトの本数を増やせば、Ｓ／Ｎ
比が更に改善されるが、原点用主格子６４ひいて
は副格子７４の幅は大きくなり、検出器のｘ方向
の長さが大きくなるという問題を生じる。従つ
て、第１実施例では、適当なＳ／Ｎ比が得られ、
且つ、検出器も大きくならないという条件を満た
すものとして、スリツト本数を三本としている。
もちろんスリツトの本数はこれに限定されない。 第３図Ａに示したような原点信号ｃに対して、
例えば第２図のプリアンプ４２の後に、閾値が
Vthのコンパレータとパルス化回路を付加するこ
とによつて、第３図Ｂに示したようなパルス信号
が得られる。よつて、このパルス信号で、計測信
号を計数するための計数回路のリセツト等を行う
ことにより、計数信号から得られる測定値の原点
設定が行える。 次に、本発明の第２実施例を詳細に説明する。 この第２実施例は、第４図に示す如く、拡散光
源として、例えば発光ダイオード（LED）で発
光部をスリツト状に形成して成る線光源８０を、
主格子６２，８２の目盛と平行に配向して用いた
点、及び、原点用主格子８２を、前記第１実施例
とはパターンの明部と暗部を反転して、スリツト
部分が光遮蔽部となるように形成した点が、前記
第１実施例と異なる。これに応じて、原点用副格
子８４のパターンも明部と暗部が逆にされてい
る。 従つて、この第２実施例においては、プリアン
プ４２を介して得られる原点信号ｃの形状も第１
実施例とは逆になり、原点用主格子８２と原点用
副格子８４のパターンが合致したところで零にな
る。 他の構成及び作用については、前記第１実施例
と同様であるで、説明を省略する。 光源として一般のLEDを用いた場合、点光源
とするために、発光部を単に小さくすると、発光
出力が減少して、プリアンプ４２の増幅度を大き
くしなければならず、Ｓ／Ｎ比が悪化する。その
ため、この第２実施例では、点光源でなく線光源
としてLEDを用いている。即ち、LEDのスリツ
ト状発光部の長手方向を主格子の目盛と平行に配
向することで、格子の目盛縦方向には線光源であ
つても、格子のｘ方向には点光源となり、実質的
には点光源として作用する。 なお、前記実施例においては、いずれも本発明
が透過型検出器に適用されていたが、本発明の適
用範囲はこれに限定されず、例えば第５図に示す
第３実施例の如く、反射型の検出器にも同様に適
用することができる。 この第３実施例では、拡散光源として、レーザ
ダイオード５０の光を集光レンズ９０により、例
えば第２の部材２０の表面上で集光した点光源を
使用している。これは、第２の部材２０上に直接
レーザダイオード５０を配置するのが困難なため
である。 この第３実施例においては、間隔ｕ＝ｖに設定
し易いので、好適である。 前記実施例においては、いずれも、拡散光源を
計測用格子と原点用格子で共用していたので構成
が簡略である。なお、拡散光源を共用することな
く、計測用格子と原点用格子とで別個に設けるこ
とも可能である。 なお前記実施例においては、本発明が、いずれ
も直線変位測定機に適用されていたが、本発明の
適用範囲はこれに限定されず、回転変位検出器
（ロータリエンコーダ）にも同様に適用すること
ができる。又、原点用格子だけを分離して位置決
めに用いることも可能である。
に説明する。 本発明の第１実施例においては、第１図に示す
如く、拡散光源として、点光源であるレーザダイ
オード５０が使用されている。又、第１の部材１
０及び第２の部材２０は、いずれもガラス製であ
り、第１の部材１０上の計測用主格子６２は、一
定ピツチP0の明暗の周期的目盛から成り、第２
の部材２０上の計測用副格子７２は、ピツチが
P0（ｕ＋ｖ）／ｕで、位相が互いに90度ずれた二
つのパターンから成つている。 なお、計測用副格子７２のピツチは、これに原
点されず、出願人が例えば特願昭61−208555で提
案した如く、Ｎを自然数として、P0（ｕ＋ｖ）／
（uN）等としてもよい。 前記第一の部材１０上の原点用主格子６４及び
第二の部材２０上の原点用副格子７４は、それぞ
れ第２図に示すような形状とされている。前記原
点用主格子６４は、スリツト幅w1，w2，w3の三
本のスリツトを、それぞれピツチp1，p2で配設し
たものとされ、前記原点用副格子７４は、前記ス
リツト幅、ピツチを、それぞれ（ｕ＋ｖ）／ｕ倍
して成るパターンから構成されている。即ち、原
点用副格子７４のスリツト幅Wi（ｉ＝１，２，
３）、ピツチPj（ｊ＝１、２）はそれぞれ次式で表
わされる。 Wi＝wi（ｕ＋ｖ）／ｕ ……(1) Pj＝pj（ｕ＋ｖ）／ｕ ……(2) ここで、原点用主格子６４のピツチp1，p2（p1
＜p2とする）は、次式に示す如く、計測用主格子
６２のピツチP0よりも大きく設定されている。 p1＞P0 ……(3) 更に、主格子６４と副格子７４の間隔ｖは、レ
ーザダイオード５０の有効波長をλとして、次式
を満足するように設定されている。 ｖ＜p1 2（ｕ＋ｖ）／（λu） ……(4) この(4)式の条件は、原点用格子６４，７４につ
いては、計測用格子６２，７２と異なつて、回折
効果が少ない領域で検出器を使用することを意味
している。 この場合、(4)式の条件が成立しても、(3)式の条
件があるため、ｎを自然数として、次式の条件を
成立させることができるため、計測用格子６２，
７２については、回折効果を利用することができ
る。 ｖ＝nP0 2（ｕ＋ｖ）／（λu） ……(5) 以下、第１実施例の作用を説明する。 第３図Ａは、第１図及び第２図に示した第１実
施例で、ピツチP0＝10μm、p1＝120μm、p2＝
180μm、スリツト幅w1＝w2＝w3＝40μm、間隔ｕ
＝ｖ≒６mmとした場合の、原点信号ｃの波形の例
を示したものである。この第１実施例では、ラン
ダムに三本のスリツトを配設しているため、ノイ
ズパルスk0等と信号パルスk1とのピークの比は略
１：３となり、ほぼ実用に耐えるＳ／Ｎ比が得ら
れている。 この場合、スリツトの本数を増やせば、Ｓ／Ｎ
比が更に改善されるが、原点用主格子６４ひいて
は副格子７４の幅は大きくなり、検出器のｘ方向
の長さが大きくなるという問題を生じる。従つ
て、第１実施例では、適当なＳ／Ｎ比が得られ、
且つ、検出器も大きくならないという条件を満た
すものとして、スリツト本数を三本としている。
もちろんスリツトの本数はこれに限定されない。 第３図Ａに示したような原点信号ｃに対して、
例えば第２図のプリアンプ４２の後に、閾値が
Vthのコンパレータとパルス化回路を付加するこ
とによつて、第３図Ｂに示したようなパルス信号
が得られる。よつて、このパルス信号で、計測信
号を計数するための計数回路のリセツト等を行う
ことにより、計数信号から得られる測定値の原点
設定が行える。 次に、本発明の第２実施例を詳細に説明する。 この第２実施例は、第４図に示す如く、拡散光
源として、例えば発光ダイオード（LED）で発
光部をスリツト状に形成して成る線光源８０を、
主格子６２，８２の目盛と平行に配向して用いた
点、及び、原点用主格子８２を、前記第１実施例
とはパターンの明部と暗部を反転して、スリツト
部分が光遮蔽部となるように形成した点が、前記
第１実施例と異なる。これに応じて、原点用副格
子８４のパターンも明部と暗部が逆にされてい
る。 従つて、この第２実施例においては、プリアン
プ４２を介して得られる原点信号ｃの形状も第１
実施例とは逆になり、原点用主格子８２と原点用
副格子８４のパターンが合致したところで零にな
る。 他の構成及び作用については、前記第１実施例
と同様であるで、説明を省略する。 光源として一般のLEDを用いた場合、点光源
とするために、発光部を単に小さくすると、発光
出力が減少して、プリアンプ４２の増幅度を大き
くしなければならず、Ｓ／Ｎ比が悪化する。その
ため、この第２実施例では、点光源でなく線光源
としてLEDを用いている。即ち、LEDのスリツ
ト状発光部の長手方向を主格子の目盛と平行に配
向することで、格子の目盛縦方向には線光源であ
つても、格子のｘ方向には点光源となり、実質的
には点光源として作用する。 なお、前記実施例においては、いずれも本発明
が透過型検出器に適用されていたが、本発明の適
用範囲はこれに限定されず、例えば第５図に示す
第３実施例の如く、反射型の検出器にも同様に適
用することができる。 この第３実施例では、拡散光源として、レーザ
ダイオード５０の光を集光レンズ９０により、例
えば第２の部材２０の表面上で集光した点光源を
使用している。これは、第２の部材２０上に直接
レーザダイオード５０を配置するのが困難なため
である。 この第３実施例においては、間隔ｕ＝ｖに設定
し易いので、好適である。 前記実施例においては、いずれも、拡散光源を
計測用格子と原点用格子で共用していたので構成
が簡略である。なお、拡散光源を共用することな
く、計測用格子と原点用格子とで別個に設けるこ
とも可能である。 なお前記実施例においては、本発明が、いずれ
も直線変位測定機に適用されていたが、本発明の
適用範囲はこれに限定されず、回転変位検出器
（ロータリエンコーダ）にも同様に適用すること
ができる。又、原点用格子だけを分離して位置決
めに用いることも可能である。
以上説明した通り、本発明によれば、計測信号
だけでなく、原点信号をも、拡散光源を用いて得
ることができる。従つて、原点信号のためにコリ
メータレンズを用いる必要がなくなり、検出器を
小型化することが可能となる等の優れた効果を有
する。
だけでなく、原点信号をも、拡散光源を用いて得
ることができる。従つて、原点信号のためにコリ
メータレンズを用いる必要がなくなり、検出器を
小型化することが可能となる等の優れた効果を有
する。
第１図は、本発明に係る光学式変位検出器の第
１実施例の要部構成を示す斜視図、第２図は、前
記第１実施例で用いられてる原点用格子の構成を
示す断面図、第３図は、前記第１実施例の原点信
号の例を示す線図、第４図は、本発明の第２実施
例の要部構成を示す斜視図、第５図は同じく第３
実施例の要部構成を示す断面図、第６図は、従来
の光学式変位検出器の一例の構成を示す斜視図で
ある。 １０……第１の部材、２０……第２の部材、４
０……受光素子、５０……レーザダイオード、６
２……計測用主格子、６４，８２……原点用主格
子、７２……計測用副格子、７４，８４……原点
用副格子、８０……線光源、９０……集光レン
ズ、ａ，ｂ……計測信号、ｃ……原点信号。
１実施例の要部構成を示す斜視図、第２図は、前
記第１実施例で用いられてる原点用格子の構成を
示す断面図、第３図は、前記第１実施例の原点信
号の例を示す線図、第４図は、本発明の第２実施
例の要部構成を示す斜視図、第５図は同じく第３
実施例の要部構成を示す断面図、第６図は、従来
の光学式変位検出器の一例の構成を示す斜視図で
ある。 １０……第１の部材、２０……第２の部材、４
０……受光素子、５０……レーザダイオード、６
２……計測用主格子、６４，８２……原点用主格
子、７２……計測用副格子、７４，８４……原点
用副格子、８０……線光源、９０……集光レン
ズ、ａ，ｂ……計測信号、ｃ……原点信号。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 拡散光源と、 該拡散光源からの間隔がｕである位置に配置さ
れる、一定ピツチの周期的目盛から成る計測用主
格子、及び、複数のスリツトから成る原点用主格
子が形成された第１の部材と、 前記両主格子からの間隔がｖである位置に配置
される、前記計測用主格子に対応する計測用副格
子、及び、前記複数のスリツトを（ｕ＋ｖ）／ｕ
倍して成るパターンの原点用副格子が形成された
第２の部材と、 前記拡散光源の照明による前記両主格子の影像
と前記両副格子との重なり合いによる光量変化を
光電変換する受光素子とを含み、 前記第１及び第２の部材の相対変位に応じて周
期的に変化する計測信号、及び、前記第１及び第
２の部材が所定の位置関係となつた時に変化する
原点信号を生成することを特徴とする光学式変位
検出器。 ２ 前記原点用主格子の複数のスリツトの最小の
ピツチが、前記計測用主格子のピツチより大きく
設定されている特許請求の範囲第１項記載の光学
式変位検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23175487A JPS6474414A (en) | 1987-09-16 | 1987-09-16 | Optical displacement detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23175487A JPS6474414A (en) | 1987-09-16 | 1987-09-16 | Optical displacement detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6474414A JPS6474414A (en) | 1989-03-20 |
| JPH0529851B2 true JPH0529851B2 (ja) | 1993-05-06 |
Family
ID=16928511
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23175487A Granted JPS6474414A (en) | 1987-09-16 | 1987-09-16 | Optical displacement detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6474414A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2552091Y2 (ja) * | 1992-11-10 | 1997-10-27 | 株式会社オーディオテクニカ | バー検出装置 |
| GB0103582D0 (en) * | 2001-02-14 | 2001-03-28 | Renishaw Plc | Position determination system |
| JP4667653B2 (ja) * | 2001-06-20 | 2011-04-13 | 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ | 光学式エンコーダ |
| DE102008044858A1 (de) * | 2008-08-28 | 2010-03-04 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Optische Positionsmesseinrichtung |
-
1987
- 1987-09-16 JP JP23175487A patent/JPS6474414A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6474414A (en) | 1989-03-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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