JPH05282722A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH05282722A
JPH05282722A JP10864792A JP10864792A JPH05282722A JP H05282722 A JPH05282722 A JP H05282722A JP 10864792 A JP10864792 A JP 10864792A JP 10864792 A JP10864792 A JP 10864792A JP H05282722 A JPH05282722 A JP H05282722A
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JP
Japan
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magneto
underlayer
optical recording
recording medium
film
Prior art date
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Pending
Application number
JP10864792A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Deguchi
浩司 出口
Motoharu Tanaka
元治 田中
Atsuyuki Watada
篤行 和多田
Toshiaki Tokita
才明 鴇田
Yoshiko Kurosawa
美子 黒沢
Osamu Nonoyama
治 野々山
Masayoshi Takahashi
正悦 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication of JPH05282722A publication Critical patent/JPH05282722A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 記録時の光の照射方法のみを他の時とは代え
ることにより信号を記録する方法によるオーバーライト
をより安定かつ再現性のよいものとする。 【構成】 基板1と磁性層3との間に設けられる下地層
2の表面の面積1mm2内の中心線平均粗さを50Å以
下に規定する。これにより、下地層2の凹凸の影響が磁
性層3に及ぶのが防止され、保磁力や磁壁エネルギー等
の特性の変動を押えることができ、上記方法におけるオ
ーバーライトがより良好なものとなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はオーバーライトを可能と
した光磁気記録媒体に関する。
【0002】
【従来の技術】光磁気記録は従来の磁気記録に比べて大
容量であり、しかも情報の書き換えが可能であることか
ら活発な開発がなされており、一部では既に市販されて
もいる。
【0003】しかしながら、現在市販されている光磁気
記録装置の多くは、情報を書き換える際に元の情報を予
め消去し、その後に新しい情報を書くという工程を踏む
必要があるため、消去操作に時間がかかり時間的なロス
となっている。
【0004】また、オーバーライトを可能とする光磁気
記録方法も種々提案されているが問題点が多く実用化に
は至っていない。
【0005】ここで従来の光磁気記録方法としては以下
のものが知られている。 一般的光変調方式(例えば応用磁気学会誌Vol.8、No.
5(1984)等)。 2層膜を使用した光強度変化によるオーバーライト方
式(応用磁気研究会資料53-15(1988)等)。 固定磁石による磁界変調方式(電気学会マグネティッ
クス研究会資料 MAG-86-95(1986)等)。 浮上ヘッドによる磁界変調方式(電気学会マグネティ
ックス研究会資料 MAG-87-178(1987)、特開昭63−2
04532号公報、特開昭63−217548号公報
等)。 共振回路を持つ磁気ヘッド及びパルス状レーザーを使
用したオーバーライト方式(IEEE Trans. Magn.24,P.66
6(1988)、特開昭63−37842号公報)。 反磁界を利用する方式(Han-Ping D. Shieh and Mark
H. Kryder;Appl.Phys.Lett. 49(1986)473、Han-Ping
D. Shieh and Mark H. Kryder;IEEE Trans. Magn.Vol.M
AG-23(1987)171、M. D. Schultz, H-P D. Shieh, and
M. H. Kryder;J.Appl.Phys. 63(1988)3844)。
【0006】上記従来の光磁気記録方法のうち、の光
変調方式は一般にオーバーライトができないために消去
動作を必要とし、書き換えに時間がかかるという欠点が
ある。従って、ハードディスクの代替などの使用は不可
能である。
【0007】また、の2層膜を使用した光強度変化に
よるオーバーライト方式では記録層が2層または3層以
上となり、また2層間の交換結合の調整が微妙で難しく
なる。また、大きな初期化磁界を必要とし、初期化用磁
石のコスト高、装置の大型化などの問題がある。また、
記録時の“1”、“0”間の光パワーの差が小さく、そ
れぞれの許容差が限定され記録の確実性に不安がある。
【0008】また、の固定磁石による磁界変調方式で
は、磁石にある程度の大きさのものが必要となり消費電
力が大きくなる。また、高速化が非常に困難で1MHz
程度のデジタル記録が限界と思われる。
【0009】また、の浮上磁気ヘッドによる磁界変調
方式では、磁気ヘッドを媒体にほぼ接触させる形とな
り、光ディスクの非接触というメリットがなくなる。ま
た、単板にする必要があり、記憶容量、基板の反り反び
磁性膜の保護の点で問題がある。
【0010】また、の共振回路を持つ磁気ヘッド及び
パルス状レーザーを使用する方式では、上記の方式よ
りは良いが同じ課題を持つ。
【0011】また、の反磁界を利用する方法では、以
前に記録されていたビットと同じ場所にレーザーパルス
を照射する必要があるためレーザーパルス照射位置の制
御が困難であり、またピットポジション記録しかできな
い等の問題がある。
【0012】一方、特願平2−64959号明細書にお
いて上記問題を解決すべく新規な光磁気記録方法が提案
されている。即ち、光磁気記録媒体の垂直磁化膜に光を
照射することによって磁気記録パターンを形成する光磁
気記録方法であって、光を照射して記録行う際に、記録
を行おうとする磁化の方向を媒体面に対して下向きから
上向き、若しくは、上向きから下向きに切替えるとき
に、照射光のスポット径、パルス幅、照射パワー、単パ
ルスか連続パルスか等の光の照射方法を他の時とは変え
ることにより信号を記録する光磁気記録方法である。こ
の方式によれば、基本的に光磁気記録媒体の垂直磁化膜
が単層でよく、2層膜記録媒体と比べ低レーザーパワー
にて書き込めるようになる。しかも前述の反磁界を利用
した方式とは異なり、以前書き込まれていた信号とは無
関係に新しい信号を書き込むことができるので装置構成
が複雑化することもなく、有利である。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】上記特許明細書に記載
の光磁気記録は、光磁気記録媒体の反磁界、保磁力、磁
壁エネルギー、外部からの磁界等の要因が複雑に作用し
て行われる。従って、上記光磁気記録を実現するために
はこれらの要因の安定性や再現性が必要となる。その場
合、特に垂直磁化膜の磁気特性が最も重要であるが、一
般に光磁気記録媒体の層構成としては、垂直磁化膜を下
地層と保護層とで挾む構成がよく用いられている。そし
て、この下地層が上述した要因に与える影響も必ずしも
小さくない。そこで、媒体面での検討は、上記光磁気記
録をより安定かつ再現性の良いものとするために重要で
ある。
【0014】従って、本発明は、上記光磁気記録をより
安定かつ再現性の良いものとする光磁気記録媒体を提供
することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0015】上記目的を達成すべく、本発明者らは、光
磁気記録媒体の垂直磁化膜の下方に付設される下地層
と、上記光磁気記録との関係を鋭意研究、検討した結
果、下地層の表面形状を特定化することにより、上記光
磁気記録方法において重要な要因である反磁界、保磁
力、磁壁エネルギー等の特性を安定化することができ、
オーバーライトの安定化、再現性の向上が行えることを
見出し、本発明を完成するに至った。
【0016】即ち、本発明によれば、光磁気記録媒体の
垂直磁化膜に光を照射することによって磁気記録パター
ンを形成して記録を行う際に、記録を行おうとする磁化
の方向を媒体面に対して下向きから上向き、若しくは、
上向きから下向きに切り替えるときに、照射光のスポッ
ト径、パルス幅、照射パワー、単パルスか連続パルスか
等の光の照射方法を他の時とは変えることにより信号を
記録する光磁気記録方法に使用される光磁気記録媒体で
あって、基板と垂直磁化膜の間に設けられる下地層の表
面の面積1mm2内の中心線平均粗さが50Å以下であ
ることを特徴とする光磁気記録媒体が提供される。
【0017】また、本発明によれば、上記構成におい
て、下地層の表面の最大凹凸が150Å以下であること
を特徴とする光磁気記録媒体が提供される。
【0018】また、本発明によれば、上記構成におい
て、下地層の表面の凹凸が下地層の膜厚に対して15%
以下であることを特徴とする光磁気記録媒体が提供され
る。
【0019】さらに、本発明によれば、上記構成におい
て、下地層の膜厚が300Å以上2000Å以下である
ことを特徴とする光磁気記録媒体が提供される。
【0020】下地層の凹凸が激しい場合、その影響は直
接垂直磁化膜に及び、その凹凸によって保磁力や磁壁エ
ネルギー等が変動し、記録条件の変動を招く。本発明者
らは下地層の表面形状について種々検討を行った結果、
下地層の表面の面積1mm2内の中心線平均粗さが50
Å以下である場合には凹凸による影響は殆どなく、記録
条件が安定することを確認した。また、上記平均粗さの
条件を満足しかつ下地層の表面の最大凹凸が150Å以
下の場合にはさらに記録条件が安定することを確認し
た。この場合において、下地層の表面の凹凸が下地層の
膜厚に対して15%以下であるのが好ましい。なぜなら
ば、凹凸が膜圧の15%以上の場合、上部との密着性が
著しく悪く、界面部分からの劣化がみられる。下地層の
表面性は材料の種類、作製方法等によって大きく変化す
るが、膜厚については300Å以上でなければ上記平均
粗さの条件を満足することが困難となる。また、基板と
の整合性や内部応力による膜歪みやクラックなどを考慮
すると2000Å以下が望ましい。より好適な膜厚は5
00Åから1000Åの間である。
【0021】一方、再生時のSN比を決定しているカー
回転角を高めるために光の多重干渉効果が利用される
が、このため下地層の屈折率は1.90〜2.05の範
囲であるのが望ましい。また、垂直磁化膜として希土類
−遷移金属アモルファス合金を用いる場合、この合金膜
は酸化されやすいことから、下地層の構成元素に酸素が
含まれていないことが望ましい。
【0022】上記のような条件を満足するためには、下
地層の材料としてはSiN,AlN,TiN,BN等が
好ましく、成膜方法としては、スパッタ法やCVD法等
が好ましい。
【0023】
【実施例】以下本発明の実施例を述べるが、本発明はこ
れら実施例に限定されるものではない。
【0024】実施例1 深さ700Å、トラックピッチ1.6μmの案内溝付き
ガラス基板(直径3.5インチ(約89mm))1上に
下地層2としてSiN膜を500Å形成し、その上に磁
性層(垂直磁化膜)3としてTbFeCo膜を2000
Å形成し、さらにその上に保護層4としてSiN膜を5
00Å形成し、図1に示す構成の本発明による光磁気デ
ィスクを作製した。成膜方法としては下地層2及び保護
層4の形成には反応性スパッタ法を用い、磁性層3の形
成にはRFマグネトロンスパッタ法を用いた。下地層2
の成膜の際には、基板側にDCバイアス電圧を印加する
ことにより種々の表面粗さの下地層とし、それぞれ光磁
気ディスクA〜Iとした。以上のようにして作製した各
光磁気ディスクについてオーバーライト特性を評価し
た。その結果を表1に示す。
【0025】
【表1】
【0026】表1から明らかなように、本発明の構成を
用いた媒体D、E、F、G、Hの方がその他の媒体に比
べオーバーライト特性が良好であることが分かる。
【0027】実施例2 下地層の表面形状及び膜厚を表2に示すものとしたこと
以外は実施例1と同様にして光磁気ディスクJ〜Sを作
製した。これらの光磁気ディスクについて上記と同様に
オーバーライト特性を評価した。その結果を表2に示
す。
【0028】
【表2】
【0029】表2から明らかなように、下地層が本発明
で規定する表面形状を有し、かつ膜厚が300Å〜20
00Åの範囲にある媒体は、オーバーライト特性がより
良好であることが分かる。
【0030】実施例3 下地層の表面形状及び屈折率を表3に示すものとしたこ
と以外は実施例1と同様にして光磁気ディスクT〜Rを
作製した。これらの光磁気ディスクについて上記と同様
にオーバーライト特性を評価した。その結果を表3に示
す。
【0031】
【表3】
【0032】表3から明らかなように、下地層が本発明
で規定する表面形状を有し、かつ下地層の屈折率が1.
90〜2.05の範囲にある媒体は、カー回転角が大き
くオーバーライト特性がさらに良好であることが分か
る。
【0033】実施例4 下地層の材料をSiO2 に代えたこと以外は実施例1で
良好なオーバーライト特性が得られたものと同様にして
光磁気ディスクを作製した。この光磁気ディスクについ
てオーバーライト特性を評価したところ、作製直後では
それほど遜色のない特性を示したが、約100hr後の
特性では下地層の材料がSiNの光ディスクの方がより
安定な特性を示した。
【0034】
【発明の効果】本発明によれば、下地層を前記構成とし
たので、記録時の光の照射方法のみを他の時とは代える
ことにより信号を記録する方法におけるオーバーライト
をより安定かつ再現性のよいものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例に係る光磁気ディスクの層構成
を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
1 ガラス基板 2 下地層 3 磁性層(垂直磁化膜) 4 保護層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鴇田 才明 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 黒沢 美子 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 野々山 治 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 高橋 正悦 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光磁気記録媒体の垂直磁化膜に光を照射
    することによって磁気記録パターンを形成して記録を行
    う際に、記録を行おうとする磁化の方向を媒体面に対し
    て下向きから上向き、若しくは、上向きから下向きに切
    り替えるときに、照射光のスポット径、パルス幅、照射
    パワー、単パルスか連続パルスか等の光の照射方法を他
    の時とは変えることにより信号を記録する光磁気記録方
    法に使用される光磁気記録媒体であって、基板と垂直磁
    化膜の間に設けられる下地層の表面の面積1mm2内の
    中心線平均粗さが50Å以下であることを特徴とする光
    磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】 下地層の表面の最大凹凸が150Å以下
    であることを特徴とする請求項1に記載の光磁気記録媒
    体。
  3. 【請求項3】 下地層の表面の凹凸が下地層の膜厚に対
    して15%以下であることを特徴とする請求項2に記載
    の光磁気記録媒体。
  4. 【請求項4】 下地層の膜厚が300Å以上2000Å
    以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一
    項に記載の光磁気記録媒体。
JP10864792A 1992-04-01 1992-04-01 光磁気記録媒体 Pending JPH05282722A (ja)

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