JPH05267631A - カラースキャナ製造方法 - Google Patents
カラースキャナ製造方法Info
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- JPH05267631A JPH05267631A JP4352018A JP35201892A JPH05267631A JP H05267631 A JPH05267631 A JP H05267631A JP 4352018 A JP4352018 A JP 4352018A JP 35201892 A JP35201892 A JP 35201892A JP H05267631 A JPH05267631 A JP H05267631A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
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- H—ELECTRICITY
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- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
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- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
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- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 改善されたカラースキャナ製造技術を提供す
ること。 【構成】 カラースキャナは、基板１１上に配置された
複数の離間されたフォトセンサアレイ１０を有し、この
アレイ１０はスペーサ２０、２１、２２、２３によって
複数の領域に分離され、かつスペーサ２０、２１、２
２、２３が、基板１１とフォトセンサ１０からカバーシ
ート２５を隔てるように、透明なカバーシート２５がデ
バイスの頂部に密着される。基板上の分離された領域
は、それぞれの領域の排気を可能とするように少なくと
も一つの位置で開口されており、この開口３０、３１、
３２は、排気された後、液体カラー媒体５０を引き込め
るように領域内の「真空」と接触する。
ること。 【構成】 カラースキャナは、基板１１上に配置された
複数の離間されたフォトセンサアレイ１０を有し、この
アレイ１０はスペーサ２０、２１、２２、２３によって
複数の領域に分離され、かつスペーサ２０、２１、２
２、２３が、基板１１とフォトセンサ１０からカバーシ
ート２５を隔てるように、透明なカバーシート２５がデ
バイスの頂部に密着される。基板上の分離された領域
は、それぞれの領域の排気を可能とするように少なくと
も一つの位置で開口されており、この開口３０、３１、
３２は、排気された後、液体カラー媒体５０を引き込め
るように領域内の「真空」と接触する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、カラー走査デバイスの
製造方法及びこの方法によって製造されるカラー走査デ
バイスに関する。
製造方法及びこの方法によって製造されるカラー走査デ
バイスに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、カラーテレビシステムやカラー
再生システム等においては、画像のカラーに対応する信
号を供給することがしばしば所望される。このために、
異なるカラーに感応する光走査装置を設ける必要があ
る。この種の信号を生成する一つの技術において、例え
ば、走査光学から光を遮断するように配置されたフォト
ダイオードのような複数の光検知デバイスを有する検知
アレイが設けられる。各センサの出力が異なるカラーの
光に応答するように、異なるカラーの光学フィルタが、
異なるセンサへの光の光路内に配置される。
再生システム等においては、画像のカラーに対応する信
号を供給することがしばしば所望される。このために、
異なるカラーに感応する光走査装置を設ける必要があ
る。この種の信号を生成する一つの技術において、例え
ば、走査光学から光を遮断するように配置されたフォト
ダイオードのような複数の光検知デバイスを有する検知
アレイが設けられる。各センサの出力が異なるカラーの
光に応答するように、異なるカラーの光学フィルタが、
異なるセンサへの光の光路内に配置される。
【０００３】例えば、米国特許第５,０５３,２９８号に
開示されているように、一つの形状のカラー走査デバイ
スの製造において、フォトダイオードアレイが基板の凹
所に蒸着され、透明なプレーナ層によって被覆される。
ダイオードアレイの所定のアレイを規定するパターン
が、プレーナ層の表面上にリソグラフィ技術により形成
された後、このプレーナ層は、パターンを被覆するため
の着色剤によって被覆される。次いで、着色剤はプレー
ナ層の表面から除去され、カラーのパターン上に保護層
が設けられ、かつこのプロセスは異なるカラーからなる
他のパターンを形成するため反復される。
開示されているように、一つの形状のカラー走査デバイ
スの製造において、フォトダイオードアレイが基板の凹
所に蒸着され、透明なプレーナ層によって被覆される。
ダイオードアレイの所定のアレイを規定するパターン
が、プレーナ層の表面上にリソグラフィ技術により形成
された後、このプレーナ層は、パターンを被覆するため
の着色剤によって被覆される。次いで、着色剤はプレー
ナ層の表面から除去され、カラーのパターン上に保護層
が設けられ、かつこのプロセスは異なるカラーからなる
他のパターンを形成するため反復される。
【０００４】上記のプロセスは、多数のホトリソグラフ
ィの段階と、パターンに対するそれぞれのダイオードア
レイの正確な位置合わせとを含む。
ィの段階と、パターンに対するそれぞれのダイオードア
レイの正確な位置合わせとを含む。
【０００５】米国特許第５,０４２,９２０号に開示され
ているように、他のカラー走査デバイス製造方法におい
て、異なるカラーの樹脂インクがストライプのようなパ
ターン形状で透明基板上にプリントされる。このプロセ
スにおいて、カラーパターンが同一パターンの透明電極
によってオーバーコートされる。画素電極は、第２の透
明な基板上に形成され、これにより、パターン電極と画
素電極の間の液晶層によって、これらの基板アセンブリ
のサンドイッチが形成される。
ているように、他のカラー走査デバイス製造方法におい
て、異なるカラーの樹脂インクがストライプのようなパ
ターン形状で透明基板上にプリントされる。このプロセ
スにおいて、カラーパターンが同一パターンの透明電極
によってオーバーコートされる。画素電極は、第２の透
明な基板上に形成され、これにより、パターン電極と画
素電極の間の液晶層によって、これらの基板アセンブリ
のサンドイッチが形成される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】光走査デバイスのため
にカラーフィルタを設けるための上記技術の各々におい
て、着色剤はこのようにデバイスの外部表面に塗布さ
れ、かつデバイスの最終準備段階において被覆される。
従って、カラーフィルタを設けることは、かなり複雑で
ありかつ経費がかかる。
にカラーフィルタを設けるための上記技術の各々におい
て、着色剤はこのようにデバイスの外部表面に塗布さ
れ、かつデバイスの最終準備段階において被覆される。
従って、カラーフィルタを設けることは、かなり複雑で
ありかつ経費がかかる。
【０００７】R.W.G.Hunt、John Willey&Sons共著、１９
８７年ニューヨークで発行された“Measuring Color ”
（「測定カラー」）（１１０頁乃至１１２頁）や、１９
８３年夏発行の「カラーリサーチとその使用」第８巻、
第２号のF.W.Billmeyer,Jr.による例えば、“Redetermi
nation of CIE Standard Source C”( 「ＣＩＥ標準光
源Ｃの再決定」) （９０頁乃至９６頁）に開示されてい
るように、カラーの液体がガラス板の間に設けられた、
光源に使用するための液体カラーフィルタが提案されて
きた。これらの参考文献は、微細寸法（例：数センチメ
ートル）のデバイスに関しているが、このデバイスのカ
ラーの液体の吸収係数は、薄膜走査アレイのような
（例：約数マイクロメータの）微細寸法のデバイスに効
果的なカラーフィルタリングを行うには、例えば、１０
００倍も低過ぎるのである。
８７年ニューヨークで発行された“Measuring Color ”
（「測定カラー」）（１１０頁乃至１１２頁）や、１９
８３年夏発行の「カラーリサーチとその使用」第８巻、
第２号のF.W.Billmeyer,Jr.による例えば、“Redetermi
nation of CIE Standard Source C”( 「ＣＩＥ標準光
源Ｃの再決定」) （９０頁乃至９６頁）に開示されてい
るように、カラーの液体がガラス板の間に設けられた、
光源に使用するための液体カラーフィルタが提案されて
きた。これらの参考文献は、微細寸法（例：数センチメ
ートル）のデバイスに関しているが、このデバイスのカ
ラーの液体の吸収係数は、薄膜走査アレイのような
（例：約数マイクロメータの）微細寸法のデバイスに効
果的なカラーフィルタリングを行うには、例えば、１０
００倍も低過ぎるのである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】従って、本発明は、改良
されたカラースキャナデバイスと、そのデバイスの製造
方法を提供することに関する。
されたカラースキャナデバイスと、そのデバイスの製造
方法を提供することに関する。
【０００９】要するに、本発明によれば、カラースキャ
ナは、基板上に配置された、複数の離間されたフォトセ
ンサのアレイを有している。このアレイは、スペーサに
よって複数の領域へ分離され、これらのスペーサが、カ
バーシートを基板及びフォトセンサから離間するよう
に、透明カバーシートはデバイスの頂部に密着される。
アレイは、従来の薄膜技術によって形成されてもよい。
基板の個別の領域は、それぞれの領域の排気ができるよ
うに、少なくとも一つの位置で最初は開口されている。
領域の排気に引き続いて、領域内の「真空」が液体カラ
ー媒体を引き込むことができるように、開口領域が染料
などの流動可能な液体カラー媒体と接触される。
ナは、基板上に配置された、複数の離間されたフォトセ
ンサのアレイを有している。このアレイは、スペーサに
よって複数の領域へ分離され、これらのスペーサが、カ
バーシートを基板及びフォトセンサから離間するよう
に、透明カバーシートはデバイスの頂部に密着される。
アレイは、従来の薄膜技術によって形成されてもよい。
基板の個別の領域は、それぞれの領域の排気ができるよ
うに、少なくとも一つの位置で最初は開口されている。
領域の排気に引き続いて、領域内の「真空」が液体カラ
ー媒体を引き込むことができるように、開口領域が染料
などの流動可能な液体カラー媒体と接触される。
【００１０】これによって、本発明は、デバイスの種々
の領域が単純かつ安価な方法でカラー媒体によって充填
されることを可能とし、さらに所望されるカラーフィル
タ特性を有するカラー媒体の使用を容易に可能にする。
の領域が単純かつ安価な方法でカラー媒体によって充填
されることを可能とし、さらに所望されるカラーフィル
タ特性を有するカラー媒体の使用を容易に可能にする。
【００１１】本発明の一つの実施例において、フォトセ
ンサの複数のロー（列）が基板上に形成され、これらの
ローを分離させるため、スペーサが、リソグラフィ技術
によって基板上に形成される。各ローに通じる開口を残
しながら、例えば、ガラスなどの透明なカバーシートが
デバイスの頂部に密着される。異なるローに対して異な
るカラーフィルタを供給するために、各ローは排気さ
れ、次いでデバイスは、各チャネル内の「真空」が異な
るカラーの液体又はゲルを引き込むことができるように
位置決めされる。
ンサの複数のロー（列）が基板上に形成され、これらの
ローを分離させるため、スペーサが、リソグラフィ技術
によって基板上に形成される。各ローに通じる開口を残
しながら、例えば、ガラスなどの透明なカバーシートが
デバイスの頂部に密着される。異なるローに対して異な
るカラーフィルタを供給するために、各ローは排気さ
れ、次いでデバイスは、各チャネル内の「真空」が異な
るカラーの液体又はゲルを引き込むことができるように
位置決めされる。
【００１２】本発明は、基板上にフォトセンサを形成す
るステップと、前記基板及び前記フォトセンサから離間
して透明なカバーシートを位置決めするステップと、前
記フォトセンサを囲繞し、開口を有するチャンバを規定
するために前記基板に前記カバーシートを密着させるス
テップと、前記チャンバを排気するステップと、流動可
能なカラー媒体を前記開口と接触させ、これによって前
記媒体が前記開口を介して前記の一つのチャネル内へ引
き込まれるステップとを備えているカラースキャナ製造
方法に関する。
るステップと、前記基板及び前記フォトセンサから離間
して透明なカバーシートを位置決めするステップと、前
記フォトセンサを囲繞し、開口を有するチャンバを規定
するために前記基板に前記カバーシートを密着させるス
テップと、前記チャンバを排気するステップと、流動可
能なカラー媒体を前記開口と接触させ、これによって前
記媒体が前記開口を介して前記の一つのチャネル内へ引
き込まれるステップとを備えているカラースキャナ製造
方法に関する。
【００１３】本発明は、さらに、複数の離間したフォト
センサアレイを基板上に形成するステップと、各チャネ
ルが開口ポートを有しており、各アレイに対して個別の
チャネルを形成するように前記基板から延出しているス
ペーサによって前記センサアレイの各々を部分的に囲繞
するステップと、前記基板及び前記フォトセンサアレイ
から離間された透明な物質の層によって前記チャネルを
密封状に被覆するステップと、前記チャネルを排気する
ステップと、各前記チャネルのポートを流動可能なカラ
ー媒体と接触させ、これによって前記流動可能なカラー
媒体がそれぞれのチャネル内へ引き込まれるステップと
を備えているカラースキャナアレイ製造方法に関する。
センサアレイを基板上に形成するステップと、各チャネ
ルが開口ポートを有しており、各アレイに対して個別の
チャネルを形成するように前記基板から延出しているス
ペーサによって前記センサアレイの各々を部分的に囲繞
するステップと、前記基板及び前記フォトセンサアレイ
から離間された透明な物質の層によって前記チャネルを
密封状に被覆するステップと、前記チャネルを排気する
ステップと、各前記チャネルのポートを流動可能なカラ
ー媒体と接触させ、これによって前記流動可能なカラー
媒体がそれぞれのチャネル内へ引き込まれるステップと
を備えているカラースキャナアレイ製造方法に関する。
【００１４】本発明は、さらに、基板と、前記基板上で
離間された複数のフォトセンサアレイと、各々がポート
を有するそれぞれのチャネル内へ前記アレイを分離させ
るスペーサ手段と、前記スペーサ上で支持されかつ前記
基板に密着された透明層と、前記各チャネルを充填する
異なるカラーの流動可能カラー媒体とを備えているカラ
ー走査アレイに関する。
離間された複数のフォトセンサアレイと、各々がポート
を有するそれぞれのチャネル内へ前記アレイを分離させ
るスペーサ手段と、前記スペーサ上で支持されかつ前記
基板に密着された透明層と、前記各チャネルを充填する
異なるカラーの流動可能カラー媒体とを備えているカラ
ー走査アレイに関する。
【００１５】本発明は、さらに、基板と、前記基板上で
離間された複数のフォトセンサアレイと、各々がポート
を有するそれぞれのチャネル内へ前記アレイを分離させ
るスペーサ手段と、前記スペーサ上で支持されかつ前記
基板に密着された透明層と、前記各チャネルを充填する
異なるカラーのＵＶ硬化エポキシとを備えているカラー
走査アレイに関する。
離間された複数のフォトセンサアレイと、各々がポート
を有するそれぞれのチャネル内へ前記アレイを分離させ
るスペーサ手段と、前記スペーサ上で支持されかつ前記
基板に密着された透明層と、前記各チャネルを充填する
異なるカラーのＵＶ硬化エポキシとを備えているカラー
走査アレイに関する。
【００１６】
【実施例】本発明がより明確に理解されるように、本発
明は、添付図面に従ってより詳細に開示される。
明は、添付図面に従ってより詳細に開示される。
【００１７】図１及び図２に示されるように、本発明の
一つの実施例によれば、複数のフォトセンサ１０が、例
えば、薄膜技術のような、従来のソリッドステート製造
技術によって絶縁基板１１上に形成される。図示されて
いる実施例において、フォトセンサ１０が、センサの三
つの分離した平行なロー１５、１６、１７を規定する。
個々のセンサは、従来の方法により、例えば基板上の導
電層（図示されていない）を介してデバイスの外部相互
接続のために使用可能な端子（図示されていない）に接
続される。
一つの実施例によれば、複数のフォトセンサ１０が、例
えば、薄膜技術のような、従来のソリッドステート製造
技術によって絶縁基板１１上に形成される。図示されて
いる実施例において、フォトセンサ１０が、センサの三
つの分離した平行なロー１５、１６、１７を規定する。
個々のセンサは、従来の方法により、例えば基板上の導
電層（図示されていない）を介してデバイスの外部相互
接続のために使用可能な端子（図示されていない）に接
続される。
【００１８】さらに、このデバイスは、リソグラフィ技
術によってパターンスペーサストリップ２０、２１をフ
ォトセンサロー１５、１６、及び１６、１７との間に形
成するとともに、パターンスペーサストリップ２２、２
３をロー１５と１７の外側にも形成するように処理され
る。これらのスペーサは、従来のパッシベーションステ
ップの一部として形成されてもよい。スペーサ２３は中
央ギャップ２４を具備している。スペーサ２０乃至２３
は、基板及びフォトセンサ１０から離間された平面にお
いて、ガラスのような透明カバーシート２５を支持す
る。カバーシート２５の周囲は、スペーサ２０乃至２３
の外側で基板とカバーシートとの間に延出している従来
の液体密封材の層２６によって基板に接着されかつシー
ル（密着）される。
術によってパターンスペーサストリップ２０、２１をフ
ォトセンサロー１５、１６、及び１６、１７との間に形
成するとともに、パターンスペーサストリップ２２、２
３をロー１５と１７の外側にも形成するように処理され
る。これらのスペーサは、従来のパッシベーションステ
ップの一部として形成されてもよい。スペーサ２３は中
央ギャップ２４を具備している。スペーサ２０乃至２３
は、基板及びフォトセンサ１０から離間された平面にお
いて、ガラスのような透明カバーシート２５を支持す
る。カバーシート２５の周囲は、スペーサ２０乃至２３
の外側で基板とカバーシートとの間に延出している従来
の液体密封材の層２６によって基板に接着されかつシー
ル（密着）される。
【００１９】図１に示されるように、シール層２６は、
ロー１５と位置合わせされたポート又は開口３０と、ロ
ー１６と位置合わせされたポート又は開口３１、スペー
サ２３の端部の間のギャップ２４へ延出しているポート
又は開口３２とを除いてデバイスの周囲の回りに延出し
ている。シール層は、それぞれの開口におけるスペーサ
へ延出し、これによって、ロー１５におけるフォトセン
サは、開口３０で開口される密閉チャネル内にあり、ロ
ー１６におけるフォトセンサは、開口３１で開口される
密閉チャネル内にあり、ロー１７におけるフォトセンサ
は、開口３２で開口される密閉チャネル内にある。図示
されているように、開口３０及び３１は、カラー媒体を
有するこれらの二つのチャネルへの充填を簡単化するよ
うにデバイスの対向端部に具備される。
ロー１５と位置合わせされたポート又は開口３０と、ロ
ー１６と位置合わせされたポート又は開口３１、スペー
サ２３の端部の間のギャップ２４へ延出しているポート
又は開口３２とを除いてデバイスの周囲の回りに延出し
ている。シール層は、それぞれの開口におけるスペーサ
へ延出し、これによって、ロー１５におけるフォトセン
サは、開口３０で開口される密閉チャネル内にあり、ロ
ー１６におけるフォトセンサは、開口３１で開口される
密閉チャネル内にあり、ロー１７におけるフォトセンサ
は、開口３２で開口される密閉チャネル内にある。図示
されているように、開口３０及び３１は、カラー媒体を
有するこれらの二つのチャネルへの充填を簡単化するよ
うにデバイスの対向端部に具備される。
【００２０】前記チャネル内へカラー媒体を供給し、こ
れにより透明カバーシート２５を介してフォトセンサ１
０へ向けられた光をフィルタにかけるために、液晶材料
のパネルディスプレイへの供給に使用される方法と同様
に、「真空」が、チャネル内へカラー媒体流体を引き込
むことを可能とするように、チャネルが最初に排気され
るのが好ましい。
れにより透明カバーシート２５を介してフォトセンサ１
０へ向けられた光をフィルタにかけるために、液晶材料
のパネルディスプレイへの供給に使用される方法と同様
に、「真空」が、チャネル内へカラー媒体流体を引き込
むことを可能とするように、チャネルが最初に排気され
るのが好ましい。
【００２１】例えば、図３に示されるように、それぞれ
のチャネルが真空排気されるのを可能とするように、開
口３１のようなシーリング（密封）材内の開口は、弁４
２を介してポンプ４０へ結合されてもよい。排気後、チ
ャネル内の「真空」が、カラーの液体の供給部分４３か
らカラーの液体を引き込むことができるように、弁４１
は閉口され、かつバルブ４２が開口される。カラーの液
体がチャネル内へ引き込まれた後、図４に示されるよう
に、チャネルは従来の液体シーリング材５０によって密
封される。
のチャネルが真空排気されるのを可能とするように、開
口３１のようなシーリング（密封）材内の開口は、弁４
２を介してポンプ４０へ結合されてもよい。排気後、チ
ャネル内の「真空」が、カラーの液体の供給部分４３か
らカラーの液体を引き込むことができるように、弁４１
は閉口され、かつバルブ４２が開口される。カラーの液
体がチャネル内へ引き込まれた後、図４に示されるよう
に、チャネルは従来の液体シーリング材５０によって密
封される。
【００２２】上記の方法は単に例示的なものであり、結
果的に生じた真空によってカラーの液体がチャネル内に
引き込まれてもよいように、従来のいかなる技術もがチ
ャネルを排気するために用いられてもよいことは当然明
確である。例えば、デバイスがチャンバ内に配置される
こともあり、これによってチャンバが排気される。この
技術では、次に、デバイス内の各開口が、カラーの液体
の三つのソースのうちの分離した一つと接触されるよう
になる。
果的に生じた真空によってカラーの液体がチャネル内に
引き込まれてもよいように、従来のいかなる技術もがチ
ャネルを排気するために用いられてもよいことは当然明
確である。例えば、デバイスがチャンバ内に配置される
こともあり、これによってチャンバが排気される。この
技術では、次に、デバイス内の各開口が、カラーの液体
の三つのソースのうちの分離した一つと接触されるよう
になる。
【００２３】液体、即ち流動可能なカラー媒体は、任意
の種々の物質であってもよい。例えば、ＵＶ硬化可能エ
ポキシ染料が用いられることもあり、この染料は、機械
的安定性を向上させるためにデバイスの充填後に硬化さ
れる。あるいは、より優れたカラー適合度を提供するた
めカラーゲルが用いられることもある。この種の物質
は、既存のカラーのポリイミドと比較すると、センサ性
能に対して秀逸な整合性を提供する。
の種々の物質であってもよい。例えば、ＵＶ硬化可能エ
ポキシ染料が用いられることもあり、この染料は、機械
的安定性を向上させるためにデバイスの充填後に硬化さ
れる。あるいは、より優れたカラー適合度を提供するた
めカラーゲルが用いられることもある。この種の物質
は、既存のカラーのポリイミドと比較すると、センサ性
能に対して秀逸な整合性を提供する。
【００２４】
【発明の効果】従って、本発明は、スキャナの製造を簡
単化するだけでなく、より優れたカラーフィルタ材料の
使用を可能とする、改善されたカラースキャナ製造技術
を提供する。従って、このように製造されたカラースキ
ャナデバイスは、所望のカラー検知にもっと容易に用い
ることが可能である。このデバイスは、薄膜方法によっ
て形成された薄膜デバイスであってもよく、かつこのデ
バイスは約数マイクロメータの寸法を有する。
単化するだけでなく、より優れたカラーフィルタ材料の
使用を可能とする、改善されたカラースキャナ製造技術
を提供する。従って、このように製造されたカラースキ
ャナデバイスは、所望のカラー検知にもっと容易に用い
ることが可能である。このデバイスは、薄膜方法によっ
て形成された薄膜デバイスであってもよく、かつこのデ
バイスは約数マイクロメータの寸法を有する。
【図１】デバイスにカラー媒体を充填する前に、上をカ
バーシートで覆っていない状態の本発明によるカラース
キャナデバイスの平面図である。
バーシートで覆っていない状態の本発明によるカラース
キャナデバイスの平面図である。
【図２】図１の線２−２に沿った、カバーシートを含む
図１のカラースキャナデバイスの断面図である。
図１のカラースキャナデバイスの断面図である。
【図３】図１の線３−３に沿った、流動可能な媒体をア
レイ内へ導入するための技術を示した図１のカラースキ
ャナアレイの断面図である。
レイ内へ導入するための技術を示した図１のカラースキ
ャナアレイの断面図である。
【図４】フォトセンサチャネルの密封をフォローする本
発明によるカラースキャナデバイスの平面図である。
発明によるカラースキャナデバイスの平面図である。
１０ フォトセンサ １１ 絶縁基板 １５、１６、１７ センサロー ２０、２１、２２、２３ パターンスペーサストリップ ２５ 透明カバーシート ２６ シール層 ３０、３１、３２ 開口 ４１ ポンプ ４２ バルブ ５０ 液体シーリング材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ウイリアム ターナー アメリカ合衆国 91108 カリフォルニア 州 サン マリノ ロックスバリー ロー ド 1022
Claims (1)
- 【請求項１】 基板上にフォトセンサを形成するステッ
プと、 前記基板及び前記フォトセンサから離間して透明なカバ
ーシートを位置決めするステップと、 前記フォトセンサを囲繞し、開口を有するチャンバを規
定するために前記基板に前記カバーシートを密着させる
ステップと、 前記チャンバを排気するステップと、 流動可能なカラー媒体を前記開口と接触させ、これによ
って前記媒体が前記開口を介して前記の一つのチャネル
内へ引き込まれるステップと、 を備えているカラースキャナ製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US810654 | 1991-12-19 | ||
| US07/810,654 US5229595A (en) | 1991-12-19 | 1991-12-19 | Fluid-filled color filtered input scanner arrays |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05267631A true JPH05267631A (ja) | 1993-10-15 |
| JP3270778B2 JP3270778B2 (ja) | 2002-04-02 |
Family
ID=25204355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35201892A Expired - Lifetime JP3270778B2 (ja) | 1991-12-19 | 1992-12-09 | カラースキャナアレイ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5229595A (ja) |
| EP (1) | EP0547839B1 (ja) |
| JP (1) | JP3270778B2 (ja) |
| DE (1) | DE69218738T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2012177585A (ja) * | 2011-02-25 | 2012-09-13 | Seiko Epson Corp | 磁場測定装置およびセルアレイ |
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- 1991-12-19 US US07/810,654 patent/US5229595A/en not_active Expired - Lifetime
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1992
- 1992-12-09 JP JP35201892A patent/JP3270778B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1992-12-10 EP EP92311291A patent/EP0547839B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1992-12-10 DE DE69218738T patent/DE69218738T2/de not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69218738D1 (de) | 1997-05-07 |
| US5229595A (en) | 1993-07-20 |
| DE69218738T2 (de) | 1997-09-11 |
| EP0547839B1 (en) | 1997-04-02 |
| EP0547839A1 (en) | 1993-06-23 |
| JP3270778B2 (ja) | 2002-04-02 |
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