JPH0526714Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0526714Y2 JPH0526714Y2 JP4191687U JP4191687U JPH0526714Y2 JP H0526714 Y2 JPH0526714 Y2 JP H0526714Y2 JP 4191687 U JP4191687 U JP 4191687U JP 4191687 U JP4191687 U JP 4191687U JP H0526714 Y2 JPH0526714 Y2 JP H0526714Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating
- heating element
- heat insulating
- support
- insulating member
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 43
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- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 3
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
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Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案は、IC用ウエーハなどの加熱処理に
用いられる加熱炉に係り、特に、発熱体の変形防
止に関する。
用いられる加熱炉に係り、特に、発熱体の変形防
止に関する。
IC用ウエーハなどを加熱するための加熱炉に
は、反応管を取り巻いてコイル状の発熱体が設置
されている。発熱体は、電流によつて発熱する発
熱抵抗体をコイル状に湾曲したものであり、炉体
の内壁面に支持装置によつて支持されているので
ある。
は、反応管を取り巻いてコイル状の発熱体が設置
されている。発熱体は、電流によつて発熱する発
熱抵抗体をコイル状に湾曲したものであり、炉体
の内壁面に支持装置によつて支持されているので
ある。
ところで、発熱体は、発熱時に熱膨張によつて
コイル径に変化を生じるが、加熱、冷却を繰り返
した場合、その熱的変形によつて断熱部材側に沈
下して温度分布や発熱体の劣化などを生じる。
コイル径に変化を生じるが、加熱、冷却を繰り返
した場合、その熱的変形によつて断熱部材側に沈
下して温度分布や発熱体の劣化などを生じる。
そこで、この考案は、発熱体の熱的な変形を防
止したものである。
止したものである。
この考案の加熱炉は、第１図のＡ，ＢおよびＣ
に示すように、炉体２の内面に断熱部材６を介し
てコイル状の発熱体（発熱抵抗体８）を設置する
とともに、断熱部材６の内部に発熱体を支持する
支持部材（支持体１８）を設置したものである。
に示すように、炉体２の内面に断熱部材６を介し
てコイル状の発熱体（発熱抵抗体８）を設置する
とともに、断熱部材６の内部に発熱体を支持する
支持部材（支持体１８）を設置したものである。
このようにすると、発熱体は、支持部材によつ
て下側が支持され、熱的な変形などによつて断熱
部材６内に沈下するのを防止できるのである。
て下側が支持され、熱的な変形などによつて断熱
部材６内に沈下するのを防止できるのである。
この考案の加熱炉において、支持部材は、発熱
体の形状に沿つた受部２０とともに脚部２２を備
えれば、炉体２内の発熱体を確実に支持し、沈下
が防止できる。
体の形状に沿つた受部２０とともに脚部２２を備
えれば、炉体２内の発熱体を確実に支持し、沈下
が防止できる。
第１図のＡ，ＢおよびＣは、この考案の加熱炉
の実施例を示す。
の実施例を示す。
この加熱炉は、円筒形の炉体２を備えており、
ステンレスなどの金属板で円筒形に形成された外
装体４の内部に円筒状に断熱部材６を設置して中
空体を成し、その内部に第２図に示すような発熱
体としてのコイル状を成す発熱抵抗体８を炉体２
内に固定した支持ピース１０によつて固定したも
のである。各支持ピース１０の固定位置は、この
実施例の場合、炉体２の上側の３箇所に設定され
ている。したがつて、発熱抵抗体８は、支持ピー
ス１０によつて懸垂状態を成すとともに、ラセン
状を成す発熱抵抗体８のピツチはスペーサ１２に
よつて一定間隔に保持されているのである。そし
て、発熱抵抗体８の端部は、炉体２に固定された
端子台１４の電極１６に接続され、所定の電流が
供給される。
ステンレスなどの金属板で円筒形に形成された外
装体４の内部に円筒状に断熱部材６を設置して中
空体を成し、その内部に第２図に示すような発熱
体としてのコイル状を成す発熱抵抗体８を炉体２
内に固定した支持ピース１０によつて固定したも
のである。各支持ピース１０の固定位置は、この
実施例の場合、炉体２の上側の３箇所に設定され
ている。したがつて、発熱抵抗体８は、支持ピー
ス１０によつて懸垂状態を成すとともに、ラセン
状を成す発熱抵抗体８のピツチはスペーサ１２に
よつて一定間隔に保持されているのである。そし
て、発熱抵抗体８の端部は、炉体２に固定された
端子台１４の電極１６に接続され、所定の電流が
供給される。
そして、断熱部材６の内部には、第１図のＡお
よびＢに示すように、発熱抵抗体８の沈下を防止
するために支持部材としてのテーブル状を成す支
持体１８が設置されている。
よびＢに示すように、発熱抵抗体８の沈下を防止
するために支持部材としてのテーブル状を成す支
持体１８が設置されている。
この支持体１８は、機械的強度および熱的強度
が高い材料たとえば、多孔質セラミツクなどで形
成されて断熱部材６の内部に埋め込まれ、第１図
のＣに示すように、発熱抵抗体８の外周形状と同
様の曲率を持つ円弧状を成す板状の受部２０に放
射状に脚部２２を取り付けたものである。
が高い材料たとえば、多孔質セラミツクなどで形
成されて断熱部材６の内部に埋め込まれ、第１図
のＣに示すように、発熱抵抗体８の外周形状と同
様の曲率を持つ円弧状を成す板状の受部２０に放
射状に脚部２２を取り付けたものである。
脚部２２は、沈下してくる発熱抵抗体８の重量
を受ける受部２０を支持するものであるから、受
部２０と固着され、あるいは、受部２０と一体的
に形成される必要はなく、炉体２側に直接または
間接的に固定し、その上に受部２０を載せるよう
にしてもよい。また、脚部２２の形状は、第３図
に示すように板状にしてもよい。
を受ける受部２０を支持するものであるから、受
部２０と固着され、あるいは、受部２０と一体的
に形成される必要はなく、炉体２側に直接または
間接的に固定し、その上に受部２０を載せるよう
にしてもよい。また、脚部２２の形状は、第３図
に示すように板状にしてもよい。
このように比較的軟弱な断熱部材６の内部に支
持体１８を設置することにより、支持体１８は断
熱部材６に対して補強部材として機能して発熱抵
抗体８の下側を支持する。
持体１８を設置することにより、支持体１８は断
熱部材６に対して補強部材として機能して発熱抵
抗体８の下側を支持する。
この結果、発熱による熱的変形や重力作用によ
る発熱抵抗体８の沈下が防止され、発熱分布を一
様に保つことができるとともに、発熱抵抗体８の
劣化も防止できるのである。
る発熱抵抗体８の沈下が防止され、発熱分布を一
様に保つことができるとともに、発熱抵抗体８の
劣化も防止できるのである。
また、支持体１８は、第４図に示すように、受
部２０に複数の透孔２４を形成して軽量化を図
り、更に放熱効果が得られるようにしてもよい。
部２０に複数の透孔２４を形成して軽量化を図
り、更に放熱効果が得られるようにしてもよい。
なお、実施例では、コイル状を成す発熱抵抗体
の沈下防止について説明したが、矩形を成す発熱
抵抗体の場合にもこの考案を適用することが可能
である。
の沈下防止について説明したが、矩形を成す発熱
抵抗体の場合にもこの考案を適用することが可能
である。
この考案によれば、発熱体の断熱部材内への沈
下を防止でき、発熱分布を一様に保つことができ
るとともに、発熱体の劣化を防止できる。
下を防止でき、発熱分布を一様に保つことができ
るとともに、発熱体の劣化を防止できる。
第１図はこの考案の加熱炉の実施例を示す図、
第２図は第１図に示した加熱炉の発熱抵抗体の形
状を示す斜視図、第３図および第４図は支持体の
変形例を示す斜視図である。 ２……炉体、６……断熱部材、８……発熱抵抗
体（発熱体）、１８……支持体（支持部材）、２０
……受部、２２……脚部。
第２図は第１図に示した加熱炉の発熱抵抗体の形
状を示す斜視図、第３図および第４図は支持体の
変形例を示す斜視図である。 ２……炉体、６……断熱部材、８……発熱抵抗
体（発熱体）、１８……支持体（支持部材）、２０
……受部、２２……脚部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 炉体の内面に断熱部材を介してコイル状の発
熱体を設置するとともに、前記断熱部材の内部
に発熱体を支持する支持部材を設置した加熱
炉。 (2) 前記支持部材は、発熱体の形状に沿つた受部
とともに脚部を備えた実用新案登録請求の範囲
第１項に記載の加熱炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4191687U JPH0526714Y2 (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4191687U JPH0526714Y2 (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63149090U JPS63149090U (ja) | 1988-09-30 |
| JPH0526714Y2 true JPH0526714Y2 (ja) | 1993-07-06 |
Family
ID=30857354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4191687U Expired - Lifetime JPH0526714Y2 (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0526714Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5270688B2 (ja) * | 2007-12-10 | 2013-08-21 | サンドビック インテレクチュアル プロパティー アクティエボラーグ | 電熱装置 |
-
1987
- 1987-03-20 JP JP4191687U patent/JPH0526714Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63149090U (ja) | 1988-09-30 |
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