JPS62144333A - 加熱装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、反応管に収容された半導体ウェーハなどの
被加熱物を加熱処理する加熱装置に係り、特に、発熱素
線の配置形態に関する。

〔従来の技術〕

従来、半導体処理において用いられる加熱装置は、半導
体ウェーハを収容する円筒状の反応管の周面を覆う形態
を持ち、その反応管の周面に対して均等な加熱を行うた
めの発熱体を配設したものである。

そして、半導体ウェーハの加熱処理は、半導体ウェーハ
を収容した反応管を加熱装置の端面開口部から挿入して
行い、加熱処理を終了した半導体ウェーハは反応管とと
もに加熱装置の端面開口部から引出すようにしている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、加熱装置に対して反応管は長手方向に出入さ
せることは、加熱装置の端面側に反応管を出入させるた
めの反応管の長さ以上のスペースを必要とするとともに
、その出入時間が長く、とりわけ、冷却のために加熱装
置から反応管を引き出す際に、加熱装置の余熱が反応管
内の半導体ウェーハに作用し、冷却速度に限界を生じる
。

半導体ウェーハの冷却について、半導体装置によっては
、その急速冷却の効果が直接にその特性に影古を与える
場合があり、急速冷却の要請が高まっている。

このような要請に応えて、半導体ウェーハの急速な加熱
および冷却を実現するため、炉体を直径方向に分割可能
に構成し、炉体に対して反応管をその直径方向に着脱す
るようにした加熱装置が提案されている。

そこで、この発明は、このような分割された炉体などに
おいて、発熱素線の配置形態を改良した加熱装置の提供
を目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明の加熱装置は、第１図に示すように、断熱材料
で形成された炉体２Ａ、２Ｂに被加熱物を収容する収容
部１２を形成し、この収容部の壁面に発熱素線１４を千
鳥状に一定の間隔で配設したものである。

〔作　　　用〕

この発明の加熱装置では、被加熱物の収容部の壁面に対
して発熱素線を千鳥状に一定の間隔で配設したので、発
熱温度を均一化して、その安定化を図ることができる。

〔実　施　例〕

以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図および第２図は、この発明の加熱装置の実施例を
示し、第１図は加熱装置の発熱素綿の配置、第２図は加
熱装置の全体構造を示す。

この加熱装置は、第２図に示すように、炉本体を縦方向
に分割して２つの炉体２Ａ、２Ｂとし、各炉体２Ａ、２
Ｂは、支持台４の上面部に一定の間隔で取り付けた支柱
６に支持軸８を介して個別に回動可能に支持されている
とともに、開閉機構１０を介して開閉および所望の開度
に保持されるようになっている。

そして、各炉体２Ａ、２Ｂの内部には被加熱物としての
半導体ウェーハを入れた円筒状の反応管を収容する収容
部１２が形成されている。

各炉体２Ａ、２Ｂの収容部１２は、セラミックなどの断
熱材によって形成され、この収容部１２の内壁面には、
第１図に示すように、発熱体としての発熱素線１４が収
容部１２の湾曲した内壁面に沿いかつ端部を千鳥状に折
り曲げられて配設されている。この場合、発熱素線１４
には、直径６．５ｎ程度の比較的太い素線が用いられて
いる。

そして、発熱素線１４は、断熱材料によって形成された
スペーサ１６によって一定の間隔に配置されているとと
もに、炉体２Ａ、２Ｂに取り付けられた固定片１８によ
ってその折曲げ部分と中間部のそれぞれが炉体２Ａ、２
Ｂに固定されている。

第３図は、発熱素線１４の固定を示しており、炉体２Ａ
、２Ｂの内壁面に対して設置された発熱素線１４に対し
てその発熱素線１４の周面の一部を覆う凹部２０をたと
えば２箇所に持つ固定片１８を当て、さらにこの固定片
１８の外面に金属性の押え板２２を当て、この押え板２
２および固定片１８に形成した透孔２４および炉体２Ａ
。

２Ｂの透孔２６に固定ボルト２８を貫通させ、炉体２Ａ
、２Ｂの補強板３０の外面に突出させた固定ボルト２８
にワソヤ３２および断熱リング３４を取り付けるととも
に、固定ボルト２８のねじ部にナツト３６を取り付けて
締め付けたものである。

なお、発熱素線１４の端子間には、駆動源としての直流
電源が接続され、その電流制御によって、特定の温度で
発熱させることができる。

したがって、発熱素線１４は炉体２Ａ、２Ｂの被加熱物
を収容する収容部１２の内壁面に沿って組み込まれ、一
定の間隔で配設されているので、半導体ウェーハを収容
した反応管などを均等に加熱して所定の処理を行うこと
ができる。

また、発熱素線１４に６．５韮程度の太い形状のものを
用いることができるので、固定手段によって確実に炉体
２Ａ、２Ｂの内部に強固に固定でき、炉内温度による変
形を防止できるので、温度分布を均一に維持することが
できるとともに、安定した加熱状態を保持でき、加熱寿
命を長くすることができる。

なお、実施例では、被加熱物として半導体ウェーハを例
に取って説明したが、この発明の加熱装置は、半導体ウ
ェーハ以外の被加熱物についても均等加熱を行うことが
できる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明によれば、炉体の被加熱
物を収容する収容部の壁面に対して発熱素線を千鳥状に
折り曲げて一定の間隔で配設したので、発熱温度を均一
化できるとともに、発熱温度の安定化を図ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の加熱装置の実施例を示す斜視図、第
２図は第１図に示した加熱装置の全体構成を示す斜視図
、第３図は第１図に示した加熱装置内の発熱素線の固定
構造を示す断面図である。 ２Ａ、２Ｂ・・・炉体、１２・・・収容部、１４・・発
熱素線。 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 断熱材料で形成された炉体に被加熱物を収容する収容部
   を形成し、この収容部の内壁面に発熱素線を千鳥状に一
   定の間隔で配設したことを特徴とする加熱装置。