JPS62144334A - 光学的人工器官及びその製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、反応管に収容された半導体ウェーハなどの
被加熱物を加熱処理する加熱装置などに好適な発熱体の
固定装置に係り、特に、発熱体の固定構造の改良に関す
る。

〔従来の技術〕

従来、半ぶ体処理において用いられる加熱装置は、半導
体ウェーハを収容する円筒状の反応管の周面を覆う形態
を持ち、その反応管の周面に対して均等な加熱を行うた
めの発熱体を配設したものである。

そして、半導体ウェーハの加熱処理は、半導体ウェーハ
を収容した反応管を加熱装置の端面開口部から挿入して
行い、加熱処理を終了した半導体ウェーハは反応管とと
もに加熱装置の端面開口部から引出すようにしている。

〔発明が解決しようとする問題点〕　。

ところで、加熱装置に対して反応管を長手方向に出入さ
せることは、加熱装置の端面側に反応管を出入させるた
めの反応管の長さ以上のスペースを必要とするとともに
、その出入時間が長く、とりわけ、冷却のために加熱装
置から反応管を引き出す際に、加熱装置の余熱が反応管
内の半導体ウェーハに作用し、冷却速度に限界を生じる
。

半導体ウェーハの冷却について、半導体装置によっては
、その急速°冷却の効果が直接にその特性に影響を与え
る場合があり、急速冷却の要請が高まっている。

このような要請に応えて、半導体ウェーハの急速な加熱
および冷却を実現するため、炉体を直径方向に分割可能
に構成し、炉体に対して反応管をその直径方向に着脱す
るようにした加熱装置が提案されている。

そこで、この発明は、このような分割された炉体などに
おいて、発熱体を簡単かつ強固に固定することを実現し
た発熱体の固定装置の提供を目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明の発熱体の固定装置は、第１図に示すように、
炉体２の壁面に発熱体（発熱素線４）を配置し、この発
熱体を炉体と保持片８とで把持させ、炉体および保持片
に貫通させたボルト（固定ボルト１８）にナツト２６を
取り付けてなるものである。

〔作　　　用〕

この発明の発熱体の固定装置では、炉体の壁面に発熱体
を強固に固定できるので、発熱時の発熱体の垂れ下がり
などの変形を防止でき、発熱温度を一様に保つことがで
きる。

〔実　施　例〕 以下、この発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図は、この発明の発熱体の固定装置の実施例を示す
。

第１図に示すように、炉体２の内壁面には、発熱体とし
ての発熱素８Ｐ！４が配置され、この発熱素線４の周面
の一部を覆う凹部６をたとえば２箇所に持つ保持片８が
当てられる。すなわち、発熱素線４は、炉体２と保持片
８とで把持されるようにする。そして、この保持片８の
外面には金属性の押え板１０を当て、この押え板１０お
よび保持片８にはそれぞれ透孔１２．１４が形成される
とともに、炉体２にも透孔１６が形成されている。これ
ら透孔１２．１４．１６に対して固定ボルト１８を貫通
させ、炉体２の補強板２０の外面に突出させた固定ボル
ト１８にワッヤ２２および断熱リング２４を取り付ける
とともに、固定ボルト１８のねじ部にナツト２６を取り
付ける。

したがって、発熱素線４は、炉体２の内壁面に対して強
固に固定でき、炉体２の下方の内壁面および上方の内壁
面の区別なく強固な固定状態が得られ、発熱素線４の発
熱時の垂れ下がりなどの変形を防止できる。

第２図は、この発明の発熱体の固定装置を実施した加熱
装置を示す。

この加熱装置は、第２図に示すように、炉本体を縦方向
に分割して２つの炉体２Ａ、２Ｂとし、各炉体２Ａ、２
Ｂは、支持台２８の上面部に一定の間隔で取り付けた支
柱３０に支持軸３２を介して個別に回動可能に支持され
ているとともに、開閉機構３４を介して開閉および所望
の開度に保持されるようになっている。

そして、各炉体２Ａ、２Ｂの内部には被加熱物としての
半導体ウェーハを入れた円筒状の反応管を収容する収容
部３６が形成されている。

各炉体２Ａ、２Ｂの収容部３６は、セラミックなどの断
熱材によって形成され、この収容部３６の内壁面には、
第３図に示すように、発熱体としての発熱素線４が収容
部３６の湾曲した内壁面に沿いかつ端部を千鳥状に折り
曲げられて配設されている。この場合、発熱素線４には
、直径６　、５　ｍｍ程度の比較的太い素線が用いられ
ている。

そして、発熱素線４は、断熱材料によって形成されたス
ペーサ３８によって一定の間隔に配置されているととも
に、炉体２Ａ、２Ｂに取り付けられ、第４図に示すよう
に、第１図に示す固定装置によって固定されている。

なお、発熱素線４の端子間には、駆動源としての直流電
源が接続され、その電流制御によって、特定の温度で発
熱させることができる。

したがって、発熱素′ａ４は炉体２Ａ、２Ｂの被加熱物
を収容する収容部３６の内壁面に沿って組み込まれ、一
定の間隔で配設されているので、半７導体ウェーハを収
容した反応管などを均等に加熱して所定の処理を行うこ
とができる。

また、発熱素線４に６．５鰭程度の太い形状のものを用
いることができるので、固定手段によって確実に炉体２
Ａ、２Ｂの内部に強固に固定でき、炉内温度による変形
を防止できるので、温度分布を均一に維持することがで
きるとともに、安定した加熱状態を保持でき、加熱寿命
を長くすることができる。

なお、実施例では、被加熱物として半導体ウェーハを例
に取って説明したが、この発明の発熱体の固定装置は、
半導体ウェーハ以外の被加熱物についても均等加熱を行
うことができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、この発明によれば、炉体の壁面に
対して発熱体を簡単かつ強固に固定できるので、発熱体
の発熱時の垂れ下がりなどの変形を防止でき、発熱温度
の均一化とともに、発熱温度の安定化を図ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の発熱体の固定装置の実施例を示す分
解斜視図、第２図はこの発明の発熱体の固定装置を実施
した加熱装置を示す斜視図、第３図はこの発明の発熱体
の固定装置の具体的な実施例を示す斜視図、第４図は第
３図に示した発熱体の固定装置による発熱体の固定構造
を示す断面図である。 ２．２Ａ、２Ｂ・・・炉体、４・・・発熱体としての発
熱素線、８・・・保持片、１８・・・固定ボルト、２６
・・・ナツト。 １２６ナツト 第１図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 炉体の壁面に発熱体を配置し、この発熱体を炉体と保持
   片とで把持させ、炉体および保持片に貫通させたボルト
   にナットを取り付けてなることを特徴とする発熱体の固
   定装置。