JPH047598Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH047598Y2 JPH047598Y2 JP1987038361U JP3836187U JPH047598Y2 JP H047598 Y2 JPH047598 Y2 JP H047598Y2 JP 1987038361 U JP1987038361 U JP 1987038361U JP 3836187 U JP3836187 U JP 3836187U JP H047598 Y2 JPH047598 Y2 JP H047598Y2
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- JP
- Japan
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- heating element
- support
- heating
- resistor
- heat generating
- Prior art date
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- Expired
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 53
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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- Resistance Heating (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、IC用ウエーハなどの加熱処理に
用いられる加熱炉などにおける発熱体支持装置に
関する。
用いられる加熱炉などにおける発熱体支持装置に
関する。
IC用ウエーハなどを加熱するための加熱炉に
は、反応管を取り巻いてコイル状の発熱体が設置
されている。発熱体は、電流によつて発熱する発
熱抵抗体をコイル状に湾曲したものであり、炉体
の内壁面に支持装置によつて支持されているので
ある。
は、反応管を取り巻いてコイル状の発熱体が設置
されている。発熱体は、電流によつて発熱する発
熱抵抗体をコイル状に湾曲したものであり、炉体
の内壁面に支持装置によつて支持されているので
ある。
ところで、発熱体は、発熱字に熱膨張によつて
コイル径に変化を生じるが、加熱、冷却を繰り返
した場合、その熱的変形によつて固定位置の変化
や、発熱体自身の劣化などの不都合を生じるので
ある。
コイル径に変化を生じるが、加熱、冷却を繰り返
した場合、その熱的変形によつて固定位置の変化
や、発熱体自身の劣化などの不都合を生じるので
ある。
そこで、この考案は、発熱体の熱的な変形を許
容し、安定した固定状態を得るものである。
容し、安定した固定状態を得るものである。
この考案の発熱体支持装置は、周回状を成す発
熱体（発熱抵抗体８）を支持すべき支持部材（支
持片２）と、この支持部材に前記発熱体の中心軸
方向に一定の間隔を以て形成されているととも
に、前記発熱体の移動を許容する長径部が前記発
熱体の直径方向に設定されて前記発熱体を支持す
る長孔状を成す支持孔６とを備え、伸縮によつて
前記発熱体の直径が変化しても、前記支持部材の
前記支持孔の間隔を以て、前記発熱体のピツチを
一定に保持させたことを特徴とする。
熱体（発熱抵抗体８）を支持すべき支持部材（支
持片２）と、この支持部材に前記発熱体の中心軸
方向に一定の間隔を以て形成されているととも
に、前記発熱体の移動を許容する長径部が前記発
熱体の直径方向に設定されて前記発熱体を支持す
る長孔状を成す支持孔６とを備え、伸縮によつて
前記発熱体の直径が変化しても、前記支持部材の
前記支持孔の間隔を以て、前記発熱体のピツチを
一定に保持させたことを特徴とする。
このようにすると、周回状を成す発熱体の熱的
な変形をその直径方向で許容する支持孔を通して
発熱体を支持したので、発熱体の周回ピツチの変
動がなく、その固定状態の安定化とともに、均熱
化が図られる。
な変形をその直径方向で許容する支持孔を通して
発熱体を支持したので、発熱体の周回ピツチの変
動がなく、その固定状態の安定化とともに、均熱
化が図られる。
そして、支持孔６は、支持部材（支持片２）間
に形成された凹部４を結合して得られるようにす
れば、発熱体の形状に関係なく、一定の支持状態
が得られることになる。
に形成された凹部４を結合して得られるようにす
れば、発熱体の形状に関係なく、一定の支持状態
が得られることになる。
第１図は、この考案の発熱体支持装置の実施例
を示す。
を示す。
支持装置は、発熱体の支持部材として複数の支
持片２を連続的に配置して固定したものであり、
各支持片２に形成される長円状の凹部４を以て長
孔状を成す支持孔６が形成されるとともに、その
長径部を発熱支持体８の直径方向に設定した支持
孔６に発熱体としてのコイル状の発熱抵抗体８を
貫通させて支持する。したがつて、周回状を成す
発熱抵抗体８は、各支持片２を以て炉体１０の内
壁面に強固に取り付けられているとともに、伸縮
に伴う直径方向の移動が支持孔６の長径部で許容
されるとともに、一定の間隔で形成された支持孔
６の間隔を以てピツチが一定に保持されている。
炉体１０の外装部材１２の外面部には、絶縁材か
らなる端子台１４がねじなどの固定手段で固定さ
れ、各端子台１４には、発熱抵抗体８の端部に接
続された電極１６が、強固に固定されている。
持片２を連続的に配置して固定したものであり、
各支持片２に形成される長円状の凹部４を以て長
孔状を成す支持孔６が形成されるとともに、その
長径部を発熱支持体８の直径方向に設定した支持
孔６に発熱体としてのコイル状の発熱抵抗体８を
貫通させて支持する。したがつて、周回状を成す
発熱抵抗体８は、各支持片２を以て炉体１０の内
壁面に強固に取り付けられているとともに、伸縮
に伴う直径方向の移動が支持孔６の長径部で許容
されるとともに、一定の間隔で形成された支持孔
６の間隔を以てピツチが一定に保持されている。
炉体１０の外装部材１２の外面部には、絶縁材か
らなる端子台１４がねじなどの固定手段で固定さ
れ、各端子台１４には、発熱抵抗体８の端部に接
続された電極１６が、強固に固定されている。
炉体１０は、第２図に示すように、円筒形の支
持部材としての外装部材１２の内部に円筒状に断
熱材１８を設置した中空体を内し、その内面部に
支持片２によつて支持された発熱抵抗体８を設置
しており、その内部に反応管を通して被加熱体で
あるウエーハが挿入されるのである。この場合、
各支持片２の固定位置は、炉体１０の上側の３箇
所に設定されている。したがつて、発熱抵抗体８
は支持片２によつて懸垂状態を成している。
持部材としての外装部材１２の内部に円筒状に断
熱材１８を設置した中空体を内し、その内面部に
支持片２によつて支持された発熱抵抗体８を設置
しており、その内部に反応管を通して被加熱体で
あるウエーハが挿入されるのである。この場合、
各支持片２の固定位置は、炉体１０の上側の３箇
所に設定されている。したがつて、発熱抵抗体８
は支持片２によつて懸垂状態を成している。
この炉体１０の内部に設置される発熱抵抗体８
は、たとえば、第３図に示すように、一定のピツ
チを持つたコイル状をなしているのである。
は、たとえば、第３図に示すように、一定のピツ
チを持つたコイル状をなしているのである。
そして、各支持片２は、第４図に示すように、
扁平な直方体を成す胴体部２Ａの上端に支持腕部
２ＢをＴ字形に設けたものであり、胴体部２Ａの
両側部に長円状などの発熱抵抗体８の熱的な変形
によるその上下方向の移動を許容する形および大
きさを持つ支持孔６を形成するための凹部４を形
成したものである。すなわち、凹部４の合体によ
つて発熱抵抗体８を挟む形で発熱抵抗体８を貫通
させて支持する支持孔６が形成されるのである。
扁平な直方体を成す胴体部２Ａの上端に支持腕部
２ＢをＴ字形に設けたものであり、胴体部２Ａの
両側部に長円状などの発熱抵抗体８の熱的な変形
によるその上下方向の移動を許容する形および大
きさを持つ支持孔６を形成するための凹部４を形
成したものである。すなわち、凹部４の合体によ
つて発熱抵抗体８を挟む形で発熱抵抗体８を貫通
させて支持する支持孔６が形成されるのである。
第５図に示すように、炉体１０側に固定された
外装部材１２に固定フレーム２０をその取付孔２
２を通してねじ２４によつて一定の間隔で固定
し、この固定フレーム２０に設けられた支持突部
２６間に各支持片２の支持腕部２Ｂを係合させて
発熱抵抗体８を炉体１０に設置するのである。
外装部材１２に固定フレーム２０をその取付孔２
２を通してねじ２４によつて一定の間隔で固定
し、この固定フレーム２０に設けられた支持突部
２６間に各支持片２の支持腕部２Ｂを係合させて
発熱抵抗体８を炉体１０に設置するのである。
したがつて、発熱抵抗体８を長円状の支持孔６
を通して支持させることにより、その発熱時、発
熱抵抗体８に熱的な変形が生じた場合、その変形
を支持孔６内で許容できる。
を通して支持させることにより、その発熱時、発
熱抵抗体８に熱的な変形が生じた場合、その変形
を支持孔６内で許容できる。
実施例では、発熱抵抗体８の断面が円形である
ことから、支持孔６を長円状にしたが、凹部４を
四角など多角形状にして発熱抵抗体８の熱的な変
形を許容できるようにしてもよい。
ことから、支持孔６を長円状にしたが、凹部４を
四角など多角形状にして発熱抵抗体８の熱的な変
形を許容できるようにしてもよい。
以上説明したように、この考案によれば、周回
状を成す発熱体の熱的変形をその直径方向に許容
し、安定した支持状態を得ることができるととも
に、ピツチ変化を確実に防止して均熱化を実現で
き、しかも、熱的変形による応力作用を和らげ、
以て発熱体の劣化などを防止できる。
状を成す発熱体の熱的変形をその直径方向に許容
し、安定した支持状態を得ることができるととも
に、ピツチ変化を確実に防止して均熱化を実現で
き、しかも、熱的変形による応力作用を和らげ、
以て発熱体の劣化などを防止できる。
第１図はこの考案の発熱体支持装置の実施例を
示す図、第２図は炉体を示す断面図、第３図は第
１図に示した発熱体支持装置によつて支持される
発熱抵抗体を示す図、第４図は第１図に示した発
熱体支持装置の分解斜視図、第５図は第４図に示
した発熱体支持装置の組立断面図である。 ２……支持片（支持部材）、４……凹部、６…
…支持孔、８……発熱抵抗体（発熱体）。
示す図、第２図は炉体を示す断面図、第３図は第
１図に示した発熱体支持装置によつて支持される
発熱抵抗体を示す図、第４図は第１図に示した発
熱体支持装置の分解斜視図、第５図は第４図に示
した発熱体支持装置の組立断面図である。 ２……支持片（支持部材）、４……凹部、６…
…支持孔、８……発熱抵抗体（発熱体）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 周回状を成す発熱体を支持すべき支持部材
と、 この支持部材に前記発熱体の中心軸方向に一
定の間隔を以て形成されているとともに、前記
発熱体の移動を許容する長径部が前記発熱体の
直径方向に設定されて前記発熱体を支持する長
孔状を成す支持孔と、 を備え、伸縮によつて前記発熱体の直径が変化
しても、前記支持部材の前記支持孔の間隔を以
て、前記発熱体のピツチを一定に保持させたこ
とを特徴とする発熱体支持装置。 (2) 前記支持孔は、支持部材間に形成された凹部
を結合して得られる実用新案登録請求の範囲第
１項に記載の発熱体支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987038361U JPH047598Y2 (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987038361U JPH047598Y2 (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63145291U JPS63145291U (ja) | 1988-09-26 |
| JPH047598Y2 true JPH047598Y2 (ja) | 1992-02-27 |
Family
ID=30850533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987038361U Expired JPH047598Y2 (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH047598Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH079036Y2 (ja) * | 1990-11-13 | 1995-03-06 | 東京エレクトロン東北株式会社 | 縦型熱処理炉 |
| JP3848442B2 (ja) * | 1997-08-20 | 2006-11-22 | 株式会社日立国際電気 | ヒータ支持装置及び半導体製造装置及び半導体装置の製造方法 |
| US6807220B1 (en) * | 2003-05-23 | 2004-10-19 | Mrl Industries | Retention mechanism for heating coil of high temperature diffusion furnace |
| TWI565367B (zh) * | 2010-06-25 | 2017-01-01 | 山特維克熱傳動公司 | 用於加熱元件線圈之支撐結構 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6358493B2 (ja) * | 1981-07-03 | 1988-11-16 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5367941U (ja) * | 1976-11-10 | 1978-06-07 | ||
| JPS6358493U (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-19 |
-
1987
- 1987-03-16 JP JP1987038361U patent/JPH047598Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6358493B2 (ja) * | 1981-07-03 | 1988-11-16 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63145291U (ja) | 1988-09-26 |
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