JPS6384933U - - Google Patents
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- JPS6384933U JPS6384933U JP18018586U JP18018586U JPS6384933U JP S6384933 U JPS6384933 U JP S6384933U JP 18018586 U JP18018586 U JP 18018586U JP 18018586 U JP18018586 U JP 18018586U JP S6384933 U JPS6384933 U JP S6384933U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- insulating material
- semiconductor manufacturing
- manufacturing equipment
- heat insulating
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
第１図は本考案ヒータの一実施例を示す斜視図
、第２図はその冷却手段の一例を示す斜視図、第
３図は従来ヒータの一例を示す縦断面図、第４図
はその斜視図である。 １……ヒータケース、２……ヒータ素線、３…
…絶縁材（ヒータピース）、４……側部断熱材、
８……ヒータベース、９……冷却水用銅パイプ、
１０……帯状銅板、１２……冷却手段。
、第２図はその冷却手段の一例を示す斜視図、第
３図は従来ヒータの一例を示す縦断面図、第４図
はその斜視図である。 １……ヒータケース、２……ヒータ素線、３…
…絶縁材（ヒータピース）、４……側部断熱材、
８……ヒータベース、９……冷却水用銅パイプ、
１０……帯状銅板、１２……冷却手段。
Claims (1)
- 筒状に巻回され絶縁材３で絶縁されたヒータ素
線２を断熱材で支持してなる半導体製造装置用ヒ
ータにおいて、上記ヒータ素線２を支持する断熱
材の冷却手段１２を設けてなる半導体製造装置用
ヒータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18018586U JPS6384933U (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18018586U JPS6384933U (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6384933U true JPS6384933U (ja) | 1988-06-03 |
Family
ID=31123911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18018586U Pending JPS6384933U (ja) | 1986-11-21 | 1986-11-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6384933U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0222596U (ja) * | 1988-07-27 | 1990-02-15 |
-
1986
- 1986-11-21 JP JP18018586U patent/JPS6384933U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0222596U (ja) * | 1988-07-27 | 1990-02-15 |