JPH0616466Y2 - 縦形用セラミックファイバー成形ヒータ - Google Patents

縦形用セラミックファイバー成形ヒータ

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JPH0616466Y2
JPH0616466Y2 JP1988100278U JP10027888U JPH0616466Y2 JP H0616466 Y2 JPH0616466 Y2 JP H0616466Y2 JP 1988100278 U JP1988100278 U JP 1988100278U JP 10027888 U JP10027888 U JP 10027888U JP H0616466 Y2 JPH0616466 Y2 JP H0616466Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heater
ceramic fiber
block
heater element
outer periphery
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Application number
JP1988100278U
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JPH0222596U (ja
Inventor
隆 金子
増雄 鈴木
Original Assignee
国際電気株式会社
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Publication date
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は拡散装置，ＣＶＤ装置等の半導体製造装置に使
用されるヒータに係り、特に縦形のセラミックファイバ
ー成形によるヒータに関する。
〔従来の技術とその課題〕
ヒータエレメントをコイル状に加工した従来ヒータを縦
形の半導体製造装置に適用する場合、装置搬入場所の天
井の高さに制限があり、ヒータ全長が規制される。その
ため、より広い範囲のヒータ均熱長を得るためには、エ
ンドゾーンの距離を短縮せざるを得ない。そこで炉口部
からの放熱に対処するために短いエンドゾーンで必要な
パワーを得るためには、コイル巻きの従来ヒータでは短
いエンドゾーンでのヒータのターン数とそのピッチを増
大させる必要があるがそれには限界があり、ヒータ炉内
温度分布の均一な部分を広くとることができないばかり
でなく、ヒータ両端部のエレメントが変形するので、ヒ
ータ寿命を長くすることが難しいという課題があった。
〔課題を解決するための手段〕
本考案ヒータは、上記の課題を解決するため、第１図〜
第３図示のように上，下部の短いエンドゾーンに波形状
に加工したヒータエレメント１を密に配置し、該波形状
のヒータエレメント１の外周をセラミックファイバーブ
ロック３で筒状に成形し、このブロック３の内面にジル
コンコート２をコーティングし、当該ブロック３の外周
を断熱材４で断熱すると共に、上端開口部をセラミック
ファイバー成形品10で密閉せしめ、下端開口を除く全面
をケース９で被覆せしめてなる構成としたものである。
〔作用〕
このような構成とすることにより、ヒータエレメント１
を波形状に加工し、その外周をセラミックファイバーブ
ロック３で真空成形し、内面をジルコンコーティングす
ることで、上，下部の短いエンドゾーンに細かくヒータ
エレメント１を配置することができるから、必要発熱量
を得ることができ、ヒータ均熱長（ヒータ炉内温度分布
の均一な部分）をより広くとることができる。
〔実施例〕
以下図面について本考案の実施例を説明する。
第１図示は本考案ヒータの一実施例の構成を一部破断し
て示した側面図、第２図はその横断面図、第３図は同じ
くその一部の拡大縦断面図である。
第１図〜第３図中１はヒータエレメントで、波形状に加
工されている。この波形状のヒータエレメント１の外周
はセラミックファイバーブロック３で筒状に真空成形さ
れ、このブロック３の内面はジルコンコート２でコーテ
ィングされている。ブロック３の外周は断熱材４で断熱
されており、上端開口部はセラミックファイバー成形品
10で密閉されている。５はリング状端板で、セラミック
ファイバーブロック３及び断熱材４の下端に取付けられ
ている。そして下端開口（炉口）を除く全面はステンレ
ス製ケース９で被覆されている。６は固定金具、７は絶
縁物、８は電源端子である。
このような構成とすることにより短い上，下部のエンド
ゾーンに波形状のヒータエレメント１を細く配置するこ
とができるから、上，下部のエンドゾーンの発熱量を必
要発熱量にすることができ、ヒータ均熱長（ヒータ炉内
温度分布の均一な部分）をより広く容易に取得すること
ができる。
〔考案の効果〕
上述のように本考案によれば、波形状のヒータエレメン
ト１の外周をセラミックファイバーブロック３で成形
し、内面をジルコンコート２でコーティングすることに
より上，下部の短いエンドゾーンに波形状のヒータエレ
メント１を密に配置することができるから、上，下部の
エンドゾーンに必要発熱量を容易に取得することがで
き、ヒータ炉内の温度分布を広範囲にわたって均一にす
ることができるばかりでなく、波形状のヒータエレメン
ト１の外周をセラミックファイバーブロック３で成形
し、内面をジルコンコート２でコーティングすることに
よりヒータエレメント１の変形を防止できる等の効果を
奏する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本考案ヒータの一実施例の構成を一部破断して
示した側面図、第２図はその横断面図、第３図は同じく
その一部の拡大縦断面図である。 １……ヒータエレメント、２……ジルコンコート、３…
…セラミックファイバーブロック、４……断熱材、９…
…（ステンレス製）ケース、10……セラミックファイバ
ー成形品。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】上，下部の短いエンドゾーンに波形状に加
    工したヒータエレメント１を密に配置し、該波形状のヒ
    ータエレメント１の外周をセラミックファイバーブロッ
    ク３で筒状に成形し、このブロック３の内面にジルコン
    コート２をコーティングし、当該ブロック３の外周を断
    熱材４で断熱すると共に、上端開口部をセラミックファ
    イバー成形品10で密閉せしめ、下端開口を除く全面をケ
    ース９で被覆せしめてなる縦形用セラミックファイバー
    形成ヒータ。
JP1988100278U 1988-07-27 1988-07-27 縦形用セラミックファイバー成形ヒータ Expired - Lifetime JPH0616466Y2 (ja)

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JPH0222596U JPH0222596U (ja) 1990-02-15
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5082639A (ja) * 1973-11-26 1975-07-04
JPS6362182A (ja) * 1986-09-03 1988-03-18 東京タングステン株式会社 タンマン炉の発熱体
JPS6384933U (ja) * 1986-11-21 1988-06-03

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