JP2988810B2

JP2988810B2 - 熱処理装置

Info

Publication number: JP2988810B2
Application number: JP5191927A
Authority: JP
Inventors: 修物江
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1993-07-06
Filing date: 1993-07-06
Publication date: 1999-12-13
Anticipated expiration: 2014-12-13
Also published as: JPH0718445A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、熱処理装置に関し、特
に、被処理体を高温下で熱処理する際に用いる発熱体の
構造に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体ウエハ製造工程での各種
薄膜形成装置には、ＣＶＤ装置、エピタキシャル装置や
酸化膜形成装置あるいはドーピング装置の熱拡散装置等
の熱処理装置が用いられている。

【０００３】この種の半導体ウエハの各種熱処理に使用
される一般拡散型の熱処理装置は、被処理体である半導
体ウエハが配置される炉室を形成するプロセスチューブ
と、このプロセスチューブの外周に設けられる発熱抵抗
体と、この発熱抵抗体を包囲して設けられている断熱材
とを備え、この断熱材を介して上記発熱抵抗体が取り付
けられて支持されている。

【０００４】この場合の発熱抵抗体としては、一例とし
て、バッチ処理が可能な熱処理装置の場合でいうと、水
平方向でスパイラル状に配線されたＦｅＣｒＡｌ製等か
らなるヒータが用いられ、炉室内を例えば１２００℃程
度まで高温加熱するようになっている。また、断熱材と
しては、一例として、セラミックスファイバ等が用いら
れ、輻射熱および伝導熱として奪われる熱量を減少させ
て効率良く加熱できるようになっている。

【０００５】ところで、熱処理装置のうちでプロセスチ
ューブを縦置きした縦型熱処理装置では、プロセスチュ
ーブが縦方向で複数のゾーンに分割され、各ゾーンでの
温度管理が行なわれるようになっている。これは、発熱
抵抗体への給電効率や温度分布の管理が異なることに原
因しており、このため、前記したスパイラル状の発熱抵
抗体も各ゾーンに対応して結線されていることがある。
しかしながら、このような配線を行なうと、各ゾーンの
境界部で加熱されない部分が発生することが原因して安
定した温度管理が行なえないことがある。

【０００６】そこで、従来では、発熱抵抗体の配列方向
を水平方向ではなく、縦方向に設定する構造が提案され
ている（例えば、特開平４−１５５８８２号公報）。

【０００７】すなわち、上記公報によれば、発熱抵抗体
は、各ゾーン毎で、一本の線材を縦方向に伸ばして上下
部でＵ字状に折返すとともに、この折返し部に至る線材
の延長部を周方向で長短交互に形成し、各折返し部が対
向する各ゾーン間での発熱抵抗体同士で折返し部を相互
に噛み合わせた状態に配置されている。従って、縦方向
で相互に噛み合う状態に発熱抵抗体が配置されること
で、各ゾーンの縦方向、特に、境界部で加熱されない領
域をなくして均一な加熱ゾーンを形成することができ
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、発熱抵抗体
は、近年、上記したＦｅＣｒＡｌ発熱体に代えて、二ケ
イ化モリブデンが用いられる場合がある。これは、上記
ＦｅＣｒＡｌ発熱体の最大表面負荷が１２００℃におい
て例えば２Ｗ／ｃｍ²であるのに対し、２０Ｗ／ｃｍ²
と１０倍の発熱量であって、強力なパワー増加が得られ
ることを理由としている。つまり、二ケイ化モリブデン
は、従来用いられているＦｅＣｒＡｌ発熱体が１０℃／
分の温度上昇であるのに対し、１００℃／分と温度上昇
を急俊にすることができ、通常用いられる熱処理装置で
の昇降温度変化率である１０〜２０℃／分（昇温時）、
１０℃／分（降温時）に対して、１００℃／分（昇温
時）、６０℃／分（降温時）程度の温度変化速度を要求
される高速熱処理装置に好適とされているからである。

【０００９】しかしながら、二ケイ化モリブデンは、比
較的脆弱な材質である関係上、発熱抵抗体への給電のた
めの配線を直接発熱抵抗体の端部に接続して固定した場
合に折損する虞れがあった。つまり、発熱抵抗体に接続
される配線は、抵抗損失を抑えて高電流を流す必要があ
る関係でかなり大径の線材が用いられる。このため、配
線の重量が負荷となることで発熱抵抗体の端部に曲げモ
ーメントが発生する。従って、モーメントに対する耐久
性が発熱抵抗体に備わっていないことが原因して折れ易
くなる。

【００１０】一方、発熱抵抗体は、周方向で二分された
ものが組込まれることが多い。これは、発熱抵抗体の延
長距離による消費電力の増加を抑えるためである。この
ため、発熱抵抗体が取付けられてプロセスチューブの外
殻をなす断熱材も周方向で分割されていて、分割面に形
成したスリットから発熱抵抗体の端部を外側に突出させ
る構造が採用されている。しかしながら、分割された断
熱材の分割面に位置する発熱抵抗体同士の間隔が離れて
いると、分割位置近傍での加熱領域、つまり、発熱抵抗
体が存在しない範囲が大きくなることで、周方向での温
度分布が均一に得られなくなる虞れがあった。

【００１１】そこで、本発明の目的は、上記従来の熱処
理装置、特に、給電構造での問題に鑑み、給電用の配線
による発熱抵抗体の破損を未然に防止することができる
構造を備えた熱処理装置を提供することにある。

【００１２】また、本発明の目的は、周方向で分割され
た分割位置での間隔を広げることなく発熱抵抗体の端部
を取付けることができるようにすることで、周方向での
温度分布を均一化することができる構造を備えた熱処理
装置を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載の発明は、複数の非処理体をバッチ処
理する縦型プロセスチューブと、上記縦型プロセスチュ
ーブの周囲に配置された周方向で二分されている断熱材
と、上記各断熱材の内壁面にて周方向に間隔をおいて配
列され、端部が上記断熱材から外側に向け延長して取り
出されている発熱抵抗体と、上記縦型プロセスチューブ
に近接して設けられていて、上記発熱抵抗体の端部に対
向する電極端子を備えた縦型の中継端子部材と、を備
え、上記中継端子部材の電極端子と上記発熱抵抗体の端
部とが、軽量部材からなる平網状中継部材によって接続
されていることを特徴としている。

【００１４】請求項２記載の発明は、請求項１におい
て、上記発熱抵抗体の端部は、上記断熱材の分割面近傍
で互いに接近した状態で支持されていることを特徴とし
ている。

【００１５】請求項３記載の発明は、請求項１または２
において、上記発熱抵抗体の端部は、上記中継部材が巻
付けられ、自己の弾性によって閉じる習性を有する挟持
部材によって上記中継部材と上記端部とが密着させられ
ていることを特徴としている。

【００１６】請求項４記載の発明は、請求項３におい
て、上記挟持部材は、断面形状が上記端部と相似形若し
くは端部の相対面に接触できる外周形状を設定されてい
て、外部に上記端部の相対面に接触するいちい該の位置
に上記端部を挿入できる口部が設けられ、自己の弾性に
よって、通常、上記口部を閉じる習性を備え、上記口部
には、上記口部を上記中継部材に装着する時、人手によ
り挟持部材の初期習性に抗して口部を開放する操作把持
部材が着脱可能に設けられていることを特徴としてい
る。

【００１７】

【作用】本発明では、発熱抵抗体の端部に直接電源から
の配線を接続しないことによって、発熱抵抗体に対する
配線からの負荷を軽減させている。つまり、発熱抵抗体
の端部と給電用電源側の端子との間には中継部材が設け
られている。このため、中継部材として、導電性の軽量
部材を用いることで、発熱抵抗体への重量を主とする負
荷を軽減することができる。従って、発熱抵抗体が切損
するような事態を未然に防止することができる。しか
も、中継部材と発熱抵抗体の端部とは、通常、閉じる向
きの習性を有する挟持部材が装着されることで、密着し
た状態を維持されることになる。

【００１８】また、本発明では、隣り合う発熱抵抗体の
端部間の間隔を小さくすることで、周方向で発熱抵抗体
が存在しない領域を少なくして温度分布を均一化するこ
とができる。つまり、中継部材を保持する挟持部材は、
操作把持部材によって中継部材に装着される際に口部が
開かれるが、装着された後には、操作把持部材が挟持部
材から取り外される。このため、隣り合う発熱抵抗体同
士に装着された挟持部材は、口部を開く際に用いられる
操作把持部材が干渉しない状態とされるので、配置間隔
を狭めることができる。

【００１９】

【実施例】以下、図１乃至図６に示す実施例によって本
発明の詳細を説明する。

【００２０】図１は、半導体ウエハの酸化拡散処理に用
いられる熱処理装置を示している。

【００２１】この熱処理装置は、石英製のプロセスチュ
ーブ１０が例えばステンレススチールからなるベースプ
レート１２上で縦方向に立設支持されており、このプロ
セスチューブ１０の内側に炉室１４が形成されるように
なっている。また、上記プロセスチューブ１０はケーシ
ング３２内に納められるようになっている。

【００２２】このプロセスチューブ１０によって形成さ
れる炉室１４内には、保温筒１８に載置されたボート２
０が挿脱可能となっていて、このボート２０に多数枚の
被処理体である半導体ウエハ２２が水平に、かつ、等間
隔に配列支持され、図示しない処理ガス供給源よりガス
を供給し半導体ウエハ２２に対して気相成長処理を実行
可能となっている。なお、保温筒１８は、フランジキャ
ップ２４上に搭載され、このフランジキャップ２４は図
示せぬエレベータアームに取り付けられて上下移動し、
上記保温筒１８及びボート２０を上下移動させるととも
に、上記プロセスチューブ１０のボート挿入孔２６を密
封しうるようになっている。

【００２３】上記プロセスチューブ１０の外周には発熱
抵抗体３０が設けられており、この発熱抵抗体３０の外
側には発熱抵抗体３０を支持、包囲する断熱材３４が設
けられている。

【００２４】発熱抵抗体３０は、上記炉室１４内を例え
ばトップ、センター及びボトムの３ゾーンに分けて、そ
れぞれを好適な温度条件下で加熱し得るようにトップ
側、センター側及びボトム側のそれぞれの発熱抵抗体３
０ａ，３０ｂ，３０ｃにて構成されるような３ゾーン方
式を採用されている。なお、ゾーン分割は３ゾーンに限
らず５ゾーンなど適宜必要に応じて決めればよい。ま
た、断熱材３４も上記トップ、センター及びボトムの３
ゾーンに対応してトップ側、センター側及びボトム側の
それぞれの断熱材３４ａ，３４ｂ，３４ｃに分割して構
成されている。

【００２５】さらに、これら断熱材３４ａ，３４ｂ，３
４ｃは、円筒状のもので、半円筒状のものを２個組合せ
て形成されるようになっており、これに対応して上記発
熱抵抗体３０ａ，３０ｂ，３０ｃも周方向で二分された
のものを組合せるようになっている。

【００２６】発熱抵抗体３０ａ，３０ｂ，３０ｃは、二
ケイ化モリブデン（ＭｏＳｉ₂）製のものとしている。
具体的には、二ケイ化モリブデン（ＭｏＳｉ₂）を主成
分としたヒーター（カンタル社製のカンタルスーパー発
熱体）が採用できる。この二ケイ化モリブデン製の発熱
抵抗体３０ａ，３０ｂ，３０ｃは、常温で抵抗値が非常
に小さく、高温になると抵抗値が大きくなる。二ケイ化
モリブデンは、従来用いられているＦｅＣｒＡｌ発熱体
の最大表面負荷が１２００℃において例えば２Ｗ／ｃｍ
²であるのに対し、２０Ｗ／ｃｍ²と１０倍の発熱量で
あって、強力なパワー増加が得られ、従来用いられてい
るＦｅＣｒＡｌ発熱体が１０℃／分の温度上昇であるの
に対し、１００℃／分と温度上昇を急俊にすることがで
き、前述した高速熱処理炉での昇温特性を得るために適
用しやすい。

【００２７】また、発熱抵抗体３０ａ，３０ｂ，３０ｃ
は、図２に示すように、各ゾーン毎で、一本の線材を縦
方向に延ばし、上下で交互にＵ字状に折返されて連続す
る形状（以下、この形状をミヤンダ状という）に設定さ
れている。

【００２８】そして、このミヤンダ状に形成した発熱抵
抗体３０ａ，３０ｂ，３０ｃをステープル３６にて上記
各断熱部材３４ａ，３４ｂ，３４ｃの内側面に取付け保
持させるようになっている。このステープル３６は、図
２および図３に示すように、発熱抵抗体３０ａ，３０
ｂ，３０ｃの上部では各々の折返し部の頂部に取り付け
て発熱抵抗体３０ａ，３０ｂ，３０ｃを吊下げ支持する
とともに、発熱抵抗体３０ａ，３０ｂ，３０ｃの下部で
は各々の折曲部を避けて直線部分を支持して位置を固定
されており、このように発熱抵抗体３０ａ，３０ｂ，３
０ｃの下部折返し部を解放状態にしておくことによっ
て、発熱抵抗体３０ａ，３０ｂ，３０ｃの熱膨張、収縮
による上下方向の長さ変化を許容できるようにしてい
る。

【００２９】さらに、上記発熱抵抗体３０ａ，３０ｂ，
３０ｃは、加熱されると表面に二酸化ケイ素（Ｓｉ
Ｏ₂）が析出される発熱抵抗体３０の表面保護膜を形成
し、発熱抵抗体３０が大気中の酸素と反応して酸化し、
断線することを防止している。上記発熱抵抗体３０ａ，
３０ｂ，３０ｃと直接接触する上記ステープル３６の少
なくとも表面を例えば１２００℃という高温においても
上記二酸化ケイ素に対して不活性な材料にて形成し、上
記の析出した二酸化ケイ素が浸蝕され発熱抵抗体３０が
ステープル３０の接触部で断線しないようにしている。
二酸化ケイ素に対して不活性な材料としては、例えば、
鉄（Ｆｅ）、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）などがあ
る。なお、ステープル３６全体を二酸化ケイ素に対して
不活性な材料あるいは発熱抵抗体３０ａ，３０ｂ，３０
ｃと同一の材料で形成するようにしてもよい。

【００３０】また、発熱抵抗体３０ａ，３０ｂ，３０ｃ
は、図２に示すように、各ゾーン毎の上下で折返された
位置までの延長部が周方向で交互に長短を設定され、こ
の長短をなす折返し部を各ゾーン間での境界部分におい
て相互に入り込ませることで噛み合う状態に配置されて
いる。従って、発熱抵抗体３０ａ，３０ｂ，３０ｃは、
各ゾーン間での境界部分において隙間なく配設され、そ
の結果トップ、センター、ボトムの各ゾーンの境界部に
おいて均一な加熱がなし得るようになっている。なお、
発熱抵抗体３０は、トップ、センター、ボトムの各ゾー
ン内において上下に複数組合せるようにしてもよく、そ
の場合には各隣接部分において上述のように交互に組合
せるようにすることでゾーン内を均一な温度に維持でき
る。また組合せ状態は上述の例に限らず、均一な温度に
維持できる各種の組合せが可能である。

【００３１】一方、発熱抵抗体３０ａ，３０ｂ，３０ｃ
の最外側に位置する折返し部から延長された端部３０ｄ
は、図４に示すように、周方向で二分されている断熱材
３４の分割面に形成されたスリット３４ｄから外側に向
け突出させてある。発熱抵抗体３０の端部３０ｄは、隣
り合うもの同士が平行な状態で延長されており、その間
の間隔（Ｌ）が、一例として、４０ｍｍ程度の極めて狭
い配置間隔を設定されていて、分割面での加熱されない
領域が大きくなるのを防止するようになっている。

【００３２】そして、断熱材３４から外側に突出してい
る発熱抵抗体３０の端部３０ｄは、図４において二点鎖
線で示すように、断熱材３４の外壁に取付けられる絶縁
部材４０に挿通されて断熱剤を充填することで互いに絶
縁された状態にて支持されている。絶縁部材４０に挿通
される発熱抵抗体３０の端部３０ｄは分割された双方が
共に平行しているので、絶縁部材４０への挿通が容易に
行なえるようになっている。

【００３３】また、絶縁部材４０に挿通された発熱抵抗
体３０の先端は、例えばアルミニュウム等の導電層が形
成され、この導電層には、例えば、アルミニュウム等の
導電性部材を用いた平網線からなる中継部材４２が巻か
れている。平網線状の中継部材４２は、発熱抵抗体３０
への給電用配線をなすものであって、一端が上記発熱抵
抗体３０側の導電層に、そして、他端が、例えば、図１
に示すように、断熱材３４の外周とケーシング３２との
間の空間に立設された中継端子部材４４に取付けられて
いる端子４６にそれぞれ取付けられるようになってい
る。なお、端子４６側に位置する中継部材４２は、例え
ば、図４に示すように、末端部にラグ端子を取付け、こ
のラグ端子をネジ止めすることで取付けられる。

【００３４】従って、発熱抵抗体３０の端部３０ｄと中
継端子部材４４の端子４６とは、軽量部材であるアルミ
ニュウム製の平網線であるので、垂下した場合でもさほ
ど大きな負荷を端部３０ｄに与えることがない。しか
も、端部３０ｄと端子４６との間の距離もさほど広くな
いので、換言すれば、スパンが小さいので、端部３０ｄ
に作用する曲げモーメントも小さくすることができる。

【００３５】一方、中継部材４２は、後述する挟持部材
４８によって発熱抵抗体３０の端部３０ｄに密着した状
態で保持されるようになっている。つまり、挟持部材４
８は、図５および図６に示すように、断面形状が発熱抵
抗体３０の端部３０ｄと相似形状を設定されたクリップ
状の弾性部材であって、その外周の一部に有する口部に
は端部３０ｄを挿入することができるようになってい
る。そして、挟持部材４８は、自己の弾性力によって、
通常、口部を閉じる習性を付与されている。また、挟持
部材４８の口部の両片には、着脱可能な操作把持部材５
０が取付けられており、この操作把持部材５０は、挟持
部材４８の口部と反対側に延長された把持部５０ａを備
えている。操作把持部材５０は、本体の胴部を支点とし
て把持部５０ａ側を揺動させることができるようになっ
ており、図６において、二点鎖線で示すように、把持部
５０ａ同士を近づける向きに揺動させることで挟持部材
４８の習性に抗して口部を開くことができる。このた
め、口部が開かれると、発熱抵抗体３０の端部３０ｄを
入り込ませることができ、所謂、挟持部材４８が端部３
０ｄに装着されることになる。このような操作把持部材
５０は、挟持部材４８の口部に発熱抵抗体３０の端部３
０ｄを挿入した後に挟持部材４８から取り外されるよう
になっている。つまり、操作把持部材５０は、弾性体か
らなる線材が用いられ、把持部５０ａと反対側が挟持部
材４８の長手方向にそって折返されている。この折返す
方向は、図５に示すように挟持部材４８の胴部に形成さ
れている筒部４８ａに挿入できる方向とされている。こ
のため、挟持部材４８の筒部４８ａに折返された端部３
０ｄが挿入された操作把持部材５０は、折返した端部３
０ｄを接近する方向に絞ることで挟持部４８の筒部４８
ａから抜取ることができる。

【００３６】本実施例は以上のような構成であるから、
発熱抵抗体３０の端部３０ｄは、プロセスチューブにお
けるアウタシェルの分割面に形成されたスリット３４ｄ
から外側に向け突出した状態で組付けられる。そして、
発熱抵抗体３０の端部３０ｄにおける導電層および中継
ブロック４４に有する端子４６とは、導電層および端子
４６に巻付けられた中継部材４２によって電気的に接続
される。中継部材４２は、発熱抵抗体３０の端部３０ｄ
は、挟持部材４８によって密着した状態を維持される。
すなわち、操作把持部材５０の把持部５０ａが人手によ
って絞られ、把持部５０ａ同士が近づく向きに揺動させ
られると口部が開かれるので、この状態を維持したまま
で上記端部３０ｄに対して挟持部材４８が差込まれる。
端部３０ｄに差込まれた操作把持部材５０の口部は、把
持部５０ａに対する人手からの揺動力が除かれると自己
の習性により閉じ、中継部材４２を端部３０ｄの導電層
に加圧することで中継部材４２を導電層に密着させる。
そして、操作把持部材５０は、挟持部材４８を端部３０
ｄに差込んだ後に折返し部が挟持部材４８の筒部４８ａ
から抜取られることで挟持部材４８から取り外される。

【００３７】従って、周方向で隣り合う発熱抵抗体３０
の端部３０ｄには、挟持部材４８のみが残されることに
なるので、操作把持部材５０の把持部５０ａ同士が干渉
するようなことがない。

【００３８】本実施例によれば、発熱抵抗体３０の端部
３０ｄの外周には、隣り合う発熱抵抗体３０に装着され
た挟持部材４８の胴部から外側に向け延び出す部品がな
いので、分割面に形成されたスリット内から外側に突出
する発熱抵抗体３０の端部３０ｄ間の間隔を狭くするこ
とができる。この発熱抵抗体３０の端部３０ｄ間の間隔
に関していうと、従来構造では、８０〜１００ｍｍ程度
必要であったが、本実施例の場合、上記したように４０
ｍｍ程度に狭めることができる。

【００３９】また、本実施例によれば、断熱材３４の分
割面に形成されているスリット３４ｄから外側に向け突
出する発熱抵抗体３０の端部３０ｄが平行に延び出して
いることにより、絶縁部材４０への挿通が容易に行なえ
る。

【００４０】なお、本発明は、上記実施例に限られるも
のではなく、本発明の要旨の範囲内で種々変形すること
が可能である。

【００４１】例えば、本発明が対象とする被処理体は、
少なくとも面状形状の被処理体であればよく、半導体ウ
エハ以外にも、例えば、ＬＣＤ基板等であっても良い。
さらに本発明が適用される熱処理装置としては、酸化、
拡散装置以外にも、例えば、ＣＶＤ、アニールに適用さ
れる装置を対象とすることも可能である。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
発熱抵抗体に対して軽量な部材で構成された中継部材を
設けることで給電を行なうようにしたので、過大な曲げ
モーメントが発熱抵抗体に生じるような負荷を与えるこ
とがない。このため、発熱抵抗体が過大な負荷によって
折れるような事態を未然に防止することができる。

【００４３】また、本発明によれば、プロセスチューブ
の分割面の両側に配置される発熱抵抗体同士の間隔を狭
くすることができるので、炉内の周方向での温度分布を
均一化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明実施例による熱処理装置の一例を示す模
式的な断面図である。

【図２】図１に示した熱処理装置に用いられる発熱抵抗
体の構造を示す斜視図である。

【図３】図２に示した発熱抵抗体の固定構造を示す一部
断面図である。

【図４】本発明実施例による熱処理装置の要部構造を示
す断面図である。

【図５】図４に示した要部の一部を取り出して示した斜
視図である。

【図６】図５中、符号Ｈで示す方向の矢視図である。

【符号の説明】

１０プロセスチューブ３０発熱抵抗体３４断熱材４０絶縁部材４２中継部材４４中継ブロック４６中継ブロック側の端子４８挟持部材５０操作把持部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) C23C 16/00 - 16/56 F27B 17/00 F27D 7/00 - 15/02 H01L 21/22 H01L 21/205 H01L 21/31 H01L 21/324 H05B 3/40 - 3/82

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の非処理体をバッチ処理する縦型プ
ロセスチューブと、上記縦型プロセスチューブの周囲に配置された周方向で
二分されている断熱材と、上記各断熱材の内壁面にて周方向に間隔をおいて配列さ
れ、端部が上記断熱材から外側に向け延長して取り出さ
れている発熱抵抗体と、上記縦型プロセスチューブに近接して設けられていて、
上記発熱抵抗体の端部に対向する電極端子を備えた縦型
の中継端子部材と、を備え、上記中継端子部材の電極端子と上記発熱抵抗体
の端部とが、軽量部材からなる平網状中継部材によって
接続されていることを特徴とする熱処理装置。
【請求項２】請求項１において、上記発熱抵抗体の端部は、上記断熱材の分割面近傍で互
いに接近した状態で支持されていることを特徴とする熱
処理装置。
【請求項３】請求項１または２において、上記発熱抵抗体の端部は、上記中継部材が巻付けられ、
自己の弾性によって閉じる習性を有する挟持部材によっ
て上記中継部材と上記端部とが密着させられていること
を特徴とする熱処理装置。
【請求項４】請求項３において、上記挟持部材は、断面形状が上記端部と相似形若しくは
端部の相対面に接触できる外周形状を設定されていて、
外部に上記端部の相対面に接触する位置以外の位置に上
記端部を挿入できる口部が設けられ、自己の弾性によっ
て、通常、上記口部を閉じる習性を備え、上記口部に
は、上記口部を上記中継部材に装着する時、人手により
挟持部材の初期習性に抗して開放する操作把持部材が着
脱可能に設けられていることを特徴とする熱処理装置。