JPH0526336B2

JPH0526336B2 -

Info

Publication number: JPH0526336B2
Application number: JP57042600A
Authority: JP
Inventors: Hiroto Nagatomo; Fumio Arai; Isamu Seki; Seiichiro Kobayashi; Masatsugu Yoshitake
Original assignee: Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd; Hitachi Ltd; Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd; Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc; Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1982-03-19
Filing date: 1982-03-19
Publication date: 1993-04-15
Also published as: JPS58161340A

Description

【発明の詳細な説明】本発明は製品等の搬送物を搬送車と製品受払装
置との間で相互に払出し、受入れを行なうことが
できる製品移送技術に関し、特に払出し受入れの
自動化および製品のクリーン状態の保持を図つた
製品移送技術に関するものである。

半導体装置のようにその製造工程数が極めて多
い製品の製造工場では、夫々の製造工程を行なう
作業ステーシヨン間で製造途中の製品を移送する
必要がある。このため従来から各作業ステーシヨ
ン間を移動する搬送車を設けると共に、各作業ス
テーシヨンには製品受払装置を設けておき、この
製品受払装置と搬送車との間で製品の払出し、受
入れ、つまり移載を行なうことにより各作業ステ
ーシヨン間での製品の移送を可能にしたシステム
が実用化されている。

しかしながら、従来のこの種のシステムでは、
搬送車側の開発は種々なされているが、製品受払
装置は単純な製品置台であつたり、ベルト或いは
ローラコンベアがその状態のまま設置されている
だけであるため、次のような問題点が生じてい
る。

(1) 単なる製品置台やベルトコンベアでは、搬送
車への移載前に静置しておくだけで塵埃が付着
し、製品不良の原因となる。

(2) 単なる置台や単一のベルトコンベアでは、製
品の受入れ、払出しに人手を必要とし、また自
動化を達成しても１回の受払処理で受入れ、払
出しの両動作を行なうことはできない。

(3) 搬送車の受払装置との間で製品搬送先、受取
先、荷積み指示、荷降ろし指示等の情報交換を
行なうことができず、搬送車の制御に自由性が
ない。

(4) 複数種類の製品を搬送する場合、その種類や
後工程の処理方法を自動的に判別することがで
きず、人による判断が必要とされる。

したがつて、本発明の目的は、搬送車と製品受
払装置との間で半導体ウエハの搬送先、受取先、
荷積み指示、荷卸し指示などの情報交換を行うこ
とにより、搬送合の制御をきめ細かく行うことが
可能な製品移送技術を提供することにある。

本発明の他目的は、作業者の介入なしに、複数
種類の半導体ウエハの種類、数量および処理方法
などを自動的に判別することにより、半導体ウエ
ハの受払操作を自動的に遂行することが可能な製
品移送技術を提供することにある。

以下、本発明を図示の実施例により説明する。

第１図は本発明の一実施例である製品移送装置
を構成する製品受払装置１と、搬送車２の各概略
構成を示している。搬送車２は密閉型の箱状ケー
シング３の下部に駆動輪４を有し、工場の床面に
敷設した軌道５を検知器６にて検知しながら各作
業ステーシヨンに夫々設けた製品受払装置１間を
軌道５に沿つて移動する。この搬送車２はシヤツ
タ７により開閉可能な製品受払口８をその前面お
よび後面に有しており、かつ側面には図外の空気
循環機構のエアフイルタ９を設けてケーシング３
内を常に陽圧に保つて埃の侵入を防いでいる。ま
た、ケーシング３内には前記製品受払口８に臨ん
で一対のベルトコンベア１０，１１を並設し、各
ベルトコンベア１０，１１は往復回動可能な構成
としている。更に、ケーシング前面および後面の
下部両側には、製品受払装置１の後述するストツ
パに衝接したときに信号を発するドツキングセン
サ１２，１２を設け、またその上側には光通信用
の光学ヘツド１３，１３を設けている。そして、
前記ベルトコンベア１０，１１、ドツキングセン
サ１２、光学ヘツド１３等は車載したマイクロコ
ンピユータ１４に接続している。

一方、前記製品受払装置１は、密閉箱状のケー
シング１５を有し、図外の空気循環機構のエアフ
イルタ１６をその上部に設けてケーシング１５内
を陽圧に保持し、内部への埃の侵入を防止してい
る。前記ケーシング１５の前面にはシヤツタ１７
により開閉される製品受払口１８を設け、かつこ
の受払口１８に臨む内部には一対のベルトコンベ
ア１９，２０を設けている。これらベルトコンベ
ア１９，２０は夫々異なる方向に回転でき、受払
口１８に向つて回動するベルトコンベア１９を払
出専用として構成し、他のベルトコンベア２０を
受入専用として構成している。前記各ベルトコン
ベア１９，２０の一側には夫々製品自動認識機構
２１，２２を設け、ベルトコンベア１９，２０に
載置した半導体ウエハからなる製品３０の種類や
数量を検出することができる。

即ち、前記製品自動認識機構２１，２２は夫々
ケーシング１５内に横架したガイドレール２３，
２４に沿つて移動する検出ヘツド２５，２６を有
する。第２図に一方の検出ヘツド２５で代表して
示すように、ガイドレール２３上を移動するスキ
ヤナ２７には検出アーム２８をその基部において
水平回動可能に支持し、検出アーム２８の先端下
側には非接触バーコードリーダ２９を配設して製
品３０の上面に設けたバーコード３１を読み取る
ことができる。このバーコード３１には製品の種
類や処理方法等の情報を入れてある。また、前記
検出アーム２８の基部には円周一部を切欠いた円
板３２を一体に固定し、前記スキヤナ２７に一体
に設けたフオトセンサ機構３３によつて前記円板
の回動、つまり検出アーム２８の回動を検出して
アーム２８に加わる過負荷を検出する。図中、３
４は前記ベルトコンベアの両端位置に対向配置し
た位置認識フオトセンサ機構であり、前記検出ア
ーム２８等がこの両端位置に迄夫々移動されてき
たことを検出する。また、３５は製品ガイドであ
る。

他方、前記ケーシング１５の前面下部両側には
夫々ストツパ３６を設け、前記搬送車２のドツキ
ングセンサ１２が衝接される。また、その上側に
は光通信用の光学ヘツド３７を設け、前記搬送車
２の光学ヘツド１３との間で光通信を行なうこと
ができる。そして、前記ベルトコンベア１９，２
０、製品自動認識機構２１，２２、光学ヘツド３
７等は内装したマイクロコンピユータ３８に接続
し、更に図外のホストコンピユータに接続してい
る。

以上の構成によれば、第３図Ａ，Ｂに示すよう
に、製品受払装置１から払出される製品３０は、
装置内の払出専用コンベア１９上に直列状態に載
置される。そして、これらの製品３０は自動認識
装置２１によりバーコード３１を読み取られ、製
品の種類や処理方法（次工程としての移送先）、
更には数量等が情報として読み取られ、マイクロ
コンピユータ３８に記憶される。一方、搬送車２
内には、前工程等の作業ステーシヨンの製品受払
装置において積込まれた製品３０ａがベルトコン
ベア１０上に載置される。そして、この搬送車２
は軌道５に沿つて移動しながら製品３０ａを載置
したベルトコンベア１０が受払装置１に対して左
側に位置するように前後方向を変えながら受払装
置１に接近しかつこれに接触する。このとき、ド
ツキングセンサ１２がストツパ３６に衝接して搬
送車２と受払装置１の連結を検出する。この検出
信号はマイクロコンピユータ１４に入力され、更
に光学ヘツド１３，３７を介して受払装置１のマ
イクロコンピユータ３８更にはホストコンピユー
タに送信される。ホストコンピユータはこの信号
に基づいて、荷降ろしか、荷積みか、積降し同時
処理かを判断し、受払装置１に指示を出す。受払
装置１は自身のシヤツタ１７と共に搬送車２のシ
ヤツタ７を開放し、更にその作用に応じて必要と
されるベルトコンベア１９，２０，１０，１１を
選択あるいは全部作動させる。これにより、ベル
トコンベア１９上の製品３０はベルトコンベア１
１上に移載され、逆にベルトコンベア１０上の製
品３０ａはベルトコンベア２０上に移載されて製
品の受払いは完了される。

そして、シヤツタ１７，７が閉成すると、搬送
車２はホストコンピユータやマイクロコンピユー
タ３８からの信号を光ヘツド３７，１３を通して
受信し、新たに搭載した製品を必要なステーシヨ
ンに移送する。一方、製品受払装置１では受入専
用のベルトコンベア２０上に載置された新たな製
品３０ａをそのバーコードを利用して製品自動認
識機構２２にて検出し、これをマイクロコンピユ
ータ３８やホストコンピユータに入力して新たな
情報とし、この作動ステーシヨンにおける工程管
理に利用するものである。

一方、搬送車２や製品受払装置１では、ケーシ
ング１５，３内を陽圧に保ちかつ外部とはエアフ
イルタ１６，９を介して連通するようにしている
ため、ケーシング内に載置している製品への埃の
付着は殆んどなく、また受入れ、払出しの最中に
おいても埃が付着することはない。これにより埃
の付着による製品不良は防止できる。

ここで、搬送車や製品受払装置内に設けた受入
れ、払出しの各機構はベルトコンベア以外の手
段、例えばハンガー、押出し等の手段を用いても
よい。

以上のように、本発明の製品移送装置によれ
ば、次のような効果を奏する。

(1) 搬送車と製品受払装置との間で半導体ウエハ
の搬送送先、受取先、荷積み指示、荷卸し指示
などの情報交換を行うので、搬送車の制御をき
め細かく行うことができる。

(2) 作業者の介入なしに、複数種類の半導体ウエ
ハの種類、数量および処理方法などを自動的に
判別するので、半導体ウエハの受払操作を自動
的に遂行することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である製品移送装置
の概略斜視図、第２図Ａ，Ｂは製品自動認識機構
の平面図、正面図、第３図Ａ，Ｂは本発明の一実
施例である製品移送装置の平面図、正面図であ
る。１……製品受払装置、２……搬送車、３……ケ
ーシング（第２のケーシング）、５……軌道、７
……シヤツタ、９……エアフイルタ、１０，１１
……ベルトコンベア（第２の受入払出機構）、１
２……ドツキングセンサ、１３……光ヘツド（通
信機構）、１４……マイクロコンピユータ（第２
の制御手段）、１５……ケーシング（第１のケー
シング）、１６……エアフイルタ、１７……シヤ
ツタ、１９，２０……ベルトコンベア（第１の受
入払出機構）、２１，２２……製品自動認識装置、
３０，３０ａ……製品（半導体ウエハ）、３１…
…バーコード、３７……光学ヘツド（通信機構）、
３８……マイクロコンピユータ（第１の制御手
段）。

Claims

【特許請求の範囲】１半導体ウエハを収容する第１のケーシング
と、この第１のケーシングの内部に設けられ、前
記半導体ウエハの受入れおよび払出し操作を行う
第１の受入払出機構と、前記第１のケーシング内
において前記第１の受入払出機構に対して相対的
に移動し、前記半導体ウエハに関する種類および
数量および処理方法の少なくとも一つからなる製
品情報を非接触に認識する製品自動認識機構と、
前記製品情報の記憶および当該製品情報に基づく
制御情報の外部との間における授受を行う第１の
制御手段とを備えた製品受払装置と、前記半導体ウエハの受入れおよび払出し操作を
行う第２の受入払出機構と、前記半導体ウエハに
関する製品情報の記憶および当該製品情報に基づ
く制御情報の外部との間における授受を行う第２
の制御手段とを備え、前記製品受払装置にドツキ
ングする搬送車と、前記製品受払装置および前記搬送車の双方に設
けられ、前記製品受払装置と前記搬送車との間で
離れた状態で前記半導体ウエハに関する前記製品
情報および前記制御情報を交換することが可能な
通信機構と、からなることを特徴とする製品移送装置。２前記搬送車には、前記半導体ウエハおよび前
記第２の受入払出機構を収容する第２のケーシン
グが設けられ、当該第２のケーシングおよび前記
製品受払装置の前記第１のケーシングの双方の内
部を陽圧に保つことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の製品移送装置。３前記第１および第２の受入払出機構は、互い
に前記半導体ウエハの受入れおよび払出し操作を
個別に行う複数のベルトコンベアからなることを
特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記
載の製品移送装置。