KR100292029B1 - 자동반송대차 시스템 및 캐리어 이송 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 작업자가 입력한 작업 데이터를 반도체 제품이 수납된 캐리어가 로딩, 언로딩 되는 캐리어 스테이션에 유선 통신 방식으로 송신하고, 캐리어 스테이션과 캐리어를 이송하는 자동반송대차가 직접 광통신 가능토록 하여 통신 결과에 의하여 자동반송대차가 유도 레일을 따라서 캐리어를 후속 스테이션으로 이동시켜 캐리어를 로딩, 언로딩 가능토록 한 자동반송대차 시스템 및 캐리어 이송 방법에 관한 것으로, 작업자용 에뮬레이터와 스테이션의 통신신 유선 통신을 사용하고 스테이션과 자동반송대차는 광통신을 혼용하여 사용하여 무선 통신 주파수에 의한 반도체 테스트 설비의 테스트 성능 저하를 방지함과 동시에, 스테이션과 자동반송대차 사이에서 캐리어를 로딩/언로딩하는 캐리어 이송 장치를 롤러 컨베이어로 사용하여 캐리어 이송 시간의 단축시켜 자동반송대차 시스템의 효율을 극대화한다.

Description

자동반송대차 시스템 및 캐리어 이송 방법

본 발명은 자동반송대차 시스템(Auto Guided Vehicle system) 및 캐리어 이송 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 제품이 수납된 캐리어가 로딩, 언로딩되는 캐리어 스테이션과 캐리어를 이송하는 자동반송대차가 직접 통신 가능토록 하고, 통신 결과에 의하여 자동반송대차가 유도 레일을 따라서 캐리어를 후속 스테이션으로 이동시켜 캐리어를 로딩, 언로딩 가능토록 한 자동반송대차 시스템 및 캐리어 이송 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 소자 제조 공정을 진행하는 반도체 제조 라인이나 생산된 반도체 소자를 패키징하는 반도체 패키지 공정 라인, 패키징된 반도체 패키지를 테스트하는 테스트 라인에서는 공정 특성에 따라서 취급 제품인 반도체 소자, 제품화된 반도체 패키지, 테스트될 반도체 패키지의 반복적인 이동이 발생하게 된다.

이와 같은 반도체 패키지의 이동은 작업자에 의한 수작업이나 최근 개발된 바 있는 자동반송대차 시스템이 주로 사용된다.

자동반송대차 시스템은 반도체 제품이 로딩된 상태로 공정 설비와 공정 설비를 왕복하면서 이송된다. 이와 같은 일련의 작업을 수행하기 위해서 자동반송대차 시스템의 작업 일정 및 작업 명령은 제어 프로그램이 입력된 중앙제어 시스템으로부터 무선 모뎀에 의하여 자동반송대차 시스템으로 송신되고 자동반송대차 시스템은 송신된 작업 일정 및 작업 명령에 의하여 일련의 작업을 수행하게 된다.

그러나, 작업자에 의하여 제품을 반복적으로 이송하는 경우, 작업자의 과중한 노동력을 필요로 하고, 작업자의 실수에 의하여 제품이 뒤바뀔 가능성이 높음과 동시에 제품의 이송 시간 증가에 비례하여 제품의 공정 대기시간이 증가되어 제품 생산 시간이 길어지는 문제점이 있다.

다른 문제점으로는 종래 자동반송대차 시스템에 의하여 반도체 패키지 테스트 라인과 같이 주파수에 민감한 영역에서 반도체 제품을 이송할 경우, 중앙제어 시스템과 자동반송대차 시스템간 통신을 위한 통신 주파수 대역에 의하여 테스트 설비에 직접, 간접적으로 영향을 미쳐 부정확한 테스트 결과를 유발시키는 문제점이 있다.

또다른 문제점으로는 반도체 패키지 테스트 라인에서는 작업 일정에 없던 특정 반도체 패키지를 수납한 캐리어를 임의의 테스트 설비로 이송시키기 위하여 자동반송대차를 호출할 경우, 끼어들기(interrupt)된 새로운 작업에 의하여 다수대의 자동 반송대차가 영향을 받게 되어 작업 일정이 모두 변경되고 이들 자동반송대차들에 새로운 일정을 부여하여야 하는 문제점이 있다.

또다른 문제점으로는 공정 설비로부터 배출된 반도체 패키지를 수납한 캐리어를 자동반송대차로 이송하거나 자동반송대차로부터 공정 설비로 캐리어를 이송하기 위해서는 복잡한 메커니즘을 갖는 이송 암(arm)과 같은 이송장치를 필요로 하고, 복잡한 메커니즘을 구현하기 위한 복잡한 장치를 필요로 함으로써, 캐리어의 처리 속도가 느리고, 복잡한 메커니즘을 구현하기 위하여 고가의 장치를 사용하여야 하는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명은 종래 다양한 문제점을 감안한 것으로써, 본 발명의 목적은 반도체 생산 라인, 반도체 패키지 생산 라인, 반도체 테스트 라인 등과 같은 생산, 검사 라인에서의 제품 물류, 분류를 자동화하여 제품 총 생산시간을 감소시키고, 작업자의 과중한 노동력을 절감시켜 생산 효율을 극대화함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 주파수에 민감하게 반응하는 반도체 테스트 설비로부터 자동반송대차로 캐리어가 로딩되거나, 자동반송대차로부터 캐리어가 반도체 테스트 설비로 언로딩될 때 중앙제어장치로부터 테스트 설비에 별도로 설치된 캐리어 로딩/언로딩 스테이션까지는 유선 통신방식으로 통신되도록 하고, 캐리어 로딩/언로딩 스테이션과 자동반송대차는 광통신 방식으로 통신되도록 하여 통신 주파수에 의하여 반도체 테스트 설비에 의하여 수행되는 반도체 테스트에 영향을 미치지 않도록 함에 있다.

본 발명의 또다른 목적은 자동반송대차 시스템에 설치된 복수대의 자동반송대차가 독립적으로 작업을 수행하도록 하여 일정에 없던 캐리어를 임의의 자동반송대차에 의하여 이송할 경우에도 임의의 자동반송대차 이외의 다른 자동반송대차의 작업에 영향을 미치지 않도록 하여 작업의 효율성은 증대시킴에 있다.

본 발명의 또다른 목적은 반도체 테스트 설비로부터 테스트가 종료된 후 배출된 캐리어를 자동반송대차로 로딩하거나, 자동반송대차로부터 테스트될 반도체를 수납한 캐리어를 반도체 테스트 설비로 언로딩할 때 컨베이어를 사용하여 신속한 캐리어의 로딩/언로딩이 가능토록 함에 있다.

본 발명의 또다른 목적들은 본 발명의 상세한 구성에 의하여 보다 명확해질 것이다.

도 1a, 도 1b는 본 발명에 의한 캐리어 이송방법을 도시한 순서도.

도 2는 본 발명에 의한 자동반송대차 시스템의 바람직한 일실시예를 도시한 블록도.

도 3은 도 2의 블록도에 의한 자동반송대차 시스템을 도시한 사시도.

도 4는 본 발명에 의한 캐리어 스테이션을 도시한 사시도.

도 5는 본 발명에 의한 자동반송대차를 도시한 사시도

도 6은 본 발명에 의한 자동반송대차의 저면도.

도 7은 본 발명에 의한 자동반송대차가 방향을 전환할 때를 도시한 자동반송대차의 저면도.

도 8은 본 발명에 의한 자동반송대차와 캐리어 로딩/언로딩 스테이션을 도시한 평면도.

이와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위한 자동반송대차 시스템을 이용한 캐리어 이송방법은 작업자에 의하여 입력된 작업 데이터를 일차적으로 캐리어 스테이션으로 다운로드하고, 캐리어 스테이션은 다시 광통신 방식에 따라서 작업 데이터를 자동반송대차로 다운로드시킨 후 다운로드된 작업 데이터를 기초로 하여 자동반송대차로부터 캐리어 스테이션으로 캐리어를 로딩하거나 캐리어 스테이션으로부터 자동반송대차로 캐리어를 언로딩한 후, 다시 캐리어 스테이션으로부터 후속 작업 데이터를 입력받은 후 후속 캐리어 스테이션으로 이송되어 캐리어를 로딩/언로딩한다.

이와 같은 캐리어 이송방법을 구현하기 위한 자동반송대차 시스템은 자동반송대차가 일정 경로를 통과하도록 반도체 테스트 라인에 자동반송대차 유도 모듈이 형성되고, 자동반송대차 유도모듈을 따라서 이송하는 자동반송대차와 자동반송대차에 의하여 캐리어가 이송되어 로딩/언로딩되는 캐리어 스테이션으로 구성되며, 바람직하게 자동반송대차와 캐리어 스테이션은 상호 광통신에 의하여 통신되도록 광통신 모듈이 설치되고, 작업자가 입력한 작업 데이터와 작업 데이터가 입력되는 캐리어 스테이션은 유선 통신에 의하여 상호 통신된다.

바람직하게 자동반송대차 유도 모듈은 자동반송대차가 이송되는 경로를 제공하는 유도판과, 자동반송대차의 현재 위치를 인식하기 위한 영구자석 패드로 구성된다.

바람직하게 자동반송대차가 유도판중 곡선 부분을 따라 이동하기 위해서는 자동반송대차 구동유닛에 설치된 캐스터에는 조향장치가 설치되어야 한다.

바람직하게 자동반송대차에는 자동반송대차 주변의 물체 즉 작업자나 다른 자동반송대차가 상호 추돌되는 것을 방지하기 위한 안전장치가 마련된다.

이하, 본 발명에 의한 캐리어 이송 방법을 첨부된 도 1a, 도 1b의 순서도를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

바람직한 일실시예로 작업자가 임의의 테스트 설비에 설치된 캐리어 스테이션 B에 로딩된 캐리어 A를 자동반송대차가 로딩받아 다른 테스트 설비에 설치된 캐리어 스테이션 C로 이송하여 언로딩한 다음 캐리어 스테이션 C로부터 테스트 설비에 의하여 반도체 테스트 후 배출되어 이송 대기중인 캐리어 D를 자동반송대차가 다시 로딩받아 캐리어 스테이션 E로 이송하는 캐리어 이송 방법을 설명하기로 한다.

먼저, 작업자는 작업자용 에뮬레이터를 통하여 이송대상 캐리어 A가 로딩된 스테이션 B에 캐리어 A를 자동반송대차로 언로딩하라는 작업 명령 및 작업 순서를 포함하는 작업 데이터를 직렬 통신 국제 규약인 RS-232C 프로토콜과 같은 유선 통신 방식을 통하여 스테이션 B의 스테이션 콘트롤러로 다운로드시킨다(단계 10).

이후, 스테이션 B로 작업 명령 및 작업 데이터가 다운로드되면, 스테이션 B는 다운로드된 작업 명령 및 작업 데이터를 광통신 에뮬레이터에 의하여 대기중인 자동반송대차의 광통신 에뮬레이터로 입력시키고, 자동반송대차의 광통신 에뮬레이터에 의하여 작업 명령 및 작업 데이터는 자동반송대차 콘트롤러로 다운로드된다(단계 20).

계속해서, 스테이션 B에 대기 중이던 자동반송대차는 중계된 작업 명령 및 작업 데이터를 판독한 후, 스테이션 B에 캐리어 A를 자동반송대차로 언로딩하라는 언로딩 요청 신호를 광통신 에뮬레이터를 통하여 송신한다(단계 30).

스테이션 B는 언로딩될 캐리어 A가 언로딩 영역에 놓여져 있는지를 판단하여(단계 35), 캐리어 A가 공정 지연 등의 요인에 의하여 스테이션 B에 놓여져 있지 않을 경우, 스테이션 B는 자동반송대차에 의한 캐리어 A의 언로딩 요청 신호에 응답하지 않고 자동반송대차는 소정 시간 내에 스테이션 B가 응답하지 않을 경우 스테이션 B가 응답할 때까지 대기 램프와 자동반송대차 도착 램프를 점등한 상태로 대기된다(단계 40).

계속하여, 캐리어 A가 작업자에 의하여 캐리어 언로딩 영역에 놓여지면, 스테이션 B는 광통신 에뮬레이터를 통하여 자동반송대차의 언로딩 요청 신호에 응답하게 되고, 스테이션 B의 캐리어 언로딩 영역에 수납된 캐리어 A는 컨베이어를 통하여 자동반송대차의 컨베이어로 언로딩된다(단계 45).

이어서, 자동반송대차는 캐리어 A가 자동반송대차로 정확하게 로딩되었는가를 판단한 후(단계 50), 캐리어 A가 자동반송대차로 정확하게 로딩되었을 경우 자동반송대차는 광통신 에뮬레이터를 통하여 스테이션 B로 캐리어 A의 로딩 완료 신호를 송신한다(단계 55). 이때, 캐리어 A가 정확하게 로딩되지 않았을 경우 에러 램프를 점등시키고(단계 57), 에러를 조치할 때까지 대기한다(단계 59).

이후, 캐리어 A를 로딩받은 자동반송대차는 후속 작업 명령을 대기한다(단계 60)

이후, 스테이션 B는 자동반송대차로부터 캐리어 A의 로딩 완료 신호를 수신받으면, 로딩 완료 신호를 작업자용 에뮬레이터로 송신하여 작업자의 후속 명령을 대기하고, 작업자는 이 로딩 완료 신호를 모니터를 통하여 확인한 후 작업자용 에뮬레이터를 통하여 스테이션 B로 캐리어 A를 스테이션 C로 이송하라는 후속 작업 명령 및 작업 순서를 다운로드시키고, 스테이션 B는 다시 후속 작업 명령 및 작업 순서를 자동반송대차로 다운로드시킨다(단계 65).

계속해서, 자동반송대차는 스테이션 B로부터 다운로드된 후속 작업 명령 및 작업 순서에 의하여 캐리어 A를 로딩한 상태로 자동반송대차 유도장치를 따라서 스테이션 C로 유도된다(단계 70).

이어서, 스테이션 C로 유도된 자동반송대차는 스테이션 C의 소정 위치에 얼라인먼트되고, 자동반송대차는 광통신 에뮬레이터에 의하여 스테이션 C로 캐리어 로딩 요청 신호를 송신한다(단계 75).

이후, 스테이션 C의 캐리어 로딩 영역이 비어 있는 가를 판단하여(단계 80), 스테이션 C에 다른 캐리어 D가 존재할 경우 스테이션 C는 캐리어 로딩 요청 신호에 응답하지 않게 되고, 자동반송대차는 소정 시간 내에 스테이션 C가 캐리어 로딩 요청 신호에 응답하지 않을 경우 이송 에러 램프를 점등(단계 82)시킨 상태로 대기된다(단계 84).

이후, 작업자에 의하여 스테이션 C의 캐리어 로딩 영역에 로딩된 캐리어 D가 제거되어 캐리어 A가 언로딩 가능한 상태가 되면(단계 86), 스테이션 C는 광통신 에뮬레이터를 통하여 자동반송대차로 캐리어 로딩 요청 신호에 대하여 응답하고 이에 따라서 자동반송대차는 이송 에러 램프의 점등을 해제하고(단계 88), 스테이션 C로 캐리어 A를 컨베이어에 의하여 로딩시키고(단계 90), 자동반송대차는 대기상태가 된다(단계 100).

이와 같은 본 발명에 의한 캐리어 이송방법을 구현하기 위한 자동반송대차 시스템을 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 2, 도 3에 도시된 바와 같이 본 발명에 의한 자동반송대차 시스템은 전체적으로 보아 자동반송대차가 지정된 경로를 따라서 유도되도록 반도체 테스트 라인에 레이아웃된 자동반송대차 유도모듈(300), 자동반송대차 유도모듈(300)의 주변에 설치된 복수개의 스테이션(200), 자동반송대차(100), 작업자용 에뮬레이터(400)를 포함한다.

도 3에는 자동반송대차 유도모듈(300)이 도시되어 있다.

복수개의 스테이션(200,250,260,265,270)중 임의의 한 스테이션(200)으로부터 다른 스테이션(250)으로 정확하게 자동반송대차(100)를 유도하기 위한 자동반송대차 유도모듈(300)은 자동반송대차 유도판(310)과, 자동반송대차 위치 인식 패드(320)로 구성된다.

자동반송대차 유도판(310)은 광반사율이 뛰어난 얇은 스테인레스판으로 약 5cm의 폭을 갖으면서 반도체 테스트 라인의 바닥(1)에 매설되고, 반도체 테스트 설비의 배치 및 배치 효율을 높이기 위하여 자동반송대차 유도판(310)은 직선 유도판(312) 또는 곡선 유도판(315)으로 설치된다.

본 발명에서는 일실시예로 자동반송대차 유도판(310)을 직선 유도판(312) 및 곡선 유도판(315)의 조합으로 이루어진 폐곡선 형상으로 형성한다. 경우에 따라서는 폐곡선은 2 개 이상으로 분기되어 설치될 수 있다.

이와 같은 자동반송대차 유도판(310)으로부터 일정 간격 이격된 곳에는 자동반송대차의 현재 위치, 진행 속도 등을 정확히 인지할 수 있도록 직사각형 형상을 갖는 자동반송대차 위치 인식 패드(320)가 반도체 테스트 라인의 바닥면(1)에 매설된다.

자동반송대차 위치 인식 패드(320)와 자동반송대차 위치 인식 패드(320)는 일정 간격 이격된 상태로 매설되는데, 이 자동반송대차 위치 인식 패드(320)는 소정 자속 밀도를 갖는 영구자석인 것이 바람직하다.

한편, 자동반송대차 유도판(310)을 기준으로 자동반송대차 위치 인식 패드(320)가 설치되지 않은 측에는 일정 간격 이격되어 반도체 테스트 설비(200a,260a,265a,270a)와 다수개의 캐리어가 입출입되는 캐리어 스톡커(250a)가 설치될 수 있다. 본 발명에서는 일실시예로 폐곡선을 갖는 자동반송대차 유도판(310)의 주변에 4 개의 반도체 테스트 설비(200a,260a,265a,270a)와 하나의 캐리어 스톡커(250a)를 배치하기로 한다.

한편, 이와 같이 설치된 캐리어 스톡커(250a)에는 자동반송대차 유도판(310) 이외에 자동반송대차 유도판(310)으로부터 일정 길이만큼 이격된 곳에 첨부된 도면에서 보여지는 바와 같이 보조 자동반송대차 유도모듈(350)이 설치된다.

이 보조 자동반송대차 유도모듈(350)은 길이가 짧은 보조 자동반송대차 유도판(330) 및 보조 자동반송대차 위치 인식 패드(340)로 구성된다.

이와 같이 자동반송대차 유도 모듈(310)과 보조 자동반송대차 유도모듈(350)을 병렬 방식으로 설치하는 이유로는 복수대의 자동반송대차(100,150)가 자동반송대차 유도모듈(300)상에서 자동반송대차가 캐리어의 로딩/언로딩을 수행함으로써 후속 자동반동대차가 대기하는 시간을 감소시키기 위함이다.

이와 같은 캐리어 스테이션의 보다 상세한 구성을 첨부된 도 3 , 도 4, 도 8을 참조하여 설명하기로 한다.

캐리어 스테이션(200,250,260,265,270)은 스테이션 섀시(210), 스테이션 콘트롤러(), 광통신 모듈(212), 위치 정렬 모듈(214), 캐리어 로딩 유닛(220), 캐리어 언로딩 유닛(230), 캐리어 유무 감지 모듈(218) 및 자동반소대차 호출 모듈(240)로 구성된다.

구체적으로, 직육면체 박스 형상으로 형성된 스테이션 섀시(210)의 내부에는 스테이션 콘트롤러(235)가 설치되고, 스테이션 섀시(210)의 측면을 관통한 관통공에는 포토커플러 디바이스와 같은 광통신 모듈(212)이 설치된다.

광통신 모듈(212)은 데이터를 송신, 수신하기 위하여 2 개가 한 쌍으로 설치되며 모두 스테이션 콘트롤러(235)에 연결되어 제어 신호를 송/수신 가능토록 구성된다.

또한, 스테이션 섀시(210)의 측면에는 또다른 관통공이 형성되고, 이 관통공에는 위치 정렬 모듈(214)이 설치된다. 위치 정렬 모듈(214)은 바람직하게 광센서의 수광소자인 것이 바람직하다. 이 수광소자는 스테이션 콘트롤러(미도시)와 연결되어 수광소자에 일정 광도를 갖는 광이 입력되면 스테이션 콘트롤러로 소정 전기 신호를 송신한다.

이와 같이 스테이션 섀시(210)의 동일한 측면에 광통신 모듈(212)과 위치 정렬 모듈(214)이 설치된 스테이션 섀시(210)의 상면(216)에는 캐리어 로딩 유닛(220), 캐리어 언로딩 유닛(230)이 설치된다.

캐리어 로딩 유닛(220)은 자동반송대차로부터 공급된 캐리어(2)가 반도체 테스트 설비로 로딩될 수 있도록 스테이션 섀시(210)의 상면(216)중 로딩 스테이션 영역(222)에 설치되고, 캐리어 언로딩 유닛(230)은 반도체 테스트 설비로부터 배출된 캐리어(2)를 자동반송대차(100)로 언로딩할 수 있도록 로딩 스테이션 영역(222)의 옆에 형성된 로딩 스테이션 영역(232)에 형성된다.

여기서, 로딩 스테이션 영역(222)과, 캐리어 언로딩 영역(232)은 스테이션 섀시(210)의 상면(216)에 소정 깊이로 형성된 리세스(recess)인 것이 바람직하다.

캐리어 로딩 유닛(220), 캐리어 언로딩 유닛(230)은 본 발명에서는 일실시예로 컨베이어가 사용되는데 본 발명에서는 컨베이어 중에서도 다수개의 롤러(224,234)가 일렬로 배치된 상태에서 롤러(224,234)의 회전력에 의하여 캐리어(2)를 자동반송대차로 이송하는 롤러 컨베이어를 사용하기로 한다.

이 롤러 컨베이어의 롤러(224,234)중 어느 일측에는 디지털 신호에 높은 응답성을 갖는 서보 모터(미도시)의 회전축(미도시)이 결합되어, 서보 모터의 회전에 의하여 모든 롤러(224,234)는 서보 모터의 회전 방향에 따라서 회전된다. 이와 같은 서보 모터는 스테이션 콘트롤러(235)에 연결되어 스테이션 콘트롤러로부터 제어 신호를 입력받는다.

또한, 롤러 컨베이어가 설치된 캐리어 로딩 영역(222) 및 캐리어 언로딩 영역(232)에는 롤러 컨베이어에 캐리어(2)의 로딩 유무 및 캐리어(2)가 정확하게 로딩된 상태인지를 판단하는 캐리어 유무 감지 모듈(218)이 설치된다.

캐리어 유무 감지 모듈(218)은 발광소자(218a)와 수광소자(218b)가 한 쌍을 이루는 광센서이며, 바람직하게 광센서는 캐리어(2)의 전면을 감지하는 광센서, 캐리어(2)의 후방을 감지하는 광센서로 구성되는 것이 바람직하다.

이때, 광센서의 발광소자(218a)와 수광소자(218b)의 사이에는 캐리어(2)가 위치되고, 발광소자(218a)와 수광소자(218b)는 롤러 컨베이어에 안착된 캐리어(2)의 밑면보다는 높은 곳에 위치되도록 하여 발광소자(218a)-수광소자(218b)에 의하여 캐리어(2)의 로딩 위치 및 로딩 유무가 스테이션 콘트롤러에 의하여 판단된다.

이와 같은 구성을 갖는 캐리어 스테이션(200)의 로딩 스테이션(220)으로 다른 캐리어 스테이션(250,260,265,270)으로부터 이송된 캐리어(2)를 로딩시키거나, 반도체 테스트 설비(200a,260,265,270)로부터 캐리어 스테이션(200)의 캐리어 언로딩 스테이션(230)으로 배출된 캐리어(2)를 다른 캐리어 스테이션으로 이송하기 위해서는 앞서 언급한 자동반송대차 유도판(310)과 자동반송대차 위치 인식 패드(320)에 의하여 유도되는 자동반송대차를 필요로 한다.

본 발명에 의한 자동반송대차를 첨부된 도 3, 도 5 내지 도 7을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

자동반송대차(100)는 자동반송대차 섀시(10)와, 자동반송대차 콘트롤러(15), 구동 유닛(90), 위치 인식 패드 감지 모듈(20), 유도판 감지 모듈(30), 2 개의 캐리어 수납 유닛(40), 캐리어 유무 감지 모듈(50), 위치 정렬 모듈(60), 광통신 모듈(70), 안전장치(80)를 포함한다.

이와 같은 다양한 구성요소를 갖는 자동반송대차의 구성요소들의 결합관계와 구성을 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 5를 참조하면 자동반송대차 섀시(10)는 밑면이 개구되어 있는 직육면체 형상으로, 자동반송대차 섀시(10)의 개구된 밑면에는 자동반송대차(100)를 반도체 테스트 라인으로부터 일정 높이 이격시킨 상태로 구동시키는 구동 유닛(90)이 설치된다.

도 6, 도 7에 도시된 바와 같이 구동유닛(90)은 자동반송대차(100)를 반도체 테스트 라인 바닥면으로부터 일정 높이 이격시킨 상태로 구동시키는 3 개의 캐스터(caster;92,94,96)와, 캐스터(92,94,96)의 회전중심에 설치된 회전축(92a,94a,96a)에 결합되어 캐스터(92,94,96)를 구동시키는 모터(미도시)와, 캐스터(92,94,96)의 각도를 변경시켜 자동반송대차(100)가 소정 각도 회전할 수 있도록 하는 조향 모듈(미도시)과, 모터를 구동시키는 전원을 공급하는 배터리(미도시)로 구성된다.

3 개의 캐스터(92,94,96)중 하나의 캐스터(96)는 자동반송대차(100)가 전진하는 방향을 설정하는 방향 조절 기능을 갖으며 이를 위하여 자동반송대차(100)의 자동반송대차 섀시(10)의 밑면 앞쪽의 중앙에 설치되고, 나머지 2 개의 캐스터(92,94)는 자동반송대차(100)의 자동반송대차 섀시(10)의 밑면 후미에 나란하게 한 쌍으로 설치된다. 즉, 3 개의 캐스터(92,94,96)는 방향전환이 용이하도록 삼각형 형상으로 배치된다.

또한, 자동반송대차 섀시(10)의 개구된 밑면 부분에는 자동반송대차 유도판(310)을 감지하는 유도판 감지 모듈(30)이 설치된다. 유도판 감지 모듈(30)은 반도체 테스트 라인의 바닥면에 설치된 자동반송대차 유도판(310)으로부터 소정 간격 이격된 상태로 자동반송대차 유도판(310)과 대향하도록 설치된다.

바람직하게, 유도판 감지 모듈(30)은 발광소자(32)와 수광소자(34)가 동일 평면에 설치된 광센서인 것이 바람직하다. 이때, 수광소자(34)의 위치는 발광소자(32)로부터 발생한 광이 자동반송대차 유도판(310)에 반사된 후 광이 도달하는 위치인 것이 바람직하다.

한편, 캐리어 유도 모듈(300)의 자동반송대차 위치 인식 패드(320)에 해당하는 자동반송대차 섀시(10)의 개구된 밑면에는 위치 인식 패드 감지 모듈(20)이 설치된다.

이 위치 인식 패드 감지 모듈(20)은 자동반송대차 위치 인식 패드(320)의 자기를 검출하여 자기(magnetic)를 전기적인 신호로 변환시키는 마그네틱 센서인 것이 바람직하다. 이와 같은 마그네틱 센서는 다른 요인 예를 들면 온도, 습도 등의 영향에 의하여 위치 검출의 신뢰도 저하가 발생하지 않는 이점이 있음으로 인하여 사용된다.

다시 첨부된 도 5를 참조하면, 자동반송대차 섀시(10)의 상면에는 2 개의 캐리어 수납 영역(42)이 형성되고, 이 캐리어 수납 영역(42)들에는 캐리어 수납 유닛(40)이 설치된다.

캐리어 수납 유닛(40)은 자동반송대차 섀시(10)의 상면에 형성된 소정 깊이를 갖도록 형성된 리세스(recess)에 설치된 롤러 컨베이어(45)와, 롤러 컨베이어(45)를 구동시키는 서보 모터(미도시)로 구성된다. 여기서, 캐리어 수납 유닛(40)의 서보 모터는 자동반송대차 콘트롤러와 연결된다.

이와 같이 자동반송대차 섀시(10)의 상면에 설치된 2 개의 캐리어 수납 유닛(40)에는 모두 캐리어 유무 감지 모듈(50)이 설치된다.

캐리어 유무 감지 모듈(50)은 캐리어 스테이션(200)으로부터 자동반송대차(100)에 설치된 어느 하나의 캐리어 수납 유닛(40)으로 캐리어가 로딩될 때, 나머지 캐리어 수납 유닛으로부터 캐리어 스테이션(200)으로 캐리어를 언로딩할 때, 캐리어의 유무, 캐리어의 정확한 수납 유무에 관한 신호를 자동반송대차 콘트롤러에 입력시킴으로써 후속 공정이 진행될 수 있도록 한다.

이와 같이 자동반송대차(100)의 캐리어 수납 유닛(40)에 설치된 캐리어 유무 감지 모듈(50)은 발광소자(52)와 수광소자(54)가 한 쌍을 이루는 광센서이며, 바람직하게 광센서는 2 개의 광센서로 설치된다.

광센서의 발광소자(52)는 자동반송대차 섀시(10)에 설치된 롤러 컨베이어(45)의 일측 단부가 설치된 곳에 설치되고, 수광소자(52)는 롤러 컨베이어(45)의 타측 단부가 설치된 곳에 설치되는데, 이때 발광소자(52)와 수광소자(54)는 롤러 컨베이어(45)에 안착된 캐리어의 밑면보다는 높은 곳에 위치되도록 한다.

한편, 자동반송대차 섀시(10)의 측면들중 앞서 설명한 캐리어 스테이션(200)과 대향하는 자동반송대차 섀시(10)의 측면에는 자동반송대차(100)와 캐리어 스테이션(200)의 위치 정렬 및 정렬 후 상호 통신을 위한 위치 정렬 모듈(60) 및 광통신 모듈(70)이 설치된다.

자동반송대차 섀시(10)에 설치된 위치 정렬 모듈(60)은 캐리어 스테이션(200)의 스테이션 섀시(210)의 위치 정렬 모듈(214)과 동일한 높이에 설치되어, 자동반송대차(100)가 캐리어 스테이션(200)의 특정 위치에서 정렬되도록 한다.

이 자동반송대차 섀시(10)에 설치된 위치 정렬 모듈(60)은 바람직하게 발광소자로, 캐리어 스테이션(200)의 스테이션 섀시(210)에 설치된 수동소자(214)와 한 쌍을 이룬다.

또한, 자동반송대차 섀시(10)에 설치된 광통신 모듈(70)의 위치는 캐리어 스테이션(200)의 스테이션 섀시(210)의 광통신 모듈(212)과 동일한 높이에 설치된다. 자동반송대차 섀시(10)의 광통신 모듈(70)과 캐리어 스테이션(200)의 스테이션 섀시(210)의 광통신 모듈(212)은 자동반송대차 섀시(10)에 설치된 위치 정렬 모듈(60)에서 발생한 광이 캐리어 스테이션(200)의 스테이션 새시(210)의 위치 정렬 모듈(214)의 수동소자에 입력되어 자동반송대차(100)와 스테이션 섀시(200)의 정렬이 완료된 후에야 비로소 상호 통신 가능해진다.

바람직하게 자동반송대차 섀시(10)에 설치된 광통신 모듈(70)은 바람직하게 널리 알려진 포토커플러 디바이스가 사용될 수 있다.

한편, 이와 같이 구성된 자동반송대차가 효율적으로 작업을 수행하기 위해서는 신속한 이동성을 필요로 하는데, 자동반송대차(100)의 신속한 이동성을 구현하기 위해서는 자동반송대차(100)가 앞서 언급한 자동반송대차 유도판(310)을 탈선하거나, 자동반송대차(100)가 일정 곡률 반경을 갖는 자동반송대차 유도판(310)을 따라 도는(turning) 부분에서 전복되지 않는 범위 내에서 최대 속력을 내야만 한다.

그러나, 반도체 테스트 라인에는 복수대의 자동반송대차(100)가 운영되고, 이에 더하여 다수명의 작업자가 혼재된 상태로 작업을 하기 때문에 자동반송대차(100)간 대물 추돌 사고, 자동반송대차(100)와 작업자간의 대인 추돌 사고 발생할 수 있다.

특히, 자동반송대차(100)의 속력이 빠를수록 대인 추돌 사고의 빈도는 비례하는 경향이 있음으로 작업자의 안전사고 보호와, 자동반송대차(100)의 신속한 이동성을 동시에 구현하기 위해서는 자동반송대차(100)에 안전장치(80)를 설치하는 것이 바람직하다.

이와 같은 안전사고를 미연에 방지하기 위한 안전장치(80)는 추돌 방지 모듈(82), 추돌 방지판(84), 경보 모듈(86)로 구성될 수 있다.

추돌 방지 모듈(82)은 자동반송대차 섀시(10)의 측면에 설치되고, 추돌 방지 모듈(82)은 다시 정면 추돌 방지 모듈(83)과 측면 추돌 방지 모듈(84)로 구성된다.

정면 추돌 방지 모듈(83)은 대인 추돌, 대물과의 추돌을 방지하며, 자동반송대차(100)가 자동반송대차 유도판(310)을 따라서 진행되는 방향을 기준으로 자동반송대차 섀시(10)의 전면에 설치된다.

정면 추돌 방지 모듈(83)은 자동반송대차 콘트롤러에 연결된 물체 감지 센서이다.

대인 추돌을 방지하는 측면에서 물체 감지 센서는 작업자의 신체에서 발생한 열방사를 감지하는 적외선 센서를 사용하는 것이 무방하며, 대인 및 대물 추돌을 모두 방지하기 위해서는 물체 감지 센서로 초음파 센서를 사용하는 것 또한 바람직하다.

이와 같은 물체 감지 센서가 감지 가능한 범위 내에 작업자나, 타 자동반송대차(100)가 감지될 경우, 자동반송대차 콘트롤러는 앞서 언급한 구동유닛(90)에 인터록을 걸어 자동반송대차(100)를 급정지시킴과 동시에 경보 모듈(86)인 3 색등에 전기 신호를 인가하고 동시에 스피커에도 전기 신호를 인가하여 경보음을 작동시켜 작업자의 경우 감지 범위에서 벗어나면 인터록을 해제하고 작업을 수행한다.

측면 추돌 방지 모듈(87)은 주로 앞서 언급한 보조 자동반송대차 유도판(330)에 자동반송대차(100)가 정지되어 있는 상태에서 다른 자동반송대차가 보조 자동반송대차 유도판(330)으로 진입하고자할 때, 자동반송대차와 자동반송대차가 측면 추돌하는 것을 방지하기 위하여 설치된다.

측면 추돌 방지 모듈(87)은 바람직하게 자동반송대차(100)의 진행 방향에 대하여 직각 방향으로 광을 발생시키도록 자동반송대차 섀시(10)의 측면에 설치된 발광소자(82a)와, 발광소자(82a)로부터 일정 간격 이격된 자동반송대차 섀시(10)의 동일 측면에 설치된 수광소자(82b)와, 발광소자(82a)와 수광소자(82b)가 설치된 측면의 반대 측면에 설치된 광반사율이 높은 반사판(87)으로 구성된다. 다른 실시예로 자동반송대차 섀시(10)의 전, 후면을 제외한 측면에 초음파 센서와 마이크를 같이 설치하여도 무방하다.

한편 도 8에는 캐리어 스테이션에 작업 명령 및 작업순서를 송신하는 작업자용 에뮬레이터가 도시되어 있다.

작업자용 에뮬레이터(400)는 메인 콘트롤러(410)와 데이터 입출력용 단말기(420)로 구성된다.

메인 콘트롤러(410)에는 자동반송대차 운영 소프트웨어가 내장되고, 통신선(430)을 통하여 각 스테이션 콘트롤러(200)와 RS-232C 프로토콜에 의하여 양방향 통신한다.

메인 콘트롤러(410)에는 작업자의 명령을 메인 콘트롤러(410)로 입력하는 키보드(미도시)와 같은 데이터 입력장치와 데이터의 디스플레이를 위한 모니터(미도시)를 구비한 단말기(420)가 연결된다.

이와 같이 구성된 본 발명에 의한 자동반송대차 시스템의 작용을 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.

작업자가 단말기(420)의 키보드를 통하여 메인 콘트롤러(410)로 캐리어 스테이션(200)에 로딩된 캐리어(5)를 인접한 캐리어 스테이션(250)으로 이송하라는 작업 명령을 입력시키면, 메인 콘트롤러(410)는 작업명령을 입력받아 해당 자동반송대차 운용 프로그램을 통신선(430)에 의하여 캐리어 스테이션(200)으로 RS-232C 프로토콜에 의하여 다운로드시킨다.

캐리어 스테이션(200)에 자동반송대차 운용 프로그램이 다운로드되면, 캐리어 스테이션(200)에 다운로드된 자동반송대차 운용 프로그램은 미리 대기중인 자동반송대차(100)로 다시 중계하여 자동반송대차(100)가 자동반송대차 운용 프로그램에 의하여 후속 공정을 수행하도록 한다.

자동반송대차(100)는 자동반송대차 운용 프로그램에 의하여 캐리어 스테이션 (100)과 광통신을 개시하여 캐리어 스테이션(200)의 캐리어(5)를 로딩받는다.

캐리어(5)를 로딩받은 자동반송대차(100)는 다시 캐리어 스테이션(200)과 광통신하여 두 번째 후속공정을 진행하기 위한 자동반송대차 운용 프로그램을 다운로드 받는다.

이때 두 번째 자동반송대차 운용 프로그램에는 캐리어(5)를 이송코자하는 캐리어 스테이션(5)의 위치 데이터(예를 들면 자동반송대차 위치 인식 패드(320)의 검출 개수, 자동반송대차 속력 등)와 작업 명령이 포함된다.

이후, 자동반송대차(100)는 자동반송대차 운용 프로그램에 의하여 자동반송대차 유도판(310)을 따라서 전진하게 된다. 이때, 전진하는 자동반송대차(100)가 자동반송대차 위치 인식 패드(320)에 도달하여 자동반송대차(100)의 마그네틱 센서(20)가 자동반송대차 위치 인식 패드(320)를 검출하면 자동반송대차 콘트롤러는 해당 마그네틱 센서(20)가 검출되었을 때에 해당하는 제어 신호를 구동 유닛(90)에 전달하여 구동 유닛(90)은 정지 또는 증속 또는 감속된다.

만일, 자동반송대차(100)의 마그네틱 센서(20)가 일정 개수의 자동반송대차 위치 인식 패드(320) 통과한 후 자동반송대차 유도판(310)이 일정 곡률 반경을 갖게될 경우, 자동반송대차 콘트롤러는 구동 유닛(90)을 제어하여 자동반송대차(100)의 속력을 감속시키고, 자동반송대차 유도판(310)이 직선 구간일 경우 이송 효율을 높이기 위하여 자동반송대차 콘트롤러는 구동 유닛(90)을 제어하여 자동반송대차(100)의 속력을 허용범위 내에서 증속시키며, 전방에 캐리어 스테이션(250)이 위치할 경우 자동반송대차(100)는 점차 속력이 감속되다가 정지된다.

자동반송대차(100)가 자동반송대차 유도판(310), 자동반송대차 위치 인식 패드(320)를 따라서 이동하여 캐리어(5)의 입출력이 빈번한 캐리어 스톡커(250a)의 전방에 위치한 캐리어 스테이션(250)에 대응하는 자동반송대차 위치 인식 패드(320)가 검출되면, 자동반송대차 콘트롤러는 도 6, 도 7에 도시된 구동 유닛(90)의 캐스터(92,94,96)의 방향을 90°회전시킨 후, 구동 유닛(90)의 서보 모터(미도시)에 전기 신호를 인가하여 자동반송대차(100)가 자동반송대차 유도판(310)에 대하여 수직 방향으로 전진되도록 한다.

이때, 자동반송대차(100)의 마그네틱 센서(20)가 다시 보조 자동반송대차 위치 인식 패드(340)를 검출하고, 자동반송대차(100)의 유도판 감지 모듈(30)이 보조 자동반송대차 유도판(330)을 감지하면, 구동 유닛(90)은 보조 자동반송대차 유도판(330)을 따라서 전, 후진하면서 자동반송대차(100)의 위치 정렬 모듈(60)이 캐리어 스테이션(250)의 위치 정렬 모듈(214)과 정렬되도록 한다.

이후, 자동반송대차(100)와 캐리어 스테이션(250)이 정렬되어 광통신 가능한 상태가 되면 자동반송대차(100)와 캐리어 스테이션(250)의 광통신 모듈(70,212)이 상호 통신하여 캐리어 스테이션(250)으로 캐리어(5)를 언로딩한다.

캐리어 스테이션(250)으로 캐리어(5)의 언로딩이 종료되면, 자동반송대차(100)는 캐리어 스테이션(250)으로부터 후속 작업의 일정 및 명령을 다운로드 받는다.

이후, 자동반송대차(100)는 다운로드된 명령에 따라서 다시 캐리어 스테이션 (250)으로부터 다른 캐리어를 로딩받고, 목적지 캐리어 스테이션(260)으로 이송되는 과정을 반복한다.

이상에서 상세하게 설명한 바와 같이, 반도체 제품을 수납한 캐리어를 이송하는 과정을 자동화함으로써 작업자의 과중한 노동력을 절감시킴과 동시에 이송 불량을 극소화하고, 작업자용 에뮬레이터와 스테이션의 통신신 유선 통신을 사용하고 스테이션과 자동반송대차는 광통신을 혼용하여 사용하여 무선 통신 주파수에 의한 반도체 테스트 설비의 테스트 성능 저하를 방지함과 동시에, 스테이션과 자동반송대차 사이에서 캐리어를 로딩/언로딩하는 캐리어 이송 장치를 롤러 컨베이어로 사용하여 캐리어 이송 시간의 단축시켜 자동반송대차 시스템의 효율을 극대화하는 효과가 있다.

Claims (23)

1. 작업자가 데이터 입력 수단을 통하여 작업 데이터를 입력하는 단계와;

   입력된 상기 작업 데이터에 해당하는 작업 프로그램을 유선 통신에 의하여 캐리어가 로딩/언로딩되는 캐리어 스테이션으로 다운로드시키는 단계와;

   지정된 경로를 따라서 이동하는 자동반송대차와 상기 캐리어 스테이션을 상호 광통신 가능토록 정렬시키는 단계와;

   상기 작업 프로그램을 상기 캐리어 스테이션으로부터 상기 자동반송대차로 다운로드시키는 단계와;

   상기 자동반송대차로 다운로드된 작업 데이터에 의하여 상기 자동반송대차가 상기 캐리어 스테이션으로 상기 캐리어를 로딩/언로딩하는 단계와;

   상기 자동반송대차가 상기 캐리어를 지정된 캐리어 스테이션으로 이송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 유선 통신에 의하여 상기 작업 데이터를 다운로드시키는 단계는 직렬 국제 통신 규약(RS-232C protocol)에 의하여 수행되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 자동반송대차와 상기 캐리어 스테이션이 상호 광통신 가능토록 정렬시키는 단계는 상기 자동반송대차를 상기 캐리어 스테이션에 접근시키는 단계와;

   접근된 상기 자동반송대차의 광 발생수단이 상기 캐리어 스테이션의 광 감지수단에 인식될 때가지 상기 자동반송대차의 정렬을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 광 발생수단은 광센서의 발광소자이고, 상기 광 감지수단은 상기 광센서의 수광소자인 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 자동반송대차로 상기 작업 데이터를 다운로드시키는 단계는 포토커플드 디바이스와 같은 광통신 모듈에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 자동반송대차가 상기 캐리어 스테이션으로 캐리어를 로딩하는 단계는 상기 캐리어 스테이션으로 캐리어 로딩 신호를 송신하는 단계와;

   상기 캐리어 스테이션으로부터 상기 캐리어 로딩 신호에 대한 캐리어 로딩 요청 신호를 수신받는 단계와;

   상기 자동반송대차로부터 상기 캐리어 스테이션으로 상기 캐리어를 캐리어 이송수단에 의하여 로딩시키는 단계와;

   상기 캐리어 스테이션으로부터 캐리어 로딩 완료 신호를 송신받는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
7. 제 6 항에 있어서, 상기 캐리어 스테이션으로부터 상기 캐리어 로딩 요청 신호를 수신받는 단계에서 상기 자동반송대차로 상기 캐리어 로딩 요청 신호가 수신되지 않을 경우, 대기 램프와 자동반송대차 도착 램프를 점등하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
8. 제 6 항에 있어서, 상기 캐리어를 상기 캐리어 이송수단에 의하여 이송한 후에 상기 캐리어의 유무, 캐리어가 지정된 위치에 로딩되었는지를 판단하여 판단결과 캐리어가 지정된 위치에 로딩되지 않았을 경우 에러 램프를 점등시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 이송 방법.
9. 제 1 항에 있어서, 상기 자동반송대차가 상기 캐리어를 지정된 상기 캐리어 스테이션으로 이송하는 단계는 지정된 자동반송대차 경로를 감지하는 단계와;

   상기 경로를 따라 이동하면서 상기 자동반송대차의 현재 위치를 감지하는 단계와;

   상기 자동반송대차를 도착지 캐리어 스테이션의 지정된 위치에 정렬시키는 것을 특징으로 하는 캐리어 반송 방법.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 경로는 광센서에 의해 감지되고, 상기 자동반송대차의 현재 위치는 자계를 감지하는 자계 센서에 의하여 감지되는 것을 특징으로 하는 캐리어 반송 방법.
11. 캐리어를 이송하도록 콘트롤러를 내장한 자동반송대차와, 상기 자동반송대차가 일정 경로를 따라서 이송되도록 유도하는 자동반송대차 유도 모듈과, 상기 자동반송대차에 의하여 이송된 캐리어를 로딩받거나 언로딩하도록 상기 자동반송대차의 측면에 대향하는 곳에 설치되며 콘트롤러가 내장된 캐리어 스테이션과, 상기 캐리어 스테이션에 상기 자동반송대차의 작업 데이터를 송신하는 작업자용 에뮬레이터로 구성되며,

    상기 자동반송대차 유도 모듈은 상기 경로를 따라 매설된 유도판과, 상기 유도판과 상호 일정 간격을 갖도록 설치된 복수개의 자동반송대차 위치 인식 패드를 포함하고,

    상기 자동반송대차는 자동반송대차 몸체와, 상기 유도판과 상기 자동반송대차 인식 패드가 감지되도록 상기 자동반송대차 몸체에 설치된 유도판 감지 모듈, 위치 인식 모듈과, 상기 유도판을 따라서 상기 자동반송대차 몸체가 이동되도록 상기 자동반송대차 저면에 설치된 구동 모듈과, 상기 캐리어 스테이션과 광통신하기 위한 자동반송대차측 광통신 모듈과, 복수개의 캐리어가 수납되는 캐리어 수납 유닛과, 상기 자동반송대차의 추돌을 방지하기 위한 안전장치를 포함하며,

    상기 캐리어 스테이션은 스테이션 몸체와, 상기 스테이션 몸체중 상기 자동반송대차측 광통신 모듈과 대향하는 곳에 광통신 가능케 설치된 스테이션측 광통신 모듈과, 상기 캐리어 수납 유닛으로부터 상기 캐리어를 로딩/언로딩하는 캐리어 로딩/언로딩 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
12. 제 11 항에 있어서, 상기 유도판은 두께가 얇고 긴 형상으로 폴리싱 처리된 스테인레스 스틸인 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
13. 제 11 항에 있어서, 상기 자동반송대차 위치 확인 패드는 소정 자속 밀도를 갖는 영구자석이고, 상기 위치 확인 모듈은 상기 자속 밀도를 감지하는 마그네틱 센서인 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
14. 제 11 항에 있어서, 상기 구동 모듈은 상기 자동반송대차가 전진하는 방향을 기준으로 전면 중앙에 1 개가 설치되고 후면에 2 개가 설치된 캐스터와, 각각의 상기 캐스터에 설치되어 캐스터 자체를 회전시키는 조향장치와, 상기 캐스터에 설치된 롤러만을 회전시켜 상기 자동반송대차를 구동시키는 서보 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
15. 제 11 항에 있어서, 상기 자동반송대차 및 상기 스테이션측 광통신 모듈은 포토커플드 디바이스인 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
16. 제 11 항에 있어서, 상기 자동반송대차와 상기 캐리어 스테이션은 각각 상기 자동반송대차와 상기 캐리어 스테이션이 광통신되도록 하기 위하여 위치를 정렬하기 위한 자동반송대차측 위치 정렬 모듈과 스테이션측 위치 정렬 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
17. 제 16 항에 있어서, 상기 자동반송대차측 위치 정렬 모듈은 발광소자이고, 상기 스테이션측 위치 정렬 모듈은 상기 발광소자에서 발생한 광을 감지하는 수광소자인 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
18. 제 11 항에 있어서, 상기 자동반송대차의 상기 캐리어 수납 유닛과 상기 캐리어 스테이션의 캐리어 로딩/언로딩 유닛은 다수개의 롤러와 상기 롤러의 롤러축에 설치되어 상기 롤러를 회전시키는 모터로 구성된 롤러 컨베이어인 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
19. 제 18 항에 있어서, 상기 롤러 컨베이어의 상면에 로딩된 상기 캐리어의 수납 유무, 수납 위치를 감지하기 위하여 상기 캐리어의 전면, 후면에 해당하는 위치에는 각각 광센서가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
20. 제 11 항에 있어서, 상기 안전장치는 상기 자동반송대차의 몸체에 설치된 추돌 방지 모듈과 상기 추돌 방지 모듈이 장애물을 감지하였을 때 경보를 발생시키는 경보 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
21. 제 20 항에 있어서, 상기 추돌 방지 모듈은 상기 자동반송대차가 전진하는 방향을 기준으로 정면 추돌 방지 모듈과 측면 추돌 방지 모듈로 구성되며, 상기 정면 추돌 방지 모듈은 대인, 대물을 감지하는 적외선 감지 센서인 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
22. 제 21 항에 있어서, 상기 측면 추돌 방지 모듈은 상기 자동반송대차의 측면에 발광소자와 수광소자가 나란히 설치된 광센서인 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.
23. 제 11 항에 있어서, 상기 캐리어 스테이션은 상기 자동반송대차를 임의로 호출하기 위한 자동반송대차 호출 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동반송대차 시스템.