JPH05251519A - 半導体デバイス測定用テスター - Google Patents
半導体デバイス測定用テスターInfo
- Publication number
- JPH05251519A JPH05251519A JP4001944A JP194492A JPH05251519A JP H05251519 A JPH05251519 A JP H05251519A JP 4001944 A JP4001944 A JP 4001944A JP 194492 A JP194492 A JP 194492A JP H05251519 A JPH05251519 A JP H05251519A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test board
- station
- tester
- semiconductor device
- programmable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】半導体デバイス用テスターのテストボードを製
品に共通にする。 【構成】テストボードをテスターのステーションと一体
化し、テストボード上の受動素子の規定値をプラグラマ
ブルに設定する。
品に共通にする。 【構成】テストボードをテスターのステーションと一体
化し、テストボード上の受動素子の規定値をプラグラマ
ブルに設定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体デバイス測定用
テスターに関する。
テスターに関する。
【０００２】
【従来の技術】現在の半導体デバイス測定用テスター
は、テストボードを介して半導体デバイスを測定してい
る。このテストボードは、品種毎又製品群毎に製作され
ている。従ってある製品を測定する場合は、測定する製
品用のテストボードをテスターに設定しなければならな
い。又テストボード上に実装される受動素子は規定値が
品種毎に異なるが、実装位置は変わらない。
は、テストボードを介して半導体デバイスを測定してい
る。このテストボードは、品種毎又製品群毎に製作され
ている。従ってある製品を測定する場合は、測定する製
品用のテストボードをテスターに設定しなければならな
い。又テストボード上に実装される受動素子は規定値が
品種毎に異なるが、実装位置は変わらない。
【０００３】図２は半導体ウェハー５を測定する従来技
術の構成を示している。探針で半導体ウェハー５を測定
するプローブカード４とテスター本体１とケーブル１４
で接続されたステーション２との間にテストボード３が
装着している。このテストボード３はプローブカード４
と複数のコンタクトピン１２により接続されかつステー
ション２とも複数のコンタクトピン１２により接続さ
れ、被測定物である製品（半導体ウェハー）毎に取替え
が可能となっている。テストボード３には、図３に示す
様に、ステーション２内のピンエレクトロニクスカード
の１ピン毎に実装された負荷抵抗７、コンデンサー８、
リレー６等を有している。一例であるが、これを電気回
路で示すと図４のようになる。
術の構成を示している。探針で半導体ウェハー５を測定
するプローブカード４とテスター本体１とケーブル１４
で接続されたステーション２との間にテストボード３が
装着している。このテストボード３はプローブカード４
と複数のコンタクトピン１２により接続されかつステー
ション２とも複数のコンタクトピン１２により接続さ
れ、被測定物である製品（半導体ウェハー）毎に取替え
が可能となっている。テストボード３には、図３に示す
様に、ステーション２内のピンエレクトロニクスカード
の１ピン毎に実装された負荷抵抗７、コンデンサー８、
リレー６等を有している。一例であるが、これを電気回
路で示すと図４のようになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のテストボー
ドでは、新品種が生産されるようになると新しく製作し
なければならない為、多品種少量生産になるとテストボ
ードは多くなり管理工数を多く要す。又、１品種毎にテ
ストボード交換が必要となり、テスターの稼働にも影響
してくる。
ドでは、新品種が生産されるようになると新しく製作し
なければならない為、多品種少量生産になるとテストボ
ードは多くなり管理工数を多く要す。又、１品種毎にテ
ストボード交換が必要となり、テスターの稼働にも影響
してくる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のテストボード
は、半導体デバイス用テスターのステーションに組込
れ、そしてテストボード上の受動素子規定値は、半導体
デバイス測定プログラムに設定された条件により自動設
定される。
は、半導体デバイス用テスターのステーションに組込
れ、そしてテストボード上の受動素子規定値は、半導体
デバイス測定プログラムに設定された条件により自動設
定される。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。本発明は、テストボードをステーション２に組込ん
でステーションと一体化する。この組込んだテストボー
ド９を使った測定構成を図１の（Ａ）に示す。又、図１
の（Ｂ）はこのプログラマブルテストボードの外観図で
あり、プログラマブルテストボードの１ピン分のブロッ
ク１３を示す。
る。本発明は、テストボードをステーション２に組込ん
でステーションと一体化する。この組込んだテストボー
ド９を使った測定構成を図１の（Ａ）に示す。又、図１
の（Ｂ）はこのプログラマブルテストボードの外観図で
あり、プログラマブルテストボードの１ピン分のブロッ
ク１３を示す。
【０００７】このステーションに組込んだテストボード
９は、図１の（Ｃ）に示すように、ピンエレクトロニク
スカードの１ピン毎にプログラマブル負荷抵抗１０とプ
ログラマブルコンデンサー１１を備えている。このプロ
グラマブル負荷抵抗１０とプログラマブルコンデンサー
１１は、製品測定時の半導体デバイスプログラムに設定
されている条件により規定値が自動設定される。
９は、図１の（Ｃ）に示すように、ピンエレクトロニク
スカードの１ピン毎にプログラマブル負荷抵抗１０とプ
ログラマブルコンデンサー１１を備えている。このプロ
グラマブル負荷抵抗１０とプログラマブルコンデンサー
１１は、製品測定時の半導体デバイスプログラムに設定
されている条件により規定値が自動設定される。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、半導体デ
バイス用テスターのステーションにテストボードを組込
み、さらにテストボード上の負荷抵抗とコンデンサーを
プログラムソフトにより値を設定できる。このようにテ
ストボード上の負荷抵抗とコンデンサーの値を自動設定
できるので、製品毎のテストボードは不要となり、全製
品に対してテストボードが共通となる。つまりテストボ
ードが不要となり、テストボードに要する費用削減，テ
ストボード図面やテストボードそのものの管理が不要，
さらにテストボード交換に要していた工数削減の効果が
ある。
バイス用テスターのステーションにテストボードを組込
み、さらにテストボード上の負荷抵抗とコンデンサーを
プログラムソフトにより値を設定できる。このようにテ
ストボード上の負荷抵抗とコンデンサーの値を自動設定
できるので、製品毎のテストボードは不要となり、全製
品に対してテストボードが共通となる。つまりテストボ
ードが不要となり、テストボードに要する費用削減，テ
ストボード図面やテストボードそのものの管理が不要，
さらにテストボード交換に要していた工数削減の効果が
ある。
【図１】本発明の一実施例を示す図であり、（Ａ）はテ
ストボードとステーションとを一体化した測定構成図、
（Ｂ）はプログラマブルテストボードの外観図、（Ｃ）
はプログラマブルテストボードの１ピン分の回路図であ
る。
ストボードとステーションとを一体化した測定構成図、
（Ｂ）はプログラマブルテストボードの外観図、（Ｃ）
はプログラマブルテストボードの１ピン分の回路図であ
る。
【図２】半導体デバイス測定の従来技術の構成図であ
る。
る。
【図３】従来技術のテストボードの外観図である。
【図４】従来技術のテストボードの回路図である。
１ テスター本体 ２ ステーション ３ テストボード（従来） ４ プローブカード ５ 半導体ウェハー ６ リレー ７ 負荷抵抗 ８ コンデンサー ９ ステーションに組み込んだテストボード １０ プログラマブル負荷抵抗 １１ プログラマブルコンデンサー １２ コンタクトピン １３ プログラマブルテストボードの１ピン分のブロ
ック １４ ケーブル
ック １４ ケーブル
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体デバイス測定にて使用するテスト
ボード機能をテスターのステーションと一体化し、プロ
グラムソフトによりテストボード上の受動素子規定値を
自動設定することができる機能を有することを特徴とす
る半導体デバイス測定用テスター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4001944A JPH05251519A (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | 半導体デバイス測定用テスター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4001944A JPH05251519A (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | 半導体デバイス測定用テスター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05251519A true JPH05251519A (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=11515729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4001944A Pending JPH05251519A (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | 半導体デバイス測定用テスター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05251519A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1271167A1 (en) * | 2002-04-06 | 2003-01-02 | Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation) | Electrical System for testing the channels of a communication system |
| EP1271168A1 (en) * | 2002-04-06 | 2003-01-02 | Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation) | Electrical system for testing the channels of a communication system |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0366140A (ja) * | 1989-08-05 | 1991-03-20 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体試験装置 |
-
1992
- 1992-01-09 JP JP4001944A patent/JPH05251519A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0366140A (ja) * | 1989-08-05 | 1991-03-20 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体試験装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1271167A1 (en) * | 2002-04-06 | 2003-01-02 | Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation) | Electrical System for testing the channels of a communication system |
| EP1271168A1 (en) * | 2002-04-06 | 2003-01-02 | Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation) | Electrical system for testing the channels of a communication system |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980421 |