KR100290440B1 - 프로브 카드의 가변 소자 장착 구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 프로브 카드의 가변 소자 장착 구조에 관한 것으로서, 카드 기판 상에 피검사체를 프로빙할 수 있는 탐침, 고주파 연결 단자, 복수의 가변 소자들을 포함하는 프로브 카드에 있어서, 상기 카드 기판에 가변 소자가 삽입될 수 있는 삽입공이 관통 형성되고, 상기 삽입공 내부에 가변 소자가 적어도 탐침의 선단보다는 더 돌출되지 않도록 삽입 결합되는 것을 특징으로 한다.

따라서, 본 발명에 의하면 가변 소자가 피검사체면에 닿지 않도록 장착될 뿐만 아니라 측정과 병행하여 가변 조정시킬 수 있으므로 조정 시간을 단축시킴은 물론 정확한 조정을 가능하게 한다.

Description

프로브 카드의 가변 소자 장착 구조

본 발명은 프로브 카드의 가변 소자 장착 구조에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼 상태의 칩들을 프로브 카드로 검사할 때 가변 소자로써 그 칩의 특성을 조정할 경우 웨이퍼를 손상시키지 않고 쉽게 조정할 수 있도록 하는 프로브 카드의 가변 소자 장착 구조에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 웨이퍼(Wafer)의 전 제조 공정이 끝난 뒤에는 웨이퍼 상태로 각 칩의 기능이 양호한지 불량한지 여부를 전기적인 규격에 따라 선별하는 웨이퍼 소팅(Wafer Sorting)을 하게 된다.

이러한 웨이퍼 소팅을 할 경우 테스터(Tester) 장비에 프로브 카드(Probe Card)를 접속하여 웨이퍼 상에서 하나의 다이(Die)를 각 각 프로빙하는 검사를 해 오고 있다.

도 1 에서는 종래의 프로브 카드의 가변 소자 장착 구조를 개략적으로 나타내고 있다.

도 1 에서 보면, 프로브 카드 기판(1)의 저면에는 도시되지 않은 웨이퍼의 각 다이를 프로빙(Probing)할 수 있는 탐침(2)이 돌출 구비되고, 상기 카드 기판(1)의 상면에는 고주파의 전원이 인가될 수 있는 고주파 연결 단자(3)가 구비된다.

여기서, 상기 카드 기판(1)의 저면에는, 예를 들어 가변 저항, 코일, 콘덴서와 같은 가변 소자(4)도 웨이퍼 칩의 특성에 따라 조정 가능하게 장착된다.

그러나, 이와 같은 종래의 프로브 카드에서는 그 기판(1)의 저면 위에 가변 소자(4)가 검사 방향(웨이퍼 쪽)으로 돌출하도록 결합되므로 다음과 같은 문제점이 생길 수 있다.

첫째, 프로브 카드의 탐침(2)의 높이보다 더 높은 크기의 가변 소자(4)를 장착할 경우에는 이 탐침(2)의 선단 보다 더 튀어나오게 되므로 측정시 웨이퍼(도시 안됨) 면에 가변 소자(4)들이 닿게 된다.

둘째, 웨이퍼 칩들이 탐침(2)에 닿아서 측정이 이루어지고 있는 순간에 가변 소자(4)의 가변 동작부는 웨이퍼 면을 향하게 되어 있으므로 측정과 동시에는 가변 소자(4)들을 조정할 수 없게 된다.

이렇게 되면, 프로브 카드를 꺼낸 후 가변 소자를 조정하는 일이 여러 번에 걸쳐 반복 수행되므로 이로 인한 시간적 손실이 더욱 많아질 뿐만 아니라 정확한 조정도 힘들게 된다.

따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창작된 것으로서, 본 발명의 목적은 프로브 카드에 장착된 가변 소자를 조정할 때 웨이퍼를 손상시키지 않고 손쉽게 조정될 수 있게 하는 프로브 카드의 가변 소자 장착 구조를 제공하는 데 있다.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 프로브 카드의 가변 소자 장착 구조는, 카드 기판 상에 피검사체를 프로빙할 수 있는 탐침, 고주파 연결 단자, 복수의 가변 소자들을 포함하는 프로브 카드에 있어서, 상기 카드 기판에 가변 소자가 삽입될 수 있는 삽입공이 관통 형성되고, 상기 삽입공 내부에 가변 소자가 적어도 탐침의 선단보다는 더 돌출되지 않도록 삽입 결합되는 것을 특징으로 한다.

도 1 은 종래의 프로브 카드의 가변 소자 장착 구조를 개략적으로 나타낸 도면.

도 2 는 본 발명에 따른 프로브 카드의 가변 소자 장착 구조를 개략적으로 나타낸 도면.

도 3 은 본 발명에 따른 프로브 카드에 가변 소자를 신호선에 직렬로 연결한 상태를 예시한 사시도.

도 4 는 본 발명에 따른 프로브 카드에 가변 소자를 신호선에 병렬로 연결한 상태를 예시한 사시도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 카드 기판, 12 : 삽입공,

14 : 신호선, 20 : 탐침,

30 : 고주파 연결 단자, 40 : 가변 소자,

42 : 가변 조정부, 44 : 패드.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의하여 더욱 상세히 설명한다.

도 2 는 본 발명에 따른 프로브 카드의 가변 소자 장착 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 그리고, 도 3 은 본 발명에 따른 프로브 카드에 가변 소자를 신호선에 직렬로 연결한 상태를 예시한 사시도이고, 도 4 는 가변 소자를 병렬로 연결한 상태를 예시한 사시도이다.

상기 도면에서, 프로브 카드의 기판(10) 저면에 측정 대상인 웨이퍼(도시 안됨)의 각 칩을 프로빙(Probing)할 수 있는 탐침(20)이 돌출 구비되고, 상기 카드 기판(10)의 상면에는 고주파의 전원이 인가될 수 있는 고주파 연결 단자(30)가 구비되는 것은 종래와 동일하다.

그러나, 본 실시에에서는 카드 기판(10) 상에 삽입공(12)이 관통 형성되고, 상기 삽입공(12) 내에 가변 저항, 코일, 콘덴서 등과 같은 가변 소자(40)가 삽입 결합되어 기판(10)의 저면으로 돌출되지 않도록 한다.

도 3 에서 나타낸 바와 같이, 칩 콘덴서로 예시된 가변 소자(40)가 신호 선(14)에 직렬로 연결될 경우 상기 소자(40)의 가변 조정부(42)는 측정부의 반대편 쪽, 즉 탐침(20)이 결합된 기판(10)의 반대편 쪽에 위치시킨다.

반면에, 상기 소자(40)의 하단 양측에는 패드(44)를 구비하여 기판(10)의 저면에 형성된 신호선(14)과 납땜에 의하여 직렬로 연결시킨다.

한편, 도 4 에서 나타낸 바와 같이, 가변 소자(40)가 병렬로 연결될 경우에도 상기 소자(40)의 가변 조정부(42)는 측정부의 반대편 쪽에 위치시키는 반면, 신호선(14)의 바로 옆에 구멍을 낸 후 패드(44)의 한 쪽은 신호선(14)에, 그 다른 쪽은 접지면에 부착시킨다.

이와 같이 본 발명에 따른 프로브 카드의 가변 소자 장착 구조에서는 가변 소자(40)가 웨이퍼와 같은 피검사체에 접촉되지 않도록 카드 기판(10)의 삽입공(12)에 삽입 결합되므로 가변 소자(40)의 높이에 상관없이 장착이 가능하다.

또한, 가변 소자(40)의 가변 조정부(42)가 측정부의 반대편에 위치하므로 탐침(20)이 웨이퍼의 각 칩들에 접촉하며 측정이 이루어지는 동안에도 각 칩들의 전기적 특성 변화에 대응하여 상기 가변 조정부(42)의 조정을 병행하며 측정하는 것이 가능하다.

상술한 본 발명에 의하면, 가변 소자가 피검사체면에 닿지 않도록 장착될 뿐만 아니라 측정과 병행하여 가변 조정시킬 수 있으므로 조정 시간을 단축시킴은 물론 정확한 조정을 가능하게 한다.

Claims (2)

1. 카드 기판 상에 피검사체를 프로빙할 수 있는 탐침, 고주파 연결 단자, 복수의 가변 소자들을 포함하는 프로브 카드에 있어서,

   상기 카드 기판에 가변 소자가 삽입될 수 있는 삽입공이 관통 형성되고, 상기 삽입공 내부에 가변 소자가 적어도 탐침의 선단보다는 더 돌출되지 않도록 삽입 결합되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 가변 소자 장착 구조.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 가변 소자는 그 가변 조정부를 기판의 탐침 결합측 반대편 쪽에 위치시키는 반면, 신호선과 연결되는 패드는 탐침 결합측 기판 면에 접속시키는 것을 특징으로 하는 프로브 카드의 가변 소자 장착 구조.

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