JPH05215582A - 電磁流量計及びその製造方法 - Google Patents

電磁流量計及びその製造方法

Info

Publication number
JPH05215582A
JPH05215582A JP4019787A JP1978792A JPH05215582A JP H05215582 A JPH05215582 A JP H05215582A JP 4019787 A JP4019787 A JP 4019787A JP 1978792 A JP1978792 A JP 1978792A JP H05215582 A JPH05215582 A JP H05215582A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
aluminum
alloy
measurement
shield
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4019787A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3175261B2 (ja
Inventor
Kazuaki Yokoi
和明 横井
Masatsugu Arai
雅嗣 荒井
Akiomi Kono
顕臣 河野
Yuji Yoshitomi
雄二 吉富
Yutaka Sakurai
裕 櫻居
Tamio Ishihara
民雄 石原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP01978792A priority Critical patent/JP3175261B2/ja
Priority to US08/012,472 priority patent/US5400659A/en
Priority to DE4303402A priority patent/DE4303402C2/de
Publication of JPH05215582A publication Critical patent/JPH05215582A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3175261B2 publication Critical patent/JP3175261B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/56Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects
    • G01F1/58Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters
    • G01F1/588Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters combined constructions of electrodes, coils or magnetic circuits, accessories therefor
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/64Burning or sintering processes
    • C04B35/645Pressure sintering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/622Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/653Processes involving a melting step
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B37/00Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating
    • C04B37/02Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles
    • C04B37/021Joining burned ceramic articles with other burned ceramic articles or other articles by heating with metallic articles in a direct manner, e.g. direct copper bonding [DCB]
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/56Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects
    • G01F1/58Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters
    • G01F1/584Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters constructions of electrodes, accessories therefor
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2235/00Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
    • C04B2235/65Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
    • C04B2235/656Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
    • C04B2235/6567Treatment time
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/32Ceramic
    • C04B2237/34Oxidic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/32Ceramic
    • C04B2237/34Oxidic
    • C04B2237/343Alumina or aluminates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/32Ceramic
    • C04B2237/34Oxidic
    • C04B2237/345Refractory metal oxides
    • C04B2237/348Zirconia, hafnia, zirconates or hafnates
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/32Ceramic
    • C04B2237/36Non-oxidic
    • C04B2237/365Silicon carbide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/32Ceramic
    • C04B2237/36Non-oxidic
    • C04B2237/368Silicon nitride
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/30Composition of layers of ceramic laminates or of ceramic or metallic articles to be joined by heating, e.g. Si substrates
    • C04B2237/40Metallic
    • C04B2237/402Aluminium
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/70Forming laminates or joined articles comprising layers of a specific, unusual thickness
    • C04B2237/704Forming laminates or joined articles comprising layers of a specific, unusual thickness of one or more of the ceramic layers or articles
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/70Forming laminates or joined articles comprising layers of a specific, unusual thickness
    • C04B2237/706Forming laminates or joined articles comprising layers of a specific, unusual thickness of one or more of the metallic layers or articles
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B2237/00Aspects relating to ceramic laminates or to joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/50Processing aspects relating to ceramic laminates or to the joining of ceramic articles with other articles by heating
    • C04B2237/76Forming laminates or joined articles comprising at least one member in the form other than a sheet or disc, e.g. two tubes or a tube and a sheet or disc
    • C04B2237/765Forming laminates or joined articles comprising at least one member in the form other than a sheet or disc, e.g. two tubes or a tube and a sheet or disc at least one member being a tube

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】電極部を測定管外周部に設けた非接液形電磁流
量計において、電極膜とセラミックス測定管とを強固に
接合することにより高精度で耐熱サイクル性に優れた高
信頼性電磁流量計及びその製造方法を提供することにあ
る。 【構成】測定管1の外周面に設ける測定電極3及びシー
ルド電極4を、チタン含有金属若しくは外周面に接する
層の融点が他の層より低いアルミブレージング材を用
い、溶融・固化して接合し形成する構成とした電磁流量
計及びその製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は非接液型電磁流量計に係
り、特に耐熱サイクル性,密封性及び耐食性に優れた電
極部の構造及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】電磁流量計は、測定管の内側を流動する
被測定流体を導体としてとらえ、この被測定流体に磁界
を与えることにより電圧を発生させ、この電圧を電極で
検出して流体の流量を測定するものであり、測定部が流
体に接する接液形と流体に接しない非接液形がある。
【0003】従来、この種の電磁流量計に用いる測定管
としてステンレス銅などの金属で製作されたものが用い
られていたが、近年耐食性,耐熱性に優れたセラミック
ス材料で形成したものが主流となっている。
【0004】このようなセラミックス製測定管を用いた
非接液形電磁流量計の電極構造として図6に示すように
測定管の外周面に非磁性金属からなる測定電極を真空蒸
着法によりメタライズして形成する米国特許4539853 号
公報に開示のものがある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前記従来技術の電磁流
量計の電極構造においては、真空蒸着法を用いて金属を
メタライズし測定電極及びシールド電極を形成してい
る。
【0006】この方法により形成した金属膜はセラミッ
クスとの界面接着強度が弱いため、測定管に熱の繰返し
が作用した場合、界面で徐々に両者の剥離が進行する。
このため、測定精度が低下したり、変動するという問題
点がある。
【0007】本発明の目的は、前記問題点を解決するた
め、電極を形成する金属膜とセラミックスとの界面接着
強度を、熱の繰返しが作用しても界面剥離が発生しない
強度まで高め、安定した性能を持つ電磁流量計及びその
製造方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するため、測定管の外表面と電極との界面接着強度を向
上させるため電極材としてセラミックスと容易に反応す
る元素を含む金属を用い、その金属を溶融・固化させセ
ラミックスと強固に結合させるものである。
【0009】本発明の電磁流量計には少なくとも次の態
様がある。
【0010】(1)中空円筒形状のセラミックスにて形成
された測定管表面に、複数の環状シールド電極を配置
し、この複数の環状シールド電極同士は互いに絶縁し、
各シールド電極の内周面に測定電極を対向配置し、測定
電極と対応するシールド電極との間も絶縁し電磁流量計
の各電極を形成する金属をセラミックスと反応する金属
とする。
【0011】(2)前記(1)において、合金膜をチタンを
含有した金属とする。
【0012】(3)前記(2)において、チタンを含有した
金属がチタンを少なくとも1%以上含有した銅−銀合金
からなるものとする。
【0013】(4)電極部にチタンの薄膜を設け、その上
に主成分が銅−銀合金からなる金属を配置したものとす
る。
【0014】(5)前記(1)において、測定電極及び前記
シールド電極を両表皮層がアルミニウム−シリコン系合
金若しくはアルミニウム−シリコン−マグネシウム合
金、芯材がアルミニウム又は前記両表皮層を形成する合
金より液相線温度の高いアルミ ニウム合金の三層構造
からなるアルミニウム材、又はセラミックスに接する面
のみアルミニウム−シリコン系合金とした二層構造か
らなるアルミニウム材の いずれかにより形成したもの
とする。
【0015】(6)前記(1)において、測定管がアルミ
ナ,測定電極及びシールド電極の材質は主成分がモニブ
デン−マンガン合金からなるものとする。
【0016】(7)前記(1)〜(5)において、測定管はア
ルミナ,ジルコニア,窒化硅素,炭化硅素及びサイアロ
ンのいずれかからなるものとする。
【0017】(8)前記(1)〜(6)において、電極の皮膜
厚さは、測定管の電極形成部外径が100mm以下では1
0μm〜500μm,外径が100mm以上では10μm
〜300μmとする。
【0018】本発明の電磁流量計の製造方法としては、
少なくとも次の態様がある。
【0019】(1)測定電極及びシールド電極としてセラ
ミックスと反応する金属を配置した後に加熱して少なく
とも金属のセラミックスに接する部分を溶融・固化させ
るものとする。
【0020】(2)測定電極及びシールド電極部にチタン
の薄膜を形成した後、薄膜の上に銅−銀合金を配置して
加熱し、測定管に電極を形成するものとする。
【0021】(3)測定電極材及びシールド電極材として
両表皮層がアルミニウム−シリコン系合金若しくはアル
ミニウム−シリコン−マグネシウム系合金、芯材がアル
ミニウム若しくは、両表皮層を形成する合金より液相線
温度の高いアルミニウム合金からなる三層構造のアルミ
ニウム材を用い、アルミニウム材を測定管外周面に押付
けた状態でアルミニウム材の両表皮層を形成する合金が
溶融する温度に加熱した後冷却し測定管にアルミニウム
材を接合し電極を形成するものとする。
【0022】(4)測定電極及びシールド電極としてセラ
ミックスに接する層がアルミニウム−シリコン系合金若
しくはアルミニウム−シリコン−マグネシウム系合金、
他方がアルミニウム若しくは前記セラミックスに接する
層を形成する合金より液相線温度の高いアルミニウム合
金からなる二層構造のアルミニウム材を用い、アルミニ
ウム材を測定管外周面に押し付けた状態でアルミニウム
材のセラミックスに接する層が溶融する温度に加熱した
後冷却し測定管に前記アルミニウム材を接合するものと
する。
【0023】(5)前記(3)及び(4)において、アルミニ
ウム材を測定管に押し付ける加圧力を2Mpa以上とす
る。
【0024】(6)未焼結のセラミックスからなる測定管
外周面の電極部に金属層を設けた後、焼結するものとす
る。
【0025】(7)測定管外周面に金属層を形成した後、
エッチングにより測定電極部とシールド電極部との境界
部を除去し絶縁部を形成するものである。
【0026】(8)前記(6)及び(7)において、金属層が
純チタン,チタン含有金属、少なくともチタンを1%以
上含有した銅−銀合金又はモリブデン−マンガン合金で
形成されるか、測定管表面に純チタン又はチタン含有金
属、その上に銅−銀合金を配置した二層構造からなるも
ののいずれかで形成させるものである。
【0027】本発明のプラントとしては、少なくとも以
下の態様がある。
【0028】(1)槽内に貯えた水溶液を加圧して配管に
送給するポンプの下流側にセラミックスからなる測定管
の外周面に溶融・固化させた合金膜を測定電極及びシー
ルド電極とした電磁流量計を配置したものとする。
【0029】(2)前記(1)において、ポンプと電磁流量
計の間の配管に、バルブを介してボイラを結合したもの
とする。
【0030】
【作用】本発明によればチタンを少なくとも1%以上含
有した銅−銀合金、あるいはこのチタン量に相当するも
のを予め真空蒸着等によりセラミックス製測定管外表面
に薄膜として設け、この外側に銅−銀合金層を設け、こ
れをこれら金属組成の融点以上に加熱して溶融させるこ
とによりセラミックスとチタンが反応しアルミナ等酸化
物系セラミックスではTiO2 が、窒化物系セラミック
スではTiNが生成してセラミックスと銅−銀合金の電
極膜とを強固に結合させる。上記のセラミックスとチタ
ンの反応は界面反応であり、加熱状態においてセラミッ
クスとチタンとが接触している界面で、セラミックスの
成分とチタンとが反応し反応生成物を形成するものであ
る。又、この反応の中には拡散反応,化学反応等も含ま
れ、上記のチタン入り銅−銀合金とセラミックスとはこ
れらの反応により強固に結合している。
【0031】又、セラミックスを成形あるいは予備焼結
した状態で前記金属層を設けた後、焼結しても同様に作
用させることができる。更に、上記作用はチタンを含有
した銅−銀合金に限定されず、セラミックスと接する面
がアルミニウム−シリコン系合金でこの外側にこれより
融点の高いアルミニウム又はアルミニウム合金を配置し
ても得ることができる。即ち、アルミニウム−シリコン
系合金層のみ溶融させることにより酸化物系セラミック
スでは亜酸化アルミニウムが、窒化物系セラミックスで
はAlNが生成して強固に電極膜が形成できる。
【0032】セラミックスがアルミナの場合、焼結状態
及び未焼結状態の測定管表面にモリブデン−マンガン合
金層を配置して、金属層を加熱・溶融させてもアルミナ
と金属層とが反応して両者を強固に結合できる。
【0033】本発明によれば、温度の異なる流体が流動
するプラントにおいて流体の流量を測定する電磁流量計
に流体の温度差に起因して生ずる熱応力が負荷しても、
電磁流量計を構成する測定管と電極との密着強度が高い
ため剥離が発生せず安定した測定精度による流量測定が
できる。
【0034】
【実施例】
(実施例1)以下、本発明の第1の実施例を図1,2,
3を用いて説明する。
【0035】図1は本実施例の電磁流量計の斜視図、図
2は電磁流量計中央部の断面図を示す。本実施例の電磁
流量計は内部に被測定流体が流動する測定管1と前記流
体に磁界を与える励磁コイル2と磁界内を通る流体の両
端に発生する起電力を検知する一対の測定電極3と測定
電極の起電力測定に悪影響を及ぼす他の磁界をシールド
するシールド電極4及び測定電極3とは絶縁され、且つ
測定電極を覆う様にシールド電磁と接続したシールドカ
バー8と、これらを収納するケース5、及び測定電極3
で検知した信号を変換器7へ伝える端子を納めた端子箱
6を備えるものである。
【0036】図3に測定管1の外周面に設けた測定電極
3とシールド電極4を示す。測定管1として内径50m
m,外径60mm,管長100mmで両端のフランジ部外径
が65mmの焼結したアルミナセラミックスを用いた。電
極部の形成方法は、まず前記測定管外周面の軸方向の略
中央を中心として軸方向に30mm、円周方向に20mmの
範囲が測定電極3となる様に、又、シールド電極4は測
定電極3の周囲に2mmの間隔を設け、軸方向はフランジ
付根部までとなる様にアルミナ測定管1の外周面上をマ
スキングした。なお、一対のシールド電極4の境界部に
も幅2mmのマスキングを行なった。本実施例で用いたシ
ールド電極は、矩形状の環状シールド電極であるが、シ
ールド電極はその形状を問わず、電極が環状に形成され
ていればよい。この後、70wt%Ag−28wt%C
u−2wt%Tiよりなる粉末合金をバインダーでペー
スト状にし刷毛にて厚さ約0.2mm となる様に塗布した
後、10~2Paの真空中で加熱し850℃に10分間保
持して真空中で冷却した。この様にして得られた測定管
1の電極厚さは全面均一ではなく40〜100μmとなっ
た。このようにして製作した測定管1を図1に示した電
磁流量計に組込んで流量測定精度を調べた結果、流速1
m/sec の水道水における測定スパン及びゼロ点の変動
は電源電圧がAC85〜120Vに変動しても各々0.
04%と0.07 %と小さく、又電源周波数の影響は5
0Hz又は60Hzに対して±3Hz変動しても各々
0.02% と0.08% と小さく良好な測定精度が得ら
れた。次に本電磁流量計を圧力0.5MPa の蒸気と水
道水を交互に流す装置に組込み160℃と20℃の急熱
急冷の熱サイクル試験を2000回実施した結果、上記
測定精度の低下は認められず、又電極の剥離及び測定管
の割れも全く認められなかった。
【0037】本実施例では測定管1の材質としてアルミ
ナを用いたが、これに限定されず、ジルコニア,窒化硅
素,炭化硅素,サイアロンにおいても同様の結果が得ら
れた。
【0038】一方、本実施例において70wt%Ag−
Cu合金中のTi量を0.3,0.5,1.0,2.0及び
5.0wt% に変化させて測定電極3及びシールド電極
4を形成し上記と同じ精度測定及び急熱急冷熱サイクル
試験を実施した。その結果、初期の測定精度に差異は認
められなかったが、熱サイクル回数450回で0.5%
Tiのものが局部的に測定電極3と測定管1との接合界
面で剥離が発生して測定値が変動し精度不良を起した
が、他のものは2000回の温度繰返しにおいても全く
異常は認められなかった。このことからAg−Cu合金
中のTi量は1.0%以上が必要であり、上限については
測定電極3に信号線を半田等により接合したり、或いは
シールドカバー8をシールド電極4と半田接合するに当
り、半田接合不良が発生しない10%以下が望ましい。
【0039】(実施例2)測定管1として実施例1と同
一寸法で材質を窒化硅素とし、測定管外周面のうちフラ
ンジ部を除いた全面に高周波スパッタ法によりTiを厚
さ2μm蒸着した。この後、70wt%Ag−20wt
%Cuよりなる粉末合金にバインダーを加えてペースト
状にしてスクリーン印刷法により厚さ0.5mm に均一に
塗布した後、大気圧アルゴンガス雰囲気中で850℃,
10分間の加熱を行ない冷却した。この後、実施例1と
同じ電極寸法となる様に電極部3,4をレジストにより
マスキングした後15%塩化第二鉄水溶液をスプレー状
に吹きつけてエッチングして測定電極3及びシールド電
極4を形成した。この後、実施例1と同様の精度測定及
び急熱急冷熱サイクル試験を実施した結果、測定精度は
実施例1に比較して各々0.01〜0.02%程度低下し
た。
【0040】一方、熱サイクル試験は実施例1と同様に
行ったが、2000回の繰返し後も剥離等の異常は認め
られなかった。
【0041】本実施例においては測定管1の材質として
窒化硅素を用いたが、これに限定されることなく、アル
ミナ,ジリコニア,炭化硅素及びサイアロンにおいても
同様の効果が得られた。
【0042】(実施例3)本実施例では、測定管外径と
電極膜厚さを変化させた場合の電極膜接合部の密着性を
検討した結果を示す。
【0043】測定管1の材質としてサイアロンを用い、
形状はフランジ部なしの単純円筒とし、外径は表1に示
す7種類、管の肉厚は全て5mm一定で長さも150mm一
定とした。
【0044】
【表1】
【0045】この測定管外表面に幅2mmの間隔をあけて
一対のシールド電極4を形成した。電極は実施例1のA
g−Cu−Ti合金を用い、かつ実施例2で示したスク
リーン印刷法を用いて形成した。このとき電極厚さは表
1に示す数値を目標とし実際に得られた平均厚さは目標
値に対して10μm以下では±1.5μm ,10,50
μmでは±3μm,100μm以上では±15μmであ
った。これら測定管1の外径及び電極膜厚さの異なった
試験片を実施例1で示したものと同様の急熱急冷熱サイ
クル試験を最高2000回実施し、電極膜の剥離状況を
観察した。その結果を図4に示す。
【0046】図4は熱サイクル回数が500〜1000
回までは、250回毎に、1000〜2000回までは
200回毎に測定管の電極膜を顕微鏡で観察し、剥離が
発生していた時点の繰返し数を表示したものである。し
たがって剥離が発生しない繰返し数は、図4の表示の1
つ前の観察回数となる。
【0047】又、測定管外径が100mm以下では剥離発
生データが1点のみのため、剥離限界線は150〜25
0mmの結果から推定して、1点鎖線で表示した。
【0048】測定管外径が30mm〜100mmのものは電
極膜厚さ700μmのものにおいて前記幅2mmの間隔部
を形成している電極膜端部で接合界面近傍のサイアロン
が電極膜に附着した状態で剥離が発生した。しかし、電
極膜が500μm以下ではこれらの剥離は全く認められ
ない。一方、外径が150mm以上になると電極膜厚さが
700μmは勿論のこと、500μmにおいても剥離が
発生した。この剥離は、セラミックスと電極膜材料との
熱膨張量差に起因し熱サイクルにより発生する繰返し熱
応力により生じ、外径が大きくなる程、又電極膜厚さが
大きい程顕著に発生する。
【0049】図4の試験結果より測定管外径が100mm
以下での限界電極膜厚さは500μm以下,100mm以
上250mm迄は300μm以下が剥離の生じない膜厚さ
となる。
【0050】なお本実施例ではサイアロンを用いたが、
アルミナ,ジルコニア,窒化硅素,炭化硅素においても
同様の結果が得られた。
【0051】なお、電極膜厚さ5μmの場合、膜厚さが
薄いために、電極範囲中、一部膜が形成されない部分が
発生するため、最少膜厚さは10μm以上が望ましい。
【0052】(実施例4)本実施例では、実施例1と同
一形状,寸法でセラミックスの材質がジルコニアからな
り、測定電極3及びシールド電極4とも実施例1と同形
状の測定管を用いた。これら電極膜3,4を形成する材
料として3層の厚さ0.16mm のアルミニウムブレージ
ング材を用いた。このアルミブレージング材は両表層が
Al−10%Si−2%Mg合金で厚さ16μmから成
り、芯材がこれより高融点のAl−Mn合金より成るシ
ート状からなる。このアルミブレージング材を実施例1
と同一の電極膜形状に加工して測定管1の外周面に配置
する。この外側に2分割した黒鉛製加圧治具を配置する
が、この分割合せ面はシールド電極4間の隙間と一致す
る様にする。この状態で2MPaの加圧力が接合面に作
用する様に加圧して真空加熱装置内に配置し10~2Pa
の真空中で、表層のAl−10%Si−2%Mg合金層の
みが溶融する温度である600℃に15分間加熱保持し
て冷却した。この後、図1に示す電磁流量計にするに当
って測定電極1とリード線及びシールド電極4とシール
ドケース8との半田接合がAl面では困難であるため、
前記方法で形成した電極膜の少なくとも半田接合する部
分に半田接合が容易な金属としてNiメッキして半田接
合し電磁流量計とした。この流量計を実施例1と同様の
精度測定及び急熱急冷熱サイクル試験を行なった。その
結果、測定精度は実施例1と同等で熱サイクル試験20
00回においても全く異常は認められなかった。
【0053】本実施例ではセラミックスとしてジルコニ
アを用いたが、測定管の材質としてはこれに限定され
ず、アルミナ,窒化硅素,炭化硅素及びサイアロンにお
いても同様の結果が得られる。又、測定管1の外周全面
を前記方法により形成し、この後10%フッ酸水でエッ
チングして電極膜3及びシールド電極膜4を形成しても
同様の効果が得られる。
【0054】(実施例5)実施例1と同一形状,寸法で
セラミックス材質も実施例1と同じアルミナからなる測
定管を用い、測定電極及びシールド電極に相当する部分
に、80wt%モリブデン−20wt%マンガンからな
る混合粉末にバインダーを加えてペースト状にして、ス
クリーン印刷により厚さ200μmで塗布した。つぎ
に、水素雰囲気中で1500℃の温度に4時間保持後冷
却して電極を形成した。
【0055】この後、半田接合を容易にするために電極
部全域にNiメッキを行ないケース,シールドカバー等
を配置して電磁流量計とした。この電磁流量計を用い実
施例1と同様に精度測定及び急熱急冷熱サイクル試験を
行った。その結果、実施例1と同等の測定精度が得ら
れ、2000回の熱サイクル試験においても電極部の剥
離は認められなかった。
【0056】本実施例では測定電極3,シールド電極4
とも同一処理で電極膜を形成したが、測定電極3のみを
上記方法で形成し、シールド電極4は所定の下地処理を
行った後、厚さ20μmのNiメッキ膜として形成して
電磁流量計とし、上記と同様の試験を行った結果、上記
結果との差異は認められなかった。
【0057】更に、本実施例で用いたアルミナに換えて
ジルコニアで測定管を形成しても同じ結果を得ることが
できた。
【0058】(実施例6)図5に実施例2で作成した電
磁流量計10を設置した食品プラント中への組込みの実
施例を示す。本プラントは食品槽13内の食品を送るポ
ンプ9と食品の流動量を検出する電磁流量計10とバル
ブ11及び配管系を殺菌するボイラ12で構成されてい
る。本実施例の電磁流量計10には室温の食品流体と圧
力4MPaの蒸気が交互に流入する。この様なプラント
で長時間使用しても測定精度の低下は全く認められず、
電極膜3,4の剥離及び測定管1の割れも認められず、
高精度に安定して流量を計測することが出来た。
【0059】本実施例では食品プラントの例を示した
が、これに限定されず、上下水道及び化学プラントにお
いても同様の効果が得られた。
【0060】
【発明の効果】本発明によれば各種材質のセラミックス
測定管の外周面に測定電極及びシールド電極を強固に設
けることが出来るため、良好な測定精度が得られ、かつ
急熱,急冷熱サイクルに対して電極膜の剥離や測定管の
割れが発生しないため、精度低下のない安定した電磁流
量計が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の電磁流量計の一部断面斜
視図である。
【図2】本発明の第1実施例の電磁流量計の断面図であ
る。
【図3】本発明の第1実施例の測定管の側面図である。
【図4】本発明の第3実施例に係る電極接合部の密着性
検討結果を表わす図である。
【図5】本発明の第6実施例の食品プラント配管系統図
である。
【図6】従来技術の測定管の側面図である。
【符号の説明】
1…測定管、2…励磁コイル、3…測定電極、4…シー
ルド電極、5…ケース、6…端子箱、7…変換器、8…
シールドカバー。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉富 雄二 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 櫻居 裕 茨城県勝田市市毛882番地 株式会社日立 製作所計測器事業部内 (72)発明者 石原 民雄 茨城県勝田市市毛882番地 株式会社日立 製作所計測器事業部内

Claims (21)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】中空円筒形状のセラミックスにて形成され
    た測定管表面に、複数の環状シールド電極を配置してな
    り、前記複数の環状シールド電極同士は互いに絶縁し、
    前記各シールド電極の内周面に測定電極を対向配置し、
    前記測定電極と対応するシールド電極との間も絶縁して
    なる電磁流量計において、前記測定電極及びシールド電
    極はセラミックスと反応する金属を用いることを特徴と
    する電磁流量計。
  2. 【請求項2】請求項1において、前記セラミックスと反
    応する金属がチタンを含有する金属からなることを特徴
    とする電磁流量計。
  3. 【請求項3】請求項2において、前記チタンを含有する
    金属がチタンを1%以上含有した銅−銀合金からなるこ
    とを特徴とする電磁流量計。
  4. 【請求項4】中空円筒形状のセラミックスにて形成され
    た測定管表面に、複数の環状シールド電極を配置してな
    り、前記複数の環状シールド電極同士は互いに絶縁し、
    前記各シールド電極の内周面に測定電極を対向配置し、
    前記測定電極と対応するシールド電極との間も絶縁して
    なる電磁流量計において、前記測定電極及びシールド電
    極は前記測定管側にチタン、前記チタンの上に銅−銀合
    金を配置したものであることを特徴とする電磁流量計。
  5. 【請求項5】中空円筒形状のセラミックスにて形成され
    た測定管表面に、複数の環状シールド電極を配置してな
    り、前記複数の環状シールド電極同士は互いに絶縁し、
    前記各シールド電極の内周面に測定電極を対向配置し、
    前記測定電極と対応するシールド電極との間も絶縁して
    なる電磁流量計において、前記セラミックスがアルミ
    ナ,前記測定電極及び前記シールド電極がモリブデン−
    マンガン合金であることを特徴とする電磁流量計。
  6. 【請求項6】中空円筒形状のセラミックスにて形成され
    た測定管表面に、金属からなる複数の環状シールド電極
    を配置してなり、前記複数の環状シールド電極同士は互
    いに絶縁し、前記各シールド電極の内周面に金属からな
    る測定電極を対向配置し、前記測定電極と対応するシー
    ルド電極との間も絶縁してなる電磁流量計において、前
    記測定電極及びシールド電極とセラミックスとは前記測
    定電極及びシールド電極を形成する金属とセラミックス
    との反応生成物により結合してなることを特徴とする電
    磁流量計。
  7. 【請求項7】中空円筒形状のセラミックスにて形成され
    た測定管表面に、複数の環状シールド電極を配置してな
    り、前記複数の環状シールド電極同士は互いに絶縁し、
    前記各シールド電極の内周面に測定電極を対向配置し、
    前記測定電極と対応するシールド電極との間も絶縁して
    なる電磁流量計において、両表皮層がアルミニウム−シ
    リコン系合金若しくはアルミニウム−シリコン−マグネ
    シウム系合金、芯材がアルミニウム若しくは前記両表皮
    層を形成する合金より液相線温度の高いアルミニウム合
    金からなる三層構造のアルミニウム材又はセラミックス
    に接する層がアルミニウム−シリコン系合金若しくはア
    ルミニウム−シリコン−マグネシウム系合金、他方がア
    ルミニウム若しくは前記セラミックスに接する層を形成
    する合金より液相線温度の高いアルミニウム合金からな
    る二層構造のアルミニウム材であることを特徴とする電
    磁流量計。
  8. 【請求項8】請求項1乃至7のいずれかにおいて、前記
    測定電極及びシールド電極の皮膜厚さを前記測定管の電
    極形成部外径が100mm以下では10μm乃至500μ
    mとし、電極形成部外径が100mm以上では10μm乃
    至300μmとすることを特徴とする電磁流量計。
  9. 【請求項9】中空円筒形状のセラミックスにて形成され
    た測定管表面に、複数の環状シールド電極を配置してな
    り、前記複数の環状シールド電極同士は互いに絶縁し、
    前記各シールド電極の内周面に測定電極を対向配置し、
    前記測定電極と対応するシールド電極との間も絶縁して
    なる電磁流量計の製造方法において、前記測定電極及び
    前記シールド電極としてセラミックスと反応する金属を
    配置した後に加熱して少なくとも前記金属のセラミック
    スに接する部分を溶融・固化させることを特徴とする電
    磁流量計の製造方法。
  10. 【請求項10】中空円筒形状のセラミックスにて形成さ
    れた測定管表面に、複数の環状シールド電極を配置して
    なり、前記複数の環状シールド電極同士は互いに絶縁
    し、前記各シールド電極の内周面に測定電極を対向配置
    し、前記測定電極と対応するシールド電極との間も絶縁
    してなる電磁流量計の製造方法において、前記測定電極
    及び前記シールド電極部にチタンの薄膜を形成した後、
    前記薄膜の上に銅−銀合金を配置して加熱し、前記測定
    管に電極を形成する電磁流量計の製造方法。
  11. 【請求項11】中空円筒形状のセラミックスにて形成さ
    れた測定管表面に、複数の環状シールド電極を配置して
    なり、前記複数の環状シールド電極同士は互いに絶縁
    し、前記各シールド電極の内周面に測定電極を対向配置
    し、前記測定電極と対応するシールド電極との間も絶縁
    してなる電磁流量計の製造方法において、前記測定電極
    及びシールド電極は両表皮層がアルミニウム−シリコン
    系合金若しくはアルミニウム−シリコン−マグネシウム
    系合金、芯材がアルミニウム若しくは前記両表皮層を形
    成する合金より液相線温度の高いアルミニウム合金から
    なる三層構造のアルミニウム材を用い、前記アルミニウ
    ム材を測定管外周面に押付けた状態で前記アルミニウム
    材の両表皮層を形成する合金が溶融する温度に加熱した
    後冷却し前記測定管に前記アルミニウム材を接合する電
    磁流量計の製造方法。
  12. 【請求項12】中空円筒形状のセラミックスにて形成さ
    れた測定管表面に、複数の環状シールド電極を配置して
    なり、前記複数の環状シールド電極同士は互いに絶縁
    し、前記各シールド電極の内周面に測定電極を対向配置
    し、前記測定電極と対応するシールド電極との間も絶縁
    してなる電磁流量計の製造方法において、前記測定電極
    と前記シールド電極としてセラミックスに接する層がア
    ルミニウム−シリコン系合金若しくはアルミニウム−シ
    リコン−マグネシウム系合金、他方がアルミニウム若し
    くは前記セラミックスに接する層を形成する合金より液
    相線温度の高いアルミニウム合金からなる二層構造のア
    ルミニウム材を用い、前記アルミニウム材を前記測定管
    外周面に押し付けた状態で前記アルミニウム材のセラミ
    ックスに接する層が溶融する温度に加熱した後冷却し前
    記測定管に前記アルミニウム材を接合する電磁流量計の
    製造方法。
  13. 【請求項13】請求項11及び12において、前記アル
    ミ材を前記測定管に押し付ける加圧力を2Mpa以上と
    したことを特徴とする電磁流量計の製造方法。
  14. 【請求項14】中空円筒形状のセラミックスにて形成さ
    れた測定管表面に、複数の環状シールド電極を配置して
    なり、前記複数の環状シールド電極同士は互いに絶縁
    し、前記各シールド電極の内周面に測定電極を対向配置
    し、前記測定電極と対応するシールド電極との間も絶縁
    してなる電磁流量計の製造方法において、前記測定管は
    未焼結のセラミックスからなり、前記測定管外周面の電
    極部に金属層を設けた後、焼結したことを特徴とする電
    磁流量計の製造方法。
  15. 【請求項15】中空円筒形状のセラミックスにて形成さ
    れた測定管表面に、複数の環状シールド電極を配置して
    なり、前記複数の環状シールド電極同士は互いに絶縁
    し、前記各シールド電極の内周面に測定電極を対向配置
    し、前記測定電極と対応するシールド電極との間も絶縁
    してなる電磁流量計において、前記セラミックスにて形
    成された測定管外周面に金属層を形成した後、エッチン
    グにより前記測定電極と前記シールド電極との間の絶縁
    部を除去することを特徴とする電磁流量計の製造方法。
  16. 【請求項16】請求項14において、前記金属層が純チ
    タン,チタン含有金属、少なくともチタンを1%以上含
    有した銅−銀合金又はモリブデン−マンガン合金で形成
    されるか、測定管表面に純チタン又はチタン含有金属、
    その上に銅−銀合金を配置した二層構造からなるものの
    いずれかから構成されることを特徴とする電磁流量計の
    製造方法。
  17. 【請求項17】請求項15において、前記金属層が純チ
    タン,チタン含有金属、少なくともチタンを1%以上含
    有した銅−銀合金又はモリブデン−マンガン合金で形成
    されるか、測定管表面に純チタン又はチタン含有金属、
    その上に銅−銀合金を配置した二層構造からなるものの
    いずれかから構成されることを特徴とする電磁流量計の
    製造方法。
  18. 【請求項18】水溶液を貯える槽と、前記槽に貯えた水
    溶液を加圧して送給するポンプと、前記ポンプにより加
    圧された水溶液が流動する配管と、前記配管を流動する
    水溶液の流動量を制御するバルブとを備えるプラントに
    おいて、前記ポンプの下流側の配管にセラミックスから
    なる測定管の外周面に溶融・固化させた合金膜を測定電
    極及びシールド電極とした電磁流量計とを配置したこと
    を特徴とするプラント。
  19. 【請求項19】水溶液を貯える槽と、前記槽に貯えた水
    溶液を加圧して送給するポンプと、前記ポンプにより加
    圧された水溶液が流動する配管と、前記配管を流動する
    水溶液の流動量を制御するバルブとを備えるプラントに
    おいて、前記ポンプの下流側の配管に前記バルブを介し
    て結合したボイラと、前記ボイラ結合部の下流側の配管
    にセラミックスで形成された測定管の外周面に溶融・固
    化させた合金膜を測定電極及びシールド電極とした電磁
    流量計とを配置したことを特徴とするプラント。
  20. 【請求項20】請求項18において、前記電磁流量計の
    測定電極及びシールド電極を形成する合金膜がチタンを
    含有した金属、少なくともチタンを1%以上含有した銅
    −銀合金,チタン薄膜とその上に配置した銅−銀合金,
    両表皮層がアルミニウム−シリコン系合金若しくはアル
    ミニウム−シリコン−マグネシウム系合金であり芯材が
    アルミニウム若しくは前記両表皮層を形成する合金より
    液相線温度の高いアルミニウム合金で構成される三層構
    造のアルミニウム材、及び前記測定管に接する層がアル
    ミニウム−シリコン系合金若しくはアルミニウム−シリ
    コン−マグネシウム系合金であり他方の層がアルミニウ
    ム若しくは前記測定管に接する層を形成する合金より液
    相線温度の高いアルミニウム合金で構成される二層構造
    のアルミニウム材のいずれかにより形成されることを特
    徴とするプラント。
  21. 【請求項21】請求項19において、前記電磁流量計の
    測定電極及びシールド電極を形成する合金膜がチタンを
    含有した金属、少なくともチタンを1%以上含有した銅
    −銀合金,チタン薄膜とその上に配置した銅−銀合金,
    両表皮層がアルミニウム−シリコン系合金若しくはアル
    ミニウム−シリコン−マグネシウム系合金であり芯材が
    アルミニウム若しくは前記両表皮層を形成する合金より
    液相線温度の高いアルミニウム合金で構成される三層構
    造のアルミニウム材、及び前記測定管に接する層がアル
    ミニウム−シリコン系合金若しくはアルミニウム−シリ
    コン−マグネシウム系合金であり他方の層がアルミニウ
    ム若しくは前記測定管に接する層を形成する合金より液
    相線温度の高いアルミニウム合金で構成される二層構造
    のアルミニウム材のいずれかにより形成されることを特
    徴とするプラント。
JP01978792A 1992-02-05 1992-02-05 電磁流量計 Expired - Fee Related JP3175261B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP01978792A JP3175261B2 (ja) 1992-02-05 1992-02-05 電磁流量計
US08/012,472 US5400659A (en) 1992-02-05 1993-02-02 Electromagnetic flowmeter and manufacture method of same
DE4303402A DE4303402C2 (de) 1992-02-05 1993-02-05 Elektromagnetischer Durchflußmesser

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP01978792A JP3175261B2 (ja) 1992-02-05 1992-02-05 電磁流量計

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05215582A true JPH05215582A (ja) 1993-08-24
JP3175261B2 JP3175261B2 (ja) 2001-06-11

Family

ID=12009050

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP01978792A Expired - Fee Related JP3175261B2 (ja) 1992-02-05 1992-02-05 電磁流量計

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5400659A (ja)
JP (1) JP3175261B2 (ja)
DE (1) DE4303402C2 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014500479A (ja) * 2010-10-12 2014-01-09 フューチャー テクノロジー(センサーズ)リミテッド センサアセンブリ
CN108507632A (zh) * 2017-02-27 2018-09-07 阿自倍尔株式会社 电磁流量计

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5847286A (en) * 1994-10-07 1998-12-08 Krohne Messtechnik Gmbh & Co. Kg Magnetically inductive flow meter for flowing media
DE4445591C2 (de) * 1994-10-07 1997-10-16 Krohne Messtechnik Kg Magnetisch-induktives Durchflußmeßgerät für strömende Medien
DE10062609B4 (de) * 2000-10-18 2004-02-05 Sensorentechnologie Gettorf Gmbh Sensorsystem
DE10312824B4 (de) * 2003-03-22 2007-04-05 Siemens Flow Instruments A/S Magnetisch-induktiver Durchflußmesser
GB2424955B (en) * 2005-04-09 2008-07-16 Siemens Ag Flow meter with conductive coating
KR20090132348A (ko) * 2008-06-20 2009-12-30 한국기계연구원 자성을 보유하는 사이알론 및 그 제조방법
JP5039650B2 (ja) * 2008-07-01 2012-10-03 株式会社キーエンス 流量計
EP2383548A1 (de) * 2010-04-29 2011-11-02 Zylum Beteiligungsgesellschaft mbH & Co. Patente II KG Messvorrichtung und Verfahren zur Messung der Fließgeschwindigkeit eines ein Messrohr durchfließenden Mediums
CN102322981B (zh) * 2011-06-08 2013-08-14 鹤壁市京申科技实业有限公司 一种交替式电磁射流热量表及其检测方法
JP2015105929A (ja) * 2013-12-02 2015-06-08 株式会社東芝 電磁流量計
US10024707B2 (en) * 2016-02-17 2018-07-17 Schneider Electric Systems Usa, Inc. Electromagnetic flowmeter calibration verification

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3323363A (en) * 1964-10-21 1967-06-06 Fischer & Porter Gmbh Inductive flowmeter
US3750468A (en) * 1971-04-08 1973-08-07 Fischer & Porter Co Lined flow tube for electromagnetic flowmeter
US4631969A (en) * 1977-02-23 1986-12-30 Fischer & Porter Company Capacitance-type electrode assemblies for electromagnetic flowmeter
US4513624A (en) * 1983-01-20 1985-04-30 The Foxboro Company Capacitively-coupled magnetic flowmeter
DE3364847D1 (en) * 1983-03-23 1986-09-04 Rheometron Ag Pick-up device for magneto-inductive flow meters
DE8310394U1 (de) * 1983-04-09 1984-08-23 Rheometron AG, Basel Messwertaufnehmer fuer magnetisch-induktive durchflussmessgeraete
US4539835A (en) * 1983-10-28 1985-09-10 Control Data Corporation Calibration apparatus for capacitance height gauges
DE3545155C2 (de) * 1984-12-26 1994-03-10 Toshiba Kawasaki Kk Elektromagnetisches Durchflußmeßgerät
US4782709A (en) * 1985-08-19 1988-11-08 Yamatake-Honeywell Co., Ltd. Electromagnetic flowmeter
DE8524172U1 (ja) * 1985-08-23 1987-01-08 Rheometron Ag, Basel, Ch
US4785672A (en) * 1986-02-14 1988-11-22 Fischer & Porter Co. Printed circuit capacitance electrodes
US4658652A (en) * 1986-02-14 1987-04-21 Fischer & Porter Co. Electromagnetic flowmeter with capacitance type electrodes
EP0274768A1 (en) * 1986-11-25 1988-07-20 Pumptech N.V. Electromagnetic flowmeter for conductive and dielectric fluids and its applications in particular in oilfield
JPH0619285B2 (ja) * 1987-10-23 1994-03-16 株式会社日立製作所 外筒を有するセラミック導管
JPH01136025A (ja) * 1987-11-20 1989-05-29 Sumitomo Cement Co Ltd 磁気誘導型流量測定用検出管およびその製造方法
US4912838A (en) * 1987-12-25 1990-04-03 Yamatake-Honeywell Co., Ltd. Method of manufacturing electrode for electromagnetic flowmeter
US5289725A (en) * 1991-07-31 1994-03-01 The Foxboro Company Monolithic flow tube with improved dielectric properties for use with a magnetic flowmeter

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014500479A (ja) * 2010-10-12 2014-01-09 フューチャー テクノロジー(センサーズ)リミテッド センサアセンブリ
US9372204B2 (en) 2010-10-12 2016-06-21 Future Technology (Sensors) Ltd Sensor assemblies
CN108507632A (zh) * 2017-02-27 2018-09-07 阿自倍尔株式会社 电磁流量计

Also Published As

Publication number Publication date
JP3175261B2 (ja) 2001-06-11
DE4303402C2 (de) 1999-08-12
US5400659A (en) 1995-03-28
DE4303402A1 (en) 1993-08-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH05215582A (ja) 電磁流量計及びその製造方法
JP2695327B2 (ja) 圧力センサ
IE904277A1 (en) Pressure Sensor and Method Manufacturing same
JP3819537B2 (ja) 電気抵抗温度センサー
JP4136648B2 (ja) 異種材料接合体及びその製造方法
JPH08277173A (ja) セラミックスの接合構造およびその製造方法
US3339267A (en) Metallizing non-metals
US20230321766A1 (en) Nickel-Carbon And Nickel-Cobalt-Carbon Brazes And Brazing Processes For Joining Ceramics And Metals And Semiconductor Processing And Industrial Equipment Using Same
RU2591867C2 (ru) Изделие, имеющее фланец, способ изготовления такого изделия и способ изготовления изделия, содержащего элемент, имеющий фланец
US5998041A (en) Joined article, a process for producing said joined article, and a brazing agent for use in producing such a joined article
JPS593079B2 (ja) 超音波プロ−ブ
JP3312752B2 (ja) 薄膜サーミスタ
JP2010111523A (ja) 通電体を内蔵するセラミックス部材とその製造方法
US5670723A (en) Isolated liner for an electromagnetic flowmeter
JPH04351925A (ja) 電磁流量計
JP4911702B2 (ja) 圧力センサ
JP4454505B2 (ja) ウェハ支持部材
US5302580A (en) Oxide superconductor lamination
JPH07265673A (ja) 金属被覆セラミックスと金属との接合体およびそれを用いた水素ガス分離装置
JP2008145244A (ja) 熱電対
JP2518962B2 (ja) セラミックスヒ―タ―
JPS5860232A (ja) 圧力または差圧伝送器
JP3941542B2 (ja) セラミックスと金属の気密接合構造及び該構造を有する装置部品
Borbidge et al. A review of the reaction bonding technique for joining ceramics to metals
JPS5855762A (ja) 熱線式流量計用発熱抵抗体

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees