JPH0619285B2 - 外筒を有するセラミック導管 - Google Patents
外筒を有するセラミック導管Info
- Publication number
- JPH0619285B2 JPH0619285B2 JP62267757A JP26775787A JPH0619285B2 JP H0619285 B2 JPH0619285 B2 JP H0619285B2 JP 62267757 A JP62267757 A JP 62267757A JP 26775787 A JP26775787 A JP 26775787A JP H0619285 B2 JPH0619285 B2 JP H0619285B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conduit
- joining
- ring
- ceramic
- outer cylinder
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L49/00—Connecting arrangements, e.g. joints, specially adapted for pipes of brittle material, e.g. glass, earthenware
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/56—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects
- G01F1/58—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/18—Supports or connecting means for meters
- G01F15/185—Connecting means, e.g. bypass conduits
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、外筒を有するセラミツク導管に係り、特にセ
ラミツク製導管と金属性外筒の接合において、接合部に
十分な強度が得られる接合方法に関する。
ラミツク製導管と金属性外筒の接合において、接合部に
十分な強度が得られる接合方法に関する。
外筒を有するセラミツク導管は、電磁流量検出器に使用
されるが、従来の装置は、特開昭61−124823号に記載の
ように、セラミツク製導管を有した電磁流量計に関し、
形状および構造に対する検討はなされていたが、導管と
金属性外筒の接合部に人の登り降によつて生ずる集中荷
重や、温度・圧力の変動によつて生ずる低サイクル疲労
に対する考慮がなされていなかつた。また、高温・高圧
下における磁気回路収納部を外気から遮断する気密性も
低かつた。
されるが、従来の装置は、特開昭61−124823号に記載の
ように、セラミツク製導管を有した電磁流量計に関し、
形状および構造に対する検討はなされていたが、導管と
金属性外筒の接合部に人の登り降によつて生ずる集中荷
重や、温度・圧力の変動によつて生ずる低サイクル疲労
に対する考慮がなされていなかつた。また、高温・高圧
下における磁気回路収納部を外気から遮断する気密性も
低かつた。
上記従来技術は、セラミツク製導管と金属性外筒の接合
において、接合プロセス上の前処理や接合条件が複雑で
あり、接合部の強度信頼性が一般に低いという問題や、
電磁流量計検出器が配管に設置される場合の使用温度，
圧力や形状に制約されるといつた問題があつた。その一
例を下記に示す。
において、接合プロセス上の前処理や接合条件が複雑で
あり、接合部の強度信頼性が一般に低いという問題や、
電磁流量計検出器が配管に設置される場合の使用温度，
圧力や形状に制約されるといつた問題があつた。その一
例を下記に示す。
(1) 焼ばめなどの機械的方法では、一定の締め代を得る
ため、両者の加工精度が要求される。また組み込み作業
は約３００〜６００℃といつた高温下で速やかに完了し
なければならず、生産性に劣る。また、使用温度範囲内
で温度がダイナミツクに変化すると、接合プロセスの逆
で、両者間に隙間がが生じ、外気と磁気回路収納部の気
密性は低下する。
ため、両者の加工精度が要求される。また組み込み作業
は約３００〜６００℃といつた高温下で速やかに完了し
なければならず、生産性に劣る。また、使用温度範囲内
で温度がダイナミツクに変化すると、接合プロセスの逆
で、両者間に隙間がが生じ、外気と磁気回路収納部の気
密性は低下する。
(2) Ｏリングなどの機械的方法では、上記(1) 項と同じ
ように、加工精度が要求されると、高温・低温の変化が
かかる環境下では、Ｏリング材の劣化が進行し、気密性
が低下する。
ように、加工精度が要求されると、高温・低温の変化が
かかる環境下では、Ｏリング材の劣化が進行し、気密性
が低下する。
(3) 有機あるいは無機接着剤による接着では、上記(2)
項と同じであり、さらに接合部の強度および気密性は、
まさに接着剤自体の材料強さに依存する。
項と同じであり、さらに接合部の強度および気密性は、
まさに接着剤自体の材料強さに依存する。
(4) メタライズなどの化学的方法では、接合プロセス上
の前処理や接合条件が複雑であり、接合強度は、セラミ
ツク表面を金属化（メタライズ）した材料に依存するた
め、一般に低い。
の前処理や接合条件が複雑であり、接合強度は、セラミ
ツク表面を金属化（メタライズ）した材料に依存するた
め、一般に低い。
本発明の目的は、セラミツク製導管と金属性外筒の接合
強度を確保し、生産性を向上させ、小型・軽量化を図つ
た外筒を有するセラミツク導管を提供することにある。
強度を確保し、生産性を向上させ、小型・軽量化を図つ
た外筒を有するセラミツク導管を提供することにある。
上記問題点は、両端面を有するセラミツクの導管と、該
導管が貫通し前記両端面近傍にそれぞれ設けられた金属
の端板と、それぞれの該端板を接続する外筒によつて構
成される外筒を有するセラミツクス導管において、前記
導管の両端近傍外周にそれぞれセラミツクの接合用円板
を設け、前記端板は、その貫通部内径部が該接合用円板
外径部と嵌合し、前記両端面側の面が該接合用円板の前
記両端面側の面より該両端面側へ突出するように前記外
筒で接続し、前記端板の突出部と前記接合用円板の前記
両端面側の面と前記導管の外周面で形成される円環状空
間に、その円環状空間の内径部と前記接合用円板の前記
両端面側の面に第１金属板を付着し、該第１金属板より
硬質の第２金属よりなる接合リングを挿入し、該接合リ
ングの外径部を前記端板内径部と前記両端面側で溶接接
合した外筒を有するセラミツク導管により解決される。
導管が貫通し前記両端面近傍にそれぞれ設けられた金属
の端板と、それぞれの該端板を接続する外筒によつて構
成される外筒を有するセラミツクス導管において、前記
導管の両端近傍外周にそれぞれセラミツクの接合用円板
を設け、前記端板は、その貫通部内径部が該接合用円板
外径部と嵌合し、前記両端面側の面が該接合用円板の前
記両端面側の面より該両端面側へ突出するように前記外
筒で接続し、前記端板の突出部と前記接合用円板の前記
両端面側の面と前記導管の外周面で形成される円環状空
間に、その円環状空間の内径部と前記接合用円板の前記
両端面側の面に第１金属板を付着し、該第１金属板より
硬質の第２金属よりなる接合リングを挿入し、該接合リ
ングの外径部を前記端板内径部と前記両端面側で溶接接
合した外筒を有するセラミツク導管により解決される。
上記構成において、円環状空間に、その内径部と接合用
円板の前記両端面側の面に第１金属板を付着し、該第１
金属板より硬質の第２金属よりなる接合リングを挿入
し、該リングの外径部を前記端板内径部と前記両端面側
で溶接接合しているので、第２金属より軟質な第１金属
の存在により、接合リングを前記円環状空間に挿入する
に際し、接合リングの外径と端板内径との寸法精度を厳
しく管理しなくとも第２金属の変形で吸収して、密なは
め合いを実現し、金属性端板とセラミック導管の間に生
じる熱膨張係数の差による熱応力、振動に代表される繰
り返し荷重も第１金属の変形で吸収する。
円板の前記両端面側の面に第１金属板を付着し、該第１
金属板より硬質の第２金属よりなる接合リングを挿入
し、該リングの外径部を前記端板内径部と前記両端面側
で溶接接合しているので、第２金属より軟質な第１金属
の存在により、接合リングを前記円環状空間に挿入する
に際し、接合リングの外径と端板内径との寸法精度を厳
しく管理しなくとも第２金属の変形で吸収して、密なは
め合いを実現し、金属性端板とセラミック導管の間に生
じる熱膨張係数の差による熱応力、振動に代表される繰
り返し荷重も第１金属の変形で吸収する。
以下、本発明の第１実施例を第１図〜第４図を用いて詳
細に説明する。
細に説明する。
第１図は、本発明になる電磁流量計検出器を示し、１は
測定流体を通すセラミツク製（例えば、Ａｌ2Ｏ3など）
導管、２ａ，２ｂは導管に取り付けた流量信号を検出す
る１対の電極、３ａ，３ｂは導管との接合面に活性な軟
質金属であるＡｌ合金を挿入して固相接合した金属性リ
ング、４ａ，４ｂは励磁コイル、５ａ，５ｂはボビン、
６ａ，６ｂはポールピース、７ａ，７ｂは補助ヨーク
で、測定流体が通る導管１に効果的に磁界を作る磁極、
８は主ヨークを兼ねる端板、９は上記磁界発生装置の防
水性を確保して収納するケース（配線の中継端子または
変換器など）、１０は両端端板８を接続する外筒、１１
ａ，１１ｂは測定流体中の流体電流を接地線を経由して
大地にバイパスさせ、ノイズの影響を低減し、信号電圧
に対する接地電位を与えるアースリング、１３ａ，１３
ｂは接地配線フランジ、１４はボルト、１５はナツト、
１２ａ，１２ｂは配管に本電磁流量計検出器を挟み込ん
で取り付けた場合、液洩れを防止するガスケツトであ
り、これらで電磁流量計検出器を構成している。第２図
は、第１実施例のセラミツク製導管１と金属性リング３
ａ，３ｂおよび端板８の接合を示す詳細図である。第３
図は、固相接合のプロセスを示す図である。
測定流体を通すセラミツク製（例えば、Ａｌ2Ｏ3など）
導管、２ａ，２ｂは導管に取り付けた流量信号を検出す
る１対の電極、３ａ，３ｂは導管との接合面に活性な軟
質金属であるＡｌ合金を挿入して固相接合した金属性リ
ング、４ａ，４ｂは励磁コイル、５ａ，５ｂはボビン、
６ａ，６ｂはポールピース、７ａ，７ｂは補助ヨーク
で、測定流体が通る導管１に効果的に磁界を作る磁極、
８は主ヨークを兼ねる端板、９は上記磁界発生装置の防
水性を確保して収納するケース（配線の中継端子または
変換器など）、１０は両端端板８を接続する外筒、１１
ａ，１１ｂは測定流体中の流体電流を接地線を経由して
大地にバイパスさせ、ノイズの影響を低減し、信号電圧
に対する接地電位を与えるアースリング、１３ａ，１３
ｂは接地配線フランジ、１４はボルト、１５はナツト、
１２ａ，１２ｂは配管に本電磁流量計検出器を挟み込ん
で取り付けた場合、液洩れを防止するガスケツトであ
り、これらで電磁流量計検出器を構成している。第２図
は、第１実施例のセラミツク製導管１と金属性リング３
ａ，３ｂおよび端板８の接合を示す詳細図である。第３
図は、固相接合のプロセスを示す図である。
第２図に示すセラミツク製導管１は、配管取り付け時の
ガスケツト１２ａ，１２ｂ締め付け荷重を最小とする目
的と、この荷重が固相接合部へは伝達せぬよう両端面を
ライズフエイスフランジの形状にし、この根元の部に応
力集中防止用のＲを付けておく。金属性リング３ａ，３
ｂと導管１の接合面には、活性でセラミツクと良好な濡
れ性を示す軟質金属であるＡｌ合金インサート材１６を
挿入する。このＡｌ合金層の厚みは、接合強度を左右す
るため、導管１のフランジの大きさに合わせて約０．５
〜２mmの間で選定する。このとき、固相接合面は導管１
の管軸にほぼ垂直な位置に設ける。そして、これらを第
３図に示すごとく、真空中もしくは不活性ガス雰囲気中
（Ｎ２，Ａｒなど）で、加熱・加圧をする１工程で行
う。ここで、Ａｌ合金インサート材は、第４図のよう
に、心材が純Ａｌで、その両表皮をＡｌ−１０％Ｓｉ合
金でクラツドした３層構造としてある。加熱温度は、Ａ
ｌ−Ｓｉ層が溶融状態、心材の純Ａｌは固相状態となる
６００℃付近のセラミツクと金属を接合する技術中では
比較的低温で行い、圧力は０．５〜１．０kgf／mm2の比
較的小さい圧力で、約１０〜３０分間といつた短時間で
接合が完了する。そして、室温に戻した場合の熱応力
は、溶けないＡｌ層の塑性変形を利用して緩和する。こ
の結果、固相接合部の接合強度は、周囲温度３００℃ま
で３０kgf／mm2を確保でき、合わせて気密性はＨｅリー
ク速度１０-8Torr・ｌ／ｓ以下が得られる。次に、端板
８は第２図のφＤに示す寸法で導管１のフランジ部が、
中間または隙間ばめになる寸法にし、さらに第１図に示
すごとく組み立てたのち、金属性リング３ａ，３ｂと溶
接する際、上記固相接合部への熱伝達が３００℃以下に
なるよう導管１の管軸方向に凹部を大きくとり、反面半
径方向の厚みは端板８および金属性リング３ａ，３ｂと
も１mm程度の薄肉（第２図のｔ1≒ｔ2）にしたリツプ形
状にする。この結果、溶接時の熱変形量を極小化できる
一方、検出器に人が登り降りしたときの集中荷重に対
し、端板８がφＤまで変形し、断面が楕円となつた場合
は、リツプが支配的に塑性変形し、それ以後は圧力強さ
の大きいセラミツク導管１のフランジ外周面がストツパ
となる堅牢な形状を得ることができる。
ガスケツト１２ａ，１２ｂ締め付け荷重を最小とする目
的と、この荷重が固相接合部へは伝達せぬよう両端面を
ライズフエイスフランジの形状にし、この根元の部に応
力集中防止用のＲを付けておく。金属性リング３ａ，３
ｂと導管１の接合面には、活性でセラミツクと良好な濡
れ性を示す軟質金属であるＡｌ合金インサート材１６を
挿入する。このＡｌ合金層の厚みは、接合強度を左右す
るため、導管１のフランジの大きさに合わせて約０．５
〜２mmの間で選定する。このとき、固相接合面は導管１
の管軸にほぼ垂直な位置に設ける。そして、これらを第
３図に示すごとく、真空中もしくは不活性ガス雰囲気中
（Ｎ２，Ａｒなど）で、加熱・加圧をする１工程で行
う。ここで、Ａｌ合金インサート材は、第４図のよう
に、心材が純Ａｌで、その両表皮をＡｌ−１０％Ｓｉ合
金でクラツドした３層構造としてある。加熱温度は、Ａ
ｌ−Ｓｉ層が溶融状態、心材の純Ａｌは固相状態となる
６００℃付近のセラミツクと金属を接合する技術中では
比較的低温で行い、圧力は０．５〜１．０kgf／mm2の比
較的小さい圧力で、約１０〜３０分間といつた短時間で
接合が完了する。そして、室温に戻した場合の熱応力
は、溶けないＡｌ層の塑性変形を利用して緩和する。こ
の結果、固相接合部の接合強度は、周囲温度３００℃ま
で３０kgf／mm2を確保でき、合わせて気密性はＨｅリー
ク速度１０-8Torr・ｌ／ｓ以下が得られる。次に、端板
８は第２図のφＤに示す寸法で導管１のフランジ部が、
中間または隙間ばめになる寸法にし、さらに第１図に示
すごとく組み立てたのち、金属性リング３ａ，３ｂと溶
接する際、上記固相接合部への熱伝達が３００℃以下に
なるよう導管１の管軸方向に凹部を大きくとり、反面半
径方向の厚みは端板８および金属性リング３ａ，３ｂと
も１mm程度の薄肉（第２図のｔ1≒ｔ2）にしたリツプ形
状にする。この結果、溶接時の熱変形量を極小化できる
一方、検出器に人が登り降りしたときの集中荷重に対
し、端板８がφＤまで変形し、断面が楕円となつた場合
は、リツプが支配的に塑性変形し、それ以後は圧力強さ
の大きいセラミツク導管１のフランジ外周面がストツパ
となる堅牢な形状を得ることができる。
以上、本発明の第１実施例を説明してきたが、すでに述
べた固相接合は酸化物系セラミツクのみならず、酸化珪
素，炭化珪素，サイアロンなどの非酸化物系セラミツク
も使用可能ということは明白である。また、実施例に記
載した接合条件や接合強度は、異なるセラミツクおよび
インサート材により変わることも明白である。
べた固相接合は酸化物系セラミツクのみならず、酸化珪
素，炭化珪素，サイアロンなどの非酸化物系セラミツク
も使用可能ということは明白である。また、実施例に記
載した接合条件や接合強度は、異なるセラミツクおよび
インサート材により変わることも明白である。
第５図は、本発明の第２実施例で、電磁流量計検出器の
呼び径が比較的大きい場合の端板が円筒形のものを示す
が、接合プロセスおよび接合強度は、第１実施例と同等
のものが得られる。
呼び径が比較的大きい場合の端板が円筒形のものを示す
が、接合プロセスおよび接合強度は、第１実施例と同等
のものが得られる。
第５図の符号で第１図と同一のものは同一のものを表わ
す。すなわち、１は測定流体を通すセラミツク製（例え
ば、Ａｌ2Ｏ3など）導管、２ａ，２ｂは導管に取り付け
た流量信号を検出する一対の電極、３ａ，３ｂは導管と
の接合面に活性な軟質金属であるＡｌ合金を挿入して固
相接合した金属性リング、４ａ，４ｂは励磁コイル、７
ａ，７ｂは補助ヨークで、測定流体が通る導管１に効果
的に磁界を作る磁極、８は主ヨークを兼ねる端板、９は
上記磁界発生装置の防水性を確保して収納するケース
（配線の中継端子または変換器など）、１０は両端端板
８を接続する外筒、１１ａ，11ｂは測定流体中の流体電
流を接地線を経由して大地にバイパスさせ、ノイズの影
響を低減し、信号電圧に対する接地電位を与えるアース
リング、13ａ，１３ｂは接地配管フランジ、１４はボル
ト、１５はナツト、１２ａ，１２ｂは配管に本電磁流量
計検出器を挟み込んで取り付けた場合、液洩れを防止す
るガスケツトであり、これらで電磁流量計検出器を構成
している。
す。すなわち、１は測定流体を通すセラミツク製（例え
ば、Ａｌ2Ｏ3など）導管、２ａ，２ｂは導管に取り付け
た流量信号を検出する一対の電極、３ａ，３ｂは導管と
の接合面に活性な軟質金属であるＡｌ合金を挿入して固
相接合した金属性リング、４ａ，４ｂは励磁コイル、７
ａ，７ｂは補助ヨークで、測定流体が通る導管１に効果
的に磁界を作る磁極、８は主ヨークを兼ねる端板、９は
上記磁界発生装置の防水性を確保して収納するケース
（配線の中継端子または変換器など）、１０は両端端板
８を接続する外筒、１１ａ，11ｂは測定流体中の流体電
流を接地線を経由して大地にバイパスさせ、ノイズの影
響を低減し、信号電圧に対する接地電位を与えるアース
リング、13ａ，１３ｂは接地配管フランジ、１４はボル
ト、１５はナツト、１２ａ，１２ｂは配管に本電磁流量
計検出器を挟み込んで取り付けた場合、液洩れを防止す
るガスケツトであり、これらで電磁流量計検出器を構成
している。
本発明によれば、セラミツクの導管と該導管を貫通して
設けられた金属の端板との接合部の円環状空間に、軟金
属を介して接合リングを挿入することにより、接合部の
はめ合い加工精度を高くすることなく接合リングの挿入
を可能にするので、加工費用が低減され、上記接合部に
熱応力による荷重，繰り返し荷重等が加わつても、上記
軟金属の変形でこれらの荷重を吸収するので、接合部構
造の健全性が維持でき、長期にわたり安定した接合部構
造を得ることができる。
設けられた金属の端板との接合部の円環状空間に、軟金
属を介して接合リングを挿入することにより、接合部の
はめ合い加工精度を高くすることなく接合リングの挿入
を可能にするので、加工費用が低減され、上記接合部に
熱応力による荷重，繰り返し荷重等が加わつても、上記
軟金属の変形でこれらの荷重を吸収するので、接合部構
造の健全性が維持でき、長期にわたり安定した接合部構
造を得ることができる。
第１図は本発明の第１実施例を示す電磁流量計検出器の
縦断面図、第２図は第１図に示す接合部の拡大図、第３
図は固相接合プロセスの説明図、第４図はＡｌ合金イン
サート材の説明図、第５図は本発明の他の実施例を示す
電磁流量計検出器の縦断面図を示す。 １……セラミツク製導管、３ａ，３ｂ……金属性リン
グ、８……端板、１０……外筒、１６……インサート
材。
縦断面図、第２図は第１図に示す接合部の拡大図、第３
図は固相接合プロセスの説明図、第４図はＡｌ合金イン
サート材の説明図、第５図は本発明の他の実施例を示す
電磁流量計検出器の縦断面図を示す。 １……セラミツク製導管、３ａ，３ｂ……金属性リン
グ、８……端板、１０……外筒、１６……インサート
材。
Claims (4)
- 【請求項１】両端面を有するセラミックの導管と、該導
管が貫通し前記両端面近傍にそれぞれ設けられた金属の
端板と、それぞれの該端板を接続する外筒によって構成
される外筒を有するセラミック導管において、前記導管
の両端近傍外周にそれぞれセラミックの接合用円板を設
け、前記端板は、その貫通部内径部が該接合用円板外径
部と嵌合し、前記両端面側の面が該接合用円板の前記両
端面側の面より該両端面側へ突出するように前記外筒で
接続し、前記端板の突出部と前記接合用円板の前記両端
面側の面と前記導管の外周面で形成される円環状空間
に、その円環状空間の内径部と前記接合用円板の前記両
端面側の面に第１金属板を付着し、該第１金属板より硬
質の第２金属よりなる接合リングを挿入し、該接合リン
グの外径部を前記端板内径部と前記両端面側で溶接接合
したことを特徴とする外筒を有するセラミック導管。 - 【請求項２】前記第１金属板はセラミックと良好な濡れ
性を有する軟質金属であることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の外筒を有するセラミック導管。 - 【請求項３】前記接合リングの形状をその外径より中心
側に所定距離はなれた位置を外径とし、一方の側面を該
接合リングの前記両端面側の側面の一部とする第１リン
グを削除した形状とし、前記端板の形状をその内径より
外径側に前記所定距離とほぼ同じ距離はなれた位置を内
径とし、一方の側面を該端板の前記両端面側に側面の一
部とする第２リングを削除した形状としたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項または第２項記載の外筒を有
するセラミック導管。 - 【請求項４】前記接合リングを加熱すると共に加圧して
挿入することを特徴とする特許請求の範囲第１項〜第３
項のいずれかに記載の外筒を有するセラミック導管。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62267757A JPH0619285B2 (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 | 外筒を有するセラミック導管 |
| US07/259,321 US4914950A (en) | 1987-10-23 | 1988-10-18 | Ceramic conduit assembly with metal outer tube |
| DE3835972A DE3835972A1 (de) | 1987-10-23 | 1988-10-21 | Keramische leitungsvorrichtung mit einem metallenen aussenrohr |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62267757A JPH0619285B2 (ja) | 1987-10-23 | 1987-10-23 | 外筒を有するセラミック導管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01110219A JPH01110219A (ja) | 1989-04-26 |
| JPH0619285B2 true JPH0619285B2 (ja) | 1994-03-16 |
Family
ID=17449163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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