JPH04290919A - 電磁流量計の測定管 - Google Patents
電磁流量計の測定管Info
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- JPH04290919A JPH04290919A JP5631491A JP5631491A JPH04290919A JP H04290919 A JPH04290919 A JP H04290919A JP 5631491 A JP5631491 A JP 5631491A JP 5631491 A JP5631491 A JP 5631491A JP H04290919 A JPH04290919 A JP H04290919A
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 16
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims description 5
- 239000011195 cermet Substances 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 claims 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 15
- 230000035882 stress Effects 0.000 abstract description 12
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 abstract description 8
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 abstract 1
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000007767 bonding agent Substances 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 229910000856 hastalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電磁流量計の測定管に係
わり、特にシール性に優れた電極部の構造に関する。
わり、特にシール性に優れた電極部の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】電磁流量計は近年測定対象が拡大され、
水だけでなく熱水・薬品・固形物混合流体などに対する
測定需要が高まって来た。これに対応すべく、電磁流量
計測定管も従来の金属管内面にゴムやプラスチックを内
貼りした構造のものから、セラミックパイプを使用した
方式へ移行しつつある。
水だけでなく熱水・薬品・固形物混合流体などに対する
測定需要が高まって来た。これに対応すべく、電磁流量
計測定管も従来の金属管内面にゴムやプラスチックを内
貼りした構造のものから、セラミックパイプを使用した
方式へ移行しつつある。
【0003】セラミックパイプを電磁流量計の測定管と
して使用した公知例として、公表特許公報(昭58−5
01552号)磁気誘導型流量測定装置用測定値検出器
がある。 測定管としてアルミナ(Al2O3)などのセラミック
スを使用する利点としては、耐熱性・耐食性・耐摩耗性
などの特性が優れていることにある。当然セラミック測
定管を使用した電磁流量計は、この種の特性が要求され
る厳しい環境に用いられるため、同測定管上に形成され
る電極部に対しても測定管と同等以上の環境特性が要求
される。
して使用した公知例として、公表特許公報(昭58−5
01552号)磁気誘導型流量測定装置用測定値検出器
がある。 測定管としてアルミナ(Al2O3)などのセラミック
スを使用する利点としては、耐熱性・耐食性・耐摩耗性
などの特性が優れていることにある。当然セラミック測
定管を使用した電磁流量計は、この種の特性が要求され
る厳しい環境に用いられるため、同測定管上に形成され
る電極部に対しても測定管と同等以上の環境特性が要求
される。
【0004】公知例は、1対の電極として白金(Pt)
棒を使用し、未焼成セラミックス(アルミナAl2O3
など)の管体壁面に貫通した穴に前記電極を挿入した後
、両者を高温して焼成せしめたものである。本例はセラ
ミックスが焼成時に収縮し前記電極を締め付けるため、
両者のすき間がなくなり液漏れ防止が図れると共に、電
極部が白金(Pt)のみで構成され他の接合材料を使用
しないため耐食性にも優れているものである。
棒を使用し、未焼成セラミックス(アルミナAl2O3
など)の管体壁面に貫通した穴に前記電極を挿入した後
、両者を高温して焼成せしめたものである。本例はセラ
ミックスが焼成時に収縮し前記電極を締め付けるため、
両者のすき間がなくなり液漏れ防止が図れると共に、電
極部が白金(Pt)のみで構成され他の接合材料を使用
しないため耐食性にも優れているものである。
【0005】しかしながら、従来装置には下記欠点があ
った。
った。
【0006】1.電極部をセラミックスの焼成時収縮で
締め付けるため、焼成後の電極周辺部のセラミックスに
大きな残留応力が生じ易い。
締め付けるため、焼成後の電極周辺部のセラミックスに
大きな残留応力が生じ易い。
【0007】2.電極及び管体とも剛性が高いため、焼
成時に両者の間に傷など欠陥があれば、両者間を均一に
シールするのが困難である。
成時に両者の間に傷など欠陥があれば、両者間を均一に
シールするのが困難である。
【0008】3.本装置を頻繁にヒートサイクルの加わ
る環境で使用すると、両者の締付力が減少しシール性が
低下することがある。
る環境で使用すると、両者の締付力が減少しシール性が
低下することがある。
【0009】4.上記により、シールの歩留りが悪く信
頼性に乏しい。
頼性に乏しい。
【0010】5.電極接合部の剛性が高いため、線膨張
率がほぼ一致した材料で測定管と電極を製作する必要が
あった。
率がほぼ一致した材料で測定管と電極を製作する必要が
あった。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、前記
欠点を防止し、安定したシール性を有する電極部を具備
せる電磁流量計の管体を提供するためにある。
欠点を防止し、安定したシール性を有する電極部を具備
せる電磁流量計の管体を提供するためにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、セラミック管体の一部に対向して設けら
れた1対以上の電極用穴と、該穴に挿入される金属又は
導電性セラミックから成る棒状の電極部を設け、少なく
ともその一方に複数個の環状の突起又は溝を設け、両者
を焼成などの方法により接合せしめたものである。
成するために、セラミック管体の一部に対向して設けら
れた1対以上の電極用穴と、該穴に挿入される金属又は
導電性セラミックから成る棒状の電極部を設け、少なく
ともその一方に複数個の環状の突起又は溝を設け、両者
を焼成などの方法により接合せしめたものである。
【0013】接合後、両者の間には複数個の密接部と空
隙(または低剛性部材で満たされた部分)とを有してい
る。
隙(または低剛性部材で満たされた部分)とを有してい
る。
【0014】
【作用】本構成によれば、管体と電極の間は複数個のシ
ール部と、空隙部などの低剛性部を介して接合されてい
るため、管体の焼成収縮時の残留応力を低減できるとと
もに、使用時の熱応力も低減できる。よって電極部周辺
に発生し易いセラミックのクラックを防止できる。
ール部と、空隙部などの低剛性部を介して接合されてい
るため、管体の焼成収縮時の残留応力を低減できるとと
もに、使用時の熱応力も低減できる。よって電極部周辺
に発生し易いセラミックのクラックを防止できる。
【0015】また、それぞれ独立したシール部が複数段
あり、それぞれが相手側に食い込むので歩留りの良い高
信頼のシールが期待できる。
あり、それぞれが相手側に食い込むので歩留りの良い高
信頼のシールが期待できる。
【0016】一方、焼成後にセラミック管体と電極を接
合(例えば圧入や焼ばめ又はろう付,接着,サーメット
焼付けなどによる)する場合に於いても、複数個のシー
ル部と空隙又は低剛性部を有しているため、両者に発生
する熱応力及び残留応力を低減できると共に、多数段シ
ールによるシール特性向上との相乗効果が期待できる。 また、このように接合剤を使用した場合でも、接合剤が
突起部によってシールされているので、被測定流体に犯
されることがない。更に、接合部に発生する応力が少な
いため、シール特性の劣化が少なく長期間安定して使用
できる。
合(例えば圧入や焼ばめ又はろう付,接着,サーメット
焼付けなどによる)する場合に於いても、複数個のシー
ル部と空隙又は低剛性部を有しているため、両者に発生
する熱応力及び残留応力を低減できると共に、多数段シ
ールによるシール特性向上との相乗効果が期待できる。 また、このように接合剤を使用した場合でも、接合剤が
突起部によってシールされているので、被測定流体に犯
されることがない。更に、接合部に発生する応力が少な
いため、シール特性の劣化が少なく長期間安定して使用
できる。
【0017】
【実施例】次に本発明の実施例を図1〜7に於いて説明
する。
する。
【0018】先ず、図2に於いてセラミック管体を有す
る電磁流量計の要部断面を説明する。
る電磁流量計の要部断面を説明する。
【0019】被測定流体が内面を流れる測定管1はセラ
ミックスよりなり、その中央部には対向せる一対の電極
部2,3(3は手前側のため図示せず)が、前記内部流
体が管外へ漏れないようにシールされ固定されている。 更に前記電極と直交せる方向には1対の電磁石4,5が
保持され両電磁石を貫通する磁束が、前記測定管1を貫
通している。この時、磁束と被測定流体の流れ方向とは
直交している。
ミックスよりなり、その中央部には対向せる一対の電極
部2,3(3は手前側のため図示せず)が、前記内部流
体が管外へ漏れないようにシールされ固定されている。 更に前記電極と直交せる方向には1対の電磁石4,5が
保持され両電磁石を貫通する磁束が、前記測定管1を貫
通している。この時、磁束と被測定流体の流れ方向とは
直交している。
【0020】また、前記測定管1はシール材6,7を介
してケース8に保持されている。
してケース8に保持されている。
【0021】管体の材質は、アルミナ(Al2O3),
ジルコニア(ZrO2),窒化珪素(Si3N4)等が
一般的であり、電極としては白金(Pt),チタン(T
i),ステンレス鋼(SUS304又は316),ハス
テロイ,タングステン(W)などが考えられる。
ジルコニア(ZrO2),窒化珪素(Si3N4)等が
一般的であり、電極としては白金(Pt),チタン(T
i),ステンレス鋼(SUS304又は316),ハス
テロイ,タングステン(W)などが考えられる。
【0022】次に、図3に於いて電極部2,3の詳細断
面を説明する。
面を説明する。
【0023】白金などの耐食性のある高融点材料又は導
電性セラミックスからなる棒状電極11の表面には複数
個の環状突起12a,12b,…12nが形成されてい
る。一方測定管1には、焼成前に電極担当部に管壁を貫
いて穿けられた穴13が形成されている。該穴13に前
記電極を挿入し焼成すると、セラミック管体は10〜2
0%程度収縮し、図1に示す如き形状となる。すなわち
、前記穴13が収縮すると、突起12a,12b,…1
2nが圧縮され、先端が潰れながら穴13の壁面にくい
込み良く密着する。焼成後にも、測定管1と電極11の
間には空隙14a,14b,…14nが残留しているの
で、電極周辺部のセラミック中には過度の残留応力が発
生しない。このためには、環状突起12a,12b,…
12nの高さは、穴13の焼成時収縮量よりも大きいこ
とが必要である。また、前記焼成後の空隙14は、測定
管1と電極11の接合部の剛性を低減するので、使用中
に両者間に発生する熱応力をも緩和する効果がある。従
来は、両者間の残留応力と熱応力によって、電極部周辺
に発生し易かった微少な割れ(マイクロクラック)を防
止できシール性が向上する。
電性セラミックスからなる棒状電極11の表面には複数
個の環状突起12a,12b,…12nが形成されてい
る。一方測定管1には、焼成前に電極担当部に管壁を貫
いて穿けられた穴13が形成されている。該穴13に前
記電極を挿入し焼成すると、セラミック管体は10〜2
0%程度収縮し、図1に示す如き形状となる。すなわち
、前記穴13が収縮すると、突起12a,12b,…1
2nが圧縮され、先端が潰れながら穴13の壁面にくい
込み良く密着する。焼成後にも、測定管1と電極11の
間には空隙14a,14b,…14nが残留しているの
で、電極周辺部のセラミック中には過度の残留応力が発
生しない。このためには、環状突起12a,12b,…
12nの高さは、穴13の焼成時収縮量よりも大きいこ
とが必要である。また、前記焼成後の空隙14は、測定
管1と電極11の接合部の剛性を低減するので、使用中
に両者間に発生する熱応力をも緩和する効果がある。従
来は、両者間の残留応力と熱応力によって、電極部周辺
に発生し易かった微少な割れ(マイクロクラック)を防
止できシール性が向上する。
【0024】次に、他の実施例について説明する。
【0025】図4に他の実施例の電極部詳細図を示す。
【0026】図1,図3と、電極11,環状突起12a
,12b,…12nは共通である。電極相当部に管壁を
貫いて1対の穴15が穿けられた焼成後の測定管16に
前記電極11が焼ばめされている。図1同様突起部12
a,12b,…12nが良く密着してシールする。穴1
5と電極11の間には複数個の空隙間17が有り、第3
図と同様に、残留応力と熱応力を緩和している。
,12b,…12nは共通である。電極相当部に管壁を
貫いて1対の穴15が穿けられた焼成後の測定管16に
前記電極11が焼ばめされている。図1同様突起部12
a,12b,…12nが良く密着してシールする。穴1
5と電極11の間には複数個の空隙間17が有り、第3
図と同様に、残留応力と熱応力を緩和している。
【0027】更に図5に他の実施例を示す。
【0028】構成は図4と同一であるが、両者をろう付
,接着剤又はサーメット18にて固定したものである。 やはり複数個の空隙17(又はろう材又は接着剤が軟質
の場合は、これらで満たされても同等の効果が期待でき
る)が確保される。この場合でも突起部と穴内面は密接
している。
,接着剤又はサーメット18にて固定したものである。 やはり複数個の空隙17(又はろう材又は接着剤が軟質
の場合は、これらで満たされても同等の効果が期待でき
る)が確保される。この場合でも突起部と穴内面は密接
している。
【0029】また、穴13又14の穴の内面を電極11
と同一又は近似した材料でメタライズして置くと更にシ
ール性の向上が期待できる。
と同一又は近似した材料でメタライズして置くと更にシ
ール性の向上が期待できる。
【0030】電極と測定管と同時焼成する場合、突起の
高さは穴の収縮量よりも大きくする必要が有り、焼成後
の測定管に電極を挿入する場合は線膨張率と締代を考慮
すれば良い。
高さは穴の収縮量よりも大きくする必要が有り、焼成後
の測定管に電極を挿入する場合は線膨張率と締代を考慮
すれば良い。
【0031】また、突起は溝でも類似効果は期待できる
。更に、突起又は溝は穴の方に設けても良く、両者に設
ける事も考えられるが、本実施例の如く電極側に設ける
のが最も容易である。
。更に、突起又は溝は穴の方に設けても良く、両者に設
ける事も考えられるが、本実施例の如く電極側に設ける
のが最も容易である。
【0032】また、突起は図6の如き形状でも良く、応
力緩和効果が更に高くなる。(高価になる。)更に、図
7の如く複数個のリング19を電極の周囲に取り付ける
方法でも良い。
力緩和効果が更に高くなる。(高価になる。)更に、図
7の如く複数個のリング19を電極の周囲に取り付ける
方法でも良い。
【0033】また、本実施例の2つ以上を組合せて使用
することも可能である。
することも可能である。
【0034】
【発明の効果】本発明によれば次の効果がある。
【0035】1.測定管に発生する残留応力及び熱応力
を緩和できるので、測定管の強度が増す。
を緩和できるので、測定管の強度が増す。
【0036】2.上記により、測定管の電極周辺部に発
生するクラックを防止できシール性が向上する。(劣化
を防止できる。) 3.密着部が複数段存在するので、シールの安定度(歩
留り)が向上する。
生するクラックを防止できシール性が向上する。(劣化
を防止できる。) 3.密着部が複数段存在するので、シールの安定度(歩
留り)が向上する。
【0037】4.接合剤が、流体に接しない(流体に最
も近い密接部でシールされるため)ので、接合部が腐食
性流体に犯されないので接合部のシール性劣化が少ない
。
も近い密接部でシールされるため)ので、接合部が腐食
性流体に犯されないので接合部のシール性劣化が少ない
。
【0038】5.突起部の先端は剛性が低いので、密接
する相手側の形状になじみ易くシール性が向上する。
する相手側の形状になじみ易くシール性が向上する。
【0039】6.1項により線膨張係数に差がある材料
で測定管と電極の組合せが可能となり、材料選定の自由
度が増した。
で測定管と電極の組合せが可能となり、材料選定の自由
度が増した。
【図1】組立後の状態を示す断面図である。
【図2】本発明の電磁流量計の要部断面図である。
【図3】本発明の電極と電極用穴を示す詳細断面図であ
る。
る。
【図4】図1の他の実施例を示す断面図である。
【図5】図1の他の実施例を示す断面図である。
【図6】図3の他の実施例を示す断面図である。
【図7】図3の他の実施例を示す断面図である。
1…測定管、2,3…電極部、11…電極、12a,1
2b…12n…突起部、13…穴、14a,14b…1
4n…空隙。
2b…12n…突起部、13…穴、14a,14b…1
4n…空隙。
Claims (6)
- 【請求項1】磁界中に配置された測定管中を流れる導電
性を有する被測定流体中に発生する起電力を1対以上の
電極を介して取出し流量測定せしめる電磁流量計に於い
て、前記測定管と電極の間に複数個の空隙又は軟質部と
、複数個の密接部とを有したことを特徴とする電磁流量
計の測定管。 - 【請求項2】請求項1に於いて、複数個の空隙と密接部
はセラミックスからなる測定管の壁面を貫通せる穴、又
は該穴に挿入される金属又はセラミックなどからなる高
融点の棒状電極の少とも一方の外周面に設けられた環状
の突起又は溝によって形成されることを特徴とする電極
流量計の測定管。 - 【請求項3】請求項2に於いて、複数個の空隙と密接部
は、未焼成又は半焼成の測定管の貫通穴に電極を挿入後
両者を焼成したことを特徴とする電磁流量計の測定管。 - 【請求項4】請求項2に於いて、複数個の空隙と密接部
は、焼成後の測定管の穴に電極を圧入,焼ばめ又は冷し
ばめによって固定することにより形成されたことを特徴
とする電磁流量計の測定管。 - 【請求項5】請求項2に於いて、複数個の空隙と密接部
は、焼成後の測定管の穴に電極をろう付,接着又はサー
メット焼付けによって固定することにより形成されたこ
とを特徴とする電磁流量計の測定管。 - 【請求項6】請求項2に於いて、測定管の壁面を貫通せ
る穴の内面は、電極又はろう材と同一又は親和性の有る
材料でメタライズされていることを特徴とする電磁流量
計の測定管。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5631491A JPH04290919A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 電磁流量計の測定管 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5631491A JPH04290919A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 電磁流量計の測定管 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04290919A true JPH04290919A (ja) | 1992-10-15 |
Family
ID=13023697
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5631491A Pending JPH04290919A (ja) | 1991-03-20 | 1991-03-20 | 電磁流量計の測定管 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04290919A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5955681A (en) * | 1995-10-18 | 1999-09-21 | Hafner; Peter | Galvanic electrode of an electromagnetic flow meter |
-
1991
- 1991-03-20 JP JP5631491A patent/JPH04290919A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5955681A (en) * | 1995-10-18 | 1999-09-21 | Hafner; Peter | Galvanic electrode of an electromagnetic flow meter |
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