JPH035525B2 - - Google Patents
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- JPH035525B2 JPH035525B2 JP18140683A JP18140683A JPH035525B2 JP H035525 B2 JPH035525 B2 JP H035525B2 JP 18140683 A JP18140683 A JP 18140683A JP 18140683 A JP18140683 A JP 18140683A JP H035525 B2 JPH035525 B2 JP H035525B2
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- Japan
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- electrode
- bush
- electromagnetic flowmeter
- conductive
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/56—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects
- G01F1/58—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters
- G01F1/584—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters constructions of electrodes, accessories therefor
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、電磁流量計に係り、特に管路に絶縁
性のライニング材を有しない電磁流量計に使用し
て有用な発明に関する。
性のライニング材を有しない電磁流量計に使用し
て有用な発明に関する。
〈従来の技術〉
電磁流量計は一般に流量に対応して管路内に発
生した流量信号が導電性の管路で短絡されるのを
防ぐために管路の内面を絶縁性のライニング材で
被覆している。しかし、最近はライニング材の変
形による事故防止、コスト低減等の観点からライ
ニングのない電磁流量計が提案されている。
生した流量信号が導電性の管路で短絡されるのを
防ぐために管路の内面を絶縁性のライニング材で
被覆している。しかし、最近はライニング材の変
形による事故防止、コスト低減等の観点からライ
ニングのない電磁流量計が提案されている。
かかる従来の電磁流量計の実施例を第１図に示
す。第１図では本発明の改良のベースとなる従来
の電磁流量計の流量信号を検出する電極付近の構
造のみを示す。１は流量信号を検出する電極であ
り、この外側にセラミツクのブツシユ２が配設さ
れている。ブツシユ２の外側にはカラー３が配設
され、これらの電極１、ブツシユ２およびカラー
３でもつて電極部４を構成している。導電性管路
５には電極ボス６が溶接されており、電極ボス６
の導電性管路５に対して外側の部分にはネジが切
つてある。このネジと袋ナツト７で電極部４を絶
縁シート８を介して押圧固定する。被測定物体の
液漏れを防ぐにはカラー３と電極ボス６との間に
挿入された金属Ｏリング９で実現する。
す。第１図では本発明の改良のベースとなる従来
の電磁流量計の流量信号を検出する電極付近の構
造のみを示す。１は流量信号を検出する電極であ
り、この外側にセラミツクのブツシユ２が配設さ
れている。ブツシユ２の外側にはカラー３が配設
され、これらの電極１、ブツシユ２およびカラー
３でもつて電極部４を構成している。導電性管路
５には電極ボス６が溶接されており、電極ボス６
の導電性管路５に対して外側の部分にはネジが切
つてある。このネジと袋ナツト７で電極部４を絶
縁シート８を介して押圧固定する。被測定物体の
液漏れを防ぐにはカラー３と電極ボス６との間に
挿入された金属Ｏリング９で実現する。
電極部４はブツシユ２とカラー３とを焼きばめ
で結合した後に電極１をブツシユ２の中に冷やし
ばめで挿入かん合する。この場合のシールはこれ
等部材の緊密な結合と金属Ｏリングでなされる。
で結合した後に電極１をブツシユ２の中に冷やし
ばめで挿入かん合する。この場合のシールはこれ
等部材の緊密な結合と金属Ｏリングでなされる。
電磁流量計では被測定流体の温度の範囲が例え
ば−10℃〜200℃であるので、この温度範囲の使
用を保証するためにはブツシユ２とカラー３の焼
ばめ温度を300℃付近、電極１とブツシユ２およ
びカラー３の結合体との冷やしばめ温度を−70℃
以下に設定する。
ば−10℃〜200℃であるので、この温度範囲の使
用を保証するためにはブツシユ２とカラー３の焼
ばめ温度を300℃付近、電極１とブツシユ２およ
びカラー３の結合体との冷やしばめ温度を−70℃
以下に設定する。
この場合にカラー３が冷やしばめの際、塑性変
形し締付圧が減少する。したがつて、再び高温に
なつた場合にカラー３の膨脹により気密保持がで
きなくなる。すなわち、完全な気密保持ができる
温度範囲が狭い欠点がある。
形し締付圧が減少する。したがつて、再び高温に
なつた場合にカラー３の膨脹により気密保持がで
きなくなる。すなわち、完全な気密保持ができる
温度範囲が狭い欠点がある。
また、この焼きばめおよび冷やしばめによる加
工は精密な加工を要するので加工コストが高くな
る欠点もある。
工は精密な加工を要するので加工コストが高くな
る欠点もある。
〈発明の目的〉
本発明は、前記の従来技術に鑑み、導電性セラ
ミツクと絶縁性セラミツクとを１体とした焼結体
とする電極構造とすることにより被測定流体の使
用温度範囲を拡大することを目的とする。
ミツクと絶縁性セラミツクとを１体とした焼結体
とする電極構造とすることにより被測定流体の使
用温度範囲を拡大することを目的とする。
〈本発明の構成〉
この目的を達成する本発明の構成は、被測定流
体を流す導電性管路の内壁近傍の前記被測定流体
に発生した電位分布と同じ電位分布を前記導電性
管路に形成する電磁流量計において、前記被測定
流体に起因する流量信号を検出する電極部を導電
性セラミツクと絶縁性セラミツクとで１体として
焼結して構成し、使用温度範囲を拡大するように
したものである。
体を流す導電性管路の内壁近傍の前記被測定流体
に発生した電位分布と同じ電位分布を前記導電性
管路に形成する電磁流量計において、前記被測定
流体に起因する流量信号を検出する電極部を導電
性セラミツクと絶縁性セラミツクとで１体として
焼結して構成し、使用温度範囲を拡大するように
したものである。
〈実施例〉
以下本発明の実施例について図面に基づき詳細
に説明する。尚、従来技術と同一の機能を有する
部分には同一番号を付し、重複する説明は省略す
る。
に説明する。尚、従来技術と同一の機能を有する
部分には同一番号を付し、重複する説明は省略す
る。
第２図は本発明の第１の実施例を示す構成図で
ある。１０は導電性セラミツクで構成された電極
であり、１１は絶縁性セラミツクで構成されたブ
ツシユを示す。導電性のセラミツクとしては、例
えば炭化珪素（sic）があり、その体積固有抵抗
は10-1Ω・cmと小さく、絶縁性のセラミツクとし
ては、例えば窒化珪素（Si3N4）があり、その体
積固有抵抗は1014Ω・cmと高い。ここではこれ等
の実施例について説明する。
ある。１０は導電性セラミツクで構成された電極
であり、１１は絶縁性セラミツクで構成されたブ
ツシユを示す。導電性のセラミツクとしては、例
えば炭化珪素（sic）があり、その体積固有抵抗
は10-1Ω・cmと小さく、絶縁性のセラミツクとし
ては、例えば窒化珪素（Si3N4）があり、その体
積固有抵抗は1014Ω・cmと高い。ここではこれ等
の実施例について説明する。
炭化珪素の焼結温度は一般に窒化珪素の焼結温
度よりも低いので、窒化珪素のブツシユ１１をま
ず焼結した後、その中空部に炭化珪素（sic）、珪
素（si）、炭素（ｃ）の混合粉末を入れ、約1450
℃で焼結して電極１０を作る。この場合に炭化珪
素中に残留する金属の珪素（si）と、窒化珪素の
焼結の助剤に使われた酸化イツトリウム
（Y2O3）、アルミナ（Al2O3）とが境界面で結合
し、ガラス質になるため境界での気密性が確保で
きる。また、炭化珪素の収縮率は0.1％と非常に
小さいので収縮に起因する気密漏れは少ない。
度よりも低いので、窒化珪素のブツシユ１１をま
ず焼結した後、その中空部に炭化珪素（sic）、珪
素（si）、炭素（ｃ）の混合粉末を入れ、約1450
℃で焼結して電極１０を作る。この場合に炭化珪
素中に残留する金属の珪素（si）と、窒化珪素の
焼結の助剤に使われた酸化イツトリウム
（Y2O3）、アルミナ（Al2O3）とが境界面で結合
し、ガラス質になるため境界での気密性が確保で
きる。また、炭化珪素の収縮率は0.1％と非常に
小さいので収縮に起因する気密漏れは少ない。
更に炭化珪素の熱膨脹係数は4.3×10-6／℃で
あり、窒化珪素の熱膨脹係数は3.5×10-6／℃で
あるので、両者の差は小さい。したがつて本実施
例の構造によれば被測定流体の使用温度範囲は広
くとれる。
あり、窒化珪素の熱膨脹係数は3.5×10-6／℃で
あるので、両者の差は小さい。したがつて本実施
例の構造によれば被測定流体の使用温度範囲は広
くとれる。
第３図は本発明の第２の実施例を示す構成図で
ある。
ある。
第２図の実施例ではブツシユ１１と電極ボス６
との間に金属製のＯリング９を介在させて気密を
保つ構成したが、第３図の実施例では、電極ボス
１２の内面とブツシユ１３の外面とをテーパ面と
し、このテーパ面で気密を保つようにしたもので
ある。
との間に金属製のＯリング９を介在させて気密を
保つ構成したが、第３図の実施例では、電極ボス
１２の内面とブツシユ１３の外面とをテーパ面と
し、このテーパ面で気密を保つようにしたもので
ある。
この構成によれば、被測定流体の温度が高い場
合でも、ブツシユ１３が外側から袋ナツト７によ
り圧縮力を受けているので、電極１０とブツシユ
１３との熱膨脹差によるブツシユ１３の破壊を防
ぐ効果も合わせ持つている。
合でも、ブツシユ１３が外側から袋ナツト７によ
り圧縮力を受けているので、電極１０とブツシユ
１３との熱膨脹差によるブツシユ１３の破壊を防
ぐ効果も合わせ持つている。
〈発明の効果〉
以上、実施例とともに具体的に説明したように
本発明によれば、従来のように焼きばめや冷やし
ばめの構造をとらないので適用温度範囲が拡大し
電磁流量計として用途が拡大する。また従来の如
く精密な加工をする必要がないのでコストの低減
に寄与することができる。更に、電極部の構造が
コンパクトになり小サイズの電磁流量計にも容易
に適用できる効果がある。
本発明によれば、従来のように焼きばめや冷やし
ばめの構造をとらないので適用温度範囲が拡大し
電磁流量計として用途が拡大する。また従来の如
く精密な加工をする必要がないのでコストの低減
に寄与することができる。更に、電極部の構造が
コンパクトになり小サイズの電磁流量計にも容易
に適用できる効果がある。
第１図は従来の電磁流量計の実施例の構成図、
第２図は本発明の第１の実施例の構成図、第３図
は本発明の第２の実施例の構成図。 ５……導電性管路、６……電極ボス、９……金
属Ｏリング、１０……電極、１１，１３……ブツ
シユ。
第２図は本発明の第１の実施例の構成図、第３図
は本発明の第２の実施例の構成図。 ５……導電性管路、６……電極ボス、９……金
属Ｏリング、１０……電極、１１，１３……ブツ
シユ。
Claims (1)
- １ 被測定流体を流す導電性管路の内壁近傍の前
記被測定流体に発生した電位分布と同じ電位分布
を前記導電性管路に形成する電磁流量計におい
て、前記被測定流体に起因する流量信号を検出す
る電極部を導電性セラミツクと絶縁性セラミツク
とで１体として焼結して構成したことを特徴とす
る電磁流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18140683A JPS6071913A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 電磁流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18140683A JPS6071913A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 電磁流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6071913A JPS6071913A (ja) | 1985-04-23 |
| JPH035525B2 true JPH035525B2 (ja) | 1991-01-25 |
Family
ID=16100199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18140683A Granted JPS6071913A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 電磁流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6071913A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0762084A3 (de) * | 1995-09-12 | 1998-04-22 | Georg Fischer Rohrleitungssysteme AG | Magnetisch-induktiver Durchflussmesser |
| ATE353861T1 (de) * | 2002-06-14 | 2007-03-15 | Univ Dresden Tech | Verfahren zur herstellung von gasdichten und hochtemperaturbeständigen verbindungen von formteilen aus nichtoxidischer keramik mittels laser |
-
1983
- 1983-09-29 JP JP18140683A patent/JPS6071913A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6071913A (ja) | 1985-04-23 |
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