JPH0610256Y2 - セラミックス電磁流量計 - Google Patents
セラミックス電磁流量計Info
- Publication number
- JPH0610256Y2 JPH0610256Y2 JP6027888U JP6027888U JPH0610256Y2 JP H0610256 Y2 JPH0610256 Y2 JP H0610256Y2 JP 6027888 U JP6027888 U JP 6027888U JP 6027888 U JP6027888 U JP 6027888U JP H0610256 Y2 JPH0610256 Y2 JP H0610256Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- measuring tube
- electromagnetic flowmeter
- thermal conductivity
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案はセラミックス製の測定管を有するセラミックス
電磁流量計に関するものである。
電磁流量計に関するものである。
更に詳述すれば、セラミックス製の測定管を有するセラ
ミックス電磁流量計の電極部分の改良に関するものであ
る。
ミックス電磁流量計の電極部分の改良に関するものであ
る。
〈従来の技術〉 第2図は従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。
明図である。
図において、1はセラミックス製の円筒状の測定管であ
る。測定管1は、この場合は、アルミナ(Al2O3)
が用いられている。21,22は測定管1に対向して配
置され導電性粉末を混合して測定管1と一体に焼成して
形成された柱状のサーメットの電極部である。
る。測定管1は、この場合は、アルミナ(Al2O3)
が用いられている。21,22は測定管1に対向して配
置され導電性粉末を混合して測定管1と一体に焼成して
形成された柱状のサーメットの電極部である。
〈考案が解決しようとする課題〉 このようなセラミックス電磁流量計においては、測定管
1と電極部21,22との熱伝導度及び熱膨脹係数に差
があると、測定管1の内面に熱衝撃が加えられた場合
に、測定管1と電極部21,22との境界及びその近傍
に、測定管1の他の内表面よりも大きな応力が発生す
る。
1と電極部21,22との熱伝導度及び熱膨脹係数に差
があると、測定管1の内面に熱衝撃が加えられた場合
に、測定管1と電極部21,22との境界及びその近傍
に、測定管1の他の内表面よりも大きな応力が発生す
る。
例えば、アルミナ(Al2O3)の測定管1に、白金と
アルミナ(Pt−Al2O3)のサーメットの電極部2
1,22を埋め込んだ場合には、 アルミナの熱膨脹係数7〜8×10-6/℃< 白金の熱膨脹係数8.9×10-6/℃ アルミナの熱伝導度21(W/m・k)< 白金の熱伝導度72(W/m・k) であるので、測定管1の内面が急加熱(熱衝撃となる)
された場合に、熱伝導度の差にもとずき、測定管1と電
極部21,22との境界及びその近傍に大きな応力が発
生する。
アルミナ(Pt−Al2O3)のサーメットの電極部2
1,22を埋め込んだ場合には、 アルミナの熱膨脹係数7〜8×10-6/℃< 白金の熱膨脹係数8.9×10-6/℃ アルミナの熱伝導度21(W/m・k)< 白金の熱伝導度72(W/m・k) であるので、測定管1の内面が急加熱(熱衝撃となる)
された場合に、熱伝導度の差にもとずき、測定管1と電
極部21,22との境界及びその近傍に大きな応力が発
生する。
通常、プラント装置、特に、食品用の装置の場合には、
配管の蒸気洗浄がしばしば必要とされるが、これに対し
ては、約150℃に耐える必要がある。
配管の蒸気洗浄がしばしば必要とされるが、これに対し
ては、約150℃に耐える必要がある。
第2図従来例においては、測定管1の内面に急激な熱衝
撃が与えられると、例えば、100℃程度の熱衝撃で、
電極部21,22との境界面に生じた応力により、測定
管1にクラックが生じる。
撃が与えられると、例えば、100℃程度の熱衝撃で、
電極部21,22との境界面に生じた応力により、測定
管1にクラックが生じる。
以上のことから、耐熱衝撃性の高いセラミックス電磁流
量計が得られない問題点があった。
量計が得られない問題点があった。
本考案は、この問題点を、解決するものである。
本考案の目的は耐熱衝撃性が良好で安価なセラミックス
電磁流量計を提供するにある。
電磁流量計を提供するにある。
〈課題を解決するための手段〉 この目的を達成するために、本考案は、測定流体が流れ
るセラミックス製の測定管中の電極部に導電性物質が埋
め込め焼成されたセラミックス電磁流量計において、 前記電極部が導電性セラミックス粉末と絶縁性セラミッ
クス粉末とが混合された複合セラミックス粉末からなる
柱状の電極本体と該電極本体の周囲に同芯閉曲線状に設
けられ内周から外周方向に熱伝導率が低くなるように該
電極本体の複合セラミックスに高熱伝導性を有する絶縁
性セラミックス粉末を混合した複合セラミックスからな
る筒状のバッファ体とを具備したことを特徴とするセラ
ミックス電磁流量計を構成したものである。
るセラミックス製の測定管中の電極部に導電性物質が埋
め込め焼成されたセラミックス電磁流量計において、 前記電極部が導電性セラミックス粉末と絶縁性セラミッ
クス粉末とが混合された複合セラミックス粉末からなる
柱状の電極本体と該電極本体の周囲に同芯閉曲線状に設
けられ内周から外周方向に熱伝導率が低くなるように該
電極本体の複合セラミックスに高熱伝導性を有する絶縁
性セラミックス粉末を混合した複合セラミックスからな
る筒状のバッファ体とを具備したことを特徴とするセラ
ミックス電磁流量計を構成したものである。
〈作用〉 以上の構成において、測定管の内面が急加熱された場合
に、測定管と電極部との境界及びその近傍に大きな応力
が発生する恐れがあるが、電極部の周囲には、バッファ
体が設けられているので、測定管が破壊しない。
に、測定管と電極部との境界及びその近傍に大きな応力
が発生する恐れがあるが、電極部の周囲には、バッファ
体が設けられているので、測定管が破壊しない。
〈実施例〉 第1図は本考案の一実施例の要部構成説明図で、(A)
は正面図、(B)は平面図である。
は正面図、(B)は平面図である。
図において、第2図と同一記号は同一機能を表わす。
1は耐熱衝撃性の良好な窒化珪素(Si3N4)よりな
る、セラミックス製の円筒状の測定管である。
る、セラミックス製の円筒状の測定管である。
3は電極本体31とバッファ体32とよりなる電極部で
ある。
ある。
電極本体31は所要の熱伝導度を有するように所要の体
積含有率の導電性セラミックス粉末と絶縁性セラミック
ス粉末とを混合した複合セラミックスからなる柱状の電
極本体である。
積含有率の導電性セラミックス粉末と絶縁性セラミック
ス粉末とを混合した複合セラミックスからなる柱状の電
極本体である。
この場合は、炭化珪素(SiC)30%と窒化珪素(S
i3N4)70%の体積含有率よりなる。
i3N4)70%の体積含有率よりなる。
バッファ体32は、第1,第2,第3バッファ層32
1,322,333よりなり、電極本体31の周囲に同
芯閉曲線状に設けられ、内周から外周方向に熱伝導率が
低くなるように電極本体31の複合セラミックスに高熱
伝導性を有する絶縁性セラミックス粉末を混合した複合
セラミックスからなる。
1,322,333よりなり、電極本体31の周囲に同
芯閉曲線状に設けられ、内周から外周方向に熱伝導率が
低くなるように電極本体31の複合セラミックスに高熱
伝導性を有する絶縁性セラミックス粉末を混合した複合
セラミックスからなる。
この場合は、絶縁性セラミックス粉末として、窒化アル
ミが使用されている。
ミが使用されている。
第1バッファ層321は窒化珪素(Si3N4)80%
と窒化アルミ(AlN)20%、第2バッファ層322
は窒化珪素(Si3N4)90%と窒化アルミ(Al
N)10%、第3バッファ層323は窒化珪素(Si3
N4)95%と窒化アルミ(AlN)5%が用いられて
いる。
と窒化アルミ(AlN)20%、第2バッファ層322
は窒化珪素(Si3N4)90%と窒化アルミ(Al
N)10%、第3バッファ層323は窒化珪素(Si3
N4)95%と窒化アルミ(AlN)5%が用いられて
いる。
炭化珪素(SiC)、窒化珪素(Si3N4)、と窒化
アルミ(AlN)は下記の如く、熱膨脹係数が同し様
で、熱伝導性が異なるので、混合率を組合せることによ
り、装置の熱衝撃性を改善出来る。
アルミ(AlN)は下記の如く、熱膨脹係数が同し様
で、熱伝導性が異なるので、混合率を組合せることによ
り、装置の熱衝撃性を改善出来る。
窒化珪素の熱伝導度15〜20(W/m・k)炭化珪素
の熱伝導度60〜160(W/m・k) 窒化アルミの熱伝導度100〜180(W/m・k) 窒化珪素の熱膨脹係数3〜4×10-6/℃ 炭化珪素の熱膨脹係数4×10-6/℃ 窒化アルミ熱膨脹係数4〜6×10-6/℃ 以上の構成において、測定管1の内面が急加熱された場
合にも、電極本体31の周囲にはバッファ体32が設け
られているので、測定管1と電極本体31との間の熱伝
導率が徐々に変わり、熱伝導度の差に基づくクラック等
が発生しない。
の熱伝導度60〜160(W/m・k) 窒化アルミの熱伝導度100〜180(W/m・k) 窒化珪素の熱膨脹係数3〜4×10-6/℃ 炭化珪素の熱膨脹係数4×10-6/℃ 窒化アルミ熱膨脹係数4〜6×10-6/℃ 以上の構成において、測定管1の内面が急加熱された場
合にも、電極本体31の周囲にはバッファ体32が設け
られているので、測定管1と電極本体31との間の熱伝
導率が徐々に変わり、熱伝導度の差に基づくクラック等
が発生しない。
この結果、電極本体31と測定管1との間の応力が緩和
され、耐熱性を改善することができる。
され、耐熱性を改善することができる。
なお、導電性セラミックス粉末として、炭化珪素(Si
C)のかわりに、炭化チタン(TiC)、タングステン
カーバイト(WC)、窒化チタン(TiN)、ホロンカ
ーバイト(B4C)等でもよい。
C)のかわりに、炭化チタン(TiC)、タングステン
カーバイト(WC)、窒化チタン(TiN)、ホロンカ
ーバイト(B4C)等でもよい。
また、高熱伝導性セラミックス粉末として、窒化アルミ
(AlN)以外に、ベリリア(BeO)等でもよい。
(AlN)以外に、ベリリア(BeO)等でもよい。
また、導電性セラミックス粉末のかわりに、白金やパラ
ジウム等のセラミックスの焼成温度より融点が充分高い
金属粉末でもよい。
ジウム等のセラミックスの焼成温度より融点が充分高い
金属粉末でもよい。
〈考案の効果〉 以上説明したように、本考案は、測定流体が流れるセラ
ミックス製の測定管中の電極部に導電性物質が埋め込め
焼成されたセラミックス電磁流量計において、 前記電極部が導電性セラミックス粉末と絶縁性セラミッ
クス粉末とが混合された複合セラミックス粉末からなる
柱状の電極本体と該電極本体の周囲に同芯閉曲線状に設
けられ内周から外周方向に熱伝導率が低くなるように該
電極本体の複合セラミックスに高熱伝導性を有する絶縁
性セラミックス粉末を混合した複合セラミックスからな
る筒状のバッファ体とを具備したことを特徴とするセラ
ミックス電磁流量計を構成したので、電極本体と測定管
との熱伝導率の差が緩和され、耐熱衝撃性を改善するこ
とができる。
ミックス製の測定管中の電極部に導電性物質が埋め込め
焼成されたセラミックス電磁流量計において、 前記電極部が導電性セラミックス粉末と絶縁性セラミッ
クス粉末とが混合された複合セラミックス粉末からなる
柱状の電極本体と該電極本体の周囲に同芯閉曲線状に設
けられ内周から外周方向に熱伝導率が低くなるように該
電極本体の複合セラミックスに高熱伝導性を有する絶縁
性セラミックス粉末を混合した複合セラミックスからな
る筒状のバッファ体とを具備したことを特徴とするセラ
ミックス電磁流量計を構成したので、電極本体と測定管
との熱伝導率の差が緩和され、耐熱衝撃性を改善するこ
とができる。
したがって、本考案によれば、耐熱衝撃性が良好で安価
なセラミックス電磁流量計を実現することができる。
なセラミックス電磁流量計を実現することができる。
第1図は本考案の一実施例の要部構成説明図で、(A)
は正面図、(B)は平面図、第2図は従来より一般に使
用されている従来例の構成説明図である。 1……測定管、21,22……電極部、3……電極、3
1……電極本体、32……バッファ体、321……第1
……バッファ層、322……第2バッファ層、323…
…第3バッファ層。
は正面図、(B)は平面図、第2図は従来より一般に使
用されている従来例の構成説明図である。 1……測定管、21,22……電極部、3……電極、3
1……電極本体、32……バッファ体、321……第1
……バッファ層、322……第2バッファ層、323…
…第3バッファ層。
Claims (1)
- 【請求項1】測定流体が流れるセラミックス製の測定管
中の電極部に導電性物質が埋め込め焼成されたセラミッ
クス電磁流量計において、 前記電極部が導電性セラミックス粉末と絶縁性セラミッ
クス粉末とが混合された複合セラミックス粉末からなる
柱状の電極本体と該電極本体の周囲に同芯閉曲線状に設
けられ内周から外周方向に熱伝導率が低くなるように該
電極本体の複合セラミックスに高熱伝導性を有する絶縁
性セラミックス粉末を混合した複合セラミックスからな
る筒状のバッファ体とを具備したことを特徴とするセラ
ミックス電磁流量計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6027888U JPH0610256Y2 (ja) | 1988-05-07 | 1988-05-07 | セラミックス電磁流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6027888U JPH0610256Y2 (ja) | 1988-05-07 | 1988-05-07 | セラミックス電磁流量計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01163823U JPH01163823U (ja) | 1989-11-15 |
JPH0610256Y2 true JPH0610256Y2 (ja) | 1994-03-16 |
Family
ID=31285992
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6027888U Expired - Lifetime JPH0610256Y2 (ja) | 1988-05-07 | 1988-05-07 | セラミックス電磁流量計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0610256Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2406381B (en) * | 2003-09-27 | 2005-10-12 | Future Technology | Sensors |
DE102006045976B4 (de) * | 2006-09-27 | 2013-01-31 | Krohne Ag | Durchflussmessgerät |
-
1988
- 1988-05-07 JP JP6027888U patent/JPH0610256Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01163823U (ja) | 1989-11-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2781753B2 (ja) | 排気センサ | |
US5696348A (en) | Thermocouple structure | |
JPH0522829Y2 (ja) | ||
JP2011034979A (ja) | セラミックヒータ及びそれを用いたヘアアイロン | |
JP2525974B2 (ja) | 半導体ウエハ―加熱装置 | |
US4903001A (en) | Detecting element using an electrically resistive body, for determining a parameter | |
JPH0610256Y2 (ja) | セラミックス電磁流量計 | |
JP2002188966A (ja) | 温度センサ及びその製造方法並びに製造管理方法 | |
JPH0610257Y2 (ja) | セラミックス電磁流量計 | |
JPH0542344Y2 (ja) | ||
JPH0312700B2 (ja) | ||
TW446692B (en) | Ceramic joint body and process for manufacturing the same | |
JPH0542343Y2 (ja) | ||
JPS5826926A (ja) | 点火プラグ | |
JPH0541375Y2 (ja) | ||
JPH0542337Y2 (ja) | ||
JPH0542338Y2 (ja) | ||
JPH0542336Y2 (ja) | ||
JPH04104494A (ja) | セラミックスヒータおよびその製造方法 | |
JPS6025842Y2 (ja) | 温度センサ | |
JPH069319Y2 (ja) | セラミックス電磁流量計 | |
JPS5811802A (ja) | 高温ひずみゲ−ジおよびその製法 | |
JPH035525B2 (ja) | ||
JPH0222661Y2 (ja) | ||
JPH0821811A (ja) | 導電率測定用セル |