JPH0542338Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0542338Y2
JPH0542338Y2 JP10416487U JP10416487U JPH0542338Y2 JP H0542338 Y2 JPH0542338 Y2 JP H0542338Y2 JP 10416487 U JP10416487 U JP 10416487U JP 10416487 U JP10416487 U JP 10416487U JP H0542338 Y2 JPH0542338 Y2 JP H0542338Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
measuring tube
electromagnetic flowmeter
electrode part
hip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP10416487U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS648629U (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP10416487U priority Critical patent/JPH0542338Y2/ja
Publication of JPS648629U publication Critical patent/JPS648629U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPH0542338Y2 publication Critical patent/JPH0542338Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Volume Flow (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本考案はセラミツクス電磁流量計に関するもの
である。
更に詳述すれば、本考案はセラミツクス製の測
定管中に導電性物質が混入され電極部を形成した
セラミツクス電磁流量計において、その電極部及
びセラミツクス測定管の熱衝撃性の改善に関する
ものである。
<従来の技術> 第3図は従来より一般に使用されている従来例
の構成説明図である。
図において、1はセラミツクス製の円筒状の測
定管である。2,3は導電性粉末を混合し測定管
1と一体に焼成することにより形成された柱状の
サーメツトの電極部である。
<考案が解決しようとする問題点> このようなものにおいて、測定管の内面を急冷
又は急加熱させて、熱衝撃性試験を行なつてみる
と、測定管を形成しているセラミツクスの強度か
ら推定される温度より低い温度で破壊が生じる事
がわかつた。この原因は、例えば、測定管がアル
ミナ(Al2O3)、電極部が白金−アルミナ・サー
メツト(Pt−Al2O3)のばあい、白金とアルミナ
の熱伝導度の差によつて白金とアルミナの間で温
度差が生じ、そのために、電極部サーメツトの界
面に応力集中がおこる。このことと、サーメツト
中の欠陥が原因で推定温度より低い温度で破壊が
生じる。
本考案は、この問題点を解決するものである。
本考案も目的はセラミツクスと金属サーメツ
ト、あるいは導電性セラミツクス中の欠陥を少な
くし、且つ接合強度を向上させることによつて、
熱衝撃性の改善を図つたセラミツクス電磁流量計
を提供するにある。
<問題を解決するための手段> この目的を解決するために、本考案は測定流体
が流れるセラミツクス製の測定管中の測定電極部
又はアース電極部に導電性物質が埋め込み焼成さ
れたセラミツクス電磁流量計において、熱衝撃性
が改善されるようにHIP処理がされた測定管を具
備したことを特徴とするセラミツクス電磁流量計
を構成したものである。
<作用> 以上の構成において、焼成成型されたセラミツ
クス電磁流量計は、HIP処理されることにより本
考案のセラミツクス電磁流量計が得られる。
<実施例> 第1図は本考案の一実施例の構成説明図であ
る。
図において、1はセラミツクス性の円筒状の測
定管である。この場合は、アルミナが使用されて
いる。2,3は導電性粉末を混合し、測定管1と
一体に焼成することにより形成された柱状のサー
メツトの電極部である。この場合は、白金とアル
ミナのサーメツトが用いられている。而して測定
管1と電極部2,3はHIP処理がなされている。
この様なセラミツクス電磁流量計は以下の如く
して作る。
サーメツトからなる電極部を仮成形し、CIP
(等方静水圧加圧法)用ゴム型で、アルミナスプ
レー造粒体とともにCIP成形したものを、加工
し、1600〜1700℃で焼成し、理論密度の95%以上
の焼結体、即ち、電極部と一体成形された測定管
を得る。これを、たとえば、1350℃のアルゴンま
たは窒素雰囲気中で145MPaの圧力下でHIP(熱
間等方圧加圧法)する。
HIPとは、アルゴンなどのガスを圧力媒体と
し、1000Kg/cm2以上の圧力と1000℃以上の温度と
の相乗効果を利用して加圧処理する技術である。
この結果、電極部2,3のサーメツト中の欠陥
および測定管のセラミツクスの欠陥の除去がなさ
れ、より緻密化した焼結体を得ることができる。
また、白金とアルミナの接合も、より強度の高い
ものが得られる。
従つて、HIP処理することにより、セラミツク
スと金属サーメツト中の欠陥を少なくし、且つ、
接合強度を向上させることができ、熱衝撃性の改
善を図ることができる。
第2図にHIP処理装置を示す。
図において、10はセラミツクス電磁流量計測
定管、20はセラミツクス電磁流量計測定管をい
れるカプセルである。30はHIP装置で、圧力容
器31、制御装置加熱電源32、ヒータ33、ガ
ス供給装置34、真空ポンプ35からなる。
なお、前述の実施例では、測定管がアルミナ、
電極が白金の場合について説明したが、測定管が
ジルコニア(ZrO2)、電極部がジルコニアと白金
のサーメツトでもよい。この場合、ジルコニアの
熱伝導度はアルミナより小さいので、界面には 大きな応力が生じる可能性がある。
これに対しては、例えば、1500℃のアルゴンガ
ス中で、100MPaの圧力下の条件でHIP処理する
ことにより、欠陥の除去ができ、接合強度も向上
し、熱衝撃性を改善できる。
また、測定管が高耐熱衝撃性を有する窒化珪素
(Si3N4)、電極部が炭化珪素(SiC)あるいはタ
ングステンカーバイト(WC)、または窒化珪素
−炭化珪素あるいは窒化珪素−タングステンカー
バイト等の複合セラミツクス等で構成することも
できる。
<考案の効果> 以上説明したように、本考案は測定流体が流れ
るセラミツクス製の測定管中の測定電極部又はア
ース電極部に導電性物質が埋め込み焼成されたセ
ラミツクス電磁流量計において、熱衝撃性が改善
されるようにHIP処理がされた測定管を具備した
ことを特徴とするセラミツクス電磁流量計を構成
したので、測定管や電極部の欠陥を除去し、焼結
性を改善することができる。
従つて、本考案によればセラミツクスと金属サ
ーメツト、あるいは導電性セラミツクス中の欠陥
を少なくし、且つ接合強度を向上させることによ
つて、熱衝撃性の改善を図つたセラミツクス電磁
流量計を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例の構成説明図、第2
図はHIP装置野構成説明図、第3図は従来より一
般に使用されている従来例の構成説明図である。 1……測定管、2,3……電極部。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 測定流体が流れるセラミツクス製の測定管中の
    測定電極部又はアース電極部に導電性物質が埋め
    込み焼成されたセラミツクス電磁流量計におい
    て、 熱衝撃性が改善されるようにHIP処理がされた
    測定管を具備したことを特徴とするセラミツクス
    電磁流量計。
JP10416487U 1987-07-07 1987-07-07 Expired - Lifetime JPH0542338Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10416487U JPH0542338Y2 (ja) 1987-07-07 1987-07-07

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10416487U JPH0542338Y2 (ja) 1987-07-07 1987-07-07

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS648629U JPS648629U (ja) 1989-01-18
JPH0542338Y2 true JPH0542338Y2 (ja) 1993-10-26

Family

ID=31335638

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10416487U Expired - Lifetime JPH0542338Y2 (ja) 1987-07-07 1987-07-07

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0542338Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8882704B2 (en) 2002-08-02 2014-11-11 Mallinckrodt Llc Injector

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8882704B2 (en) 2002-08-02 2014-11-11 Mallinckrodt Llc Injector

Also Published As

Publication number Publication date
JPS648629U (ja) 1989-01-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5675275B2 (ja) ジルコニア強化アルミナのesd保護用セラミック組成物、部材及びそれを形成するための方法
JP4467453B2 (ja) セラミックス部材及びその製造方法
JP2009535622A5 (ja) ニアネットシェイプ焼結セラミックを用いた圧力センサ
EP0131884A3 (en) Refractory electrically conductive materials, and method of making the same by isostatic hot-pressing
JP2540253B2 (ja) 導電率測定用セル
SE447572B (sv) Forfarande for framstellning av en formkropp av kiselkeramik
DK1295353T3 (da) Fremgangsmåde til fremstilling af en elektrode med temperaturbestandig ledningsevne
JPH0542338Y2 (ja)
JP3810216B2 (ja) 試料加熱装置および処理装置並びにそれを用いた試料の処理方法
JP2000128648A (ja) 焼結体の製造方法
JP5466439B2 (ja) セラミックス接合体並びにセラミックスヒータ、静電チャック及びサセプタ
KR100212628B1 (ko) 세라믹 접합체 및 그 제조방법
JP2017191910A (ja) 基板保持装置及びその製造方法
JPH06279131A (ja) セラミックスの接合方法
JP2010056040A (ja) セラミックス部材
JPH0542344Y2 (ja)
JPH0610256Y2 (ja) セラミックス電磁流量計
JPH0487181A (ja) セラミックヒータ及びその製造法
JPH0542343Y2 (ja)
JP3941542B2 (ja) セラミックスと金属の気密接合構造及び該構造を有する装置部品
JP2008041888A (ja) サーミスタ材料
JPH01133968A (ja) セラミックス複合体
JP2009128076A (ja) 圧力センサ素子及びその製造方法、並びに圧力センサ
JPH067320Y2 (ja) セラミックス電磁流量計
JPS58201057A (ja) ガス検知素子