JP2540253B2 - 導電率測定用セル - Google Patents
導電率測定用セルInfo
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- JP2540253B2 JP2540253B2 JP3196528A JP19652891A JP2540253B2 JP 2540253 B2 JP2540253 B2 JP 2540253B2 JP 3196528 A JP3196528 A JP 3196528A JP 19652891 A JP19652891 A JP 19652891A JP 2540253 B2 JP2540253 B2 JP 2540253B2
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- Japan
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- cell
- conductivity
- sialon
- container
- ceramic material
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/06—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a liquid
- G01N27/07—Construction of measuring vessels; Electrodes therefor
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- Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
- Control Of El Displays (AREA)
- Secondary Cells (AREA)
- Connection Of Batteries Or Terminals (AREA)
- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は１００〜１００ｋΩ・ｃ
ｍ程度の液体などの導電率を測定するためのセルで、容
器部分及び電極部分のどちらにもセラミックスを用いる
ことにより、特に高温高圧下及び腐食性物質下などにお
いても使用可能にした導電率測定用セルに関するもので
ある。
ｍ程度の液体などの導電率を測定するためのセルで、容
器部分及び電極部分のどちらにもセラミックスを用いる
ことにより、特に高温高圧下及び腐食性物質下などにお
いても使用可能にした導電率測定用セルに関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、１００〜１００ｋΩ・ｃｍ程度の
液体などの導電率を測定するセルとしては、図５に示す
ような形のものが用いられている。図５（ａ）はガラス
容器２の側部に内側へ張り出した側管４を設け、その先
端に白金等の貴金属からなる電極４を支持して側管内を
通してリード線５を引き出した構成のもので、容器内に
試料液体６を入れて栓３で蓋をし、電極間に通電して導
電率を測定するようになっている。
液体などの導電率を測定するセルとしては、図５に示す
ような形のものが用いられている。図５（ａ）はガラス
容器２の側部に内側へ張り出した側管４を設け、その先
端に白金等の貴金属からなる電極４を支持して側管内を
通してリード線５を引き出した構成のもので、容器内に
試料液体６を入れて栓３で蓋をし、電極間に通電して導
電率を測定するようになっている。
【０００３】図５（ｂ）に示すものは実験室用の充填型
セルタイプのもので、横長のガラス容器２の両端部に電
極１が形成されており、試料液体は上方へ延びる２つの
側管７ａ、７ｂより充填、排出されるようになってお
り、ガラス容器２の両端部の電極間に通電することによ
り導電率が測定される。
セルタイプのもので、横長のガラス容器２の両端部に電
極１が形成されており、試料液体は上方へ延びる２つの
側管７ａ、７ｂより充填、排出されるようになってお
り、ガラス容器２の両端部の電極間に通電することによ
り導電率が測定される。
【０００４】図５（ｃ）に示すものは浸漬型セルであ
り、ガラス容器２の先端部は細く開口しており、容器を
試料液体につけることにより、開口部から液体が浸漬
し、電極間に通電することにより導電率が測定される。
り、ガラス容器２の先端部は細く開口しており、容器を
試料液体につけることにより、開口部から液体が浸漬
し、電極間に通電することにより導電率が測定される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
セルは容器部にガラスを使用しているため耐食性、特に
アルカリに対して問題がある上に、高圧、高温下での使
用も強度面及び耐食性の面で難点がある。また、電極部
に使用されている金属としては、貴金属を用いた場合以
外は耐食性の点で問題があり、貴金属を用いるとＰｔ，
Ａｕなどが高価なためコスト高になるという問題があ
る。
セルは容器部にガラスを使用しているため耐食性、特に
アルカリに対して問題がある上に、高圧、高温下での使
用も強度面及び耐食性の面で難点がある。また、電極部
に使用されている金属としては、貴金属を用いた場合以
外は耐食性の点で問題があり、貴金属を用いるとＰｔ，
Ａｕなどが高価なためコスト高になるという問題があ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するためのもので、導電率測定用セルの容器部分及び
電極部分を耐食性に優れたセラミックスで構成し、容器
部分は絶縁性セラミックス、電極部分は数ｋΩ・ｃｍ以
下の抵抗値を有する複合セラミックスを使用する。
決するためのもので、導電率測定用セルの容器部分及び
電極部分を耐食性に優れたセラミックスで構成し、容器
部分は絶縁性セラミックス、電極部分は数ｋΩ・ｃｍ以
下の抵抗値を有する複合セラミックスを使用する。
【０００７】電極部分のセラミックスとしては、Ｔｉ
Ｃ，ＺｒＣ，ＶＣ，ＴａＣ，Ｍｏ2 Ｃ，ＷＣ，ＳｉＣ等
の炭化物、ＴｉＮ，ＺｒＮ，ＶＮ，ＮｂＮ，ＴａＮ，Ｃ
ｒ2 Ｎ等の窒化物、炭窒化物Ｔｉ（Ｃ−Ｎ）、Ｔｉ
Ｂ2 ，ＺｒＢ2 ，ＮｂＢ2 ，ＴａＢ2 ，ＣｒＢ2 ，Ｍｏ
Ｂ等のホウ化物、ＴｉＳｉ2 ，ＺｒＳｉ2 ，ＮｂＳ
ｉ2 ，ＣｒＳｉ2 ，ＭｏＳｉ2 ，ＷＳｉ2 等のケイ化
物、ＴｉＯ2-X 等の導電性セラミックス単体、及びこれ
らの２種以上からなる複合セラミックス等の導電性材料
と、Ｓｉ3 Ｎ4 , 酸化窒化物系のＳｉａｌｏｎ（Ｓｉー
ＡｌーＯーＮの構成元素からなる一連の物質），Ａｌ2
Ｏ3 ，ＺｒＯ2 等との複合セラミックスなどがあげられ
る。
Ｃ，ＺｒＣ，ＶＣ，ＴａＣ，Ｍｏ2 Ｃ，ＷＣ，ＳｉＣ等
の炭化物、ＴｉＮ，ＺｒＮ，ＶＮ，ＮｂＮ，ＴａＮ，Ｃ
ｒ2 Ｎ等の窒化物、炭窒化物Ｔｉ（Ｃ−Ｎ）、Ｔｉ
Ｂ2 ，ＺｒＢ2 ，ＮｂＢ2 ，ＴａＢ2 ，ＣｒＢ2 ，Ｍｏ
Ｂ等のホウ化物、ＴｉＳｉ2 ，ＺｒＳｉ2 ，ＮｂＳ
ｉ2 ，ＣｒＳｉ2 ，ＭｏＳｉ2 ，ＷＳｉ2 等のケイ化
物、ＴｉＯ2-X 等の導電性セラミックス単体、及びこれ
らの２種以上からなる複合セラミックス等の導電性材料
と、Ｓｉ3 Ｎ4 , 酸化窒化物系のＳｉａｌｏｎ（Ｓｉー
ＡｌーＯーＮの構成元素からなる一連の物質），Ａｌ2
Ｏ3 ，ＺｒＯ2 等との複合セラミックスなどがあげられ
る。
【０００８】容器部分のセラミックスとしては、Ｓｉ3
Ｎ4 ，αーＳｉａｌｏｎ（Ｙx （Ｓｉ，Ａｌ）12（Ｏ，
Ｎ）16），βーＳｉａｌｏｎ（Ｓｉ6-z Ａｌz ・Ｎ8-z
Ｏz），ＺｒＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｍｕｌｌｉｔｅ，Ｓｐ
ｉｎｅｌ，ＳｉＣ等の各種絶縁性セラミックスなどがあ
げられる。
Ｎ4 ，αーＳｉａｌｏｎ（Ｙx （Ｓｉ，Ａｌ）12（Ｏ，
Ｎ）16），βーＳｉａｌｏｎ（Ｓｉ6-z Ａｌz ・Ｎ8-z
Ｏz），ＺｒＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｍｕｌｌｉｔｅ，Ｓｐ
ｉｎｅｌ，ＳｉＣ等の各種絶縁性セラミックスなどがあ
げられる。
【０００９】これらの中から選ばれた材料より、図１に
示すような円筒容器状セルを作成する。図１において、
１は導電性セラミックスからなる電極、２は絶縁性セラ
ミックスからなる容器で、電極は容器側部に形成されて
いる。このようなセルの作成方法としては、粉体の状態
で容器用及び電極用の２種類の粉体を一体成形後、素地
加工して焼成する方法、容器と電極を別々に成形加工後
はめ合せて焼成する方法、容器と電極を別々に成形加工
焼成後、耐食性に優れたガラス・フリットなどで接着さ
せる方法などによればよい。
示すような円筒容器状セルを作成する。図１において、
１は導電性セラミックスからなる電極、２は絶縁性セラ
ミックスからなる容器で、電極は容器側部に形成されて
いる。このようなセルの作成方法としては、粉体の状態
で容器用及び電極用の２種類の粉体を一体成形後、素地
加工して焼成する方法、容器と電極を別々に成形加工後
はめ合せて焼成する方法、容器と電極を別々に成形加工
焼成後、耐食性に優れたガラス・フリットなどで接着さ
せる方法などによればよい。
【００１０】
【作用】本発明は導電率測定用セルの容器部分及び電極
部分をセラミックスで構成したものであり、セラミック
スは、常温下でも高温下でも耐食性及び機械的強度にお
いてガラスに比較して格段に優れており、また、貴金属
に比較して低価格である。したがって、本発明の導電率
測定用セルは、耐食性に優れ、強酸、強アルカリ下での
使用も可能であるとともに、機械的強度が強いので高圧
高温下の使用にも充分耐えることができる。さらに、電
極部に貴金属を使用しないので低コスト化を図ることが
できる。そして、容器と電極の接合部分はＨｅリーク・
テストで１０-7Ｔｏｒｒ以上の気密性があり液体漏れの
心配もまったくない。
部分をセラミックスで構成したものであり、セラミック
スは、常温下でも高温下でも耐食性及び機械的強度にお
いてガラスに比較して格段に優れており、また、貴金属
に比較して低価格である。したがって、本発明の導電率
測定用セルは、耐食性に優れ、強酸、強アルカリ下での
使用も可能であるとともに、機械的強度が強いので高圧
高温下の使用にも充分耐えることができる。さらに、電
極部に貴金属を使用しないので低コスト化を図ることが
できる。そして、容器と電極の接合部分はＨｅリーク・
テストで１０-7Ｔｏｒｒ以上の気密性があり液体漏れの
心配もまったくない。
【００１１】
【実施例】図１は本発明の導電率測定用セルの実施例を
示す図であり、容器部分２の絶縁性セラミックスにはα
−Ｓｉａｌｏｎを、電極部分１の導電性セラミックスに
は ＴｉＮを分散したα−Ｓｉａｌｏｎ、ＴｉＣを分散
したα−Ｓｉａｌｏｎ、ＳｉＣを分散したα−Ｓｉａ
ｌｏｎを用いた。絶縁性α−Ｓｉａｌｏｎの原料粉末の
調製方法は、Ｓｉ3 Ｎ4 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＡｌＮを重量比９
１：５：４の割合で配合したものをエタノール中４８時
間ボール・ミルで混練した後、乾燥する。の導電性α
−Ｓｉａｌｏｎ−ＴｉＮの原料粉末はＳｉ3 Ｎ4 ：Ｙ2
Ｏ3 ：ＡｌＮ：ＴｉＮを重量比５４：３：２：４１の割
合で、の導電性α−Ｓｉａｌｏｎ−ＴｉＣの原料粉末
はＳｉ3 Ｎ4 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＡｌＮ：ＴｉＣ：Ａｌ2 Ｏ3
を重量比５４：３：２：４０：１の割合で、また、の
導電性α−Ｓｉａｌｏｎ−ＳｉＣの原料粉末はＳｉ3 Ｎ
4 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＡｌＮ：ＳｉＣ：カーボンブラックを重
量比５４：３：２：４０：１の割合で、それぞれ配合
し、絶縁性α−Ｓｉａｌｏｎの場合と同様にエタノール
中４８時間ボール・ミルで混練した後、乾燥する。得ら
れた原料粉末を１０００ｋｇ／ｃｍ2 でＣＩＰ成形した
後、窒素雰囲気中１６００〜１９５０℃，２時間焼成し
焼結体とした。α−Ｓｉａｌｏｎ、αーＳｉａｌｏｎ
−ＴｉＮ、α−Ｓｉａｌｏｎ−ＴｉＣ、α−Ｓｉａ
ｌｏｎ−ＳｉＣの各焼結体の耐薬品試験結果、機械的物
性値、電気抵抗値を図２，３，４に示す。
示す図であり、容器部分２の絶縁性セラミックスにはα
−Ｓｉａｌｏｎを、電極部分１の導電性セラミックスに
は ＴｉＮを分散したα−Ｓｉａｌｏｎ、ＴｉＣを分散
したα−Ｓｉａｌｏｎ、ＳｉＣを分散したα−Ｓｉａ
ｌｏｎを用いた。絶縁性α−Ｓｉａｌｏｎの原料粉末の
調製方法は、Ｓｉ3 Ｎ4 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＡｌＮを重量比９
１：５：４の割合で配合したものをエタノール中４８時
間ボール・ミルで混練した後、乾燥する。の導電性α
−Ｓｉａｌｏｎ−ＴｉＮの原料粉末はＳｉ3 Ｎ4 ：Ｙ2
Ｏ3 ：ＡｌＮ：ＴｉＮを重量比５４：３：２：４１の割
合で、の導電性α−Ｓｉａｌｏｎ−ＴｉＣの原料粉末
はＳｉ3 Ｎ4 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＡｌＮ：ＴｉＣ：Ａｌ2 Ｏ3
を重量比５４：３：２：４０：１の割合で、また、の
導電性α−Ｓｉａｌｏｎ−ＳｉＣの原料粉末はＳｉ3 Ｎ
4 ：Ｙ2 Ｏ3 ：ＡｌＮ：ＳｉＣ：カーボンブラックを重
量比５４：３：２：４０：１の割合で、それぞれ配合
し、絶縁性α−Ｓｉａｌｏｎの場合と同様にエタノール
中４８時間ボール・ミルで混練した後、乾燥する。得ら
れた原料粉末を１０００ｋｇ／ｃｍ2 でＣＩＰ成形した
後、窒素雰囲気中１６００〜１９５０℃，２時間焼成し
焼結体とした。α−Ｓｉａｌｏｎ、αーＳｉａｌｏｎ
−ＴｉＮ、α−Ｓｉａｌｏｎ−ＴｉＣ、α−Ｓｉａ
ｌｏｎ−ＳｉＣの各焼結体の耐薬品試験結果、機械的物
性値、電気抵抗値を図２，３，４に示す。
【００１２】図２は耐薬品性試験結果を示し、Ｈ2 ＳＯ
4 、ＨＣｌ、ＨＮＯ3 （濃度：ｃｏｎｃ及び１０％、温
度：８０℃）、ＨＦ（室温）、ＮａＯＨ（濃度：５０
％、温度：８０℃）については重量減（ｍｇ／ｃｍ2 ・
ｄａｙ）は僅かであり、極めて耐蝕性に優れていること
が分かる。
4 、ＨＣｌ、ＨＮＯ3 （濃度：ｃｏｎｃ及び１０％、温
度：８０℃）、ＨＦ（室温）、ＮａＯＨ（濃度：５０
％、温度：８０℃）については重量減（ｍｇ／ｃｍ2 ・
ｄａｙ）は僅かであり、極めて耐蝕性に優れていること
が分かる。
【００１３】図３は容器材料（絶縁性セラミックス）と
電極材料（導電性セラミックス）の３点曲げ強度（ｋｇ
／ｍｍ2 ）、破壊じん性（ＭＮ／ｍ1/2 ）を示し、極め
て機械的強度が強いことが分かる。
電極材料（導電性セラミックス）の３点曲げ強度（ｋｇ
／ｍｍ2 ）、破壊じん性（ＭＮ／ｍ1/2 ）を示し、極め
て機械的強度が強いことが分かる。
【００１４】図４は電気抵抗値（Ω・ｃｍ）を示すもの
であり、容器材料は１０12以上と極めて抵抗値が高く、
一方電極材料は１０以下と極めて導電性に優れているこ
とがわかる。なお、抵抗値は数ｋΩ・ｃｍ以下であれば
よい。
であり、容器材料は１０12以上と極めて抵抗値が高く、
一方電極材料は１０以下と極めて導電性に優れているこ
とがわかる。なお、抵抗値は数ｋΩ・ｃｍ以下であれば
よい。
【００１５】〔実施例１〕α−Ｓｉａｌｏｎとα−Ｓ
ｉａｌｏｎ−ＴｉＮ、α−Ｓｉａｌｏｎ−ＴｉＣ、ま
たはα−Ｓｉａｌｏｎ−ＳｉＣの各原料粉末を５００
〜１０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力でＣＩＰ成形した後、図
１に示すようにα−Ｓｉａｌｏｎ成形体は容器形状に、
α−Ｓｉａｌｏｎ−ＴｉＮ成形体、α−Ｓｉａｌｏ
ｎ−ＴｉＣ成形体、またはα−Ｓｉａｌｏｎ−ＳｉＣ
成形体は電極形状にそれぞれ加工後、はめ合わせを行っ
た。はめ合わせを終えた後、素地を窒素雰囲気中１６０
０〜１９５０℃で２時間焼結すると導電率測定セルが得
られる。容器部分と電極部分の界面はすき間なく接着し
ておりその気密性はＨｅリークテストで１０-7ｔｏｒｒ
以上であった。
ｉａｌｏｎ−ＴｉＮ、α−Ｓｉａｌｏｎ−ＴｉＣ、ま
たはα−Ｓｉａｌｏｎ−ＳｉＣの各原料粉末を５００
〜１０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧力でＣＩＰ成形した後、図
１に示すようにα−Ｓｉａｌｏｎ成形体は容器形状に、
α−Ｓｉａｌｏｎ−ＴｉＮ成形体、α−Ｓｉａｌｏ
ｎ−ＴｉＣ成形体、またはα−Ｓｉａｌｏｎ−ＳｉＣ
成形体は電極形状にそれぞれ加工後、はめ合わせを行っ
た。はめ合わせを終えた後、素地を窒素雰囲気中１６０
０〜１９５０℃で２時間焼結すると導電率測定セルが得
られる。容器部分と電極部分の界面はすき間なく接着し
ておりその気密性はＨｅリークテストで１０-7ｔｏｒｒ
以上であった。
【００１６】〔実施例２〕α−Ｓｉａｌｏｎとα−Ｓ
ｉａｌｏｎ−ＴｉＮ、α−Ｓｉａｌｏｎ−ＴｉＣ、ま
たはα−Ｓｉａｌｏｎ−ＳｉＣの各原料粉末を１００
０ｋｇ／ｃｍ2 の圧力でＣＩＰ成形した後、図１に示す
ようにα−Ｓｉａｌｏｎ成形体は容器形状に、α−Ｓ
ｉａｌｏｎ−ＴｉＮ成形体、α−Ｓｉａｌｏｎ−Ｔｉ
Ｃ成形体、またはα−Ｓｉａｌｏｎ−ＳｉＣ成形体は
電極形状にそれぞれ加工後、窒素雰囲気中１６００〜１
９５０℃で２時間焼結する。得られた焼結体を容器部分
と電極部分のはめ合い時のクリアランスが０．１ｍｍ以
下になるように加工した後、ホウケイ酸塩フリット又は
チタンフリットなどのような耐薬品性の大きなガラスを
用いて窒素雰囲気中１０００℃で接着を行った。得られ
たセルは、実施例１と同様に容器部分と電極部分の気密
性はＨｅリークテストで１０-7ｔｏｒｒ以上であった。
ｉａｌｏｎ−ＴｉＮ、α−Ｓｉａｌｏｎ−ＴｉＣ、ま
たはα−Ｓｉａｌｏｎ−ＳｉＣの各原料粉末を１００
０ｋｇ／ｃｍ2 の圧力でＣＩＰ成形した後、図１に示す
ようにα−Ｓｉａｌｏｎ成形体は容器形状に、α−Ｓ
ｉａｌｏｎ−ＴｉＮ成形体、α−Ｓｉａｌｏｎ−Ｔｉ
Ｃ成形体、またはα−Ｓｉａｌｏｎ−ＳｉＣ成形体は
電極形状にそれぞれ加工後、窒素雰囲気中１６００〜１
９５０℃で２時間焼結する。得られた焼結体を容器部分
と電極部分のはめ合い時のクリアランスが０．１ｍｍ以
下になるように加工した後、ホウケイ酸塩フリット又は
チタンフリットなどのような耐薬品性の大きなガラスを
用いて窒素雰囲気中１０００℃で接着を行った。得られ
たセルは、実施例１と同様に容器部分と電極部分の気密
性はＨｅリークテストで１０-7ｔｏｒｒ以上であった。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明の導電率測定用セル
は、耐食性に優れ強酸、強アルカリ下での使用も可能で
あり、また機械的強度も強いことから高圧高温下の使用
にも充分耐えることができる。更に、電極部に貴金属を
使用しないことにより低コスト化を図れるなどの利点を
有し、その工業的価値は極めて大きい。
は、耐食性に優れ強酸、強アルカリ下での使用も可能で
あり、また機械的強度も強いことから高圧高温下の使用
にも充分耐えることができる。更に、電極部に貴金属を
使用しないことにより低コスト化を図れるなどの利点を
有し、その工業的価値は極めて大きい。
【図１】 本発明の導電率測定用セルを示す図である。
【図２】 耐薬品性試験結果を示す図である。
【図３】 機械的特性値を示す図である。
【図４】 電気抵抗値を示す図である。
【図５】 従来の導電率測定用セルを示す図である。
１…電極、２…容器。
Claims (4)
- 【請求項１】 電極を形成した容器内に試料を入れ、両
電極間に通電して試料の導電率を測定する導電率測定用
セルにおいて、容器部分を絶縁性セラミックスで、電極
部分を導電性セラミックス材料と絶縁性セラミックス材
料の複合セラミックスで構成したことを特徴とする導電
率測定用セル。 - 【請求項２】 請求項１記載のセルにおいて、容器部分
は絶縁性セラミックス、電極部分は数ｋΩ・ｃｍ以下の
抵抗値を有する複合セラミックスを使用していることを
特徴とする導電率測定用セル。 - 【請求項３】 請求項１記載のセルにおいて、複合セラ
ミックスは、ＴｉＣ，ＺｒＣ，ＶＣ，ＴａＣ，Ｍｏ
2 Ｃ，ＷＣ，ＳｉＣの炭化物、ＴｉＮ，ＺｒＮ，ＶＮ，
ＮｂＮ，ＴａＮ，Ｃｒ2 Ｎの窒化物、炭窒化物Ｔｉ（Ｃ
−Ｎ）、ＴｉＢ2，ＺｒＢ2 ，ＮｂＢ2 ，ＴａＢ2 ，Ｃ
ｒＢ2 ，ＭｏＢのホウ化物、ＴｉＳｉ2 ，ＺｒＳｉ2 ，
ＮｂＳｉ2 ，ＣｒＳｉ2 ，ＭｏＳｉ2 ，ＷＳｉ2 のケイ
化物、ＴｉＯ2-X の導電性セラミックス材料単体、及び
これらの２種以上からなる導電性セラミックス材料と、
Ｓｉ3 Ｎ4 ，Ｓｉａｌｏｎ，Ａｌ2 Ｏ3 ，ＺｒＯ2 の単
体及びこれらの２種以上からなる絶縁性セラミックス材
料とからなることを特徴とする導電率測定用セル。 - 【請求項４】 請求項１記載のセルにおいて、絶縁性セ
ラミックスは、Ｓｉ3 Ｎ4 ，αーＳｉａｌｏｎ，βーＳ
ｉａｌｏｎ，ＺｒＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｍｕｌｌｉｔｅ，
Ｓｐｉｎｅｌ，ＳｉＣの単体及びこれらの２種以上のセ
ラミックス材料よりなることを特徴とする導電率測定用
セル。
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3196528A JP2540253B2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 導電率測定用セル |
| PCT/JP1992/000974 WO1993003354A1 (fr) | 1991-08-06 | 1992-07-31 | Cellule de mesure de conductivite |
| AT92916524T ATE171782T1 (de) | 1991-08-06 | 1992-07-31 | Leitfähigkeitmesszelle |
| CA002093440A CA2093440C (en) | 1991-08-06 | 1992-07-31 | Cell for measuring electrical conductivity |
| DE69227176T DE69227176T2 (de) | 1991-08-06 | 1992-07-31 | Leitfähigkeitmesszelle |
| KR1019930701035A KR930702672A (ko) | 1991-08-06 | 1992-07-31 | 도전율 측정용 셀 |
| US08/350,668 US5495176A (en) | 1991-08-06 | 1992-07-31 | Ceramics cell for measuring electrical conductivity of liquid solution |
| EP92916524A EP0551525B1 (en) | 1991-08-06 | 1992-07-31 | Conductivity measuring cell |
| FI931552A FI931552A (fi) | 1991-08-06 | 1993-04-06 | Cell foer maetning av el-ledningsfoermaoga |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3196528A JP2540253B2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 導電率測定用セル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06138067A JPH06138067A (ja) | 1994-05-20 |
| JP2540253B2 true JP2540253B2 (ja) | 1996-10-02 |
Family
ID=16359242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3196528A Expired - Lifetime JP2540253B2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | 導電率測定用セル |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5495176A (ja) |
| EP (1) | EP0551525B1 (ja) |
| JP (1) | JP2540253B2 (ja) |
| KR (1) | KR930702672A (ja) |
| AT (1) | ATE171782T1 (ja) |
| CA (1) | CA2093440C (ja) |
| DE (1) | DE69227176T2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| JP3616840B2 (ja) * | 1997-08-08 | 2005-02-02 | 株式会社鷺宮製作所 | 導電率計 |
| US6144211A (en) | 1998-06-25 | 2000-11-07 | Mohr; Charles L. | Cross-channel probe system for time domain reflectometry detection of fluid flow |
| US6340418B1 (en) * | 1999-03-01 | 2002-01-22 | Ethem T. Turkdogan | Slag oxygen sensor |
| GB9908406D0 (en) * | 1999-04-14 | 1999-06-09 | Process Tomography Foresight T | Tomographic system |
| GB2406381B (en) | 2003-09-27 | 2005-10-12 | Future Technology | Sensors |
| DE102008042673A1 (de) * | 2008-10-08 | 2010-06-17 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung zum Erfassen elektrischer Eigenschaften einer Flüssigkeit |
| DE102008054659A1 (de) * | 2008-12-15 | 2010-06-17 | Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG | Konduktiver Leitfähigkeitssensor |
| JP2014115256A (ja) * | 2012-12-12 | 2014-06-26 | Sony Corp | 電気的測定用容器、並びに電気的測定用装置および電気的測定方法 |
| JP6569209B2 (ja) * | 2014-01-07 | 2019-09-04 | ソニー株式会社 | 電気的測定用カートリッジ、並びに電気的測定装置及び電気的測定方法 |
| JP6816792B2 (ja) * | 2014-01-07 | 2021-01-20 | ソニー株式会社 | 電気的測定用カートリッジ、並びに電気的測定装置及び電気的測定方法 |
| CN104181208B (zh) * | 2014-07-25 | 2017-12-05 | 河南科技大学 | 一种电池浆料测试装置 |
| DE202016001912U1 (de) | 2016-03-22 | 2016-10-24 | Harald Brandstätter | Gasdichter Probenhalter für elektrische Messungen |
| JP6070892B2 (ja) * | 2016-08-08 | 2017-02-01 | ソニー株式会社 | 電気的測定用容器、並びに電気的測定用装置および電気的測定方法 |
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Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6348150B2 (ja) * | 1980-03-31 | 1988-09-27 | Sony Chemicals | |
| JPH01199137A (ja) * | 1987-02-25 | 1989-08-10 | Sumitomo Cement Co Ltd | 懸濁粒子検出器 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3593119A (en) * | 1969-05-28 | 1971-07-13 | Lubrizol Corp | Electronic titrimeter |
| CA952983A (en) * | 1971-04-14 | 1974-08-13 | Commonwealth Scientific And Industrial Research Organization | Ceramic oxygen probe |
| JPS5969728U (ja) * | 1982-11-02 | 1984-05-11 | 木村寝台工業株式会社 | 水検知部材 |
| JPS5984148A (ja) * | 1982-11-05 | 1984-05-15 | Toyobo Co Ltd | 比抵抗連続測定装置 |
| EP0193015A3 (de) * | 1985-02-26 | 1990-05-09 | Novasina AG | Sensor zur Messung der elektrischen Leitfähigkeit |
| JPS6348150U (ja) * | 1986-09-13 | 1988-04-01 | ||
| JPH01244355A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-09-28 | Nippon Atom Ind Group Co Ltd | 高温水質モニタ用セル |
| JPH0238988A (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-08 | Murata Mfg Co Ltd | 液体センサ |
| FR2636736B1 (fr) * | 1988-09-20 | 1990-12-07 | Pechiney Recherche | Dispositif et procede de mesure continue de la conductivite electrique de milieux liquides dans une cellule dynamique |
| DE3843243C2 (de) * | 1988-12-22 | 1999-04-08 | Fev Motorentech Gmbh & Co Kg | Vorrichtung zur Feststellung des Alkoholgehaltes von Kraftstoffen |
| US5008628A (en) * | 1989-06-05 | 1991-04-16 | Wahlco, Inc. | Measurement of electrical resistivity of particulate entrained in a gas stream |
| US5151660A (en) * | 1990-09-05 | 1992-09-29 | Powers Kelly R | Ceramic capacitance high pressure fluid sensor |
| US5186806A (en) * | 1990-12-31 | 1993-02-16 | California Institute Of Technology | Ceramic distribution members for solid state electrolyte cells and method of producing |
-
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1993
- 1993-04-06 FI FI931552A patent/FI931552A/fi unknown
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6348150B2 (ja) * | 1980-03-31 | 1988-09-27 | Sony Chemicals | |
| JPH01199137A (ja) * | 1987-02-25 | 1989-08-10 | Sumitomo Cement Co Ltd | 懸濁粒子検出器 |
Also Published As
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