JPS6071913A - 電磁流量計 - Google Patents
電磁流量計Info
- Publication number
- JPS6071913A JPS6071913A JP18140683A JP18140683A JPS6071913A JP S6071913 A JPS6071913 A JP S6071913A JP 18140683 A JP18140683 A JP 18140683A JP 18140683 A JP18140683 A JP 18140683A JP S6071913 A JPS6071913 A JP S6071913A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon
- electrode
- silicon carbide
- silicon nitride
- electromagnetic flowmeter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/56—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects
- G01F1/58—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters
- G01F1/584—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters constructions of electrodes, accessories therefor
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明線、電磁流量計に係り、特に管路に絶縁性の２イ
ニング材を有しない電磁流量計に使用して有用な発明に
関する。
ニング材を有しない電磁流量計に使用して有用な発明に
関する。
〈従来技術〉
電磁流量計は一般に流量に対応して管路内に発生した流
量信号が導電性の管路で短絡されるのを防ぐために管路
の内面を絶縁性のライニング材で被覆している。しかし
、最近はライニング材の変形による事故防止、コスト低
減等の観点から２イニングのない電磁流量計が提案され
て−る。
量信号が導電性の管路で短絡されるのを防ぐために管路
の内面を絶縁性のライニング材で被覆している。しかし
、最近はライニング材の変形による事故防止、コスト低
減等の観点から２イニングのない電磁流量計が提案され
て−る。
かかる従来の電磁流量計の実施例を第１図に示す。第１
図では本発明の゛改良のペースとなる従来の電磁流量計
の流量信号を検出する電極附近の構造のみを示す。１は
流量信号を検出する電極であシ、この外側にセラミック
のプツシ、２が配設されている。ブ、シ＆２の外側には
カラーＳが配設され、これらの電極１、ブ、シ、２およ
びカラー６でもって電極部長を構成している。導電性管
路５には電極ボス６が溶接されており、電極ボス６の導
電性管路５に対して外側の部分にはネジが切っである。
図では本発明の゛改良のペースとなる従来の電磁流量計
の流量信号を検出する電極附近の構造のみを示す。１は
流量信号を検出する電極であシ、この外側にセラミック
のプツシ、２が配設されている。ブ、シ＆２の外側には
カラーＳが配設され、これらの電極１、ブ、シ、２およ
びカラー６でもって電極部長を構成している。導電性管
路５には電極ボス６が溶接されており、電極ボス６の導
電性管路５に対して外側の部分にはネジが切っである。
このネジと袋す、ドアで電極部−を絶縁シート８を介し
て押圧固定する。被測定物体の液漏れを防ぐにはカラー
３と電極ボス６との間に挿入式れた金属Ｑｌｌｌｌタグ
実現する。
て押圧固定する。被測定物体の液漏れを防ぐにはカラー
３と電極ボス６との間に挿入式れた金属Ｑｌｌｌｌタグ
実現する。
電極部りはプツシ−２とカラー５とを焼きばめで結合し
た後に電極１ｔプツシ、、−２の中に冷やしばめで挿入
かん合する。この場合のシールはこれ等部材の緊密な結
合と金属０リングでなされる。
た後に電極１ｔプツシ、、−２の中に冷やしばめで挿入
かん合する。この場合のシールはこれ等部材の緊密な結
合と金属０リングでなされる。
電磁流量計では被測定流体の温度の範囲が例えば−１０
℃〜２００℃であるので、との温度範囲の使用を保証す
るためにはブツシュ２とカラー３の焼ばめ温度全３００
℃付近、電極１とプツシ＆２およびカラー５の結合体と
の冷やしばめ温度を一７０℃以下に設定する。
℃〜２００℃であるので、との温度範囲の使用を保証す
るためにはブツシュ２とカラー３の焼ばめ温度全３００
℃付近、電極１とプツシ＆２およびカラー５の結合体と
の冷やしばめ温度を一７０℃以下に設定する。
この場合にカラー５が冷やしばめの際、塑性変形し締付
圧が減少する。したがって、再び高温になった場合に力
？−Ｓの膨張によシ気密保持ができなくなる。すなわち
、完全な気密保持ができゐ温度範囲が狭い欠点がある。
圧が減少する。したがって、再び高温になった場合に力
？−Ｓの膨張によシ気密保持ができなくなる。すなわち
、完全な気密保持ができゐ温度範囲が狭い欠点がある。
また、この焼きばめおよび冷やしばめによる加工は精密
な加工を要するので加工コストが高くなる欠点もめる。
な加工を要するので加工コストが高くなる欠点もめる。
〈発明の目的〉
本発明は、前記の従来技術に鑑み、導電性セラミックと
絶縁性セラミックとｔ−１体とした焼結体とする電極構
造とすることによシ被測定流体の使用温度範囲を拡大す
ることを目的とする。
絶縁性セラミックとｔ−１体とした焼結体とする電極構
造とすることによシ被測定流体の使用温度範囲を拡大す
ることを目的とする。
（ｓ）
〈本発明の構成〉
この目的を達成する本発明の構成は、被測定流体を流す
導電性管路の内壁近傍の前記被測定流体に発生した電位
分布と同じ電位分布を前記導電性管路に形成する電磁流
量計において、前記被測定流体に起因する流量信号を検
出する電極部を導電性セ５ Ｚ ｙりと絶縁性セラミ、
りとで１体として焼結して構成し、使用温度範囲を拡大
するようにしたものである。
導電性管路の内壁近傍の前記被測定流体に発生した電位
分布と同じ電位分布を前記導電性管路に形成する電磁流
量計において、前記被測定流体に起因する流量信号を検
出する電極部を導電性セ５ Ｚ ｙりと絶縁性セラミ、
りとで１体として焼結して構成し、使用温度範囲を拡大
するようにしたものである。
〈実施例〉
以下本発明の実施例について図面に基づき詳細に説明す
る。伺、従来技術と同一の機能を有する部分には同一番
号を付し、重複する説明は省略するＯ 第２図は本発明の第１の実施例を示す構成図である・１
０は導電性セラミックで構成された電極でＴｏシ、１１
は絶縁性のセラミックで構成されたプ。
る。伺、従来技術と同一の機能を有する部分には同一番
号を付し、重複する説明は省略するＯ 第２図は本発明の第１の実施例を示す構成図である・１
０は導電性セラミックで構成された電極でＴｏシ、１１
は絶縁性のセラミックで構成されたプ。
シ＆を示す。導電性のセラミ、りとしては、例えば炭化
珪素（ＳｉＣ）がＴｏシ、その体積固有抵抗は１０−１
０・ｃｍと小さく、絶縁性のセラミ、りとして（４） は、例えば窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）がアリ、その体積固
有抵抗は１０１４Ω・ａｍと高い。ここではこれ等の実
施例について説明する。
珪素（ＳｉＣ）がＴｏシ、その体積固有抵抗は１０−１
０・ｃｍと小さく、絶縁性のセラミ、りとして（４） は、例えば窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）がアリ、その体積固
有抵抗は１０１４Ω・ａｍと高い。ここではこれ等の実
施例について説明する。
炭化珪素の焼結温度は一般に窒化珪素の焼結温度よりも
低いので、窒化珪素のプッシュ１１ｔ−まず焼結した後
、その中空部に炭化珪素（８１Ｃ） 、珪素（８１）
、炭素（Ｃ）の混合粉末を入れ、約１４５０ ℃で焼結
して電極１０ヲ作る。この場合に炭化珪素中に残留する
金属の珪素（ｓｌ）と、窒化珪素の焼結の助剤に使われ
た酸化イツトリウム（Ｙ２Ｏ２）、アルミナ（Ａ１２０
３）とが境界面で結合し、ガラス質になるため境界での
気密性が確保できる。また、炭化珪素の収縮率は０．１
％と非常に小さいので収縮に起因する気密漏れは少ない
。
低いので、窒化珪素のプッシュ１１ｔ−まず焼結した後
、その中空部に炭化珪素（８１Ｃ） 、珪素（８１）
、炭素（Ｃ）の混合粉末を入れ、約１４５０ ℃で焼結
して電極１０ヲ作る。この場合に炭化珪素中に残留する
金属の珪素（ｓｌ）と、窒化珪素の焼結の助剤に使われ
た酸化イツトリウム（Ｙ２Ｏ２）、アルミナ（Ａ１２０
３）とが境界面で結合し、ガラス質になるため境界での
気密性が確保できる。また、炭化珪素の収縮率は０．１
％と非常に小さいので収縮に起因する気密漏れは少ない
。
更に炭化珪素の熱膨張係数は４．３ Ｘ １０＝／ ’
Ｃでめシ、窒化珪素の熱膨張係数は３．５ ｘ １０−
６／ ℃であるので、両者の差紘小さい。したがって本
実施例の構造によれば被測定流体の使用温度範囲は広く
とれる。
Ｃでめシ、窒化珪素の熱膨張係数は３．５ ｘ １０−
６／ ℃であるので、両者の差紘小さい。したがって本
実施例の構造によれば被測定流体の使用温度範囲は広く
とれる。
第３図は本発明の第２の実施例を示す構成図でめる。
第２図の実施例ではプッシュ１１と電極ボス６との間に
金属製のＯリング９を介在させて気密を保つ構成とした
が、第Ｓ図の実施例では、電極ボス１２の内面とブツシ
ュ１３の外面とをテーパ面とし、このテーパ面で気密を
保つようにしたものでわる。
金属製のＯリング９を介在させて気密を保つ構成とした
が、第Ｓ図の実施例では、電極ボス１２の内面とブツシ
ュ１３の外面とをテーパ面とし、このテーパ面で気密を
保つようにしたものでわる。
この構成によれば、被測定流体の温度が高い場合でも、
プツシ＝−１３が外側から袋ナラ）７により圧縮力を受
けているので、電極１０とブツシュ１３との熱膨張差に
よるプツシ５Ｌ１３の破壊を防ぐ効果も合わせ持ってい
る。
プツシ＝−１３が外側から袋ナラ）７により圧縮力を受
けているので、電極１０とブツシュ１３との熱膨張差に
よるプツシ５Ｌ１３の破壊を防ぐ効果も合わせ持ってい
る。
〈発明の効果〉
以上、実施例とともに具体的に説明したように本発明に
よれば、従来のように焼きばめや冷やしばめの構造をと
らないので適用温度範囲が拡大し電磁流量計として用途
が拡大する。また従来の如゛く精密な加工をする必要が
ないのでコストの低減に寄与することができる。更に、
電極部の構造がコンパクトになシ小ブイズの電磁流量計
にも容易に適用できる効果がある。
よれば、従来のように焼きばめや冷やしばめの構造をと
らないので適用温度範囲が拡大し電磁流量計として用途
が拡大する。また従来の如゛く精密な加工をする必要が
ないのでコストの低減に寄与することができる。更に、
電極部の構造がコンパクトになシ小ブイズの電磁流量計
にも容易に適用できる効果がある。
第１図は従来の電磁流量計の実施例の構成図、第２図は
本発明の第１の実施例の構成図、第５図は本発明の第２
の実施例の構成図。 ５・・・導電性管路、６・・・電極ボス、９・・・金属
。リング、１０・・・電極、１１．１３・・・プツシ纂
。 （７）
本発明の第１の実施例の構成図、第５図は本発明の第２
の実施例の構成図。 ５・・・導電性管路、６・・・電極ボス、９・・・金属
。リング、１０・・・電極、１１．１３・・・プツシ纂
。 （７）
Claims (1)
- 被測定流体を流す導電性管路の内壁近傍の前記被測定流
体に発生した電位分布と同じ電位分布を前記導電性管路
に形成する電磁流量計において、前記被測定流体に起因
する流量信号を検出する電極部を導電性セラミックと絶
縁性セラミックとで１体として焼結して構成したことを
特徴とする電磁流量計＠
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18140683A JPS6071913A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 電磁流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18140683A JPS6071913A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 電磁流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6071913A true JPS6071913A (ja) | 1985-04-23 |
| JPH035525B2 JPH035525B2 (ja) | 1991-01-25 |
Family
ID=16100199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18140683A Granted JPS6071913A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 電磁流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6071913A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5925830A (en) * | 1995-09-12 | 1999-07-20 | Georg Fischer Rohrleitungssysteme Ag | Electromagnetic flowmeter construction |
| US7462255B2 (en) * | 2002-06-14 | 2008-12-09 | Technische Universitaet Dresden | Method for producing by laser gastight and high-temperature resistant connections of shaped parts made of a non-oxidic ceramic |
-
1983
- 1983-09-29 JP JP18140683A patent/JPS6071913A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5925830A (en) * | 1995-09-12 | 1999-07-20 | Georg Fischer Rohrleitungssysteme Ag | Electromagnetic flowmeter construction |
| US7462255B2 (en) * | 2002-06-14 | 2008-12-09 | Technische Universitaet Dresden | Method for producing by laser gastight and high-temperature resistant connections of shaped parts made of a non-oxidic ceramic |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH035525B2 (ja) | 1991-01-25 |
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