JPS6071579A - アルミナと金属との接合方法 - Google Patents
アルミナと金属との接合方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はアルミナと金属との接合方法に係り、特にアル
ミナと金属との接合温度を低く抑えたい機械構造部品、
電子部品などに使用して好適なアルミナと金属との接合
方法に関する。
ミナと金属との接合温度を低く抑えたい機械構造部品、
電子部品などに使用して好適なアルミナと金属との接合
方法に関する。
アルミナと金属とを接合する方法としては、(1)Mo
−Mn法や硫化銅法で代表されるように、アルミナ表面
に金属粉を焼きつけて(メタライズ)、その後のろう付
を容易にするため、メタライズ部をめっきして金属をろ
う付する方法、(rr;やTiとNiを介してアルミナ
と金属とを接合する活性金属法、が知られている。
−Mn法や硫化銅法で代表されるように、アルミナ表面
に金属粉を焼きつけて(メタライズ)、その後のろう付
を容易にするため、メタライズ部をめっきして金属をろ
う付する方法、(rr;やTiとNiを介してアルミナ
と金属とを接合する活性金属法、が知られている。
しかし、前者は、メタライズのための雰囲気の厳密なコ
ントロールやメタライズ後のめつき処理が必要であると
共に、工程の複雑さからの制約、接合面に気孔などの欠
陥が生じ易い問題がある。
ントロールやメタライズ後のめつき処理が必要であると
共に、工程の複雑さからの制約、接合面に気孔などの欠
陥が生じ易い問題がある。
また、後者は、少なくとも950C以上に加熱して接合
する必要があるので、加熱時に金属が熱変形して製品の
寸法精度が悪くなる。また加熱温度が商いため、接合後
の冷却においてアルミナと金属との熱膨張差によシ熱応
力が発生し、アルミナに亀裂が生じ易く強度信頼1・t
の低下を招く。更には、1ルミナと接合する金属の種類
が限定される、つまシ融点が950C以上の金属に限定
されてしまうと共に、950Cよシ低い温度で接合した
い部品に対しては適用できない。
する必要があるので、加熱時に金属が熱変形して製品の
寸法精度が悪くなる。また加熱温度が商いため、接合後
の冷却においてアルミナと金属との熱膨張差によシ熱応
力が発生し、アルミナに亀裂が生じ易く強度信頼1・t
の低下を招く。更には、1ルミナと接合する金属の種類
が限定される、つまシ融点が950C以上の金属に限定
されてしまうと共に、950Cよシ低い温度で接合した
い部品に対しては適用できない。
本発明の目的は、従来技術の問題点を解消し、メタライ
ズ処理及びめっき処理を省略でき、しかも接合温度を低
く抑えることができるアルミナと金属との接合方法を提
供することにある。
ズ処理及びめっき処理を省略でき、しかも接合温度を低
く抑えることができるアルミナと金属との接合方法を提
供することにある。
この目的を達成するために、本発明は、アルミナと金属
との接合面間にAtまたはAt合金板を介在させ、加熱
及び加圧することを特徴とする。
との接合面間にAtまたはAt合金板を介在させ、加熱
及び加圧することを特徴とする。
以下、本発明の実施例を図面に従って説明する。
山 アルミナと鉄との接合例
(その1)
第1図に示すように、アルミナ製リング1を2つのP
e[パイプ2の間に置き、かつアルミナ製リング1の接
合面とFe’JJパイプ2の接合面との間に、At合金
を心根、ht−si−Mg合金を画表皮材とする三層の
シート3を介在し、真空雰囲気下(10−’ Torr
)で接合温度600G、接合圧力1. OKp f
/ mm ”で15分間加熱、加圧保持して接合した。
e[パイプ2の間に置き、かつアルミナ製リング1の接
合面とFe’JJパイプ2の接合面との間に、At合金
を心根、ht−si−Mg合金を画表皮材とする三層の
シート3を介在し、真空雰囲気下(10−’ Torr
)で接合温度600G、接合圧力1. OKp f
/ mm ”で15分間加熱、加圧保持して接合した。
この場合、約585Cで前記シート3の両表面の表皮材
At−81−Mg合金は溶融状態となり、A L 、
S lはアルミナと接合する、一方、Fe製パイプ2側
ではAtの拡散によりFeとAtとの合金層が形成され
る。第2図はアルミナとpeとの適正接合温度範囲を示
す。第3図はアルミナとpeとの接合部断面組織及び各
元素のライン分析結果を示す。
At−81−Mg合金は溶融状態となり、A L 、
S lはアルミナと接合する、一方、Fe製パイプ2側
ではAtの拡散によりFeとAtとの合金層が形成され
る。第2図はアルミナとpeとの適正接合温度範囲を示
す。第3図はアルミナとpeとの接合部断面組織及び各
元素のライン分析結果を示す。
このようにして接合されたアルミナ製リング1とFe製
パイプ2においては、接合温度が低く、かつ軟かいAt
をインナート材としているので、前者によシ熱応力の発
生を小さく抑制し、また後者によシ熱応力の緩和が図れ
るためアルミナ製リング1に亀裂の発生が全く見られな
かった。また、接合前、接合後のFe製パイプ2の寸法
を測定したところ、両者に寸法の誤差はほとんど見られ
なかった、即ちFe製パイプ2に熱変形が生じないこと
が確認された。更に、アルミナ製リング1とFe1l!
パイプ2との接合部のHe1J−り試験ではl Q−8
T□ r r l、、 /8B’、以下ノ気密性カアル
コトモ確認できた。
パイプ2においては、接合温度が低く、かつ軟かいAt
をインナート材としているので、前者によシ熱応力の発
生を小さく抑制し、また後者によシ熱応力の緩和が図れ
るためアルミナ製リング1に亀裂の発生が全く見られな
かった。また、接合前、接合後のFe製パイプ2の寸法
を測定したところ、両者に寸法の誤差はほとんど見られ
なかった、即ちFe製パイプ2に熱変形が生じないこと
が確認された。更に、アルミナ製リング1とFe1l!
パイプ2との接合部のHe1J−り試験ではl Q−8
T□ r r l、、 /8B’、以下ノ気密性カアル
コトモ確認できた。
尚、本実施例でのMgは、アルミナ及びFeに対しての
溶融A4−8i合金の濡れ性向上に効果がある。
溶融A4−8i合金の濡れ性向上に効果がある。
(その2)
第1図で示した接合物をアルゴン雰囲気中(1気圧)で
、接合温度600tZ’%接合圧力2Kff/W2で1
0分間加熱、加圧保持して接合した。その結果、接合部
外周にAt合金のシート3の一部がはみ出た状態でアル
ミナ製リング1とFe製パイプ2とが接合した。このよ
うに接合された接合物のHe IJ−り試験を行ったと
ころ、10−8’porrt/)iflc以下の気密性
が確認され、また引張強さ1.IKgf/■2と真空雰
囲気下での接合とほぼ同等の接合強さが得られた。
、接合温度600tZ’%接合圧力2Kff/W2で1
0分間加熱、加圧保持して接合した。その結果、接合部
外周にAt合金のシート3の一部がはみ出た状態でアル
ミナ製リング1とFe製パイプ2とが接合した。このよ
うに接合された接合物のHe IJ−り試験を行ったと
ころ、10−8’porrt/)iflc以下の気密性
が確認され、また引張強さ1.IKgf/■2と真空雰
囲気下での接合とほぼ同等の接合強さが得られた。
(その3)
第1図に示したシート3として、純Atのシートを用い
、真空雰囲気下(10”Torr)で接合温度650c
、接合圧力2に9 f/m2テ15 分間加熱、加圧保
持して接合した。この場合、高温下での加圧によシ純A
tは塑性変形するため、純Atの表面に形成されている
酸化皮膜(Atz03)は破壊され、清浄なAt金属面
がアルミナ及び鉄と接触することになる。従って、その
後の加熱、加圧保持中にAtは拡散し、アルミナ及び鉄
と固相反応を起して各々接合される。純A、tをインザ
ート材とした場合、実施例(その1)と異なる点は、接
合温度を高く、かつ加圧力も高くする点にあシ、接合部
の接合強さ及び耐He1J−り性は実施例(その1)と
ほぼ同等で゛ある。
、真空雰囲気下(10”Torr)で接合温度650c
、接合圧力2に9 f/m2テ15 分間加熱、加圧保
持して接合した。この場合、高温下での加圧によシ純A
tは塑性変形するため、純Atの表面に形成されている
酸化皮膜(Atz03)は破壊され、清浄なAt金属面
がアルミナ及び鉄と接触することになる。従って、その
後の加熱、加圧保持中にAtは拡散し、アルミナ及び鉄
と固相反応を起して各々接合される。純A、tをインザ
ート材とした場合、実施例(その1)と異なる点は、接
合温度を高く、かつ加圧力も高くする点にあシ、接合部
の接合強さ及び耐He1J−り性は実施例(その1)と
ほぼ同等で゛ある。
(2)アルミナとAtとの接合例
(その1)
第4図に示すように、アルミナ板4とA7板5とを交互
に積み重ねると共に、アルミナ板4とAt板5との間に
、At合金を心根に、A7−8i−Mg合金を画表皮材
とする三層のシート6を介在させて、真空雰囲気下(1
0−4Torr)で接合温度600C,接合圧力0.2
にりf/■2で15分間加熱、加圧保持して接合した。
に積み重ねると共に、アルミナ板4とAt板5との間に
、At合金を心根に、A7−8i−Mg合金を画表皮材
とする三層のシート6を介在させて、真空雰囲気下(1
0−4Torr)で接合温度600C,接合圧力0.2
にりf/■2で15分間加熱、加圧保持して接合した。
この実施例においては、At板5に熱変形が生じていな
いことが確認されたと共に、アルミナ板4に亀裂の発生
が見られなかった。また接合部の引張シ強さは3 F−
g f /van 2まで得られたと共に、Heリーク
試験でも10−’Torrt/方以下の気密性も確認さ
れた。
いことが確認されたと共に、アルミナ板4に亀裂の発生
が見られなかった。また接合部の引張シ強さは3 F−
g f /van 2まで得られたと共に、Heリーク
試験でも10−’Torrt/方以下の気密性も確認さ
れた。
(その2)
第4図に示したシート6の代シに、At−10Si粉末
を介在させ、真空雰囲気下(10−’Torr)で接合
温度600 C,接合圧力0.2 Kf f /關2で
15分間加熱、加圧保持した。
を介在させ、真空雰囲気下(10−’Torr)で接合
温度600 C,接合圧力0.2 Kf f /關2で
15分間加熱、加圧保持した。
この実施例においても、寸法精度が良く、かつ1O−8
Torr/L/m以下の耐1(eリーク性が確認された
。
Torr/L/m以下の耐1(eリーク性が確認された
。
尚、アルミナと妖との接合においては、真空雰囲気下及
びアルゴン雰囲気中に限らず大気中でも接合可能である
。特に大気中での接合の場合には、鉄が酸化するが、短
時間加熱で加圧力を大きくすれば問題ない。
びアルゴン雰囲気中に限らず大気中でも接合可能である
。特に大気中での接合の場合には、鉄が酸化するが、短
時間加熱で加圧力を大きくすれば問題ない。
以上説明したように、本発明によれば、アルミナと金属
との接合温度を660C以下に下げることができると共
に、1回の加熱で接合できるので、次のような効果を達
成できる。
との接合温度を660C以下に下げることができると共
に、1回の加熱で接合できるので、次のような効果を達
成できる。
(1)加熱温度が低いので、接合後の冷却において発生
する熱応力が小さくなシ、アルミナに亀裂が発生しにく
い。その結果、強度信頼性が向上する。
する熱応力が小さくなシ、アルミナに亀裂が発生しにく
い。その結果、強度信頼性が向上する。
(2)金属の熱変形を抑制できるので、司法精度の製品
を得ることができる。
を得ることができる。
(3) メタライズ処理及びめっき処理を省略できる。
(4)既に熱処理あるいは表面処理した金属部材、また
はろう付箇所のある部材との接合が可能となる。
はろう付箇所のある部材との接合が可能となる。
第1図はアルミナ製リングとFe製パイプとの接合を示
す断面図、第2図はアルミナとpeとの接合に朴ける適
正温度範囲を示す線図、第3図はアルミナとpeとの接
合部断面組織及び各元素のライン分析結果を示す図、第
4図はアルミナ板とAt板との接合を示す断面図である
。 1・・・アルミナ製リング、2・・・peJJパイプ、
3・・・シート、4・・・アルミナ板、5・・・At板
、6・・・シート。 第 1 日 第 ztb 接8−堝−友 (°C) e ハ! St: 5i Fe Aノ 手続補正書 (自発) 表示 昭和 58年特許願第 177933 号名称 アルミナと金属との接合方法 する者 J(茅 特許出願人 称 15101株式会ト! 日 立 製 イ乍 所1人 つ対象 図 面 り内容 図面の第3図を添付図面と差換える。
す断面図、第2図はアルミナとpeとの接合に朴ける適
正温度範囲を示す線図、第3図はアルミナとpeとの接
合部断面組織及び各元素のライン分析結果を示す図、第
4図はアルミナ板とAt板との接合を示す断面図である
。 1・・・アルミナ製リング、2・・・peJJパイプ、
3・・・シート、4・・・アルミナ板、5・・・At板
、6・・・シート。 第 1 日 第 ztb 接8−堝−友 (°C) e ハ! St: 5i Fe Aノ 手続補正書 (自発) 表示 昭和 58年特許願第 177933 号名称 アルミナと金属との接合方法 する者 J(茅 特許出願人 称 15101株式会ト! 日 立 製 イ乍 所1人 つ対象 図 面 り内容 図面の第3図を添付図面と差換える。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1゜ アルミナと金属との接合方法であって、−アルミ
ナと金属との接合面間にAtまたはAt合金を介在させ
、加熱及び加圧することを特徴とするアルミナと金属と
の接合方法。 2、特許請求の範囲第1項において、前記At合金とし
て、ht−si合金からなるシートまたはAt合金を心
根、At−8i合金を画表皮材とするシートを用17−
4、ht−s1合金の固相線以上の温度に加熱すると共
に加圧することを特徴とするアルミナと金属との接合方
法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58177933A JPS6071579A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | アルミナと金属との接合方法 |
DE8484111556T DE3479312D1 (en) | 1983-09-28 | 1984-09-27 | Method of bonding alumina to metal |
EP84111556A EP0135937B1 (en) | 1983-09-28 | 1984-09-27 | Method of bonding alumina to metal |
US06/895,690 US4699310A (en) | 1983-09-28 | 1986-08-12 | Method of bonding alumina to metal |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58177933A JPS6071579A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | アルミナと金属との接合方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6071579A true JPS6071579A (ja) | 1985-04-23 |
JPH0249267B2 JPH0249267B2 (ja) | 1990-10-29 |
Family
ID=16039601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58177933A Granted JPS6071579A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | アルミナと金属との接合方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4699310A (ja) |
EP (1) | EP0135937B1 (ja) |
JP (1) | JPS6071579A (ja) |
DE (1) | DE3479312D1 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62183543A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-11 | Hitachi Ltd | 半導体装置用パツケ−ジ |
JPH0268448U (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-24 | ||
JPH02153868A (ja) * | 1988-12-06 | 1990-06-13 | Mitsubishi Alum Co Ltd | セラミック板と金属板のろう付け方法 |
JPH0333074A (ja) * | 1989-06-28 | 1991-02-13 | Ngk Insulators Ltd | セラミックスとAlの鑞着構体及びその製造方法 |
US5543130A (en) * | 1992-01-24 | 1996-08-06 | Ngk Insulators, Ltd. | Metal ceramic composite structure |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0788262B2 (ja) * | 1985-04-01 | 1995-09-27 | 株式会社日立製作所 | 窒化ケイ素と金属との接合方法 |
US4872606A (en) * | 1985-12-11 | 1989-10-10 | Hitachi, Ltd. | Sealed structure and production method thereof |
JPS62182174A (ja) * | 1986-02-05 | 1987-08-10 | 日本碍子株式会社 | セラミツクス・金属複合体 |
US4854495A (en) * | 1986-06-20 | 1989-08-08 | Hitachi, Ltd. | Sealing structure, method of soldering and process for preparing sealing structure |
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