JP2000321010A - 渦電流式変位計 - Google Patents
渦電流式変位計Info
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Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 十分な計測精度が得られると共に、高温・高
圧の流体環境下でも十分な耐食性が得られ、且つ十分な
機械的な強度を確保することができる渦電流式変位計を
提供する。 【解決手段】 材質にＳｉＣを用いて計測部１１を収納
したヘッドケース部１２と、前記ヘッドケース部を支持
する金属製の基体ケース部１３と、前記ヘッドケース部
と基体ケース部とのそれぞれその外径よりも大きな薄肉
シール部材１５，１６をロウ付けにより接着し、両薄肉
シール部材の外周部１７にて溶融接合した。
圧の流体環境下でも十分な耐食性が得られ、且つ十分な
機械的な強度を確保することができる渦電流式変位計を
提供する。 【解決手段】 材質にＳｉＣを用いて計測部１１を収納
したヘッドケース部１２と、前記ヘッドケース部を支持
する金属製の基体ケース部１３と、前記ヘッドケース部
と基体ケース部とのそれぞれその外径よりも大きな薄肉
シール部材１５，１６をロウ付けにより接着し、両薄肉
シール部材の外周部１７にて溶融接合した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定対象物の変
位を磁気信号に基づいて非接触で計測する渦電流式変位
計に係り、特に高温・高圧の流体等の環境下でも使用す
ることができる変位計に関する。
位を磁気信号に基づいて非接触で計測する渦電流式変位
計に係り、特に高温・高圧の流体等の環境下でも使用す
ることができる変位計に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、高温・高圧の流体中で使用可能な
渦電流式変位計は、ほとんどの場合が全金属製のケース
により、磁気信号を発生する変位計測部を被覆して保護
している。渦電流式変位計は、被測定対象物の変位を、
磁気信号を被測定対象物に及ぼし、計測された渦電流に
より非接触で計測する。この変位計測部が金属製ケース
で被覆されると、変位計測部で形成される磁気信号が金
属製のケースを通過する際に、磁気信号自体が減衰され
るという問題がある。この結果、変位計のＳ／Ｎ比の悪
化が生じ、結果として検出精度の劣化につながる。この
ため、一部の渦電流式変位計では金属製のケースに替え
て、Ｓｉ３Ｎ４、又はＡｌ２Ｏ３等のセラミックス材が
用いられている。このようなセラミックス材は、磁気信
号が形成される変位計測部を絶縁体でカバーすることが
でき、その結果として計測精度の劣化が防止される。そ
して、これらのセラミックス材は渦電流式変位計のベー
スとなる金属部分とのロウ付け結合が比較的容易であ
る。しかしながら、これらのセラミックス材のうち、Ｓ
ｉ３Ｎ４を用いたものは、高温の水中で腐食が生じ易い
ため、その使用範囲が限定されている。又、同様にＡｌ
２Ｏ３からなるセラミックス材は、高温の酸又はアルカ
リ環境下で同様に腐食するため、その使用範囲にも制限
がある。
渦電流式変位計は、ほとんどの場合が全金属製のケース
により、磁気信号を発生する変位計測部を被覆して保護
している。渦電流式変位計は、被測定対象物の変位を、
磁気信号を被測定対象物に及ぼし、計測された渦電流に
より非接触で計測する。この変位計測部が金属製ケース
で被覆されると、変位計測部で形成される磁気信号が金
属製のケースを通過する際に、磁気信号自体が減衰され
るという問題がある。この結果、変位計のＳ／Ｎ比の悪
化が生じ、結果として検出精度の劣化につながる。この
ため、一部の渦電流式変位計では金属製のケースに替え
て、Ｓｉ３Ｎ４、又はＡｌ２Ｏ３等のセラミックス材が
用いられている。このようなセラミックス材は、磁気信
号が形成される変位計測部を絶縁体でカバーすることが
でき、その結果として計測精度の劣化が防止される。そ
して、これらのセラミックス材は渦電流式変位計のベー
スとなる金属部分とのロウ付け結合が比較的容易であ
る。しかしながら、これらのセラミックス材のうち、Ｓ
ｉ３Ｎ４を用いたものは、高温の水中で腐食が生じ易い
ため、その使用範囲が限定されている。又、同様にＡｌ
２Ｏ３からなるセラミックス材は、高温の酸又はアルカ
リ環境下で同様に腐食するため、その使用範囲にも制限
がある。
【０００３】ところで、ＳｉＣからなるセラミックス材
は、高温の水中、又は高温の酸或いはアルカリ環境下で
腐食に対して強い特性を有することが知られている。し
かしながら、ＳｉＣは金属とのロウ付け強度が他のセラ
ミックス材より劣り、又、Ｓｉ３Ｎ４に比べて強度や靱
性が小さいため、ロウ付けにより金属と接合しても、セ
ラミックスと金属との線膨張係数の相違による熱膨張差
が存在し、剥がれや割れが生じやすいという問題があっ
た。このため、ＳｉＣは、従来は高温・高圧の流体中の
環境下で使用される渦電流式変位計には、採用すること
は困難であった。
は、高温の水中、又は高温の酸或いはアルカリ環境下で
腐食に対して強い特性を有することが知られている。し
かしながら、ＳｉＣは金属とのロウ付け強度が他のセラ
ミックス材より劣り、又、Ｓｉ３Ｎ４に比べて強度や靱
性が小さいため、ロウ付けにより金属と接合しても、セ
ラミックスと金属との線膨張係数の相違による熱膨張差
が存在し、剥がれや割れが生じやすいという問題があっ
た。このため、ＳｉＣは、従来は高温・高圧の流体中の
環境下で使用される渦電流式変位計には、採用すること
は困難であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述した事情
に鑑みて為されたもので、十分な計測精度が得られると
共に、高温・高圧の流体環境下でも十分な耐食性が得ら
れ、且つ十分な機械的な強度を確保することができる渦
電流式変位計を提供することを目的とする。
に鑑みて為されたもので、十分な計測精度が得られると
共に、高温・高圧の流体環境下でも十分な耐食性が得ら
れ、且つ十分な機械的な強度を確保することができる渦
電流式変位計を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の渦電流式変位計
は、材質にＳｉＣを用いて計測部を収納したヘッドケー
ス部と、前記ヘッドケース部を支持する金属製の基体ケ
ース部と、前記ヘッドケース部と基体ケース部とのそれ
ぞれの外径よりも大きな薄肉シール部材をロウ付けによ
り接着し、両薄肉シール部材の外周部にて溶融接合した
ことを特徴とする。
は、材質にＳｉＣを用いて計測部を収納したヘッドケー
ス部と、前記ヘッドケース部を支持する金属製の基体ケ
ース部と、前記ヘッドケース部と基体ケース部とのそれ
ぞれの外径よりも大きな薄肉シール部材をロウ付けによ
り接着し、両薄肉シール部材の外周部にて溶融接合した
ことを特徴とする。
【０００６】上述した本発明によれば、計測部がＳｉＣ
からなるセラミックス材を用いて被覆保護されているの
で、変位計測部が生成する磁気信号を減衰させることな
く、渦電流式変位計として高いＳ／Ｎ比が得られ、高い
計測制度を維持することができる。そして、計測部を被
覆・保護するヘッドケース部にＳｉＣからなるセラミッ
クス材を用いたので、高温の流体環境下でも高い耐食性
が得られる。更に、金属製の基体ケース部とＳｉＣ製の
ヘッドケース部とをそれぞれ薄肉のシール部材を介して
溶融接合により封止したので、過大な熱応力の発生を防
止して、機械的な両者間の接続強度を高めることができ
る。これにより機械的な安定性が高く、且つ比較的低コ
ストで上述の渦電流式変位計を製造することができる。
からなるセラミックス材を用いて被覆保護されているの
で、変位計測部が生成する磁気信号を減衰させることな
く、渦電流式変位計として高いＳ／Ｎ比が得られ、高い
計測制度を維持することができる。そして、計測部を被
覆・保護するヘッドケース部にＳｉＣからなるセラミッ
クス材を用いたので、高温の流体環境下でも高い耐食性
が得られる。更に、金属製の基体ケース部とＳｉＣ製の
ヘッドケース部とをそれぞれ薄肉のシール部材を介して
溶融接合により封止したので、過大な熱応力の発生を防
止して、機械的な両者間の接続強度を高めることができ
る。これにより機械的な安定性が高く、且つ比較的低コ
ストで上述の渦電流式変位計を製造することができる。
【０００７】又、前記薄肉シール部材は、銅、銅合金、
銀、又はコバールであり、１ｍｍ以下の肉厚であること
が好ましい。又、前記外周部の溶融接合は、電子ビーム
溶接、レーザビーム溶接、又はマイクロＴＩＧ溶接にて
形成されることが好ましい。又、前記ヘッドケース部
は、前記基体ケース部に更に押さえキャップを介して固
定されることが好ましい。又、前記ヘッドケース部と押
さえキャップとの間に応力緩和座金を間挿することが好
ましい。又、前記ヘッドケース部と押さえキャップとの
間に潤滑座金を間挿することが好ましい。又、前記ヘッ
ドケース部と押さえキャップとの間にばね機能を有する
座金を間挿することが好ましい。
銀、又はコバールであり、１ｍｍ以下の肉厚であること
が好ましい。又、前記外周部の溶融接合は、電子ビーム
溶接、レーザビーム溶接、又はマイクロＴＩＧ溶接にて
形成されることが好ましい。又、前記ヘッドケース部
は、前記基体ケース部に更に押さえキャップを介して固
定されることが好ましい。又、前記ヘッドケース部と押
さえキャップとの間に応力緩和座金を間挿することが好
ましい。又、前記ヘッドケース部と押さえキャップとの
間に潤滑座金を間挿することが好ましい。又、前記ヘッ
ドケース部と押さえキャップとの間にばね機能を有する
座金を間挿することが好ましい。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【０００９】図１は、本発明の実施の形態の渦電流式変
位計を示す。この渦電流式変位計は、材質にＳｉＣを用
いて計測部１１を内蔵したヘッドケース部１２と、ヘッ
ドケース部１２を支持するステンレス材等の金属製の基
体ケース部１３とから主に構成されている。計測部１１
は、変位計測のための磁気信号を生成する部分であり、
図示しない信号線が基体ケース部１３の端子に接続さ
れ、その端子からケーブル等により信号が外部に取り出
されるようになっている。ＳｉＣからなるヘッドケース
部１２は、絶縁体であり、計測部１１が生成する磁気信
号を減衰させることはない。従って、従来の金属製のケ
ースと比較して、大幅にＳ／Ｎ比が改善され、計測精度
を高めることができる。又、この材料は高温の流体環境
下でも、水分及び酸又はアルカリ溶液に対して高い耐食
性を有している。
位計を示す。この渦電流式変位計は、材質にＳｉＣを用
いて計測部１１を内蔵したヘッドケース部１２と、ヘッ
ドケース部１２を支持するステンレス材等の金属製の基
体ケース部１３とから主に構成されている。計測部１１
は、変位計測のための磁気信号を生成する部分であり、
図示しない信号線が基体ケース部１３の端子に接続さ
れ、その端子からケーブル等により信号が外部に取り出
されるようになっている。ＳｉＣからなるヘッドケース
部１２は、絶縁体であり、計測部１１が生成する磁気信
号を減衰させることはない。従って、従来の金属製のケ
ースと比較して、大幅にＳ／Ｎ比が改善され、計測精度
を高めることができる。又、この材料は高温の流体環境
下でも、水分及び酸又はアルカリ溶液に対して高い耐食
性を有している。
【００１０】そして、ヘッドケース部１２には、薄肉の
シール部材１５がロウ付けにより接続され、又基体ケー
ス部にも同様に薄肉シール部材１６がロウ付けにより接
続されている。そして、これらの薄肉シール部材１５，
１６は、それぞれヘッドケース部１２及び基体ケース部
１３の外径よりも大きなサイズとなっている。そして両
薄肉シール部材１５，１６の外周部１７にて溶融接合に
より気密封止されている。ここで、薄肉シール部材１
５，１６は、銅、銅合金、銀等の弾性率や降伏応力が小
さい金属、又はコバール等の線膨張係数がＳｉＣに近い
金属で構成されており、その厚さは１ｍｍ以下と薄肉で
ある。
シール部材１５がロウ付けにより接続され、又基体ケー
ス部にも同様に薄肉シール部材１６がロウ付けにより接
続されている。そして、これらの薄肉シール部材１５，
１６は、それぞれヘッドケース部１２及び基体ケース部
１３の外径よりも大きなサイズとなっている。そして両
薄肉シール部材１５，１６の外周部１７にて溶融接合に
より気密封止されている。ここで、薄肉シール部材１
５，１６は、銅、銅合金、銀等の弾性率や降伏応力が小
さい金属、又はコバール等の線膨張係数がＳｉＣに近い
金属で構成されており、その厚さは１ｍｍ以下と薄肉で
ある。
【００１１】図２は、薄肉シール部材１５，１６のヘッ
ドケース部と基体ケース部とのロウ付け及び両者の外周
部における溶融接合を示している。即ち、図２（ａ）に
示すように、薄板リング状のシール部材１６は、金属製
の基体ケース部１３の上面へロウ付けにより接着固定さ
れている。そして図２（ｂ）に示すように、同様に薄板
リング状のシール部材１５は、ＳｉＣ製のヘッドケース
部１２の下面に同様にロウ付けにより接着固定されてい
る。そして図２（ｃ）に示すように、ヘッドケース部１
２に接着固定された薄肉シール部材１５と、基体ケース
部１３に接着固定された薄肉シール部材１６とは、それ
ぞれが密着され、外周部１７において溶融接合され、気
密に封止されている。この溶融接合部１７は、入熱量が
少ない電子ビーム溶接、レーザビーム溶接、マイクロＴ
ＩＧ（Tungsten Inert Gas）溶接にて形成されている。
これにより薄肉シール部材１５，１６の外周部１７のみ
が確実に融着して完全な気密封止が得られる。仮に入熱
量が大きな溶接手段を用いると、図示するような外周部
のみの局部的な溶融接合が困難となる。
ドケース部と基体ケース部とのロウ付け及び両者の外周
部における溶融接合を示している。即ち、図２（ａ）に
示すように、薄板リング状のシール部材１６は、金属製
の基体ケース部１３の上面へロウ付けにより接着固定さ
れている。そして図２（ｂ）に示すように、同様に薄板
リング状のシール部材１５は、ＳｉＣ製のヘッドケース
部１２の下面に同様にロウ付けにより接着固定されてい
る。そして図２（ｃ）に示すように、ヘッドケース部１
２に接着固定された薄肉シール部材１５と、基体ケース
部１３に接着固定された薄肉シール部材１６とは、それ
ぞれが密着され、外周部１７において溶融接合され、気
密に封止されている。この溶融接合部１７は、入熱量が
少ない電子ビーム溶接、レーザビーム溶接、マイクロＴ
ＩＧ（Tungsten Inert Gas）溶接にて形成されている。
これにより薄肉シール部材１５，１６の外周部１７のみ
が確実に融着して完全な気密封止が得られる。仮に入熱
量が大きな溶接手段を用いると、図示するような外周部
のみの局部的な溶融接合が困難となる。
【００１２】又、この渦電流式変位計は図１に示すよう
に押さえキャップ２０を用いてヘッドケース部１２が基
体ケース部１３に固定され、これにより両者間の組立剛
性を高めている。この押さえキャップ２０は、ステンレ
ス材等の金属製であり、ネジ部２０ａにより同様にステ
ンレス材等の金属製の基体ケース部１３に螺合されてい
る。そして押さえキャップ部２０とヘッドケース部１２
の受け部１２ａとの間に応力緩和用座金２１を介在させ
ている。この座金２１は、銅や銀等の変形しやすい材料
が用いられており、これにより、不均一接触や局部応力
による不均一な応力を吸収するようにしている。従っ
て、押さえキャップの締め付け時のＳｉＣからなるヘッ
ドケース部に対する片当たりや局部接触による破損を防
止している。
に押さえキャップ２０を用いてヘッドケース部１２が基
体ケース部１３に固定され、これにより両者間の組立剛
性を高めている。この押さえキャップ２０は、ステンレ
ス材等の金属製であり、ネジ部２０ａにより同様にステ
ンレス材等の金属製の基体ケース部１３に螺合されてい
る。そして押さえキャップ部２０とヘッドケース部１２
の受け部１２ａとの間に応力緩和用座金２１を介在させ
ている。この座金２１は、銅や銀等の変形しやすい材料
が用いられており、これにより、不均一接触や局部応力
による不均一な応力を吸収するようにしている。従っ
て、押さえキャップの締め付け時のＳｉＣからなるヘッ
ドケース部に対する片当たりや局部接触による破損を防
止している。
【００１３】又、この実施例においては押さえキャップ
２０とヘッドケース１２の押さえ部１２ａとの間に、潤
滑剤を塗布した潤滑座金もしくは自己潤滑性のある材質
の潤滑座金２２を介在させている。従って、ＳｉＣから
なるヘッドケース部１２を、押さえキャップ２０を用い
て締め付ける時に、応力緩和用座金２１と潤滑座金２２
との間に回転方向の滑りを生じさせて、薄肉シール部材
１５，１６の溶接部１７に回転力が付加されるのを防止
することができる。
２０とヘッドケース１２の押さえ部１２ａとの間に、潤
滑剤を塗布した潤滑座金もしくは自己潤滑性のある材質
の潤滑座金２２を介在させている。従って、ＳｉＣから
なるヘッドケース部１２を、押さえキャップ２０を用い
て締め付ける時に、応力緩和用座金２１と潤滑座金２２
との間に回転方向の滑りを生じさせて、薄肉シール部材
１５，１６の溶接部１７に回転力が付加されるのを防止
することができる。
【００１４】又、図示するように押さえキャップ２０と
ヘッドケース部の受け部１２ａとの間にばね機能を有す
る弾性座金２３を介在させ、部品間の熱膨張差による軸
方向の固定力の喪失を防止するようにしている。
ヘッドケース部の受け部１２ａとの間にばね機能を有す
る弾性座金２３を介在させ、部品間の熱膨張差による軸
方向の固定力の喪失を防止するようにしている。
【００１５】上述した渦電流式変位計によれば、ＳｉＣ
製のヘッドケース部は、薄肉シール部材とロウ付けによ
り接合されるが、薄肉シール部材は弾性率や降伏応力が
小さい銅又は銀等の金属か、線膨張係数がＳｉＣに近い
コバール等の金属で製作されている。そして、その肉厚
が薄いため、ＳｉＣからなるヘッドケース部には周囲に
高温の流体が存在しても、熱膨張による部品間の歪みは
薄肉シール部材に吸収され、過大な熱応力が発生せず、
ロウ付けの剥がれやクラック等が発生しない。そしてヘ
ッドケース部と基体ケース部とにそれぞれ接続された薄
肉シール部材が外周部にて入熱量が少ない溶接手段によ
り溶融接合されるが、入熱量が少ないため事前にロウ付
けされた部分に熱影響が及ぶことがない。
製のヘッドケース部は、薄肉シール部材とロウ付けによ
り接合されるが、薄肉シール部材は弾性率や降伏応力が
小さい銅又は銀等の金属か、線膨張係数がＳｉＣに近い
コバール等の金属で製作されている。そして、その肉厚
が薄いため、ＳｉＣからなるヘッドケース部には周囲に
高温の流体が存在しても、熱膨張による部品間の歪みは
薄肉シール部材に吸収され、過大な熱応力が発生せず、
ロウ付けの剥がれやクラック等が発生しない。そしてヘ
ッドケース部と基体ケース部とにそれぞれ接続された薄
肉シール部材が外周部にて入熱量が少ない溶接手段によ
り溶融接合されるが、入熱量が少ないため事前にロウ付
けされた部分に熱影響が及ぶことがない。
【００１６】又、ヘッドケース部と基体ケース部とは押
さえキャップを介して固定されているので、高温高圧の
流体環境下においても、組立剛性が高く、組立時等に変
位計の計測部がヘッドケース部を押すようなことがあっ
ても、ケース全体が変形することが防止される。そして
押さえキャップにてヘッドケース部を基体ケース部に螺
合により締結する際にヘッドケース部と押さえキャップ
との間に応力緩和用座金を挿入することで、銅や銀等か
らなる材料の座金が適度に変形し、ＳｉＣからなるヘッ
ドケース部に過大な不均一接触や局部的な応力を与える
ことがない。
さえキャップを介して固定されているので、高温高圧の
流体環境下においても、組立剛性が高く、組立時等に変
位計の計測部がヘッドケース部を押すようなことがあっ
ても、ケース全体が変形することが防止される。そして
押さえキャップにてヘッドケース部を基体ケース部に螺
合により締結する際にヘッドケース部と押さえキャップ
との間に応力緩和用座金を挿入することで、銅や銀等か
らなる材料の座金が適度に変形し、ＳｉＣからなるヘッ
ドケース部に過大な不均一接触や局部的な応力を与える
ことがない。
【００１７】又、押さえキャップとヘッドケース部との
受け部との間に潤滑剤を塗布した、もしくは自己潤滑性
がある材質の潤滑座金を間挿することで、応力緩和用座
金との間に回転方向の滑りが生じ、押さえキャップ締め
付け時の薄肉シール部材の溶接部への回転力の負荷がか
かることが防止され、比較的容易にこの変位計を組み立
てることが可能である。又、ばね機能を有する座金を押
さえキャップとヘッドケース部の受け部との間に挿入す
ることにより、高温高圧下の環境においても部品間の熱
膨張差による変形を防止し、安定にこの変位計を動作さ
せることができる。
受け部との間に潤滑剤を塗布した、もしくは自己潤滑性
がある材質の潤滑座金を間挿することで、応力緩和用座
金との間に回転方向の滑りが生じ、押さえキャップ締め
付け時の薄肉シール部材の溶接部への回転力の負荷がか
かることが防止され、比較的容易にこの変位計を組み立
てることが可能である。又、ばね機能を有する座金を押
さえキャップとヘッドケース部の受け部との間に挿入す
ることにより、高温高圧下の環境においても部品間の熱
膨張差による変形を防止し、安定にこの変位計を動作さ
せることができる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、高
温高圧の環境下において、電気・磁気的な特性を損なう
ことなく、安定に動作可能な渦電流式変位計を提供する
ことができる。
温高圧の環境下において、電気・磁気的な特性を損なう
ことなく、安定に動作可能な渦電流式変位計を提供する
ことができる。
【図１】本発明の実施の形態の渦電流式変位計の要部を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】図１の部分を示す断面図であり、（ａ）は基体
ケース部への薄肉シール部材の接合を示し、（ｂ）はヘ
ッドケース部への薄肉シール部材の接合を示し、（ｃ）
は両薄肉シール部材の外周部の溶接接合を示す。
ケース部への薄肉シール部材の接合を示し、（ｂ）はヘ
ッドケース部への薄肉シール部材の接合を示し、（ｃ）
は両薄肉シール部材の外周部の溶接接合を示す。
１１ 変位計測部 １２ ヘッドケース部 １３ 基体ケース部 １５，１６ 薄肉シール部材 １７ 外周部（溶融接合部） ２０ 押さえキャップ ２１ 応力緩和用座金 ２２ 潤滑座金 ２３ ばね機能を有する座金
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F063 AA02 CA08 CA30 DA01 EB24 EB27 GA08 GA78 GA79 PA01 PA03 PA05 ZA01 2F077 AA21 AA41 FF31 VV02 VV03 VV11 VV31 VV33
Claims (7)
- 【請求項１】 材質にＳｉＣを用いて計測部を収納した
ヘッドケース部と、前記ヘッドケース部を支持する金属
製の基体ケース部と、前記ヘッドケース部と基体ケース
部とのそれぞれの外径よりも大きな薄肉シール部材をロ
ウ付けにより接着し、両薄肉シール部材の外周部にて溶
融接合したことを特徴とする渦電流式変位計。 - 【請求項２】 前記薄肉シール部材は、銅、銅合金、
銀、又はコバールであり、１ｍｍ以下の肉厚であること
を特徴とする請求項１に記載の渦電流式変位計。 - 【請求項３】 前記外周部の溶融接合は、電子ビーム溶
接、レーザビーム溶接、又はマイクロＴＩＧ溶接にて形
成されたことを特徴とする請求項２に記載の渦電流式変
位計。 - 【請求項４】 前記ヘッドケース部は、前記基体ケース
部に更に押さえキャップを介して固定されたことを特徴
とする請求項１に記載の渦電流式変位計。 - 【請求項５】 前記ヘッドケース部と押さえキャップと
の間に応力緩和座金を間挿したことを特徴とする請求項
４に記載の渦電流式変位計。 - 【請求項６】 前記ヘッドケース部と押さえキャップと
の間に潤滑座金を間挿したことを特徴とする請求項４に
記載の渦電流式変位計。 - 【請求項７】 前記ヘッドケース部と押さえキャップと
の間にばね機能を有する座金を間挿したことを特徴とす
る請求項４に記載の渦電流式変位計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11131942A JP2000321010A (ja) | 1999-05-12 | 1999-05-12 | 渦電流式変位計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11131942A JP2000321010A (ja) | 1999-05-12 | 1999-05-12 | 渦電流式変位計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000321010A true JP2000321010A (ja) | 2000-11-24 |
Family
ID=15069821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11131942A Pending JP2000321010A (ja) | 1999-05-12 | 1999-05-12 | 渦電流式変位計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000321010A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011069658A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-04-07 | Nippon Seiki Co Ltd | 回転角度検出装置 |
| JP2014202735A (ja) * | 2013-04-10 | 2014-10-27 | Dmg森精機株式会社 | 測長装置 |
-
1999
- 1999-05-12 JP JP11131942A patent/JP2000321010A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011069658A (ja) * | 2009-09-24 | 2011-04-07 | Nippon Seiki Co Ltd | 回転角度検出装置 |
| JP2014202735A (ja) * | 2013-04-10 | 2014-10-27 | Dmg森精機株式会社 | 測長装置 |
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