JPH11108604A - 渦電流式変位計 - Google Patents
渦電流式変位計Info
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- JPH11108604A JPH11108604A JP2771598A JP2771598A JPH11108604A JP H11108604 A JPH11108604 A JP H11108604A JP 2771598 A JP2771598 A JP 2771598A JP 2771598 A JP2771598 A JP 2771598A JP H11108604 A JPH11108604 A JP H11108604A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 変位計感測部のケース材質に磁気信号が減衰
せず、かつ高温下でも耐食性の優れた炭化ケイ素（Ｓｉ
Ｃ）を使用した渦電流式変位計を提供する。 【解決手段】 変位計感測部１を収容して周囲雰囲気か
ら隔絶するためのケース２を備えた渦電流式変位計にお
いて、前記ケース２を炭化ケイ素（ＳｉＣ）製ケースと
した。
せず、かつ高温下でも耐食性の優れた炭化ケイ素（Ｓｉ
Ｃ）を使用した渦電流式変位計を提供する。 【解決手段】 変位計感測部１を収容して周囲雰囲気か
ら隔絶するためのケース２を備えた渦電流式変位計にお
いて、前記ケース２を炭化ケイ素（ＳｉＣ）製ケースと
した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は渦電流式変位計に係
り、特に高温液中で用いる渦電流式変位計に関する。
り、特に高温液中で用いる渦電流式変位計に関する。
【０００２】
【従来の技術】渦電流式変位計は、対象物の変位を磁気
信号により計測するものである。渦電流式変位計は、空
気中や液中等の種々の雰囲気で使用されるが、高温液中
で対象物の変位を計測したい場合がある。従来、高温液
中で使用可能な渦電流式変位計は、変位計感測部を全金
属製のケースに収容して圧力及び温度等の周囲雰囲気か
ら保護している。また、変位計感測部を収容するケース
に窒化ケイ素（Ｓｉ3Ｎ4）や酸化アルミニウム（Ａｌ2
Ｏ3）を用いたものもある。
信号により計測するものである。渦電流式変位計は、空
気中や液中等の種々の雰囲気で使用されるが、高温液中
で対象物の変位を計測したい場合がある。従来、高温液
中で使用可能な渦電流式変位計は、変位計感測部を全金
属製のケースに収容して圧力及び温度等の周囲雰囲気か
ら保護している。また、変位計感測部を収容するケース
に窒化ケイ素（Ｓｉ3Ｎ4）や酸化アルミニウム（Ａｌ2
Ｏ3）を用いたものもある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、渦電
流式変位計の場合、対象物の変位を磁気信号により計測
するが、変位計感測部に金属製ケースを用いると、磁気
信号が金属壁を通過する際、磁気信号自体が減衰され、
その結果、変位計のＳ／Ｎ比の悪化が生ずるという問題
がある。
流式変位計の場合、対象物の変位を磁気信号により計測
するが、変位計感測部に金属製ケースを用いると、磁気
信号が金属壁を通過する際、磁気信号自体が減衰され、
その結果、変位計のＳ／Ｎ比の悪化が生ずるという問題
がある。
【０００４】一方、一部では変位計感測部のケース材質
に、金属とのロウ付け結合が比較的容易なＳｉ3Ｎ4 や
Ａｌ2Ｏ3 といったセラミックスを用い、Ｓ／Ｎ比の悪
化を防止しているが、Ｓｉ3Ｎ4 は高温水中で、Ａｌ2Ｏ
3 は高温酸もしくはアルカリ環境下で腐食するため、そ
の使用範囲は限定されている。尚、ＳｉＣはロウ付け強
度が他のセラミックスより劣るため、金属と接合すると
セラミックスと金属の線膨張係数の違いによる熱膨張差
により剥がれが生じやすく、変位計ケースへの使用は困
難であると考えられていた。
に、金属とのロウ付け結合が比較的容易なＳｉ3Ｎ4 や
Ａｌ2Ｏ3 といったセラミックスを用い、Ｓ／Ｎ比の悪
化を防止しているが、Ｓｉ3Ｎ4 は高温水中で、Ａｌ2Ｏ
3 は高温酸もしくはアルカリ環境下で腐食するため、そ
の使用範囲は限定されている。尚、ＳｉＣはロウ付け強
度が他のセラミックスより劣るため、金属と接合すると
セラミックスと金属の線膨張係数の違いによる熱膨張差
により剥がれが生じやすく、変位計ケースへの使用は困
難であると考えられていた。
【０００５】本発明は上述の事情に鑑みなされたもの
で、変位計感測部のケース材質に磁気信号が減衰せず、
かつ高温下でも耐食性の優れた炭化ケイ素（ＳｉＣ）を
使用した渦電流式変位計を提供することを目的とする。
で、変位計感測部のケース材質に磁気信号が減衰せず、
かつ高温下でも耐食性の優れた炭化ケイ素（ＳｉＣ）を
使用した渦電流式変位計を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ため、本発明は、変位計感測部を収容して周囲雰囲気か
ら隔絶するためのケースを備えた渦電流式変位計におい
て、前記ケースを炭化ケイ素（ＳｉＣ）製ケースとした
ことを特徴とするものである。この発明によれば、Ｓｉ
Ｃ製ケースが高温液中であっても腐食することなく、渦
電流式変位計感測部を圧力および温度等の周囲雰囲気か
ら保護することができるが、渦電流式変位計感測部に入
る磁気信号の減衰は生じることがない。
ため、本発明は、変位計感測部を収容して周囲雰囲気か
ら隔絶するためのケースを備えた渦電流式変位計におい
て、前記ケースを炭化ケイ素（ＳｉＣ）製ケースとした
ことを特徴とするものである。この発明によれば、Ｓｉ
Ｃ製ケースが高温液中であっても腐食することなく、渦
電流式変位計感測部を圧力および温度等の周囲雰囲気か
ら保護することができるが、渦電流式変位計感測部に入
る磁気信号の減衰は生じることがない。
【０００７】また、前記変位計感測部以外の部分を収容
するケースを金属製ケースとしたことを特徴とするもの
である。この発明によれば、材料単価が安く、加工が容
易な金属製ケースを用いることで、コストの低減を図る
ことができる。
するケースを金属製ケースとしたことを特徴とするもの
である。この発明によれば、材料単価が安く、加工が容
易な金属製ケースを用いることで、コストの低減を図る
ことができる。
【０００８】更に、前記ＳｉＣ製ケースと金属製ケース
との接合を金属製の薄肉シール部材を介してロウ付けで
行うことを特徴とするものである。この発明によれば、
変位計ケース全体の液密的を確保するとともに、ＳｉＣ
製ケースと金属製ケースとの間に生じる熱膨張差を薄肉
シール部材で吸収することができる。
との接合を金属製の薄肉シール部材を介してロウ付けで
行うことを特徴とするものである。この発明によれば、
変位計ケース全体の液密的を確保するとともに、ＳｉＣ
製ケースと金属製ケースとの間に生じる熱膨張差を薄肉
シール部材で吸収することができる。
【０００９】また、前記ＳｉＣ製ケースと薄肉シール部
材との間に金属製の薄肉応力緩和材を介装し、この薄肉
応力緩和材の内外周各面に前記ＳｉＣ製ケースと薄肉シ
ール部材をそれぞれロウ付けすることを特徴とするもの
である。この発明によれば、ＳｉＣ製ケースと薄肉シー
ル部材のロウ付け接合面に生じる熱膨張差を、この間に
介装した薄肉応力緩和材で吸収することができる。
材との間に金属製の薄肉応力緩和材を介装し、この薄肉
応力緩和材の内外周各面に前記ＳｉＣ製ケースと薄肉シ
ール部材をそれぞれロウ付けすることを特徴とするもの
である。この発明によれば、ＳｉＣ製ケースと薄肉シー
ル部材のロウ付け接合面に生じる熱膨張差を、この間に
介装した薄肉応力緩和材で吸収することができる。
【００１０】更に、前記金属製ケースと薄肉シール部材
との間に金属製の薄肉応力緩和材を介装し、この薄肉応
力緩和材の内外周各面に前記金属製ケースと薄肉シール
部材をそれぞれロウ付けすることを特徴とするものであ
る。この発明によれば、金属製ケースと薄肉シール部材
のロウ付け接合面に生じる熱膨張差を、この間に介装し
た薄肉応力緩和材で吸収することができる。
との間に金属製の薄肉応力緩和材を介装し、この薄肉応
力緩和材の内外周各面に前記金属製ケースと薄肉シール
部材をそれぞれロウ付けすることを特徴とするものであ
る。この発明によれば、金属製ケースと薄肉シール部材
のロウ付け接合面に生じる熱膨張差を、この間に介装し
た薄肉応力緩和材で吸収することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る渦電流式変位
計の実施の形態を図１乃至図９を参照して説明する。図
１乃至図９において、同一又は同一機能の部材には同一
の符号を付して説明する。
計の実施の形態を図１乃至図９を参照して説明する。図
１乃至図９において、同一又は同一機能の部材には同一
の符号を付して説明する。
【００１２】図１は渦電流式変位計の第１実施例を示す
断面図である。図１に示すように、渦電流式変位計は、
変位計感測部１と、変位計感測部１を収容するＳｉＣ製
ケース２と、感測部１で発生したうず電流を計測部（図
示せず）へ導くための導線３と、導線３を収容する金属
製ケース４とを備えている。金属製ケース４は、ステン
レス鋼等の耐食性の優れた材料から構成されている。
断面図である。図１に示すように、渦電流式変位計は、
変位計感測部１と、変位計感測部１を収容するＳｉＣ製
ケース２と、感測部１で発生したうず電流を計測部（図
示せず）へ導くための導線３と、導線３を収容する金属
製ケース４とを備えている。金属製ケース４は、ステン
レス鋼等の耐食性の優れた材料から構成されている。
【００１３】前記ＳｉＣ製ケース２は、金属製の薄肉シ
ール部材５とロウ付け部６にてロウ付けされている。ま
た、薄肉シール部材５は、金属製ケース４とロウ付け部
６にてロウ付けされることにより、変位計ケース全体の
液密性を確保している。薄肉シール部材５は、銅合金や
銀、コバール等の弾性率が小さい金属や線膨張係数がＳ
ｉＣに近い金属材料からなり、所定曲率で湾曲して形成
されている。変位計ケース全体に圧力が加わっても、Ｓ
ｉＣ製ケース２に加わる軸方向の力は、Ａ面を介して金
属製ケース４に伝わるため、薄肉シール部材５は自身に
加わる圧力以外の荷重を受けない。第１実施例におい
て、金属製ケース４と薄肉シール部材５との接続は、金
属製ケース４に円筒状の突出部４ａを設け、この突出部
４ａの内周壁と薄肉シール部材５とをロウ付けすること
により、なされている。
ール部材５とロウ付け部６にてロウ付けされている。ま
た、薄肉シール部材５は、金属製ケース４とロウ付け部
６にてロウ付けされることにより、変位計ケース全体の
液密性を確保している。薄肉シール部材５は、銅合金や
銀、コバール等の弾性率が小さい金属や線膨張係数がＳ
ｉＣに近い金属材料からなり、所定曲率で湾曲して形成
されている。変位計ケース全体に圧力が加わっても、Ｓ
ｉＣ製ケース２に加わる軸方向の力は、Ａ面を介して金
属製ケース４に伝わるため、薄肉シール部材５は自身に
加わる圧力以外の荷重を受けない。第１実施例におい
て、金属製ケース４と薄肉シール部材５との接続は、金
属製ケース４に円筒状の突出部４ａを設け、この突出部
４ａの内周壁と薄肉シール部材５とをロウ付けすること
により、なされている。
【００１４】図２は渦電流式変位計の第２実施例を示す
断面図である。図２に示す渦電流式変位計の基本的構成
は、図１に示す第１実施例のものと同様であるが、金属
製ケース４と薄肉シール部材５との接続方法のみが異な
っている。即ち、第２実施例において、金属製ケース４
と薄肉シール部材５との接続は、金属製ケース４に円筒
状の突出部４ａを設け、この突出部４ａの外周壁と薄肉
シール部材５とをロウ付けすることにより、なされてい
る。その他の構成は、図１のものと同様である。
断面図である。図２に示す渦電流式変位計の基本的構成
は、図１に示す第１実施例のものと同様であるが、金属
製ケース４と薄肉シール部材５との接続方法のみが異な
っている。即ち、第２実施例において、金属製ケース４
と薄肉シール部材５との接続は、金属製ケース４に円筒
状の突出部４ａを設け、この突出部４ａの外周壁と薄肉
シール部材５とをロウ付けすることにより、なされてい
る。その他の構成は、図１のものと同様である。
【００１５】図３は渦電流式変位計の第３実施例を示す
断面図である。図３に示す渦電流式変位計の基本的構成
は、図１に示す第１実施例のものと同様であるが、薄肉
シール部材５の構成のみが異なっている。即ち、第３実
施例においては、薄肉シール部材５の湾曲方向が第１実
施例に対して逆になっている。その他の構成は、図１の
ものと同様である。
断面図である。図３に示す渦電流式変位計の基本的構成
は、図１に示す第１実施例のものと同様であるが、薄肉
シール部材５の構成のみが異なっている。即ち、第３実
施例においては、薄肉シール部材５の湾曲方向が第１実
施例に対して逆になっている。その他の構成は、図１の
ものと同様である。
【００１６】図１乃至図３に示す渦電流式変位計におい
ては、ＳｉＣ製ケース２と金属製ケース４との線膨張係
数が異なるため、温度変化によりＳｉＣ製ケース２と金
属製ケース４との間に熱膨張差が生じる。この熱膨張差
はロウ付け面の剥がれやＳｉＣ製ケース２の割れの原因
となりうるが、本変位計においては、半径方向の熱膨張
差は薄肉シール部材５の曲率の変化により吸収させ、軸
方向の熱膨張差は薄肉シール部材５の薄肉円筒部の弾塑
性変形により吸収させることにより、室温から高温に至
るまでロウ付け部６やＳｉＣ製ケース２に過大な応力を
発生させることなく、変位計ケースの健全性を保つこと
ができる。したがって、上記の構造にすることにより、
高温液中でも使用可能な高感度な変位計が実現できる。
ては、ＳｉＣ製ケース２と金属製ケース４との線膨張係
数が異なるため、温度変化によりＳｉＣ製ケース２と金
属製ケース４との間に熱膨張差が生じる。この熱膨張差
はロウ付け面の剥がれやＳｉＣ製ケース２の割れの原因
となりうるが、本変位計においては、半径方向の熱膨張
差は薄肉シール部材５の曲率の変化により吸収させ、軸
方向の熱膨張差は薄肉シール部材５の薄肉円筒部の弾塑
性変形により吸収させることにより、室温から高温に至
るまでロウ付け部６やＳｉＣ製ケース２に過大な応力を
発生させることなく、変位計ケースの健全性を保つこと
ができる。したがって、上記の構造にすることにより、
高温液中でも使用可能な高感度な変位計が実現できる。
【００１７】次に、図１乃至図３に示す渦電流式変位計
のケーシングへの取付方法を図４乃至図６を参照して説
明する。図４に示す例においては、渦電流式変位計は、
金属製ケース４の先端部に形成されたネジ部４ｂをケー
シング１０に螺合することにより取付けられている。ケ
ーシング１０と金属製ケース４の外周部との間には、シ
ール用のグランドパッキン１１が設けられている。また
金属製ケース４から導線３を導出する部分にハーメチッ
クシール１２が設けられている。符号２０は、変位計感
測部１によって計測される、高温液中に浸漬された計測
対象物である。
のケーシングへの取付方法を図４乃至図６を参照して説
明する。図４に示す例においては、渦電流式変位計は、
金属製ケース４の先端部に形成されたネジ部４ｂをケー
シング１０に螺合することにより取付けられている。ケ
ーシング１０と金属製ケース４の外周部との間には、シ
ール用のグランドパッキン１１が設けられている。また
金属製ケース４から導線３を導出する部分にハーメチッ
クシール１２が設けられている。符号２０は、変位計感
測部１によって計測される、高温液中に浸漬された計測
対象物である。
【００１８】図５に示す例においては、渦電流式変位計
は、金属製ケース４の前部に形成されたネジ部４ｂをケ
ーシング１０に螺合するとともに金属製ケーシング４の
後部を支持する食い込み継手１３とケーシング１０との
間を溶接することにより、取り付けられている。
は、金属製ケース４の前部に形成されたネジ部４ｂをケ
ーシング１０に螺合するとともに金属製ケーシング４の
後部を支持する食い込み継手１３とケーシング１０との
間を溶接することにより、取り付けられている。
【００１９】図６に示す例においては、渦電流式変位計
は、金属製ケース４の外周部に形成されたネジ部４ｂに
ナット１４，１４を螺合して変位計取付台１５を挟むこ
とにより、取り付けられている。金属製ケース４から導
線３を導出する部分にハーメチックシール１２が設けら
れている。
は、金属製ケース４の外周部に形成されたネジ部４ｂに
ナット１４，１４を螺合して変位計取付台１５を挟むこ
とにより、取り付けられている。金属製ケース４から導
線３を導出する部分にハーメチックシール１２が設けら
れている。
【００２０】図７は渦電流式変位計の第４実施例及びそ
の取付け例を示す断面図である。図７に示す渦電流式変
位計の基本的構成は、図１に示す第１実施例のものと同
様であるが、ＳｉＣ製ケース２と薄肉シール部材５との
接続方法のみが異なっている。即ち、第４実施例におい
ては、ＳｉＣ製ケース２と薄肉シール部材５との間に、
銅、銀、Ｎｉ等の弾性率あるいは降伏点が小さく延びが
大きい金属製の薄膜応力緩和材３０が介装され、ＳｉＣ
製ケース２と薄肉応力緩和材３０の一方の面、薄肉シー
ル部材５と薄肉応力緩和材３０の他方の面がロウ付け部
６でそれぞれロウ付けされている。
の取付け例を示す断面図である。図７に示す渦電流式変
位計の基本的構成は、図１に示す第１実施例のものと同
様であるが、ＳｉＣ製ケース２と薄肉シール部材５との
接続方法のみが異なっている。即ち、第４実施例におい
ては、ＳｉＣ製ケース２と薄肉シール部材５との間に、
銅、銀、Ｎｉ等の弾性率あるいは降伏点が小さく延びが
大きい金属製の薄膜応力緩和材３０が介装され、ＳｉＣ
製ケース２と薄肉応力緩和材３０の一方の面、薄肉シー
ル部材５と薄肉応力緩和材３０の他方の面がロウ付け部
６でそれぞれロウ付けされている。
【００２１】そして、図４に示すものと同様に、渦電流
式変位計は、金属製ケース４の先端部に形成されたネジ
部４ｂをケーシング１０に螺合することにより取付けら
れ、ケーシング１０と金属製ケース４の外周部との間に
はシール用のグランドパッキン１１が設けられ、金属製
ケース４から導線３を導出する部分にはハーメチックシ
ール１２が設けられている。
式変位計は、金属製ケース４の先端部に形成されたネジ
部４ｂをケーシング１０に螺合することにより取付けら
れ、ケーシング１０と金属製ケース４の外周部との間に
はシール用のグランドパッキン１１が設けられ、金属製
ケース４から導線３を導出する部分にはハーメチックシ
ール１２が設けられている。
【００２２】この第４実施例は、金属製の薄肉シール部
材５として、その線膨張係数がＳｉＣの線膨張係数と近
くないものを使用した場合に最適である。即ち、線膨張
係数の異なるものを直接ロウ付け接合すると、熱膨張差
により剥がれが生じやすくなってしまうが、この実施例
のように、両者の間に薄肉応力緩和材３０を介在させる
ことにより、この熱膨張差を薄肉応力緩和材３０で吸収
することができる。
材５として、その線膨張係数がＳｉＣの線膨張係数と近
くないものを使用した場合に最適である。即ち、線膨張
係数の異なるものを直接ロウ付け接合すると、熱膨張差
により剥がれが生じやすくなってしまうが、この実施例
のように、両者の間に薄肉応力緩和材３０を介在させる
ことにより、この熱膨張差を薄肉応力緩和材３０で吸収
することができる。
【００２３】図８は渦電流式変位計の第５実施例及びそ
の取付け例を示す断面図である。図８に示す渦電流式変
位計は、図７に示す第４実施例における薄肉シール部材
５の湾曲方向を逆にするとともに、以下の構成を付加し
たものである。即ち、第５実施例においては、ＳｉＣ製
ケース２と薄肉シール部材５との間に加えて、金属製ケ
ース４と薄肉シール部材５との間にも、前記と同様な金
属製の薄肉応力緩和材３０が介装され、金属製ケース４
と薄肉応力緩和材３０の一方の面、薄肉シール部材５と
薄肉応力緩和材３０の他方の面がロウ付け部６でそれぞ
れロウ付けされている。
の取付け例を示す断面図である。図８に示す渦電流式変
位計は、図７に示す第４実施例における薄肉シール部材
５の湾曲方向を逆にするとともに、以下の構成を付加し
たものである。即ち、第５実施例においては、ＳｉＣ製
ケース２と薄肉シール部材５との間に加えて、金属製ケ
ース４と薄肉シール部材５との間にも、前記と同様な金
属製の薄肉応力緩和材３０が介装され、金属製ケース４
と薄肉応力緩和材３０の一方の面、薄肉シール部材５と
薄肉応力緩和材３０の他方の面がロウ付け部６でそれぞ
れロウ付けされている。
【００２４】そして、図５に示すものと同様に、渦電流
式変位計は、金属製ケース４の前部に形成されたネジ部
４ｂをケーシング１０に螺合するとともに、金属製ケー
シング４の後部を支持する食い込み継手１３とケーシン
グ１０との間を溶接することにより取付けられている。
式変位計は、金属製ケース４の前部に形成されたネジ部
４ｂをケーシング１０に螺合するとともに、金属製ケー
シング４の後部を支持する食い込み継手１３とケーシン
グ１０との間を溶接することにより取付けられている。
【００２５】この第５実施例は、金属製の薄肉シール部
材５として、その線膨張係数が金属製ケース４の線膨張
係数と近くないものを使用した場合に最適で、このよう
に構成することにより、金属製ケース４と薄肉シール部
材５との間に生じる熱膨張差を薄肉応力緩和材３０で吸
収することができる。
材５として、その線膨張係数が金属製ケース４の線膨張
係数と近くないものを使用した場合に最適で、このよう
に構成することにより、金属製ケース４と薄肉シール部
材５との間に生じる熱膨張差を薄肉応力緩和材３０で吸
収することができる。
【００２６】図９は渦電流式変位計の第６実施例及びそ
の取付け例を示す断面図である。図９に示す渦電流式変
位計の基本的構成は、図７に示す第４実施例のものと同
様であるが、薄肉シール部材５の構成のみが異なってい
る。即ち、第６実施例においては、薄肉シール部材５の
湾曲方向が第４実施例に対して逆になっている。その他
の構成は、図７のものと同様である。
の取付け例を示す断面図である。図９に示す渦電流式変
位計の基本的構成は、図７に示す第４実施例のものと同
様であるが、薄肉シール部材５の構成のみが異なってい
る。即ち、第６実施例においては、薄肉シール部材５の
湾曲方向が第４実施例に対して逆になっている。その他
の構成は、図７のものと同様である。
【００２７】そして、図６に示すものと同様に、渦電流
式変位計は、金属製ケース４の外周部に形成されたネジ
部４ｂにナット１４，１４を螺合して変位計取付台１５
を挟むことにより取付けられている。金属製ケース４か
ら導線３を導出する部分にはハーメチックシール１２が
設けられている。
式変位計は、金属製ケース４の外周部に形成されたネジ
部４ｂにナット１４，１４を螺合して変位計取付台１５
を挟むことにより取付けられている。金属製ケース４か
ら導線３を導出する部分にはハーメチックシール１２が
設けられている。
【００２８】ＳｉＣ製ケース２と金属製ケース４とは、
線膨張係数が異なるため、温度変化によりＳｉＣ製ケー
ス２と金属製ケース４の間に熱膨張差が生じる。この熱
膨張差はロウ付け部６の剥がれやＳｉＣ製ケース２の割
れの原因となり得るが、図７乃至図９に示す第４乃至第
６実施例の渦電流式変位計においては、半径方向の熱膨
張差は薄肉シール部材５の曲率の変化により吸収させ、
軸方向の熱膨張差は薄肉応力緩和材３０と薄肉シール部
材５の薄肉円筒部の弾塑性変形により吸収させることに
より、室温から高温に至るまでロウ付け部６やＳｉＣ製
ケース２に過大な応力を発生させることなく、変位計ケ
ースの健全性を保つことができる。
線膨張係数が異なるため、温度変化によりＳｉＣ製ケー
ス２と金属製ケース４の間に熱膨張差が生じる。この熱
膨張差はロウ付け部６の剥がれやＳｉＣ製ケース２の割
れの原因となり得るが、図７乃至図９に示す第４乃至第
６実施例の渦電流式変位計においては、半径方向の熱膨
張差は薄肉シール部材５の曲率の変化により吸収させ、
軸方向の熱膨張差は薄肉応力緩和材３０と薄肉シール部
材５の薄肉円筒部の弾塑性変形により吸収させることに
より、室温から高温に至るまでロウ付け部６やＳｉＣ製
ケース２に過大な応力を発生させることなく、変位計ケ
ースの健全性を保つことができる。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は変位計感
測部をＳｉＣ製ケースに収容したため、ケースが高温液
中でも腐食することがなく、感測部を圧力および温度等
の周囲雰囲気から保護することができるとともに、感測
部に入る磁気信号の減衰を生じることがない。また、変
位計感測部以外のケース材質を、材料単価が安く加工が
容易な金属とすることにより、コスト低減を図ることが
できる。
測部をＳｉＣ製ケースに収容したため、ケースが高温液
中でも腐食することがなく、感測部を圧力および温度等
の周囲雰囲気から保護することができるとともに、感測
部に入る磁気信号の減衰を生じることがない。また、変
位計感測部以外のケース材質を、材料単価が安く加工が
容易な金属とすることにより、コスト低減を図ることが
できる。
【００３０】更に、ＳｉＣ製ケースと金属製ケースとの
接合を金属製の薄肉シール部材を介してロウ付けで行う
ことにより、変位計ケース全体の液密的を確保するとと
もに、ＳｉＣ製ケースと金属製ケースとの間に生じる熱
膨張差を薄肉シール部材で吸収して、変位計ケースの健
全性を保つことができる。
接合を金属製の薄肉シール部材を介してロウ付けで行う
ことにより、変位計ケース全体の液密的を確保するとと
もに、ＳｉＣ製ケースと金属製ケースとの間に生じる熱
膨張差を薄肉シール部材で吸収して、変位計ケースの健
全性を保つことができる。
【００３１】また、ＳｉＣ製ケースと薄肉シール部材と
の間、更には金属製ケースと薄肉シール部材との間に金
属製の薄肉応力緩和材を介装することにより、ＳｉＣ製
ケースと薄肉シール部材のロウ付け接合面に生じる熱膨
張差、更には金属製ケースと薄肉シール部材のロウ付け
接合面に生じる熱膨張差を、これらの間に介装した薄肉
応力緩和材で吸収して、薄肉シール部材の剥がれを防止
することができる。
の間、更には金属製ケースと薄肉シール部材との間に金
属製の薄肉応力緩和材を介装することにより、ＳｉＣ製
ケースと薄肉シール部材のロウ付け接合面に生じる熱膨
張差、更には金属製ケースと薄肉シール部材のロウ付け
接合面に生じる熱膨張差を、これらの間に介装した薄肉
応力緩和材で吸収して、薄肉シール部材の剥がれを防止
することができる。
【図１】本発明に係る渦電流式変位計の第１実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図２】本発明に係る渦電流式変位計の第２実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図３】本発明に係る渦電流式変位計の第３実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図４】図１乃至図３に示す渦電流式変位計のケーシン
グへの取付方法の一例を示す断面図である。
グへの取付方法の一例を示す断面図である。
【図５】図１乃至図３に示す渦電流式変位計のケーシン
グへの取付方法の他の例を示す断面図である。
グへの取付方法の他の例を示す断面図である。
【図６】図１乃至図３に示す渦電流式変位計のケーシン
グへの取付方法の更に他の例を示す断面図である。
グへの取付方法の更に他の例を示す断面図である。
【図７】本発明に係る過電流変位計の第４実施例及びそ
の取付け例を示す断面図である。
の取付け例を示す断面図である。
【図８】本発明に係る過電流変位計の第５実施例及びそ
の取付け例を示す断面図である。
の取付け例を示す断面図である。
【図９】本発明に係る過電流変位計の第６実施例及びそ
の取付け例を示す断面図である。
の取付け例を示す断面図である。
１ 変位計感測部 ２ ＳｉＣ製ケース ３ 導線 ４ 金属製ケース ５ 薄肉シール部材 １０ ケーシング １１ グランドパッキン １２ ハーメチックシール １４ ナット ３０ 薄肉応力緩和材
Claims (5)
- 【請求項１】 変位計感測部を収容して周囲雰囲気から
隔絶するためのケースを備えた渦電流式変位計におい
て、前記ケースを炭化ケイ素（ＳｉＣ）製ケースとした
ことを特徴とする渦電流式変位計。 - 【請求項２】 前記変位計感測部以外の部分を収容する
ケースを金属製ケースとしたことを特徴とする請求項１
記載の渦電流式変位計。 - 【請求項３】 前記ＳｉＣ製ケースと金属製ケースとの
接合を金属製の薄肉シール部材を介してロウ付けで行う
ことを特徴とする請求項２記載の渦電流式変位計。 - 【請求項４】 前記ＳｉＣ製ケースと薄肉シール部材と
の間に金属製の薄肉応力緩和材を介装し、この薄肉応力
緩和材に前記ＳｉＣ製ケースと薄肉シール部材をそれぞ
れロウ付けすることを特徴とする請求項３記載の渦電流
式変位計。 - 【請求項５】 前記金属製ケースと薄肉シール部材との
間に金属製の薄肉応力緩和材を介装し、この薄肉応力緩
和材に前記金属製ケースと薄肉シール部材をそれぞれロ
ウ付けすることを特徴とする請求項３または４記載の渦
電流式変位計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2771598A JPH11108604A (ja) | 1997-08-08 | 1998-01-26 | 渦電流式変位計 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9-227511 | 1997-08-08 | ||
| JP22751197 | 1997-08-08 | ||
| JP2771598A JPH11108604A (ja) | 1997-08-08 | 1998-01-26 | 渦電流式変位計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11108604A true JPH11108604A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=26365674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2771598A Withdrawn JPH11108604A (ja) | 1997-08-08 | 1998-01-26 | 渦電流式変位計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11108604A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012088200A (ja) * | 2010-10-20 | 2012-05-10 | Kobe Steel Ltd | 変位計取付構造 |
| JP2013195101A (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | タービン監視装置 |
-
1998
- 1998-01-26 JP JP2771598A patent/JPH11108604A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012088200A (ja) * | 2010-10-20 | 2012-05-10 | Kobe Steel Ltd | 変位計取付構造 |
| CN102536828A (zh) * | 2010-10-20 | 2012-07-04 | 株式会社神户制钢所 | 位移计安装构造 |
| JP2013195101A (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | タービン監視装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20040113 |