JPH04351925A

JPH04351925A - 電磁流量計

Info

Publication number: JPH04351925A
Application number: JP3127065A
Authority: JP
Inventors: Masatsugu Arai; 雅嗣荒井; Akiomi Kono; 顕臣河野; Kazuaki Yokoi; 和明横井; ▲吉▼冨　雄二; Yuji Yoshitomi; Yutaka Sakurai; 櫻居　裕; Tamio Ishihara; 石原　民雄
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1991-05-30
Filing date: 1991-05-30
Publication date: 1992-12-07
Anticipated expiration: 2014-08-09
Also published as: DE4217714A1; US5307687A; JP2931931B2; DE4217714C2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、測定管と、この測定管
に形成した電極と、この電極の周囲に配置した磁気発生
部と、前記測定管、電極及び磁気発生部を収納するケー
スとを備えた電磁流量計に係り、特に耐熱衝撃性に優れ
た測定管の形状及び気密性に優れた電極部の構造に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の電磁流量計の測定管は、雑誌「計
測と制御，Ｖｏｌ．２９，Ｎｏ．９」の第２７頁から第
３４頁において論じられているように、ステンレス鋼な
どで製作された測定管の内周面を天然ゴム、合成ゴムテ
フロン系材料などの絶縁ライニングで被覆したものであ
る。また、最近では、耐熱性、耐食性及び耐摩耗性を向
上させるために、非導電性セラミックスであるＡｌ２Ｏ
３を用いた測定管も広く利用されている。ステンレス鋼
から成る測定管では、電極を測定管に設けた孔に接着剤
を用いて取付け、気密性を保持していた。また、非導電
性材料であるＡｌ２Ｏ３を用いてなる電磁流量計の電極
としては、Ａｌ２Ｏ３の焼結温度に対して十分な耐熱性
を持ち、かつ、耐食性がある白金Ｐｔが用いられている
。この電極を測定管に気密性を持たせて取り付ける方法
としては、特開昭５８−５０１５５２号公報に記載のよ
うに、未焼結のＡｌ２Ｏ３測定管に白金と同じ直径の孔
を形成して前記白金電極を測定管に挿入した後、一体焼
結したものがある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術の電磁流
量計は、測定管の内部流体によって生じる測定管内外面
の温度差を低減する配慮が充分ではなかった。そのため
セラミック測定管においては、測定管に過大な熱応力が
発生して割れを生じてしまうおそれがあった。従って、
大きな熱負荷が加わるプラントには用いられていなかっ
た。また、劇物等を使用するプラントにおいては、信頼
性の点から使用出来なかった。

【０００４】一方、ステンレス鋼から成る測定管におい
ては、電極を測定管に接着剤で取り付けていたので、長
期間の気密性を保持することは出来なかった。セラミッ
クから成る測定管においては、電極を焼結時の収縮力で
締め付けていたため、セラミック測定管の電極取付部に
過大な残留応力が生じ、セラミック測定管の強度が低下
する問題があった。また、測定管と電極の境界面に欠陥
があれば、気密性が低下する問題があった。さらに、本
電磁流量計をヒートサイクルが加わる環境で使用すると
、電極の締め付け力が低下して長期間の気密性を保持す
ることができなくなる恐れがあった。。

【０００５】本発明の目的は、内部流体によって生じる
熱応力を最小にした測定管を備え、信頼性の高い電磁流
量計を提供するにある。さらに、気密性に優れた測定管
と電極の取付け構造を備えた電磁流量計を提供するにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、内部に被測定流体が流れる測定管の肉
厚ｔと平均半径Ｒとの比ｔ／Ｒが、管内流体（被測定流
体）の圧力によって測定管に生ずる応力と前記管内流体
によって測定管に生ずる熱応力を組み合わせた応力が測
定管材料の許容応力を超えない値となる範囲に選定され
る。このｔ／Ｒは、０．１〜０．２の範囲に選定される
のが好ましい。

【０００７】さらに、測定管の両端部のフランジの高さ
ｈは、該測定管材質がＡｌ２Ｏ３の場合該測定管の肉厚
ｔ以下、該測定管材質がＳｉ３Ｎ４の場合３ｔを超えな
い値に選定される。

【０００８】また、測定管の材質を耐熱衝撃性に優れた
Ｓｉ３Ｎ４又はエンジニアリングプラスチックにするこ
とにより大きな熱応力が許容され、信頼性が向上する。

【０００９】さらに、測定管内外面の温度差に起因する
熱応力は、測定管の外周もしくは測定管の壁面肉厚内に
ヒータを配置して測定管を加熱することによっても緩和
される。

【００１０】一方、電極部の高気密化は、測定管の壁面
に設けた貫通孔にＮｉ又はＮｉを主成分とする合金の電
極を圧入、接合又はろう付することにより達成される。

【００１１】

【作用】本発明によれば、測定管の肉厚ｔと平均半径Ｒ
との比ｔ／Ｒが、該測定管内を流れる流体の圧力によっ
て該測定管に生ずる応力と前記流体によって該測定管に
生ずる熱応力を組み合わせた応力が許容応力以下になる
ように選定されるので、測定管は管内流体の圧力に対し
て十分な剛性を有し、かつ、前記流体によって生じる測
定管内外面の温度差は小さくなり、過大な熱応力が発生
しないので、測定管の強度信頼性が向上する。

【００１２】さらに、測定管のフランジの高さｈを、Ａ
ｌ２Ｏ３の場合ｔ以下、Ｓｉ３Ｎ４の場合３ｔを超えな
い値とすることにより、前記フランジ部に過大な熱応力
が発生しないので、測定管の強度信頼性が向上する。

【００１３】また、測定管の材質を耐熱衝撃性に優れた
Ｓｉ３Ｎ４又はエンジニアリングプラスチックにするこ
とにより許容できる熱負荷が大きくなるので、温度変化
の大きい流体に対する測定管の強度信頼性が向上し、高
温流体の電磁流量計として使用できる。

【００１４】さらに、測定管の外周もしくは管壁肉厚内
に配置されたヒータで管壁を加熱することにより、高温
の流体が急激に流れる場合でも、測定管内外面の温度差
が低減され、熱応力が低減される。そのため温度変化の
大きい流体に対する測定管の強度信頼性が向上し、高温
の流体を使用するプラントにおいての使用が可能となる
。

【００１５】一方、測定管の壁面に設けた貫通孔にＮｉ
又はＮｉを主成分とする合金の電極を圧入又は接合、ろ
う付することにより、両者は強固に固着されるので気密
性に優れた電極部を構成できる。また、接合及びろう付
することにより測定管に過大な応力が発生することがな
い。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図１〜図５及び表１
を用いて詳細に説明する。

【００１７】図１は本発明の第１の実施例である電磁流
量計の斜視図を、図２はその断面図である。本実施例の
電磁流量計は、内部に流体が流れるほぼ円筒形の測定管
１と、この測定管１の側面に形成された開口部から管内
にその先端を露出させた一対の電極３と、この電極の周
囲に配置された磁気発生部である励磁コイル２と、該励
磁コイル２をおおうコア２１と、これら測定管１，電極
３，励磁コイル２及びコア２１とを収納するケース４と
、電極３で検知した信号を変換器６へ伝える端子箱５と
を含んで構成されている。磁気発生部である励磁コイル
２は前記流体に磁界を与え、前記一対の電極３は励磁コ
イル２で形成された磁界内を通る流体の両端に発生する
起電力を検知する。

【００１８】測定管１はＳｉ３Ｎ４から成り、該測定管
１の両端部外周には高さｈのフランジ２５が環状に一体
に形成されていて、その軸方向外側の端面は測定管１の
肉厚ｔの部分の軸方向外側の端面とつらいちの面をなし
ている。該つらいちの面は、測定管１の長手方向中心軸
と垂直になっている。

【００１９】測定管１は、肉厚ｔと、主要外径Ｄと内径
ｄとの平均直径Ｄｒの１／２に相当する平均半径Ｒの比
ｔ／Ｒが０．１から０．２の範囲になるように設計され
ている。また、前記フランジの高さｈは、２ｔとしてあ
る。なお、平均直径Ｄｒ、平均半径Ｒ及び肉厚ｔの関係
を次に示す。

【００２０】Ｄｒ＝（Ｄ＋ｄ）／２Ｒ＝Ｄｒ／２ｔ＝（Ｄ−ｄ）／２また、図１，図２には記載されていないが、測定管１の
外周にはヒータが配置されており、測定管１を該測定管
内部にながれる流体の温度に予熱することが可能になっ
ている。

【００２１】図５に電極３の取付法を示す。本実施例で
は、測定管１の長手方向（軸方向）中央部に直径１．５
５ｍｍの貫通孔が形成されている。厚さ２０μｍのＮｉ
−Ｐメッキ７を表面に施した直径１．５５ｍｍのステン
レス鋼（ＳＵＳ　３１６）から成る電極３が、その先端
が測定管１の内周面に露出するように前記貫通孔に挿入
され、真空度１０のマイナス３乗Ｐａ　の炉内で９００
℃まで加熱されて両者が接合されている。この接合後に
おける気体の漏れ量は、Ｈｅリークディテクタの検出精
度（１０のマイナス１０乗Ｔｏｒｒ・ｌ／ｓ）以下のレ
ベルであり、非常に高い気密性が得られた。さらに、電
極３を接合した測定管１を用いて、２０℃から１８０℃
の温度変化を交互に１００回加える熱サイクル試験がお
こなわれたが、気密性は低下しなかった。

【００２２】図２は、上記構成の電磁流量計がプロセス
配管２４に組み込まれた状態を示し、その軸方向両端面
がガスケット２０及びアースリング２２を介してプロセ
ス配管２４のフランジ２６に接しており、該フランジ２
６とボルト２３により結合されている。

【００２３】前記肉厚ｔと平均半径Ｒとの比は、ＦＥＭ
解析及び測定管１の応力測定から決定された値である。この根拠を、横軸にｔ／Ｒ，縦軸に測定管に生ずる応力
σをとった図３を用いて説明する。図３の曲線３１は、
内径ｄが５０ｍｍ及び７５ｍｍであるＡｌ２Ｏ３の測定
管１のｔ／Ｒと、該測定管１に内圧力０．４ｋｇｆ／（
平方ミリメートル）が加わった時に該測定管に発生する
周方向応力の関係を示す。また曲線３２Ａは内径ｄが５
０ｍｍの測定管に、曲線３２Ｂは内径ｄが７５ｍｍの測
定管１内に、それぞれ温度が２０℃のとき、圧力０．４
ｋｇｆ／（平方ミリメートル）、温度１８０℃の流体が
２ｍ／ｓの速度で流れた場合の非定常状態における軸方
向、周方向の熱応力を示している。図からｔ／Ｒが０．
２以上になると測定管１の軸方向及び周方向の熱応力が
急激に増加していることがわかる。また、ｔ／Ｒが０．
１以下になると内圧による周方向応力が急激に大きくな
る。本実施例では、測定管１のｔ／Ｒが０．２以上にな
ると測定管１が熱応力で割れ、０．１以下になると内圧
によって破壊した。しかし、測定管１のｔ／Ｒが０．１
〜０．２の範囲であれば測定管１に割れは発生せず、安
定した計測を行なうことができた。同様に、内径ｄが１
００ｍｍであり、ｔ／Ｒが０．１であるＡｌ２Ｏ３の測
定管１を用いて実験を行った結果、測定管１に割れは発
生せず安定した計測を行うことができた。従って、本実
施例の電磁流量計を用いることにより強度信頼性が著し
く向上した。

【００２４】図４は本発明の第２の実施例を示す。曲線
４１は直径Ｄ＝６０ｍｍ、肉厚ｔ＝５ｍｍ及び直径Ｄ＝
８０ｍｍ、肉厚ｔ＝６．５ｍｍのＡｌ２Ｏ３から成る測
定管１のフランジ高さｈと正規化応力（熱応力／破壊応
力）Ｋの関係を、曲線４２は直径Ｄ＝６０ｍｍ、肉厚ｔ
＝５ｍｍ及び直径Ｄ＝８０ｍｍ、肉厚ｔ＝６．５ｍｍの
Ｓｉ３Ｎ４から成る測定管１のフランジ高さｈと正規化
応力（熱応力／破壊応力）Ｋの関係を、それぞれ示して
いる。なお、本図は２０℃の測定管１内に圧力０．４ｋ
ｇｆ／（平方ミリメートル）、温度１８０℃の流体が２
ｍ／Ｓの速度で流れた場合の非定常状態におけるＦＥＭ
解析から算出した値を示している。曲線４１，４２は、
測定管の材質が同じであれば径や肉厚がある程度異なっ
ても、肉厚ｔの倍数で表示された測定管のフランジ高さ
ｈと正規化応力Ｋの関係は実質的に同じであることを表
している。図から、Ａｌ２Ｏ３から成る測定管１のフラ
ンジ高さｈがｔ以下のとき破壊しないことがわかる。ま
た、Ｓｉ３Ｎ４から成る測定管１のフランジ高さｈが３
ｔ以下のとき破壊しないことがわかる。本実施例では、
Ａｌ２Ｏ３から成る測定管１のフランジ高さｈがｔ以上
のとき熱応力で割れ、ｔ以下になると破壊しなかった。また、Ｓｉ３Ｎ４から成る測定管１においても、フラン
ジ高さｈが３ｔ以上のとき熱応力で割れ、３ｔ以下にな
ると破壊しなかった。従って、Ａｌ２Ｏ３から成る測定
管１のフランジ高さｈがｔ以下、また、Ｓｉ３Ｎ４から
成る測定管１のフランジ高さｈが２ｔ以下のとき、電磁
流量計の強度信頼性が著しく向上して安定した計測を行
うことができる。

【００２５】次に第３の実施例として、測定管１がＳｉ
３Ｎ４から成る電磁流量計を用いて耐熱衝撃性の実験を
行った結果を説明する。本実施例で用いられた測定管１
は、直径Ｄ＝６０ｍｍ、肉厚ｔ＝５ｍｍであり、ｔ／Ｒ
が０．１８となっている。このＳｉ３Ｎ４から成る測定
管１が均一に２２０℃まで加熱された後、その内部に２
０℃の水が流された。このような実験を行った測定管１
の全表面を観察した結果、測定管１に割れなどは生じて
いなかった。しかし、測定管１がＡｌ２Ｏ３から成る同
形状の測定管１を用いて同様な実験を行った結果、測定
管１に割れを生じた。これは表１に示すように、Ａｌ２
Ｏ３に比べＳｉ３Ｎ４の線膨張係数及び縦弾性係数が小
さいために熱応力が小さくなり、かつ、曲げ強度が大き
いためにと考えられる。

【００２６】

【表１】

【００２７】従って、測定管１に生じる熱応力が小さく
なるような特性を有し、かつ、材料強度が大きいＳｉ３
Ｎ４で測定管を形成することにより、信頼性の高い電磁
流量計を提供することができる。また、同様にＺｒＯ２
やエンジニアリングプラスチックを用いて、測定管１を
形成しても同じような効果が得られる。

【００２８】次に説明する第４の実施例においては、Ｓ
ｉ３Ｎ４から成る第３の実施例と同形状の測定管１が用
いられており、該測定管の中央部に直径１．５５ｍｍの
貫通孔が形成されている。直径１．５ｍｍのＮｉ鋼から
成る電極３が測定管１の前記貫通孔に形成され、真空度
１０のマイナス３乗Ｐａ　の炉内で８５０℃、１０分加
熱されて両者が接合された。この接合後における気体の
漏れ量は、Ｈｅリークディテクタの検出精度（１０のマ
イナス１０乗Ｔｏｒｒ・ｌ／ｓ）以下のレベルであり、
非常に高い気密性が得られた。なお、電極３の耐食性を
向上するために、流体と接する前記電極部分にコーティ
ングを施して使用することも可能である。また、電極３
を２つに分割し、流体と接しない部分を第１の実施例も
しくは次に述べる第５の実施例の手法で測定管と接合し
、流体と接する部分に耐食性の優れた導電性材料を圧入
して使用することもできる。なお、本実施例では、電極
の材料としてＮｉ鋼が用いられているが、ニッケル，Ｎ
ｉ鋼以外のニッケル合金及びニッケルめっきした金属材
料でもよい。また、電極と測定管をろう付けにより接合してもよい。ろう付けの場合は、開口部の接合面に予め金属層を溶射
，蒸着等の方法で形成しておくとよい。

【００２９】第５の実施例においてもＳｉ３Ｎ４から成
る実施例３と同形状の測定管１が用いられており、該測
定管の中央部に直径１．５５ｍｍの貫通孔が形成されて
いる。前記貫通孔に導電性サイアロンの粉末が圧入され
た後、１７５０℃の窒素雰囲気内で加熱されて両者が一
体焼結された。この接合後における気体の漏れ量は、Ｈ
ｅリーク試験機の検出精度以下のレベルであり、非常に
高い気密性が得られた。

【００３０】上記各実施例では、電極３はその先端が測
定管内部に露出しているが、測定管管壁の電極取付け部
の穴を貫通させずにめくら穴とし、電極先端を測定管の
管壁肉厚内に配置するようにしてもよい。さらに、測定
管管壁の電極取付け部には穴を設けず、電極を測定管管
壁の外周面上に配置することも可能である。このように
電極取付け部の測定管管壁に貫通孔を設けることなく電
極が配置されると、電極部からの漏れ発生の可能性が減
少し、電磁流量計の信頼性が向上する。

【００３１】図６に示す第６の実施例は、Ｓｉ３Ｎ４か
ら成る測定管１（直径Ｄ＝６０ｍｍ　肉厚ｔ＝５ｍｍで
ｔ／Ｒが０．１８）と、第１の実施例と同じ手法で測定
管に接合された電極３とを含んでなる電磁流量計１０を
設置した食品プラントの一部を示す。本プラントは、水
溶液である食品を収容する槽８と、該槽８に接続されて
食品を管路１３に送りだすポンプ９と、前記管路１３に
介装されて該管路１３を流れる食品の量を検出する電磁
流量計１０と、前記ポンプ９と電磁流量計１０を結ぶ管
路に接続して配置され該管路に殺菌用の蒸気を供給する
ボイラ１２と、前記管路１３及び該管路１３に接続され
た管路に介装されたバルブ１１とを含んで構成されてい
る。本実施例の電磁流量計１０には、常温の流体である
食品と圧力０．４ｋｇｆ／（平方ミリメートル）、温度
１８０℃のの殺菌用の蒸気が交互に流入する。このよう
な環境で長期間使用しても測定管１に割れは発生せず、
電極部の気密性も低下することがなく、高精度に流量を
計測することができた。本発明にかかる電磁流量計は、
食品プラント以外に、化学プラントや上下水道プラント
などにおける流量計測にも適用可能である。

【００３２】上記各実施例では、測定管の材質としてＡ
ｌ２Ｏ３やＳｉ３Ｎ４が用いられているが、ＳｉＣ，ジ
ルコニア，サイアロンなどをもちいてもよい。

【００３３】また、前記第１の実施例では、測定管１の
外周にヒータが配置されているが、このヒータを測定管
１焼結時に、該測定管１の管壁内に配置し、測定管１と
一体に焼結することもできる。ヒータを管壁内に配置す
れば、ヒータと励磁コイルを配置する際の物理的干渉を
さけるのが容易になる。

【００３４】

【発明の効果】本発明によれば、測定管内外面の温度差
に起因して発生する熱応力が低減され、測定管の強度信
頼性が向上するので、信頼性の高い電磁流量計が得られ
る。さらに、測定管が熱衝撃性に優れた材料で形成され
るので、大きな熱負荷が加わるプラントにおいても使用
可能なすることができる。

【００３５】また、本発明によれば、電極が圧入又は接
合またはろう付により測定管に結合されるので、測定管
に過大な応力を与えることなく電極部の気密性を保持す
ることが可能となり、測定管の強度信頼性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例の電磁流量計の斜視図で
ある。

【図２】本発明の第１の実施例の測定管の断面図である
。

【図３】測定管のｔ／Ｒと応力の関係を示すグラフであ
る。

【図４】測定管のフランジ高さｈと正規化応力の関係を
示すグラフである。

【図５】本発明の第１の実施例の電極の取付状態を示す
断面図である。

【図６】本発明の実施例である食品プラントの部分を示
す配管図である。

【符号の説明】

１　　測定管２　　励磁コイル３　　電極４　　ケース５　　端子箱６　　変換器７　　Ｎｉ−Ｐメッキ８　　槽９　　ポンプ１０　　電磁流量計１１　　バルブ１２　　ボイラ１３　　管路２０　　ガスケット２１　　コア２２　　アースリング２３　　ボルト２４　　プロセス配管２５　　フランジ２６　　プロセス配管のフランジ２１　　コア

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　セラミックからなる測定管と、この測
定管の側面に形成された開口部から管内にその先端を露
出させた電極と、この電極の周囲に位置させた磁気発生
部と、これら測定管、電極及び磁気発生部を収納するケ
ースとを備え、前記測定管内を流れる流体の量を測定す
る電磁流量計において、前記測定管の肉厚ｔと平均半径
Ｒとの比ｔ／Ｒが、前記測定管内を流れる流体により該
測定管に生ずる応力が材料許容応力を超えない値となる
範囲に設定されていることを特徴とする電磁流量計。
【請求項２】　　セラミックスからなる測定管と、この
測定管の側面に形成された開口部から管内にその先端を
露出させた電極と、この電極の周囲に位置させた磁気発
生部と、これら測定管、電極及び磁気発生部を収納する
ケースとを備え、前記測定管内を流れる流体の量を測定
する電磁流量計において、前記測定管の肉厚ｔと平均半
径Ｒとの比ｔ／Ｒが０．１〜０．２の範囲にあることを
特徴とする電磁流量計。
【請求項３】　　セラミックスからなる測定管と、この
測定管の肉厚内にその先端が位置する電極と、この電極
の周囲に位置させた磁気発生部と、これら測定管、電極
及び磁気発生部を収納するケースとを備え、前記測定管
内を流れる流体の量を測定する電磁流量計において、前
記測定管の肉厚ｔと平均半径Ｒとの比ｔ／Ｒが０．１〜
０．２の範囲にあることを特徴とする電磁流量計。
【請求項４】　　測定管と、この測定管の表面に形成さ
れた電極と、この電極の周囲に位置させた磁気発生部と
、これら測定管、電極及び磁気発生部を収納するケース
とを備え、前記測定管内を流れる流体の量を測定する電
磁流量計において、前記測定管の肉厚ｔと平均半径Ｒと
の比ｔ／Ｒが０．１〜０．２の範囲にあることを特徴と
する電磁流量計。
【請求項５】　　電極は測定管の軸方向のほぼ中央に位
置することを特徴とする請求項１乃至４のうちのいずれ
かに記載の電磁流量計。
【請求項６】　　磁気発生部はコイル形状となっている
ことを特徴とする請求項１乃至５のうちのいずれかに記
載の電磁流量計。
【請求項７】　　測定管がＡｌ２Ｏ３から成り、そのフ
ランジ高さｈは該測定管の肉厚ｔ以下であることを特徴
とする請求項１乃至６のうちのいずれかに記載の電磁流
量計。
【請求項８】　　測定管がＳｉ３Ｎ４から成り、そのフ
ランジ高さｈは該測定管の肉厚ｔの３倍を超えない値と
したことを特徴とする請求項１乃至６のうちのいずれか
に記載の電磁流量計。
【請求項９】　　セラミックスからなる測定管と、この
測定管の側面に形成された開口部から管内にその先端を
露出させた電極と、この電極の周囲に位置させた磁気発
生部と、これら測定管，電極及び磁気発生部を収納する
ケースとを備え、前記測定管内を流れる流体の量を測定
する電磁流量計において、前記電極はＮｉ又はＮｉを主
成分とする合金で形成されていることを特徴とする電磁
流量計。
【請求項１０】　　セラミックスからなる測定管と、こ
の測定管の側面に形成された開口部から管内にその先端
を露出させた電極と、この電極の周囲に位置させた磁気
発生部と、これら測定管，電極及び磁気発生部を収納す
るケースとを備え、前記測定管内を流れる流体の量を測
定する電磁流量計において、電極はその表面にＮｉメッ
キを施されたものであることを特徴とする電磁流量計。
【請求項１１】　　電極は測定管の側面に形成された開
口部に圧入されたものであることを特徴とする請求項９
もしくは１０に記載の電磁流量計。
【請求項１２】　　電極は測定管の側面に形成された開
口部に接合されていることを特徴とする請求項９もしく
は１０に記載の電磁流量計。
【請求項１３】　　電極は測定管の側面に形成された開
口部にろう付されていることを特徴とする請求項９もし
くは１０に記載の電磁流量計。
【請求項１４】　　セラミックからなる測定管と、この
測定管の側面に形成された開口部から管内にその先端を
露出させた電極と、この電極の周囲に位置させた磁気発
生部と、これら測定管，電極及び磁気発生部を収納する
ケースとを備え、前記測定管内を流れる流体の量を測定
する電磁流量計において、電極が導電性サイアロンから
なり、前記セラミック測定管と一体焼結して形成されて
いることを特徴とする電磁流量計。
【請求項１５】　　測定管の外部にヒータが付設されて
いることを特徴とする請求項１〜１４のいずれかに記載
の電磁流量計。
【請求項１６】　　測定管の管壁内部にヒータが一体焼
結されていることを特徴とする請求項１〜１４のいずれ
かに記載の電磁流量計。
【請求項１７】　　測定管の材質がＳｉ３Ｎ４であるこ
とを特徴とする請求項１〜１４のいずれかに記載の電磁
流量計。
【請求項１８】　　測定管の材質がエンジニアリングプ
ラスチックであることを特徴とする請求項１〜１４のい
ずれかに記載の電磁流量計。
【請求項１９】　　水溶液を貯溜する槽と、該槽に接続
された配管系と、該配管系に介装され前記水溶液を前記
配管系に送給するポンプとを備えているプラントにおい
て、前記配管系の途中に請求項１〜１７のいずれかに記
載の電磁流量計が配置されていることを特徴とするプラ
ント。
【請求項２０】　　プラントが上下水道であることを特
徴とする請求項１９に記載のプラント。
【請求項２１】　　プラントが化学プラントであること
を特徴とする請求項１９に記載のプラント。
【請求項２２】　　プラントが食品プラントであること
を特徴とする請求項１９に記載のプラント。