JPH05198663A - 試料搬送ホルダ - Google Patents
試料搬送ホルダInfo
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- JPH05198663A JPH05198663A JP830092A JP830092A JPH05198663A JP H05198663 A JPH05198663 A JP H05198663A JP 830092 A JP830092 A JP 830092A JP 830092 A JP830092 A JP 830092A JP H05198663 A JPH05198663 A JP H05198663A
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Abstract
簡略化を図りつつ、試料の高精度の位置決め,固定・保
持を可能にし、且つ、メンテナンスの簡便化,時間の短
縮を図る。 【構成】 試料搬送ホルダ1に静電吸着機構3が設けら
れ、この静電吸着機構は電極膜6,7付きのを絶縁基板
5を挾持するように静電吸着部材(高誘電体)8,9を
積層してなり、これにより、ホルダ1の試料載置面側に
静電吸着部材8が、試料移動台14に接触する側の面に
静電吸着部材9が配置される。
Description
る。
て、半導体ウエハからなる被加工物や被検査物等の試料
を加工,検査する場合は、試料移動台(移動ステージ機
構)上の試料搬送ホルダに試料を搭載して、加工,検査
を行う試料室と試料の交換を行う試料交換室との間を往
き来させている。
開昭59−67630号、特開昭59−29435号、
特開昭60−95931号、特開昭60−95932号
公報等に開示されるように、試料搬送ホルダに静電吸着
用の電極及び誘電体(吸着板)を設け、この電極印加時
の静電吸着力を利用して試料を位置決め,固定・保持し
たり、特開昭61−214517号公報に開示されるよ
うに、試料移動台の上面に試料カセットの位置を規制す
るための基準ブロックを載置し、この基準ブロックに静
電吸着用の電極をもつ誘電体(吸着板)を設けて、試料
カセットを固定保持する技術が提案されている。
利用する技術は、機械的なチャック機構や真空吸着機構
に比べ機構の簡略化を図り得、また、試料を試料搬送ホ
ルダ上に静電吸着する場合には、その試料の反りを矯正
できるものとして評価されている。
は、試料を位置決め,固定・保持するための機構を試料
搬送ホルダ側に設け、一方、試料搬送ホルダを試料移動
台に位置決め,固定・保持する機構は、試料移動台側に
設けていたために、メンテナンスを行う上で次のような
問題があった。
る機構が試料移動台にあると、試料移動台が一般に常に
試料室にあるため(試料室は加工,検査時に真空状態に
ある)、その試料搬送ホルダの固定・保持機構のメンテ
ナンスを行う場合には、試料室の真空を解除して大気状
態にして、試料移動台をその設置箇所たる試料室から取
り出さなければならない。その結果、試料室を再び真空
に戻すには多大な時間を要するため、メンテナンス作業
に多大な時間を要する。
的は、機構の簡略化を図りつつ試料の高精度の位置決
め,固定・保持を可能にし、かつメンテナンスの簡便
化,作業時間の短縮を図り得る試料搬送ホルダを提供す
ることにある。
料交換室との間を試料を保持しつつ往き来する試料搬送
ホルダで、試料室側では試料移動台上に固定される試料
搬送ホルダにおいて、該試料搬送ホルダの一方の面(試
料載置面)と他方の面(試料移動台接触面)との双方に
静電吸着部材を設けることで達成される。
加することで、試料搬送ホルダの一方の静電吸着部材が
試料載置面側で試料を静電吸着し、他方の静電吸着部材
が試料移動台の接触面に静電吸着して、結果的に試料及
び試料搬送ホルダが試料移動台に固定保持される。
を行う場合には、試料搬送ホルダを試料室から試料交換
室に移動させ、試料交換室から取り出せばよいので、試
料室の真空状態を保持することができ、メンテナンス作
業の簡便化を図ることができる。
び試料移動台の一部を示す断面図、図2は本実施例の適
用対象の一例を示す半導体製造プロセスの電子線描画シ
ステムの概略を示す透視図である。
ム鏡筒21を備え、試料室20内に移動台(例えばX,
Yステージ)14が配置される。試料移動台14は図示
されないX軸,Y軸移動機構によって位置制御がなされ
る。また、試料室20内は真空ポンプによる排気作用に
より真空室を形成する。
換室で、真空ポンプにより真空状態(真空度は試料室の
よりも低い)にすることが可能で、その内部に試料交換
台25が収納される。
試料搬送ホルダ1を通過させる通過口23が設けられ、
この通過口23はシャッタ24により開閉可能にしてあ
る。
換室22にて試料搬送ホルダ1上に試料をセットした
後、この試料搬送ホルダ1を試料室20内の試料移動台
14へ搬送機構(図示省略)を介して搬送する。電子ビ
ーム描画が完了すると、試料は試料搬送ホルダ1と共に
試料室20から試料交換室22に搬送され、試料交換室
22にて、加工された試料が取り出され、新たな試料と
交換され、再度、試料室20内の試料移動台14に試料
ホルダ1が搬送される。
23が開いている状態(試料ホルダ1が往来する過程)
では、試料交換室22も真空状態にあって試料室20側
の真空低下を極力抑え、試料交換室22から試料を取り
出す場合には、通過口23を閉めて試料室20内の真空
低下を防止している。
図1により詳述する。
構3,試料位置決め用のピン4a,ばね4b等で構成さ
れる。
両面に膜状の電極6,7が形成され、各電極6,7に接
するようにして静電吸着部材8,9が配設される。すな
わち静電吸着部材8,9は、電極膜付き絶縁基板5をサ
ンドイッチ状に挾むように積層される。静電吸着部材
8,9は例えばSicのような誘電率の高い部材で形成
され、機械加工によって表面が平滑に仕上げられてい
る。
子で、本実施例では、基板5及び一方の静電吸着部材9
に孔11をあけ、孔11に導入端子10を挿入固着する
ことで、導入端子10を電極6と電極7とに接触させて
いる。このようにして搬送ホルダ1の本体となる静電吸
着機構が形成され、ホルダ1の一方の面(試料載置面)
と他方の面(移動台接触面)との双方に静電吸着部材
8,9が配設される。
おけるホルダ1の試料載置面側に配設され、このピン4
aと協働して試料12を挾持するばね4bが枠体2上に
配設される。枠体2の下面には、試料移動台14上での
位置決めのためのピン穴13が設けてある。
よって平滑に仕上げられた試料搬送ホルダ接触面15が
形成され、接触面15周囲に試料搬送ホルダ1側の位置
決め穴13に対応する位置決めピン16が配設され、ま
た、試料搬送ホルダ接触面15には試料搬送ホルダ1側
の導入端子10と電気的に接触する給電端子17が設け
てある。給電端子17は試料移動台14に設けた穴部1
9にばね18により支持されて、その一部がホルダ接触
面15から突出するようにして組み込んである。
ト及び、試料搬送ホルダ1の試料移動台14への取付け
について説明する。
場合には、図2で示すような試料交換室22で行われ
る。まず、試料保持用ばね4bを開放状態にし、試料1
2を試料位置決めピン4aに接触させて位置決めしたの
ちにばね4bの力で試料12を静電吸着部材8上に保持
する。
試料交換室22から試料室20内の試料移動台14上に
搬送され、図1の矢印に示す移動過程を経てピン穴13
にピン16を嵌合させて試料搬送ホルダ1が試料移動台
14上に位置決めされ、ホルダ接触面15に載置され
る。この時、給電端子17と導入端子10は接触してお
り、給電端子17から導入端子10を介して電極6,7
を印加することにより、ホルダ1両面に配置した静電吸
着部材8,9に静電気が帯電し、静電吸着部材8は試料
12を吸着し、静電吸着部材9は試料移動台14側の試
料搬送ホルダ接触面15に吸着する。
坦にするための必要で十分な吸着力を発生する平滑な面
を有し、静電吸着部材9は、試料移動台14が移動した
ときの加速度でも試料搬送ホルダ1を位置ずれなく保持
するために必要で十分な吸着力を発生する。
その一方の静電吸着部材8が試料12を平坦に矯正しつ
つ位置決めと固定・保持を行い、その他方の静電吸着部
材9が試料移動台14に対する固定保持を行い、試料の
加工,検査の精度を保証する。 具体的には、本実施例
を電子線描画装置等の荷電粒子線を使用する装置に適用
した場合、試料保持部を平面度5μm/100mmに機
械加工し、試料上で荷電粒子線を2mm移動させたと
き、試料の反りに起因する荷電粒子線のずれ量を5×1
0×1/103μm以下におさえることができるので、
荷電粒子線による高精度な加工,検査,測定が可能とな
る。
と、ホルダ1の試料移動台14上の固定・保持に静電吸
着機構を利用することで、この種固定・保持機構の簡略
化を図り得る。かつ、これらの静電吸着機構を全て試料
搬送ホルダ1側に設けることで、静電吸着機構のメンテ
ナンスは、試料交換室22にて試料搬送ホルダ1を取り
出せば良く、そのメンテナンス時に従来のように試料室
を大気状態にして試料室の移動台を取り出すようなこと
がない。従って、試料室20は、この種メンテナンス時
に高真空状態を保持できる。なお、試料交換室22は上
記メンテナンス時に大気状態になるが、試料室20に比
べて真空度が低く且つその管理が簡便であるので、真空
に戻すのが容易である。その結果、メンテナンスの簡便
化,時間短縮を大幅に図れる。
試料移動台14に設置後に、給電端子17を介して静電
吸着部材8,9用の電極6,7を電圧印加するが、試料
搬送ホルダ1にバッテリを内蔵させて、少なくとも試料
載置側の静電吸着部材8を搬送中も印加できるようにし
て試料を静電吸着することも可能である。
ホルダの両面(試料載置面及び試料移動台接触面)の双
方に静電吸着部材を設けることで、機構の簡略化を図り
つつ試料の高精度の位置決め,固定・保持を可能にし、
かつメンテナンスの簡便化,作業時間の短縮を図り得
る。
料移動台の一部を示す断面図
置の概略を示す透視図
試料位置決め部材(位置決めピン,ばね)、5…絶縁基
板、6,7…電極、8,9…静電吸着部材、10…導入
端子、12…試料、13…ホルダ位置決め穴、14…試
料移動台、16…ホルダ位置決めピン、17…給電端
子、20…試料室、22…試料交換室、25…試料交換
台。
Claims (5)
- 【請求項1】 試料室と試料交換室との間を試料を保持
しつつ往き来する試料搬送ホルダで、試料室側では試料
移動台上に固定される試料搬送ホルダにおいて、該試料
搬送ホルダの一方の面(試料載置面)と他方の面(試料
移動台接触面)との双方に静電吸着部材を設けたことを
特徴とする試料搬送ホルダ。 - 【請求項2】 請求項1において、前記静電吸着部材の
表面は機械加工により平滑面としてあることを特徴とす
る試料搬送ホルダ。 - 【請求項3】 請求項1又は請求項2において、前記試
料搬送ホルダの試料載置面側には試料の位置決めを行う
部材を配設してある試料搬送ホルダ。 - 【請求項4】 請求項1ないし請求項3のいずれか1項
において、前記静電吸着部材は、両面に電極膜を形成し
た絶縁基板をサンドイッチ状に挾むように積層して成る
ことを特徴とする試料搬送ホルダ。 - 【請求項5】 請求項1ないし請求項4のいずれか1項
において、前記試料搬送ホルダにはバッテリが内蔵さ
れ、搬送中にも、少なくとも前記試料載置面側の静電吸
着部材の電極に電圧を印加可能に設定してあることを特
徴とする試料搬送ホルダ。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP830092A JP2804664B2 (ja) | 1992-01-21 | 1992-01-21 | 試料の静電吸着機構及び電子線描画装置 |
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