JPH05186237A - 光ファイバ母材製造装置 - Google Patents
光ファイバ母材製造装置Info
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- JPH05186237A JPH05186237A JP190592A JP190592A JPH05186237A JP H05186237 A JPH05186237 A JP H05186237A JP 190592 A JP190592 A JP 190592A JP 190592 A JP190592 A JP 190592A JP H05186237 A JPH05186237 A JP H05186237A
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- optical fiber
- fiber preform
- burner
- reaction chamber
- longitudinal direction
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/42—Assembly details; Material or dimensions of burner; Manifolds or supports
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】装置を大型化させず、且つ腐食性の問題も回避
できる光ファイバ母材製造装置を提供する。 【構成】バーナ５が存在する側の反応チャンバー１に、
光ファイバ母材基体２の長手方向に沿って長孔１３を設
ける。長孔１３には、その長手方向に往復移動自在にバ
ーナ５を貫通配置する。長孔１３には、バーナ５を中心
としてその進行方向の部分は縮ませ且つその進行方向と
反対の方向の部分は伸ばして閉塞する伸縮型シール壁１
４を設ける。伸縮型シール壁１４は、断面コ字状のシー
ル材１５を互い違いに摺動自在に噛み合わせて構成す
る。バーナ５は、シール壁１４の中央のシール材１５を
貫通して設ける。反応チャンバー１の外には、バーナ５
を光ファイバ母材基体２の長手方向に往復移動させる往
復移動機構６を設ける。
できる光ファイバ母材製造装置を提供する。 【構成】バーナ５が存在する側の反応チャンバー１に、
光ファイバ母材基体２の長手方向に沿って長孔１３を設
ける。長孔１３には、その長手方向に往復移動自在にバ
ーナ５を貫通配置する。長孔１３には、バーナ５を中心
としてその進行方向の部分は縮ませ且つその進行方向と
反対の方向の部分は伸ばして閉塞する伸縮型シール壁１
４を設ける。伸縮型シール壁１４は、断面コ字状のシー
ル材１５を互い違いに摺動自在に噛み合わせて構成す
る。バーナ５は、シール壁１４の中央のシール材１５を
貫通して設ける。反応チャンバー１の外には、バーナ５
を光ファイバ母材基体２の長手方向に往復移動させる往
復移動機構６を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、反応チャンバー内で回
転する光ファイバ母材基体の外周にバーナでガラス微粒
子を付着させて光ファイバ母材を製造する光ファイバ母
材製造装置に関するものである。
転する光ファイバ母材基体の外周にバーナでガラス微粒
子を付着させて光ファイバ母材を製造する光ファイバ母
材製造装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の光ファイバ母材製造装置
としては、図４に示すタイプのものと、図５に示すもの
とがあった。
としては、図４に示すタイプのものと、図５に示すもの
とがあった。
【０００３】図４に示すタイプの光ファイバ母材製造装
置は、反応チャンバー１と、該反応チャンバー１内の光
ファイバ母材基体２をその軸心の回りに回転しつつ往復
移動させるべく該反応チャンバー１を貫通して該光ファ
イバ母材基体２の両端をチャック３を介して支持する回
転支持軸４と、反応チャンバー１を貫通して光ファイバ
母材基体２に対向して光ファイバ母材基体２の外周にガ
ラス微粒子を付着させるバーナ５とを備えた構造であっ
て、光ファイバ母材基体２をその軸心の回りに回転しつ
つ往復移動させ、バーナ５で該光フィバ母材基体２の外
周にガラス微粒子を付着させて光ファイバ母材を製造し
ていた。
置は、反応チャンバー１と、該反応チャンバー１内の光
ファイバ母材基体２をその軸心の回りに回転しつつ往復
移動させるべく該反応チャンバー１を貫通して該光ファ
イバ母材基体２の両端をチャック３を介して支持する回
転支持軸４と、反応チャンバー１を貫通して光ファイバ
母材基体２に対向して光ファイバ母材基体２の外周にガ
ラス微粒子を付着させるバーナ５とを備えた構造であっ
て、光ファイバ母材基体２をその軸心の回りに回転しつ
つ往復移動させ、バーナ５で該光フィバ母材基体２の外
周にガラス微粒子を付着させて光ファイバ母材を製造し
ていた。
【０００４】このような構造の光ファイバ母材製造装置
は、反応チャンバー１内に駆動機器が入らないために、
反応チャンバー１内で反応生成されるＨＣｌ等の腐食性
ガスに対する心配が少ない利点がある。なお、反応チャ
ンバー１内の回転支持軸４等はテトラフロロエチレンコ
ーティング等で耐蝕を図ることができる。
は、反応チャンバー１内に駆動機器が入らないために、
反応チャンバー１内で反応生成されるＨＣｌ等の腐食性
ガスに対する心配が少ない利点がある。なお、反応チャ
ンバー１内の回転支持軸４等はテトラフロロエチレンコ
ーティング等で耐蝕を図ることができる。
【０００５】図５に示すタイプの光ファイバ母材製造装
置は、反応チャンバー１と、該反応チャンバー１内の光
ファイバ母材基体２をその軸心の回りに回転させるべく
該反応チャンバー１を貫通して該光ファイバ母材基体２
の両端をチャック３を介して支持する回転支持軸４と、
反応チャンバー１内で光ファイバ母材基体２に対向して
光フィバ母材基体２の外周にガラス微粒子を付着させる
バーナ５と、該バーナ５を光ファイバ母材基体２の長手
方向に往復移動させる往復移動機構６とを備えた構造で
あって、光ファイバ母材基体２をその軸心の回りに回転
しつつバーナ５を光ファイバ母材基体２の長手方向に往
復移動させて該光ファイバ母材基体２の外周にガラス微
粒子を付着させることにより光ファイバ母材を製造して
いた。往復移動機構６は、ネジ軸６ａと、該ネジ軸６ａ
を回転させるモータ６ｂと、ネジ軸６ａの回転運動を直
線運動に変換してバーナ５を駆動するコマ６ｃとで構成
されている。
置は、反応チャンバー１と、該反応チャンバー１内の光
ファイバ母材基体２をその軸心の回りに回転させるべく
該反応チャンバー１を貫通して該光ファイバ母材基体２
の両端をチャック３を介して支持する回転支持軸４と、
反応チャンバー１内で光ファイバ母材基体２に対向して
光フィバ母材基体２の外周にガラス微粒子を付着させる
バーナ５と、該バーナ５を光ファイバ母材基体２の長手
方向に往復移動させる往復移動機構６とを備えた構造で
あって、光ファイバ母材基体２をその軸心の回りに回転
しつつバーナ５を光ファイバ母材基体２の長手方向に往
復移動させて該光ファイバ母材基体２の外周にガラス微
粒子を付着させることにより光ファイバ母材を製造して
いた。往復移動機構６は、ネジ軸６ａと、該ネジ軸６ａ
を回転させるモータ６ｂと、ネジ軸６ａの回転運動を直
線運動に変換してバーナ５を駆動するコマ６ｃとで構成
されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４に
示す構造の場合には、回転支持軸４がその長手方向に往
復移動する関係で長くなるため、装置が大型になると共
に、回転支持軸４の回転振れ等の精度確保が困難になる
問題点があった。
示す構造の場合には、回転支持軸４がその長手方向に往
復移動する関係で長くなるため、装置が大型になると共
に、回転支持軸４の回転振れ等の精度確保が困難になる
問題点があった。
【０００７】一方、図５に示す構造の場合には、図４に
示す構造のものの問題点は解消できるが、反応チャンバ
ー１内に往復移動機構６が存在するため、その耐蝕性に
問題点がある。即ち、往復移動機構６のネジ軸６ａ等の
駆動部品の場合には、その耐蝕処理は困難である。
示す構造のものの問題点は解消できるが、反応チャンバ
ー１内に往復移動機構６が存在するため、その耐蝕性に
問題点がある。即ち、往復移動機構６のネジ軸６ａ等の
駆動部品の場合には、その耐蝕処理は困難である。
【０００８】本発明の目的は、装置を大型化させず、且
つ腐食性の問題も回避できる光ファイバ母材製造装置を
提供することにある。
つ腐食性の問題も回避できる光ファイバ母材製造装置を
提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明の構成を説明すると、次の通りである。
発明の構成を説明すると、次の通りである。
【００１０】請求項１に記載の発明は、反応チャンバー
と、該反応チャンバー内の光ファイバ母材基体をその軸
心の回りに回転すべく該反応チャンバーを貫通して該光
ファイバ母材基体の両端をチャックを介して支持する回
転支持軸と、前記光ファイバ母材基体に対向してその長
手方向に往復移動して前記光ファイバ母材基体の外周に
ガラス微粒子を付着させるバーナとを備えた光ファイバ
母材製造装置において、前記反応チャンバーと前記バー
ナとの間には前記バーナを前記反応チャンバーの外の外
気に対してシールするシール壁が設けられていることを
特徴とする。
と、該反応チャンバー内の光ファイバ母材基体をその軸
心の回りに回転すべく該反応チャンバーを貫通して該光
ファイバ母材基体の両端をチャックを介して支持する回
転支持軸と、前記光ファイバ母材基体に対向してその長
手方向に往復移動して前記光ファイバ母材基体の外周に
ガラス微粒子を付着させるバーナとを備えた光ファイバ
母材製造装置において、前記反応チャンバーと前記バー
ナとの間には前記バーナを前記反応チャンバーの外の外
気に対してシールするシール壁が設けられていることを
特徴とする。
【００１１】請求項２に記載の発明は、反応チャンバー
と、該反応チャンバー内の光ファイバ母材基体をその軸
心の回りに回転すべく該反応チャンバーを貫通して該光
ファイバ母材基体の両端をチャックを介して支持する回
転支持軸と、前記光ファイバ母材基体に対向してその長
手方向に往復移動して前記光ファイバ母材基体の外周に
ガラス微粒子を付着させるバーナとを備えた光ファイバ
母材製造装置において、前記光ファイバ母材基体の長手
方向に沿って前記反応チャンバーに長孔が形成され、前
記長孔にはその長手方向に往復移動自在に前記バーナが
貫通配置され、前記長孔には前記バーナを中心としてそ
の進行方向の部分は縮ませ且つその進行方向と反対の方
向の部分は伸ばして閉塞する伸縮型シール壁が設けられ
ていることを特徴とする。
と、該反応チャンバー内の光ファイバ母材基体をその軸
心の回りに回転すべく該反応チャンバーを貫通して該光
ファイバ母材基体の両端をチャックを介して支持する回
転支持軸と、前記光ファイバ母材基体に対向してその長
手方向に往復移動して前記光ファイバ母材基体の外周に
ガラス微粒子を付着させるバーナとを備えた光ファイバ
母材製造装置において、前記光ファイバ母材基体の長手
方向に沿って前記反応チャンバーに長孔が形成され、前
記長孔にはその長手方向に往復移動自在に前記バーナが
貫通配置され、前記長孔には前記バーナを中心としてそ
の進行方向の部分は縮ませ且つその進行方向と反対の方
向の部分は伸ばして閉塞する伸縮型シール壁が設けられ
ていることを特徴とする。
【００１２】請求項３に記載の発明は、反応チャンバー
と、該反応チャンバー内の光ファイバ母材基体をその軸
心の回りに回転すべく該反応チャンバーを貫通して該光
ファイバ母材基体の両端をチャックを介して支持する回
転支持軸と、前記光ファイバ母材基体に対向してその長
手方向に往復移動して前記光ファイバ母材基体の外周に
ガラス微粒子を付着させるバーナとを備えた光ファイバ
母材製造装置において、前記光ファイバ母材基体の長手
方向に沿って前記反応チャンバーに長孔が形成され、前
記長孔にはその長手方向に往復移動自在に前記バーナが
貫通配置され、前記長孔には前記バーナを貫通させた状
態で該長孔を閉塞し前記バーナの移動と共に同じ方向に
移動する非伸縮シール壁が設けられていることを特徴と
する。
と、該反応チャンバー内の光ファイバ母材基体をその軸
心の回りに回転すべく該反応チャンバーを貫通して該光
ファイバ母材基体の両端をチャックを介して支持する回
転支持軸と、前記光ファイバ母材基体に対向してその長
手方向に往復移動して前記光ファイバ母材基体の外周に
ガラス微粒子を付着させるバーナとを備えた光ファイバ
母材製造装置において、前記光ファイバ母材基体の長手
方向に沿って前記反応チャンバーに長孔が形成され、前
記長孔にはその長手方向に往復移動自在に前記バーナが
貫通配置され、前記長孔には前記バーナを貫通させた状
態で該長孔を閉塞し前記バーナの移動と共に同じ方向に
移動する非伸縮シール壁が設けられていることを特徴と
する。
【００１３】
【作用】請求項１のように、反応チャンバーとバーナと
の間に、バーナを反応チャンバーの外の外気に対してシ
ールするシール壁を設けると、反応チャンバー内及びバ
ーナを外気に対してシールすることができるので、バー
ナを往復移動するタイプであるにも拘らず、反応チャン
バー内に往復移動機構を設ける必要がなくなる。そのた
め、反応チャンバー内での往復移動機構の耐蝕性の問題
を回避することができる。
の間に、バーナを反応チャンバーの外の外気に対してシ
ールするシール壁を設けると、反応チャンバー内及びバ
ーナを外気に対してシールすることができるので、バー
ナを往復移動するタイプであるにも拘らず、反応チャン
バー内に往復移動機構を設ける必要がなくなる。そのた
め、反応チャンバー内での往復移動機構の耐蝕性の問題
を回避することができる。
【００１４】請求項２のように、反応チャンバーの長孔
を伸縮型シール壁で閉塞し、該伸縮型シール壁はバーナ
を中心としてその進行方向部分は縮ませ且つその進行方
向と反対の方向の部分は伸ばして閉塞する構造にする
と、請求項１の場合と同様に、バーナを往復移動するタ
イプであるにも拘らず、反応チャンバー内に往復移動機
構を設ける必要がなくなる。従って、反応チャンバー内
での往復移動機構の耐蝕性の問題点を回避することがで
きる。
を伸縮型シール壁で閉塞し、該伸縮型シール壁はバーナ
を中心としてその進行方向部分は縮ませ且つその進行方
向と反対の方向の部分は伸ばして閉塞する構造にする
と、請求項１の場合と同様に、バーナを往復移動するタ
イプであるにも拘らず、反応チャンバー内に往復移動機
構を設ける必要がなくなる。従って、反応チャンバー内
での往復移動機構の耐蝕性の問題点を回避することがで
きる。
【００１５】請求項３のように、反応チャンバーの長孔
を非伸縮型シール壁で閉塞し、該非伸縮型シール壁はバ
ーナを貫通させた状態で該長孔を閉塞し該バーナの移動
と共に同じ方向に移動する構造にすると、請求項１の場
合と同様に、バーナを往復移動するタイプであるにも拘
らず、反応チャンバー内に往復移動機構を設ける必要が
なくなり、反応チャンバー内での往復移動機構の耐蝕性
の問題点を回避することができる。
を非伸縮型シール壁で閉塞し、該非伸縮型シール壁はバ
ーナを貫通させた状態で該長孔を閉塞し該バーナの移動
と共に同じ方向に移動する構造にすると、請求項１の場
合と同様に、バーナを往復移動するタイプであるにも拘
らず、反応チャンバー内に往復移動機構を設ける必要が
なくなり、反応チャンバー内での往復移動機構の耐蝕性
の問題点を回避することができる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図を参照して詳細に
説明する。なお、前述した図５と対応する部分には、同
一符号を付けて示している。
説明する。なお、前述した図５と対応する部分には、同
一符号を付けて示している。
【００１７】図１（Ａ）（Ｂ）は、本発明に係る光ファ
イバ母材製造装置の第１実施例を示したものである。反
応チャンバー１の回転支持軸４が貫通する部分は、シー
ル材７でシールされている。回転支持軸４は、反応チャ
ンバー１の外に設けられた軸受８で回転自在に支持され
ている。また回転支持軸４は、反応チャンバー１の外に
設けられた回転駆動機構９で回転駆動されるようになっ
ている。該回転駆動機構９は、モータ９ａと、該モータ
９ａで回転駆動される回転伝達軸９ｂと、該回転伝達軸
９ｂに設けられたプーリ９ｃと、該プーリ９ｃに対応し
て回転支持軸４に設けられたプーリ９ｄと、これらプー
リ９ｃ，９ｄ間に掛け渡されたベルト９ｅとで構成され
ている。
イバ母材製造装置の第１実施例を示したものである。反
応チャンバー１の回転支持軸４が貫通する部分は、シー
ル材７でシールされている。回転支持軸４は、反応チャ
ンバー１の外に設けられた軸受８で回転自在に支持され
ている。また回転支持軸４は、反応チャンバー１の外に
設けられた回転駆動機構９で回転駆動されるようになっ
ている。該回転駆動機構９は、モータ９ａと、該モータ
９ａで回転駆動される回転伝達軸９ｂと、該回転伝達軸
９ｂに設けられたプーリ９ｃと、該プーリ９ｃに対応し
て回転支持軸４に設けられたプーリ９ｄと、これらプー
リ９ｃ，９ｄ間に掛け渡されたベルト９ｅとで構成され
ている。
【００１８】バーナ５が存在する側と反対側の反応チャ
ンバー１には、排気口１０が設けられ、その両側には給
気口１１が設けられ、これら給気口１１内にはフィルタ
ー１２が設けられている。
ンバー１には、排気口１０が設けられ、その両側には給
気口１１が設けられ、これら給気口１１内にはフィルタ
ー１２が設けられている。
【００１９】バーナ５が存在する側の反応チャンバー１
には、光ファイバ母材基体２の長手方向に沿って長孔１
３が設けられている。長孔１３には、その長手方向に往
復移動自在にバーナ５が貫通配置されている。
には、光ファイバ母材基体２の長手方向に沿って長孔１
３が設けられている。長孔１３には、その長手方向に往
復移動自在にバーナ５が貫通配置されている。
【００２０】また、長孔１３には、バーナ５を中心とし
てその進行方向の部分は縮ませ且つその進行方向と反対
の方向の部分は伸ばして閉塞する伸縮型シール壁１４が
設けられている。この実施例の伸縮型シール壁１４は、
断面コ字状のシール材１５を互い違いに摺動自在に噛み
合わせて構成されている。このような構造の関係で、該
伸縮型シール壁１４は二重に設けられている。これら二
重の伸縮型シール壁１４の間には、シール室１６が形成
されている。該シール室１６には、清浄空気吹込み口１
７から清浄空気が吹込まれるようになっている。バーナ
５は、該シール壁１４の中央のシール材１５を貫通して
設けられている。
てその進行方向の部分は縮ませ且つその進行方向と反対
の方向の部分は伸ばして閉塞する伸縮型シール壁１４が
設けられている。この実施例の伸縮型シール壁１４は、
断面コ字状のシール材１５を互い違いに摺動自在に噛み
合わせて構成されている。このような構造の関係で、該
伸縮型シール壁１４は二重に設けられている。これら二
重の伸縮型シール壁１４の間には、シール室１６が形成
されている。該シール室１６には、清浄空気吹込み口１
７から清浄空気が吹込まれるようになっている。バーナ
５は、該シール壁１４の中央のシール材１５を貫通して
設けられている。
【００２１】反応チャンバー１の外には、バーナ５を光
ファイバ母材基体２の長手方向に往復移動させる往復移
動機構６が設けられている。
ファイバ母材基体２の長手方向に往復移動させる往復移
動機構６が設けられている。
【００２２】このような光ファイバ母材製造装置は、バ
ーナ５を光ファイバ母材基体２の長手方向にストローク
Ｌで往復移動させて該光ファイバ母材基体２の外周にガ
ラス微粒子を付着させて多孔質の光ファイバ母材を形成
する際に、伸縮型シール壁１４がバーナ５を中心として
その進行方向の部分は縮み且つその進行方向と反対の方
向の部分は伸びる。従って、反応チャンバー１にバーナ
５が往復移動する長孔１３が存在しても、該バーナ５の
往復移動の障害にならないようにしてシールすることが
できる。
ーナ５を光ファイバ母材基体２の長手方向にストローク
Ｌで往復移動させて該光ファイバ母材基体２の外周にガ
ラス微粒子を付着させて多孔質の光ファイバ母材を形成
する際に、伸縮型シール壁１４がバーナ５を中心として
その進行方向の部分は縮み且つその進行方向と反対の方
向の部分は伸びる。従って、反応チャンバー１にバーナ
５が往復移動する長孔１３が存在しても、該バーナ５の
往復移動の障害にならないようにしてシールすることが
できる。
【００２３】往復移動機構６は反応チャンバー１の外に
設置されるので、反応チャンバー１内での往復移動機構
６の耐蝕性の問題点を回避することができる。
設置されるので、反応チャンバー１内での往復移動機構
６の耐蝕性の問題点を回避することができる。
【００２４】図２は、本発明に係る光ファイバ母材製造
装置の第２実施例を示したものである。本実施例では、
伸縮型シール壁１４が折り畳み型の蛇腹材１８で形成さ
れている。このような蛇腹材１８を用いると、シール性
が第１実施例より良くなるので、清浄空気吹込み口１７
からの清浄空気の吹込を省略することができ、また二重
構造をやめて一重構造にすることもできる。
装置の第２実施例を示したものである。本実施例では、
伸縮型シール壁１４が折り畳み型の蛇腹材１８で形成さ
れている。このような蛇腹材１８を用いると、シール性
が第１実施例より良くなるので、清浄空気吹込み口１７
からの清浄空気の吹込を省略することができ、また二重
構造をやめて一重構造にすることもできる。
【００２５】図３は、本発明に係る光ファイバ母材製造
装置の第３実施例を示したものである。本実施例では、
長孔１３にバーナ５を貫通させた状態で該長孔１３を閉
塞しバーナ５の移動と共に同じ方向に移動する板材より
なる非伸縮シール壁１９が反応チャンバー１の外壁に沿
って摺動自在に設けられている。
装置の第３実施例を示したものである。本実施例では、
長孔１３にバーナ５を貫通させた状態で該長孔１３を閉
塞しバーナ５の移動と共に同じ方向に移動する板材より
なる非伸縮シール壁１９が反応チャンバー１の外壁に沿
って摺動自在に設けられている。
【００２６】このような第３実施例の構造にしても、第
１実施例と同様な効果を得ることができる。
１実施例と同様な効果を得ることができる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る光ファ
イバ母材製造装置によれば、下記のような効果を得るこ
とができる。
イバ母材製造装置によれば、下記のような効果を得るこ
とができる。
【００２８】請求項１に記載の発明では、反応チャンバ
ーとバーナとの間に、該バーナを該反応チャンバーの外
の外気に対してシールするシール壁を設けたので、反応
チャンバー内及びバーナを外気に対してシールすること
ができ、このためバーナを往復移動するタイプであるに
も拘らず、反応チャンバー内に往復移動機構を設ける必
要がなくなり、反応チャンバー内での往復移動機構の耐
蝕性の問題を回避することができる。
ーとバーナとの間に、該バーナを該反応チャンバーの外
の外気に対してシールするシール壁を設けたので、反応
チャンバー内及びバーナを外気に対してシールすること
ができ、このためバーナを往復移動するタイプであるに
も拘らず、反応チャンバー内に往復移動機構を設ける必
要がなくなり、反応チャンバー内での往復移動機構の耐
蝕性の問題を回避することができる。
【００２９】請求項２に記載の発明では、反応チャンバ
ーの長孔を伸縮型シール壁で閉塞し、該伸縮型シール壁
はバーナを中心としてその進行方向部分は縮ませ且つそ
の進行方向と反対の方向の部分は伸ばして閉塞する構造
にしたので、請求項１の場合と同様に、バーナを往復移
動するタイプであるにも拘らず、反応チャンバー内に往
復移動機構を設ける必要がなくなり、反応チャンバー内
での往復移動機構の耐蝕性の問題点を回避することがで
きる。
ーの長孔を伸縮型シール壁で閉塞し、該伸縮型シール壁
はバーナを中心としてその進行方向部分は縮ませ且つそ
の進行方向と反対の方向の部分は伸ばして閉塞する構造
にしたので、請求項１の場合と同様に、バーナを往復移
動するタイプであるにも拘らず、反応チャンバー内に往
復移動機構を設ける必要がなくなり、反応チャンバー内
での往復移動機構の耐蝕性の問題点を回避することがで
きる。
【００３０】また、請求項３に記載の発明では、反応チ
ャンバーの長孔を非伸縮型シール壁で閉塞し、該非伸縮
型シール壁はバーナを貫通させた状態で該長孔を閉塞し
該バーナの移動と共に同じ方向に移動する構造にしたの
で、請求項１の場合と同様に、バーナを往復移動するタ
イプであるにも拘らず、反応チャンバー内に往復移動機
構を設ける必要がなくなり、反応チャンバー内での往復
移動機構の耐蝕性の問題点を回避することができる。
ャンバーの長孔を非伸縮型シール壁で閉塞し、該非伸縮
型シール壁はバーナを貫通させた状態で該長孔を閉塞し
該バーナの移動と共に同じ方向に移動する構造にしたの
で、請求項１の場合と同様に、バーナを往復移動するタ
イプであるにも拘らず、反応チャンバー内に往復移動機
構を設ける必要がなくなり、反応チャンバー内での往復
移動機構の耐蝕性の問題点を回避することができる。
【図１】（Ａ）は本発明に係る光ファイバ母材製造装置
の第１実施例の縦断面図、（Ｂ）は図１（Ａ）のイ部の
拡大詳細図である。
の第１実施例の縦断面図、（Ｂ）は図１（Ａ）のイ部の
拡大詳細図である。
【図２】本発明に係る光ファイバ母材製造装置の第２実
施例の要部縦断面図である。
施例の要部縦断面図である。
【図３】本発明に係る光ファイバ母材製造装置の第３実
施例の要部縦断面図である。
施例の要部縦断面図である。
【図４】従来の光ファイバ母材製造装置の縦断面図であ
る。
る。
【図５】従来の光ファイバ母材製造装置の他のタイプの
縦断面図である。
縦断面図である。
１…反応チャンバー、２…光ファイバ母材基体、３…チ
ャック、４…回転支持軸、５…バーナ、６…往復移動機
構、６ａ…ネジ軸、６ｂ…モータ、６ｃ…コマ、７…シ
ール材、８…軸受、９…回転駆動機構、９ａ…モータ、
９ｂ…回転伝達軸、９ｃ，９ｄ…プーリ、９ｅ…ベル
ト、１０…排気口、１１…給気口、１２…フィルター、
１３…長孔、１４…伸縮型シール壁、１５…シール材、
１６…シール室、１７…清浄空気吹込み口、１８…蛇腹
材、１９…非伸縮シール壁。
ャック、４…回転支持軸、５…バーナ、６…往復移動機
構、６ａ…ネジ軸、６ｂ…モータ、６ｃ…コマ、７…シ
ール材、８…軸受、９…回転駆動機構、９ａ…モータ、
９ｂ…回転伝達軸、９ｃ，９ｄ…プーリ、９ｅ…ベル
ト、１０…排気口、１１…給気口、１２…フィルター、
１３…長孔、１４…伸縮型シール壁、１５…シール材、
１６…シール室、１７…清浄空気吹込み口、１８…蛇腹
材、１９…非伸縮シール壁。
Claims (3)
- 【請求項１】 反応チャンバーと、該反応チャンバー内
の光ファイバ母材基体をその軸心の回りに回転すべく該
反応チャンバーを貫通して該光ファイバ母材基体の両端
をチャックを介して支持する回転支持軸と、前記光ファ
イバ母材基体に対向してその長手方向に往復移動して前
記光ファイバ母材基体の外周にガラス微粒子を付着させ
るバーナとを備えた光ファイバ母材製造装置において、 前記反応チャンバーと前記バーナとの間には前記バーナ
を前記反応チャンバーの外の外気に対してシールするシ
ール壁が設けられていることを特徴とする光ファイバ母
材製造装置。 - 【請求項２】 反応チャンバーと、該反応チャンバー内
の光ファイバ母材基体をその軸心の回りに回転すべく該
反応チャンバーを貫通して該光ファイバ母材基体の両端
をチャックを介して支持する回転支持軸と、前記光ファ
イバ母材基体に対向してその長手方向に往復移動して前
記光ファイバ母材基体の外周にガラス微粒子を付着させ
るバーナとを備えた光ファイバ母材製造装置において、 前記光ファイバ母材基体の長手方向に沿って前記反応チ
ャンバーに長孔が形成され、前記長孔にはその長手方向
に往復移動自在に前記バーナが貫通配置され、前記長孔
には前記バーナを中心としてその進行方向の部分は縮ま
せ且つその進行方向と反対の方向の部分は伸ばして閉塞
する伸縮型シール壁が設けられていることを特徴とする
光ファイバ母材製造装置。 - 【請求項３】 反応チャンバーと、該反応チャンバー内
の光ファイバ母材基体をその軸心の回りに回転すべく該
反応チャンバーを貫通して該光ファイバ母材基体の両端
をチャックを介して支持する回転支持軸と、前記光ファ
イバ母材基体に対向してその長手方向に往復移動して前
記光ファイバ母材基体の外周にガラス微粒子を付着させ
るバーナとを備えた光ファイバ母材製造装置において、 前記光ファイバ母材基体の長手方向に沿って前記反応チ
ャンバーに長孔が形成され、前記長孔にはその長手方向
に往復移動自在に前記バーナが貫通配置され、前記長孔
には前記バーナを貫通させた状態で該長孔を閉塞し前記
バーナの移動と共に同じ方向に移動する非伸縮シール壁
が設けられていることを特徴とする光ファイバ母材製造
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP190592A JPH05186237A (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | 光ファイバ母材製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP190592A JPH05186237A (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | 光ファイバ母材製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05186237A true JPH05186237A (ja) | 1993-07-27 |
Family
ID=11514595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP190592A Pending JPH05186237A (ja) | 1992-01-09 | 1992-01-09 | 光ファイバ母材製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05186237A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7415844B2 (en) * | 2001-06-25 | 2008-08-26 | Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. | Device for manufacturing a preform for optical fibres through chemical deposition |
| US7481077B2 (en) * | 2001-06-25 | 2009-01-27 | Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. | Device for manufacturing a preform for optical fibers through chemical deposition |
| US8387416B2 (en) | 2001-06-25 | 2013-03-05 | Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. | Device and method for manufacturing a preform for optical fibres by chemical vapour deposition |
| US11097975B2 (en) * | 2018-03-22 | 2021-08-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing optical fiber preform |
-
1992
- 1992-01-09 JP JP190592A patent/JPH05186237A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7415844B2 (en) * | 2001-06-25 | 2008-08-26 | Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. | Device for manufacturing a preform for optical fibres through chemical deposition |
| US7481077B2 (en) * | 2001-06-25 | 2009-01-27 | Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. | Device for manufacturing a preform for optical fibers through chemical deposition |
| US8387416B2 (en) | 2001-06-25 | 2013-03-05 | Prysmian Cavi E Sistemi Energia S.R.L. | Device and method for manufacturing a preform for optical fibres by chemical vapour deposition |
| US11097975B2 (en) * | 2018-03-22 | 2021-08-24 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing optical fiber preform |
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