KR0176529B1

KR0176529B1 - 로보트

Info

Publication number: KR0176529B1
Application number: KR1019950029847A
Authority: KR
Inventors: 이상범
Original assignee: 김광호; 삼성전자주식회사
Priority date: 1995-09-13
Filing date: 1995-09-13
Publication date: 1999-04-01
Also published as: KR970014946A

Abstract

본 발명에 따르면, 구동 수단(61), 구동력 전달 수단(63), 상기 구동력 전달 수단(63)에 의해 제어 가능하게 직선 왕복 운동하는 슬라이더 부재(52) 및, 상기 슬라이더 부재(52)가 이동하는 홈(51)이 형성된 커버(66)를 구비하는 로보트에 있어서, 상기 커버(66)의 내측에서 상기 홈(51)을 폐쇄할 수 있도록 양 단부가 상기 슬라이더 부재(52)에 고정된 벨트 부재(53) 및, 상기 벨트 부재(53)를 지지하는 풀리(65)를 구비하는 것을 특징으로 하는 로보트가 제공된다. 본 발명의 로보트는 슬라이더가 이동하는 홈이 벨트에 의해 폐쇄되므로 로보트 내부에서 발생한 분진이 외부로 방출되는 것이 방지된다.

Description

로보트

제1도는 종래 기술에 따른 직교 좌표 로보트의 개략적인 내부 평면도.

제2도는 종래 기술에 따른 직교 좌표 로보트의 개략적인 사시도.

제3도는 종래 기술의 다른 실시예를 도시하는 개략적인 사시도.

제4도는 종래 기술의 다른 실시예를 도시하는 정면 단면도.

제5도는 본 발명의 직교 좌표 로보트의 개략적인 사시도.

제6(a)도는 제5도의 평면 단면도.

제6(b)도는 제5도의 정면 단면도.

제6(c)도는 제5도의 측면 단면도.

제7도는 제6(c)도의 A 로 표시된 부분의 확대 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

16,22,32 : 슬라이더 24 : 액튜에이터

23,33 : 홈 41 : 베이스

42 : 모터 44 : 슬라이더

52 : 슬라이더 53 : 벨트

54 : 볼트 61 : 모터

63 : 볼 스크류 65 : 풀리

67 : 베이스 68 : 가이드

73 : 브랙킷

본 발명은 로보트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 분진의 발생을 효과적으로 방지할 수 있는 로보트에 관한 것이다.

산업용 로보트는 여러 기술 분야에 다양한 형태로 사용된다. 그러한 산업용 로보트의 제작에 있어서는 용도 및 작업 조건에 따른 여러가지 조건을 충족시켜야 하는데, 특히 반도체 제조 공정이나 하드 디스크 드라이버 제조 공정에서 사용되는 로보트는 클리인 조건을 충족시켜야만 한다. 이는 이미 널리 알려진 바와 같이, 반도체등의 제작에서는 미세한 먼지라 할지라도 제품의 질에 치명적인 불량을 유발할 수 있기 때문이다. 따라서 반도체의 제조 공정은 분진의 발생이 극도로 억제된 클리인 룸(clean room)에서 이루어지며, 그안에서 작업하는 작업자뿐만 아니라 각각의 공정에서 사용되는 공구나 장비등에서도 분진 발생의 가능성을 최대한 방지하여야 한다.

일반적으로 직교 좌표형 로보트의 구조는 제1도에 도시된 바와 같다. 직교 좌표형 로보트(10)는 구동 모터(11)로부터 발생되는 구동력을 볼 스크류(13)를 통해 전달하여 슬라이더(16)를 왕복 운동시키는 것이다. 슬라이더(16)는 가이드(14)를 따라 제어 가능하게 왕복 운동할 수 있으며, 슬라이더에 장착된 작동부(도시되지 않음)를 직선상의 소정의 위치로 이동시킬 수 있다.

제2도는 제1도와 같은 내부 구성을 지니는 직교 좌표 로보트의 외부 사시도가 도시되어 있는데, 이것은 로보트의 측면에 홈(23)이 형성되어 있고, 그 홈을 따라 슬라이더(22)가 직선 왕복 운동하며, 슬라이더(22)에 액튜에이터(24)가 장착된 것이다. 제3도는 제2도와 동일한 구조이나 홈(33)이 로보트(30)의 전면에 형성되고, 홈(33)을 따라 슬라이더(32)가 직선 왕복 운동하게 된다. 통상적으로 제2도 및 제3도에 도시된 로보트의 내부에서 발생하는 분진은 홈(23,33)을 통해 외부로 유출될 가능성이 있다.

제4도에는 종래 기술에 따른 다른 로보트의 단면도가 도시되어 있다. 이것은 상기와 같은 홈을 플레이트로 폐쇄함으로써 로보트 내부의 분진이 외부로 비산하는 것을 방지하는 것이다. 슬라이더(44)는 볼 스크류(43)에 나사 결합된 상태에서 모터(42)의 회전에 따라 직선 왕복 운동한다. 슬라이더(44)에는 플레이트(47)가 고정되어 있는데, 플레이트(47)는 분진이 방출될 수 있는 홈을 폐쇄하면서 슬라이더(44)를 따라 직선 왕복 운동할 수 있다.

로보트에는 상기 플레이트(47)가 이동할 수 있는 공간(48)이 설정된다. 제4도에서 알 수 있는 바와 같이, 슬라이더(44)의 이동 가능 거리(L)가 로보트의 행정 거리가 되는데, 플레이트(47)의 이동 공간(48)거리를 설정하여야 하므로 로보트의 최소 길이는 3L 이 되어야만 한다. 따라서 슬라이더의 행정 거리에 비해 로보트의 길이가 상대적으로 길어지는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 내부에서 발생된 분진의 외부 방출이 방지되는 로보트의 제공을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 목적은 슬라이더가 운동하는 홈이 효과적으로 폐쇄될 수 있는 로보트를 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 전체 길이에 비해 작동 행정 거리가 연장된 로보트를 제공하는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따르면, 구동 수단, 구동력 전달 수단, 상기 구동력 전달 수단에 의해 제어 가능하게 직선 왕복 운동하는 슬라이더 부재 및, 상기 슬라이더 부재가 이동하는 홈이 형성된 커버를 구비하는 로보트에 있어서, 상기 커버의 내측에서 상기 홈을 폐쇄할 수 있도록 양 단부가 상기 슬라이더 부재에 고정된 벨트 부재 및, 상기 벨트 부재를 지지하는 풀리를 구비하는 것을 특징으로 하는 로보트가 제공된다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 벨트 부재의 장력을 조절할 수 있도록 상기 슬라이더 부재에 고정되는 벨트 부재의 양 단부중 한 곳에 벨트 장력 조절 수단이 구비된다.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 벨트 장력 조절 수단은, 상기 슬라이더 부재에 대한 상기 벨트 부재의 고정 위치를 변경시킬 수 있도록 브랙킷 부재를 구비하며, 상기 브랙킷 부재에는 상기 브랙킷 부재를 슬라이더 부재에 조절 가능하게 고정시키는 볼트 구멍 및, 상기 브랙킷 부재와 상기 슬라이더 부재 사이에서 상기 벨트 부재를 가변적인 위치에 고정시킬 수 있는 좁고 가느다란 홈이 형성된다.

이하 본 발명을 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 보다 상세히 설명하기로 한다.

제5도는 본 발명에 따른 로보트의 외부 사시도이다. 로보트(50)의 전면에는 홈(51)이 형성되어 있으며, 홈(51)을 따라 슬라이더(52)가 왕복 운동할 수 있다. 제5도의 원안에 확대 도시된 바와 같이, 슬라이더(52)가 운동하는 홈(51)은 벨트(53)에 의해 폐쇄된다. 벨트(53)의 폭은 홈(51)의 폭보다 넓으며, 벨트(53)는 홈(51)을 따라서 로보트의 외부 커버 내측에 배치된다. 벨트(53)는 슬라이더(52)에 볼트(54)로 연결된다. 벨트(53)는 다양한 재료가 선택될 수 있으나, 스티일 벨트인 것이 바람직스럽다.

제6(a)도 내지 제6(c)도에는 로보트(50)의 내부 구조가 도시되어 있다. 제6(a)도는 홈(51)이 형성된 전면 커버가 제거된 상태를 도시한 것이다. 전술한 바와 같이, 슬라이더(52)는 벨트(53)에 대하여 볼트(54)로 고정된다. 프레임(64)에는 풀리(65)가 회전 가능하게 지지된다. 풀리(65)는 도시된 바와 같이 로보트의 내측 양단부에 4 개가 배치되며, 벨트(53)는 길이 방향으로 배치된 풀리(65)에 걸린다.

슬라이더(52)는 모터(61)의 구동력에 의해 회전하는 볼 스크류(63)에 나사 결합되어 있으므로, 볼 스크류(63)의 회전 운동은 슬라이더(52)의 직선 왕복 운동으로 변환된다. 벨트(53)의 단부는 슬라이더(52)에 고정되므로, 슬라이더(52)가 직선 왕복 운동을 하면 벨트(53)는 풀리(65)를 회전시키면서, 홈(51)을 폐쇄한 상태에서 직선 운동하게 된다.

제6(c)도는 제6(b)도에 표시된 C-C 선을 따라 도시한 개략적인 단면도이다. 슬라이더(52)는 베이스(67)에 지지된 가이드(68)를 따라 운동하게 된다. 슬라이더(52)에 고정된 벨트(53)는 베이스(67)의 측면과 상부 커버(66) 사이에 형성된 홈을 폐쇄한다.

벨트(53)가 홈(51)을 적절히 폐쇄할 수 있도록, 벨트의 장력 조절 수단이 제공되는 것이 바람직스럽다. 제7도는 제6(b)도에 부호 A 로 표시된 원을 확대 도시한 것이다. 벨트(53)는 브랙킷(73)을 매개로 슬라이더(52)에 고정된다. 브랙킷(73)과 볼트(71,72)는 벨트(53)의 장력을 조절할 수 있도록 되어 있다. 볼트(71)는 슬라이더(52)의 일측면에 형성된 볼트 구멍을 통해 슬라이더(52)에 형성된 나사 구멍에 고정된다. 볼트(72)는 브랙킷(73)에 형성된 좁고 가느다란 볼트 홈(74)과 벨트에 형성된 볼트 구멍을 통해 슬라이더(52)에 고정된다. 벨트(53)의 장력은 슬라이더(52)에 대한 브랙킷(73)의 위치를 변동시킴으로써 조절이 가능하다. 작업자가 벨트의 장력을 조절할때에는 먼저 볼트를 모두 느슨하게 조정한 상태에서 브랙킷(73)의 위치를 설정한 후, 볼트(71)를 해당 위치에 고정시킨다. 이후에 볼트(72)를 슬라이더(52)에 고정시킴으로써 벨트의 조절이 가능하다.

본 발명의 로보트는 슬라이더가 이동하는 홈이 벨트에 의해 폐쇄되므로 로보트 내부에서 발생한 분진이 외부로 방출되는 것이 방지된다. 또한 벨트의 장력을 조절할 수 있는 수단이 강구되므로, 벨트가 홈을 형성하는 내표면에 접촉하지 않고 따라서 마찰에 의한 분진의 발생이 방지된다. 부수적으로는 슬라이더의 행정이 연장되더라도 슬라이더의 홈을 폐쇄하기 위한 벨트의 길이를 연장시키고 로보트의 프레임내에서 풀리의 위치를 변경시키는 것에 의해 분진 발생이 방지될 수 있으므로, 로보트의 전체 길이가 불필요하게 연장되는 것을 방지할 수 있다.

Claims

구동용 모터(61), 상기 구동용 모터(61)에 의한 구동력을 전달하는 볼 스크류(63), 상기 볼 스크류(63)에 의해 제어 가능하게 직선 왕복 운동하는 슬라이더 부재(52), 상기 슬라이더 부재(52)가 이동하는 홈(51)이 형성된 커버(66), 상기 커버(66)의 내측에서 상기 홈(51)을 폐쇄할 수 있도록 양단부가 상기 슬라이더 부재(52)에 고정된 벨트 부재(53), 상기 벨트 부재(53)를 지지하도록 상기 커버(66)내에 설치된 풀리(65) 및, 상기 슬라이더 부재(52)에 대한 상기 벨트 부재(53)의 고정 위치를 변경시켜서 상기 벨트 부재(53)의 장력을 조절할 수 있도록, 슬라이더 부재(52)에 형성된 볼트 구멍에 대응하는 볼트 구멍(75) 및, 상기 벨트 부재(53)에 형성된 볼트 구멍을 통해서 상기 슬라이더 부재에 체결될 볼트가 삽입될 수 있는 좁고 가느다란 홈(74)이 형성되어 있는 브랙킷 부재(73)를 구비하는 로보트.