JPH0513514A - Tabテープとtab式半導体装置及びその製造方法 - Google Patents

Tabテープとtab式半導体装置及びその製造方法

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JPH0513514A
JPH0513514A JP3185589A JP18558991A JPH0513514A JP H0513514 A JPH0513514 A JP H0513514A JP 3185589 A JP3185589 A JP 3185589A JP 18558991 A JP18558991 A JP 18558991A JP H0513514 A JPH0513514 A JP H0513514A
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JP
Japan
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inner lead
tab
copper foil
section
inner leads
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Application number
JP3185589A
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English (en)
Inventor
Keiji Shibata
啓司 柴田
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】インナーリード4の巾が狭く隣接インナーリー
ド4との間隔が短いTABテープ1を提供することを目
的とする。 【構成】TABテープ10は、ポリイミドフィルム2に
ラミネートされた銅箔3にエッチングが施され、多数本
のインナーリード4が上記透孔2a内に延出して形成さ
れている。各インナーリード4の中間部4aは断面が略
矩形状を呈し、同一方向に延びる各インナーリード4の
先端部4bは断面略半円状となった連結部7にて連結一
体となっている。各インナーリード4は透孔2a内で位
置決めされる半導体ペレット5の各バンプ電極6に対応
して接合され、その後、連結部7の位置を切断して各イ
ンナーリード4に分離してTAB式半導体装置を得る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、TABテープを用いた
TAB式半導体装置及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近時液晶を用いた画面表示等の駆動ドラ
イバ用のICとして数百本ものリードを有するものが製
造されるようになっている。このようなICは、例え
ば、図7に示すようなTABテープを用いたTAB式半
導体装置となっている。即ち、このTABテープ1は、
長尺のポリイミドフィルム2に銅箔3をラミネートし、
該銅箔3にボンディングワイヤに相当する多数本のイン
ナーリード4をエッチングによって透孔2a内に形成
し、その表面に金や錫めっきを施したものとなってい
る。そして、該TABテープ1の各インナーリード4と
半導体ペレット5の表面に対応して形成されたバンプ電
極6とをそれぞれ熱圧着して構成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、外形寸
法の変更を少なくしてTABテープ1に形成するインナ
ーリード4の本数を多くするとなれば、必然的に各イン
ナーリード4の巾及び隣接する間隔を狭くしなければな
らない。また、エッチングを施して確実に各インナーリ
ード4を分割形成するためは、エッチングレートを考慮
して銅箔3の厚みを薄くする必要がある。このように、
インナーリード4の巾と隣接する間隔を狭くするために
厚みを薄くすると強度的に不利となり、バンプ電極6と
熱圧着する際に、インナーリード4が折れ曲がって位置
ずれを起こし、対応するバンプ電極6と接合されなかっ
たり、隣接するインナーリード4とやバンプ電極6と接
触して短絡等を生じ易くなるといった問題があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のTABテープは、透孔を所定間隔で穿孔し
たフィルム上に銅箔を積層し、この銅箔をエッチングし
て透孔内に延びるインナーリードを形成してなるTAB
テープにおいて、上記各インナーリード中間部の断面を
略矩形状とすると共に、各インナーリードの先端部を断
面略半円状の連結部にて連結一体としたことを特徴とす
る。
【0005】また、本発明のTAB式半導体装置は、透
孔を所定間隔で穿孔したフィルム上に銅箔を積層し、こ
の銅箔にエッチングを施して中間部の断面が略矩形状、
先端部の側面が略半円状を呈したTABテープの透孔内
に延びる各インナーリードを、対応する半導体ペレット
のバンプ電極とそれぞれ接合一体としたことを特徴とす
る。
【0006】そして、本発明のTAB式半導体装置の製
造方法は、透孔を所定間隔で穿孔したフィルム上に銅箔
を積層し、この銅箔にエッチングを施して透孔内に延び
るインナーリードの中間部分の断面を略矩形状に、先端
部分を断面略半円状の連結部にて連結一体としてTAB
テープを形成し、各インナーリード先端を連結部で連結
したまま対応する半導体ペレットのバンプ電極と接合一
体としてから、各インナーリード間の連結部を分離分割
する方法を含むことを特徴としている。
【0007】
【作用】本発明のTABテープは、各インナーリード中
間部の断面を略矩形状とすると共に、各インナーリード
の先端部を断面略半円状の連結部にて連結一体とするた
め、対応するインナーリードを半導体ペレットのバンプ
電極とそれぞれ接合一体とする場合、インナーリードが
折れ曲がって位置ずれを起こし、所定のバンプ電極と接
合されなかったり、隣接するインナーリード同士が接触
して短絡することなく接合することができる。各インナ
ーリードと対応するバンプ電極とが確実に接続されるの
で、各インナーリードの先端部を連結している連結部の
位置を、切断刃或はエッチング等の手段により切り離す
と、各インナーリードと対応する半導体ペレットのバン
プ電極とが確実に接合一体となったTAB式半導体装置
となる。
【0008】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の一実施例を説
明する。
【0009】本発明は、液晶画面の表示等に用いられる
駆動ドライバ用のICなどのように、多数本のリードが
必要となるTAB式半導体装置及びその製造方法並び
に、このTAB式半導体装置に用いられるTABテープ
に関するもので、図1は本発明のTABテープ10の概
略斜視図である。このTABテープ10は、ポリイミド
フィルム2上に銅箔3をラミネートして多数本のインナ
ーリード4を形成したもので、上記ポリイミドフィルム
2は、半導体ペレット5を取り付けるための透孔2aが
所定の間隔をもって形成され、両側縁には間歇送り用の
スプロケットホール2bが一定間隔で形成された長尺フ
ィルムとなっている。
【0010】上記ポリイミドフィルム2にラミネートさ
れた銅箔3は、ホトエッチング等によりエッチングが施
され、ボンディングワイヤに相当する多数本のインナー
リード4が上記透孔2a内に延出して形成されている。
このTABテープ10では透孔2a内の同一方向に多数
本のインナーリード4が設けられるため、銅箔3の厚み
を薄くして形成されるインナーリード4の厚みを薄くし
ており、各インナーリード4の巾も狭く、またその隣接
する間隔も短くなっている。このようなインナーリード
4の中間部4aは、図2に示すように断面が略矩形状を
呈し、同一方向に延びる各インナーリード4の先端部4
bは図2及び図3に示すように、断面略半円状となった
連結部7により連結一体となっている。形成された各イ
ンナーリード4は透孔2a内で位置決めされる半導体ペ
レット5の各バンプ電極6に対応しており、表面は金や
錫等によって適宜めっき処理が施され、溶接性の向上と
酸化の防止がなされている。
【0011】上記透孔2a内の同一方向に延びる各イン
ナーリード4の先端部4bを連結部7にて連結一体とす
るには、銅箔3にインナーリードをエッチングにより形
成するときのマスクに、各インナーリードの先端部4b
の連結部分を設けるだけでよい。これにより、インナー
リード4の中間部4aが矩形状となるまでエッチングを
施しても、インナーリード4の先端部4bは連結されマ
スクと一定したエッチングレートにより断面略半円状の
連結部7が自然に形成されるようになる。
【0012】上記のTABテープ10を用いたTAB式
半導体装置の製造方法としては、インナーリード4の先
端部4bが連結部7にて連結一体となったこのTABテ
ープ10を形成してから、上記各インナーリード4と対
応するバンプ電極6を表面に形成した半導体ペレット5
を、図4に示すように透孔2a内の所定位置に位置決め
配置し、上方よりボンディングツール8を下降させ、両
者を加圧加熱して熱圧着して接合一体とする。このとき
用いられるボンディングツール8は、例えば、各インナ
ーリード4の連結部7の位置に対応して下方に切断刃8
aが突設されたもので、各インナーリード4と対応する
バンプ電極6とを熱圧着すると同時に、図5に示すよう
に、連結部7を切断刃8aにて切断して分割できるよう
になっている。
【0013】このインナーリード4とバンプ電極6とを
接合する場合、TABテープ10に形成された同一方向
に延びる各インナーリード4の先端部4bが連結部7に
て連結一体となっているので、インナーリード4の厚み
が薄く、巾が狭くて一本のインナーリード4の強度が比
較的弱くてもインナーリード4が単独で折れ曲がること
がなく、また、隣接するインナーリード4同士が接触し
て短絡することも生じることなく、対応する半導体ペレ
ット5のバンプ電極6と確実に位置決めされて、熱圧着
される。と同時に各インナーリード4間の連結部7がボ
ンディングツール8の切断刃8aにて分割されるように
なる。この場合、各連結部7が断面略半円状となってい
るため、連結部7の中央の厚みが薄くなっているので切
断も容易で確実となる。
【0014】尚、インナーリード4の先端部4bを連結
する連結部7の分割方法としては、下端に切断刃8aを
設けたボンディングツール8を下降させて熱圧着と同時
に切断する方法に限らず、各インナーリード4と対応す
るバンプ電極6とを熱圧着してから、例えば、図6に一
点鎖線で示す範囲に再度エッチングを施して各インナー
リード4の先端部4bを分離させる方法であってもよ
く、連結部7が確実に離されて各インナーリード4に分
割できる方法であればよいものである。
【0015】本発明のTAB式半導体装置では、インナ
ーリード4の厚みが薄く、また巾が狭くて強度的に不利
で、且つ隣接するインナーリード4間の間隔が短くて
も、各インナーリード4の先端部4bを連結部7で連結
した状態で半導体ペレット5の対応するバンプ電極6と
確実に位置決めして接合一体とし、個々のインナーリー
ド4に分割されるため、インナーリード4が折れ曲がっ
て対応するバンプ電極6と接合不良を起こしたり、隣接
するインナーリード4やバンプ電極6と接触して短絡を
生じることなく製造されるようになる。
【0016】ここで、上記実施例では、透孔2a内の同
一方向に延びる各インナーリード4の先端部4bをそれ
ぞれ連結部7で連結したTABテープ10を用いたTA
B式半導体装置を示したが、全てのインナーリード4の
先端部4bを連結部7にて連結一体としてもよい。
【0017】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のTABテープを用いると、各インナーリードの厚みが
薄く、また、巾が狭くて強度的に不利であり、且つ隣接
するインナーリードとの間隔が短くても、各インナーリ
ードの先端部を連結部にて連結一体としているので、半
導体ペレットの対応するバンプ電極と接合する場合で
も、各インナーリードが折れ曲がって接合不良を起こし
たり、隣接するインナーリードと接触して短絡を生じる
ことなく確実に接合一体とすることができ、この連結部
を切断するだけで各インナーリードが確実に分離された
TAB式半導体装置が提供できるといった効果を奏す
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係るTABテープの概略斜
視図。
【図2】図1のA−A線に沿ったインナーリードの要部
拡大概略断面図。
【図3】図1のB−B線に沿ったインナーリードの要部
拡大概略断面図。
【図4】図1のB−B線に沿ったインナーリードの先端
部における半導体ペレットのバンプ電極との接合前を示
した要部拡大概略断面図。
【図5】図1のB−B線に沿ったインナーリードの先端
部における半導体ペレットのバンプ電極との接合後を示
した要部拡大概略断面図。
【図6】図1のB−B線に沿ったインナーリードの先端
部における連結部の分離状態を示した要部拡大概略断面
図。
【図7】従来のTAB式半導体装置の概略斜視図。
【符号の説明】
2a 透孔 3 銅箔 4 インナーリード 4a 中間部 4b 先端部 5 半導体ペレット 6 バンプ電極 7 連結部 10 TABテープ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】透孔を所定間隔で穿孔したフィルム上に銅
    箔を積層し、この銅箔をエッチングして透孔内に延びる
    インナーリードを形成してなるTABテープにおいて、
    上記各インナーリード中間部の断面を略矩形状とすると
    共に、各インナーリードの先端部を断面略半円状の連結
    部にて連結一体としたことを特徴とするTABテープ。
  2. 【請求項2】透孔を所定間隔で穿孔したフィルム上に銅
    箔を積層し、この銅箔にエッチングを施して中間部の断
    面が略矩形状、先端部の側面が略半円状を呈したTAB
    テープの透孔内に延びる各インナーリードを、対応する
    半導体ペレットのバンプ電極とそれぞれ接合一体とした
    ことを特徴とするTAB式半導体装置。
  3. 【請求項3】透孔を所定間隔で穿孔したフィルム上に銅
    箔を積層し、この銅箔にエッチングを施して透孔内に延
    びるインナーリードの中間部分の断面を略矩形状に、先
    端部分を断面略半円状の連結部にて連結一体としてTA
    Bテープを形成し、各インナーリード先端を連結部で連
    結したまま対応する半導体ペレットのバンプ電極と接合
    一体とすると共に、各インナーリード間の連結部を分離
    して各インナーリード4に分割する方法を含むことを特
    徴とするTAB式半導体装置の製造方法。
JP3185589A 1991-06-28 1991-06-28 Tabテープとtab式半導体装置及びその製造方法 Withdrawn JPH0513514A (ja)

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