JPH0494186A - 多層回路基板の製造方法 - Google Patents
多層回路基板の製造方法Info
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Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
。
と樹脂系多層回路基板があり、それぞれ次のようにして
製造されている。
と絶縁ペーストを交互に印刷、焼成して多層回路基板と
するものである。
面倒であり、また層数が多くなると、表面の凹凸が激し
くなって印刷が困難になるた狛、層数を多くすることが
できない。
ーンシートという未焼成セラミツクシート上に導電ペー
ストにより回路を印刷すると共に、層間の導通をとる部
分に穴をあけて導電ペーストを充填したものを複数枚積
層し、それを600〜1200℃の高温下で一挙に焼成
して多層回路基板とするものである。
ート内に含まれる有機成分の飛散が不十分となり、有機
成分の一部が回路基板内部に残留して炭化し、層間の絶
縁性を劣化させるという問題がある。またこの方法は、
焼成によりグリーンシートが約lθ%も収縮するため、
高い寸法精度が得られない。さらにセラミックは誘電率
が5.7と大きいため、償号の伝搬遅延時間が大きくな
り、高周波、高速回路への対応が難しい。
両面銅張り基板をパターンエツチングすることにより得
た両面回路基板を、間にプリプレグをはさんで複数枚積
層し、熱圧着した後、穴あけ加工を行い、穴内面にメツ
キを施してスルーホールを形成することにより製造され
る。
のメツキ工程が必要となるため、コスト高になる欠点が
ある。
層回路基板の製造方法を提供するものである。
体を有し、他面に接着剤層を有する片面回路フィルムを
用いる。この回路フィルムを、接着剤層を同じ側に向け
て複数枚積層し、それを加熱加圧して前記接着剤層によ
り隣接層間を接着することにより多層回路基板を製造す
るのであるが、層間の導通をとるため各片面回路フィル
ムは次のような構成としである。
される片面回路フィルムの回路導体と導通をとる位置に
穴あけ加工とポリマー導電ペーストの充填によりスルー
スタッドを形成すると共に、その回路導体側に積層され
る片面回路フィルムのスルースタッドに対応する位置の
回路導体上にポリマー導電ペーストによりパッドを形成
した構成とする。
ルムを積層接着する前は未硬化の状態としておき、積層
接着時の加熱加圧によってスルースタッドとパッドを硬
化させると共に一体化させて、各片面回路フィルムの積
層接着と同時に層間の導通が得られるようにしたもので
ある。
ック絶縁フィルムの両面に回路導体を有する両面回路フ
ィルムの両面にそれぞれ、前記のような片面回路フィル
ムを、接着剤層を両面回路フィルム側に向けて積層し、
それを加熱加圧して前記接着剤層により隣接層間を接着
するという方法である。
通させる位置に穴あけ加工とポリマー導電ペーストの充
填によりスルースタッドを形成すると共に、両面に積層
される片面回路フィルムのスルースタッドに対応する位
置の回路導体上にポリマー導電ペーストによりパッドを
形成したものである。
たスルースタッドおよびパッドはそれらの回路フィルム
を積層接着する前は未硬化の状態としておき、積層接着
時の加熱加圧によってその両者を硬化させると共に一体
化させることも前記の製造方法と同じである。
同時に層間の導通路を形成できるため、積層後にスルー
ホールを形成する必要がなくなり、また積層枚数を多く
しても表面の凹凸などが発生しないため層数の多い多層
回路基板を得ることが可能となる。またプラスチック製
の絶縁フィルムを使用しているため、絶縁層の収縮がほ
とんどなく高い寸法精度が得られると共に、誘電率も低
く、層間絶縁も確実である。
。
ルムの製造方法を示す。まず(a)に示すように絶縁フ
ィルム11の片面に銅層12を有し、他面に熱可塑性接
着剤または半硬化状態の熱硬化性接着剤よりなる接着剤
層13を有する積層フィルム材14を製造する。
厚さ25〜125μmのポリイミド絶縁フィルムの片面
に接着剤層としてテフロンFEP (商品名)を25〜
50μmの厚さにコーティングした複合フィルムを用意
し、そのポリイミド絶縁フィルム側の面に物理的蒸着法
を用いて厚さ0.2〜1.0μ田程度の銅薄層を形成し
、その上に銅薄層の厚さが5〜lOμm程度になるよう
に銅の電気メツキを施すという方法をとることができる
。
張り合わせるか、銅箔に直接ポリイミド前駆体をキャス
ティングして、銅箔とポリイミド絶縁フィルムを一体化
したフレキシブルプリント基板材料を作り、そのポリイ
ミド絶縁フィルム側の面にエポキシ系接着材をコーティ
ングしてBステージ状にするという方法で製造すること
も可能である。
行い、(b)に示すような穴15を形成する。さらに銅
層12を公知の方法でパターンエツチングすることによ
り、ら)に示すような所要パターンの回路導体16を形
成する。
穴15内にポリマー導電ペーストを充填してスルースタ
ッド17を形成すると共に、回路導体16上の所要位置
にポリマー導電ペーストによりパッド18を形成する。
ー導電ペーストの硬化反応が進まない低い温度で、指で
触れてもベタつかない程度に乾燥させる。
層回路基板を製造するものである。
る実施例を示す。この製造方法ではまず図−2に示すよ
うに、金属板21上に、前述のようにして製造された片
面回路フィルム19を、接着剤層13を金属板21側に
向けて複数枚積層する。図から明らかなように各片面回
路フィルム19のスルースタッド17は、その下(接着
剤層13側)に積層される片面回路フィルム19の回路
導体16と導通をとる位置に形成されており、パッド1
8は、その上(回路導体16側)に積層される片面回路
フィルム19のスルースタッドに対応する位置の回路導
体16上に形成されている。また金属板21上にも、そ
の上に積層される片面回路フィルム19のスルースタッ
ド17に対応する位置にポリマー導電ペーストによりパ
ッド18が形成されている。
9を積層した後、真空プレス機により約300℃の温度
で全体を加熱加圧し、接着剤層13により隣接層間を接
着する。前記スルースタッド17およびパッド18は全
体を積層接着する前は未硬化の状態にあり、積層接着時
の加熱加圧によってその両者が硬化すると共に一体化し
て、層間の導通路が形成されるものである。
基板が製造できるものである。
の代わりに銅箔を使用し、積層接着後、その銅箔を所望
の回路パターンにパターンエツチングすれば、両面に回
路導体を有する多層回路基板を製造することができる。
る実施例を示す。この製造方法は、前記実施例における
金属板21の代わりに接着剤層を有しない回路フィルム
22を使用し、その上に片面回路フィルム19を複数枚
積層する例である。この回路フィルム22は絶縁フィル
ム23の片面に回路導体24を形成したものであるが、
両面に回路導体を形成したものであってもよい。回路フ
ィルム22の回路導体24上には、その上に積層される
片面回路フィルム19のスルースタッド17に対応する
位置にポリマー導電ペーストによりパッド18が形成さ
れている。それ以外は前記実施例と同様であるので、同
一部分には同一符号を付して説明を省略する。
ることができる。
を示す。この製造方法は、両面回路フィルム26の両面
に片面回路フィルム19を積層して多層回路基板を製造
するものである。
7の両面に回路導体28.29を有するもので、両面の
回路導体28.29を導通させる位置には穴あけ加工と
ポリマー導電ペーストの充填によりスルースタッド31
を形成すると共に、その両面に積層される片面回路フィ
ルム19のスルースタッド17に対応する位置の回路導
体28.29上にはポリマー導電ペーストによりパッド
32.33を形成したものである。
ある。このような片面回路フィルム19を、接着剤層1
3を両面回路フィルム26側に向けて、両面回路フィル
ム26の両面に積層し、全体を加熱加圧して接着する。
3は両面回路フィルム26と片面回路フィルム19の積
層接着前は未硬化の状態としておき、積層接着時の加熱
加圧によって、その両者を硬化させると共に一体化させ
る点は前記実施例と同様である。
ることができる。
フィルムを、あるいは複数枚の片面回路フィルムと他の
金属板や回路フィルム等とを積層接着すると同時に層間
の導通路を形成することができるので、積層接着後にメ
ツキによるスルーホールを形成する必要がなく、多層回
路基板を効率よく安価に製造できると共に、積層枚数を
多くしても凹凸などが発生しないため層数の多い多層回
路基板を製造できる利点がある。また層間絶縁にプラス
チック絶縁フィルムを使用しているため、収縮がほとん
どなく寸法精度の高い多層回路基板を製造することがで
きると共に、層間の絶縁性が良好で、絶縁層の誘電率が
小さい多層回路基板を得ることができる。
ルムを製造する方法の一例を示す断面図、図−2は請求
項1および2の発明の一実施例を示す断面図、図−3は
それによって製造された金属ベース多層回路基板の断面
図、図−4は請求項1および3の発明の一実施例を示す
断面図、図−5はそれによって製造された多層回路基板
の断面図、図−6は請求項4の発明の一実施例を示す断
面図、図−7はそれによって製造された多層回路基板の
断面図である。 11:絶縁フィルム 13:接着剤層 15:穴16:
回路導体 17:スルースタツド18:パッド 19:
片面回路フィルム21コ金属板 22:回路フィルム 23:絶縁フィルム 24:回路導体 26:両面回路フィルム 27:絶縁フィルム28.2
9:回路導体 31ニスルースタツド32.33:パッ
ド 図−2 図− 図−3 図− 図−5 図− 図−
Claims (4)
- 1.プラスチック絶縁フィルムの片面に回路導体を有し
、他面に接着剤層を有する片面回路フィルムを、接着剤
層を同じ側に向けて複数枚積層し、それを加熱加圧して
前記接着剤層により隣接層間を接着することにより多層
回路基板を製造する方法であって、 各片面回路フィルムは、その接着剤層側に積層される片
面回路フィルムの回路導体と導通をとる位置に穴あけ加
工とポリマー導電ペーストの充填によりスルースタッド
を形成すると共に、その回路導体側に積層される片面回
路フィルムのスルースタッドに対応する位置の回路導体
上にポリマー導電ペーストによりパッドを形成したもの
からなり、 前記スルースタッドおよびパッドは片面回路フィルムを
積層接着する前は未硬化の状態としておき、積層接着時
の加熱加圧によってスルースタッドとパッドを硬化させ
ると共に一体化させる、ことを特徴とする多層回路基板
の製造方法。 - 2.請求項1記載の製造方法であって、片面回路フィル
ムを金属板上に複数枚積層することを特徴とするもの。 - 3.請求項1記載の製造方法であって、片面回路フィル
ムを、接着剤層を有しない回路フィルム上に複数枚積層
するものとし、この回路フィルムは、その上に積層され
る片面回路フィルムのスルースタッドに対応する位置の
回路導体上にポリマー導電ペーストにより形成されたパ
ッドを有することを特徴とするもの。 - 4.プラスチック絶縁フィルムの両面に回路導体を有す
る両面回路フィルムの両面にそれぞれ、プラスチック絶
縁フィルムの片面に回路導体を有し、他面に接着剤層を
有する片面回路フィルムを、接着剤層を両面回路フィル
ム側に向けて積層し、それを加熱加圧して前記接着剤層
により隣接層間を接着することにより多層回路基板を製
造する方法であって、 両面回路フィルムは、両面の回路導体を導通させる位置
に穴あけ加工とポリマー導電ペーストの充填によりスル
ースタッドを形成すると共に、その両面に積層される片
面回路フィルムのスルースタッドに対応する位置の回路
導体上にポリマー導電ペーストによりパッドを形成した
ものからなり、各片面回路フィルムは、その接着剤層側
に積層される両面回路フィルムまたは片面回路フィルム
の回路導体と導通をとる位置に穴あけ加工とポリマー導
電ペーストの充填によりスルースタッドを形成すると共
に、その回路導体側に積層される片面回路フィルムのス
ルースタッドに対応する位置の回路導体上にポリマー導
電ペーストによりパッドを形成したものからなり、 前記スルースタッドおよびパッドは両面回路フィルムお
よび片面回路フィルムを積層接着する前は未硬化の状態
としておき、積層接着時の加熱加圧によってスルースタ
ッドとパッドを硬化させると共に一体化させる、 ことを特徴とする多層回路基板の製造方法。
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Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06104546A (ja) * | 1992-09-22 | 1994-04-15 | Alps Electric Co Ltd | フレキシブルプリント基板のスルーホールおよびその形成方法 |
US5473813A (en) * | 1993-04-22 | 1995-12-12 | International Business Machines Corporation | Methods of forming electronic multi-layer printed circuit boards and/or cards and electronic packages including said boards or cards |
US5509203A (en) * | 1993-07-22 | 1996-04-23 | Nec Corporation | Method for manufacturing a sheet formed connector for inspection of an integrated circuit |
US5744758A (en) * | 1995-08-11 | 1998-04-28 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Multilayer circuit board and process of production thereof |
WO1999013343A1 (fr) * | 1997-09-10 | 1999-03-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Capteur d'acceleration et procede de fabrication |
WO2000052975A1 (en) * | 1999-03-04 | 2000-09-08 | Sigtronics Limited | Circuit board printer |
JP2002185142A (ja) * | 2000-12-19 | 2002-06-28 | Ibiden Co Ltd | 多層プリント配線板及びその製造方法 |
WO2003071843A1 (fr) * | 2002-02-22 | 2003-08-28 | Fujikura Ltd. | Tableau de connexions multicouche, base pour tableau de connexions multicouche, tableau de connexions imprime et son procede de production |
WO2004066697A1 (ja) * | 2003-01-20 | 2004-08-05 | Fujikura Ltd. | 多層配線板およびその製造方法 |
JP2007134509A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多層プリント配線板の製造方法及び多層プリント配線板 |
JP2007250996A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Kyocera Corp | 配線基板、並びにその配線基板を備えた電子装置およびプローブカード |
US7721427B2 (en) | 1997-06-06 | 2010-05-25 | Ibiden Co., Ltd. | Method for manufacturing single sided substrate |
US20100276184A1 (en) * | 2007-12-25 | 2010-11-04 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Multilayer printed board and method for manufacturing the same |
JP2012004505A (ja) * | 2010-06-21 | 2012-01-05 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2012004504A (ja) * | 2010-06-21 | 2012-01-05 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 電子装置及びその製造方法 |
JP2013171921A (ja) * | 2012-02-20 | 2013-09-02 | Fujikura Ltd | 電子部品及びその製造方法並びに電子部品内蔵プリント回路基板及びその製造方法 |
JP2015046498A (ja) * | 2013-08-28 | 2015-03-12 | 株式会社デンソー | 多層プリント基板およびその製造方法 |
-
1990
- 1990-08-10 JP JP21047490A patent/JP2857237B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06104546A (ja) * | 1992-09-22 | 1994-04-15 | Alps Electric Co Ltd | フレキシブルプリント基板のスルーホールおよびその形成方法 |
US5473813A (en) * | 1993-04-22 | 1995-12-12 | International Business Machines Corporation | Methods of forming electronic multi-layer printed circuit boards and/or cards and electronic packages including said boards or cards |
US5509203A (en) * | 1993-07-22 | 1996-04-23 | Nec Corporation | Method for manufacturing a sheet formed connector for inspection of an integrated circuit |
US5744758A (en) * | 1995-08-11 | 1998-04-28 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Multilayer circuit board and process of production thereof |
US7721427B2 (en) | 1997-06-06 | 2010-05-25 | Ibiden Co., Ltd. | Method for manufacturing single sided substrate |
US6263735B1 (en) | 1997-09-10 | 2001-07-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Acceleration sensor |
WO1999013343A1 (fr) * | 1997-09-10 | 1999-03-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Capteur d'acceleration et procede de fabrication |
WO2000052975A1 (en) * | 1999-03-04 | 2000-09-08 | Sigtronics Limited | Circuit board printer |
JP2002185142A (ja) * | 2000-12-19 | 2002-06-28 | Ibiden Co Ltd | 多層プリント配線板及びその製造方法 |
KR100975258B1 (ko) * | 2002-02-22 | 2010-08-11 | 가부시키가이샤후지쿠라 | 다층 배선 기판, 다층 배선 기판용 기재, 프린트 배선기판 및 그 제조 방법 |
WO2003071843A1 (fr) * | 2002-02-22 | 2003-08-28 | Fujikura Ltd. | Tableau de connexions multicouche, base pour tableau de connexions multicouche, tableau de connexions imprime et son procede de production |
US7312400B2 (en) | 2002-02-22 | 2007-12-25 | Fujikura Ltd. | Multilayer wiring board, base for multilayer wiring board, printed wiring board and its manufacturing method |
WO2004066697A1 (ja) * | 2003-01-20 | 2004-08-05 | Fujikura Ltd. | 多層配線板およびその製造方法 |
US7886438B2 (en) | 2003-01-20 | 2011-02-15 | Fujikura Ltd. | Process for producing multilayer printed wiring board |
JP2007134509A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 多層プリント配線板の製造方法及び多層プリント配線板 |
JP2007250996A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Kyocera Corp | 配線基板、並びにその配線基板を備えた電子装置およびプローブカード |
US20100276184A1 (en) * | 2007-12-25 | 2010-11-04 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Multilayer printed board and method for manufacturing the same |
US8476534B2 (en) * | 2007-12-25 | 2013-07-02 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Multilayer printed board and method for manufacturing the same |
JP2012004505A (ja) * | 2010-06-21 | 2012-01-05 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2012004504A (ja) * | 2010-06-21 | 2012-01-05 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 電子装置及びその製造方法 |
JP2013171921A (ja) * | 2012-02-20 | 2013-09-02 | Fujikura Ltd | 電子部品及びその製造方法並びに電子部品内蔵プリント回路基板及びその製造方法 |
JP2015046498A (ja) * | 2013-08-28 | 2015-03-12 | 株式会社デンソー | 多層プリント基板およびその製造方法 |
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