JPH0460337B2 - - Google Patents
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- JPH0460337B2 JPH0460337B2 JP59158836A JP15883684A JPH0460337B2 JP H0460337 B2 JPH0460337 B2 JP H0460337B2 JP 59158836 A JP59158836 A JP 59158836A JP 15883684 A JP15883684 A JP 15883684A JP H0460337 B2 JPH0460337 B2 JP H0460337B2
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- JP
- Japan
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- brush
- cleaning
- cover
- support
- fixed
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- Expired - Lifetime
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 56
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 claims description 5
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
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- 229920004943 Delrin® Polymers 0.000 description 1
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- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
- B08B15/02—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area using chambers or hoods covering the area
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/50—Cleaning by methods involving the use of tools involving cleaning of the cleaning members
- B08B1/52—Cleaning by methods involving the use of tools involving cleaning of the cleaning members using fluids
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体ウエハその他の薄板を清浄化す
るスクラビング装置に関する。
るスクラビング装置に関する。
半導体ウエハ等をチヤツクした状態で洗浄液を
供給しながらブラシで洗浄するスクラビング装置
は、洗浄後のブラシ自体も汚染されるので、該ブ
ラシ自体も洗浄しなければならないが、該ブラシ
をカバーで包囲した状態で洗浄しないと洗浄液が
飛散してしまう。
供給しながらブラシで洗浄するスクラビング装置
は、洗浄後のブラシ自体も汚染されるので、該ブ
ラシ自体も洗浄しなければならないが、該ブラシ
をカバーで包囲した状態で洗浄しないと洗浄液が
飛散してしまう。
本発明はそのような実情に鑑み、ブラシサポー
トに取付けた洗浄ブラシを包囲するよう固定カバ
ーと開閉可能なクリーニングカバーを設け、上記
洗浄ブラシ自体を洗浄する際には上記ブラシサポ
ートの揺動に伴つて上記リーニングカバーを閉じ
た位置に回動してブラシの自己洗浄ができるよう
クリーニングカバーの駆動手段を設けたスクラビ
ング装置に係るものである。なお、本発明のスク
ラビング装置は、半導体ウエハ、ガラス板、アル
ミナ、水晶板、セラミツク板、サフアイヤ板、ア
ルミデイスクその他の薄板のスクラバーとして好
適に使用することができる。
トに取付けた洗浄ブラシを包囲するよう固定カバ
ーと開閉可能なクリーニングカバーを設け、上記
洗浄ブラシ自体を洗浄する際には上記ブラシサポ
ートの揺動に伴つて上記リーニングカバーを閉じ
た位置に回動してブラシの自己洗浄ができるよう
クリーニングカバーの駆動手段を設けたスクラビ
ング装置に係るものである。なお、本発明のスク
ラビング装置は、半導体ウエハ、ガラス板、アル
ミナ、水晶板、セラミツク板、サフアイヤ板、ア
ルミデイスクその他の薄板のスクラバーとして好
適に使用することができる。
以下実施例と共に説明する。
適宜の搬送手段により、薄板１はスクラバー本
体２の清浄化工程へ送られ、吸引チヤツク手段、
把持爪チヤツク手段その他の薄板チヤツク手段３
によりチヤツクされる。上記スクラバー本体に
は、軸受４，５で支持された軸６があり、該軸に
ブラシサポート７が固着され、エアシリンダ（図
示略）等の駆動手段で該軸を回動することにより
上記ブラシサポート７は、その先端が上記チヤツ
ク手段３に接近する作用位置とチヤツク手段から
離れた後退位置の間で揺動する。上記ブラシサポ
ートは、図に示すものでは、ボス８を有し上記軸
６に固定される下方サポート９と、該下方サポー
トにねじその他の固定手段で固定される上方サポ
ート１０で構成され、上方サポート１０の先部に
は、連結板１１を設け、該連結板に、後記する洗
浄ブラシに洗浄液を噴出するブラシシヤワーノズ
ル１２を設けてある。該ノズルは、長手方向に延
び、下面にノズル孔（図示略）を有する横パイプ
１３と、わん曲状態で該横パイプに接続した縦パ
イプ１４を含む。上記連結板１１の下方には傾斜
板１５があり、落下した洗浄液を案内する。上記
ブラシサポート７の先端には、洗浄ブラシ１６を
回転可能に取付けてある。該洗浄ブラシ１６の一
方の支承軸１７は、上記ブラシサポート７に設け
た軸受１８に支持され、一端にスプロケツト１９
を有し、上記軸６の一端外周に回転可能に嵌着し
た回転体２０に設けたスプロケツト２１との間
に、ラダーチエーン等のチエーン２２を掛け渡
し、上記回転体２０を適宜位置に設けたモータ、
ベルト２３、プーリ２４を介し回転することによ
り回転される。上記ブラシサポート７の先端に
は、上記洗浄ブラシ１６の外周の後面側を包囲す
る固定カバー２５と前面側を開閉可能に包囲する
クリーニングカバー２６が設けられている（第４
図、第５図）。上記カバーは、好ましくは内部が
透視できるよう透明性のあるプラスチツク材料で
作られ、固定カバー２５は半割円筒形に形成さ
れ、開口縁に角形の縁材２７を有し、かつ後端が
後方に延出し、該延出部２８を上記ブラシサポー
ト７の連結板１１に固着し、端板部２９が上記ブ
ラシサポート７の内側に位置する。クリーニング
カバー２６は、上記固定カバー２５の外周に覆い
重なる程度の大きさの略半割円筒形に形成され、
一方、端板部３０には、デルリン（商品名）等の
合成樹脂材料で弧状に形成したすべり軸受３１が
固着され、該すべり軸受が上記軸受１８の外周に
嵌着する。また、他方の端板部３２には、上記洗
浄ブラシ１６の他方の支承軸３３に遊嵌するボス
３４を有し該ボス部にスプロケツト３５を設けた
支承板３６が固着されている。該クリーニングカ
バー２６は、上記のようにブラシサポートに枢着
してあるので、上記固定カバー２５と協同して上
記洗浄ブラシ１６を包囲することができる。
体２の清浄化工程へ送られ、吸引チヤツク手段、
把持爪チヤツク手段その他の薄板チヤツク手段３
によりチヤツクされる。上記スクラバー本体に
は、軸受４，５で支持された軸６があり、該軸に
ブラシサポート７が固着され、エアシリンダ（図
示略）等の駆動手段で該軸を回動することにより
上記ブラシサポート７は、その先端が上記チヤツ
ク手段３に接近する作用位置とチヤツク手段から
離れた後退位置の間で揺動する。上記ブラシサポ
ートは、図に示すものでは、ボス８を有し上記軸
６に固定される下方サポート９と、該下方サポー
トにねじその他の固定手段で固定される上方サポ
ート１０で構成され、上方サポート１０の先部に
は、連結板１１を設け、該連結板に、後記する洗
浄ブラシに洗浄液を噴出するブラシシヤワーノズ
ル１２を設けてある。該ノズルは、長手方向に延
び、下面にノズル孔（図示略）を有する横パイプ
１３と、わん曲状態で該横パイプに接続した縦パ
イプ１４を含む。上記連結板１１の下方には傾斜
板１５があり、落下した洗浄液を案内する。上記
ブラシサポート７の先端には、洗浄ブラシ１６を
回転可能に取付けてある。該洗浄ブラシ１６の一
方の支承軸１７は、上記ブラシサポート７に設け
た軸受１８に支持され、一端にスプロケツト１９
を有し、上記軸６の一端外周に回転可能に嵌着し
た回転体２０に設けたスプロケツト２１との間
に、ラダーチエーン等のチエーン２２を掛け渡
し、上記回転体２０を適宜位置に設けたモータ、
ベルト２３、プーリ２４を介し回転することによ
り回転される。上記ブラシサポート７の先端に
は、上記洗浄ブラシ１６の外周の後面側を包囲す
る固定カバー２５と前面側を開閉可能に包囲する
クリーニングカバー２６が設けられている（第４
図、第５図）。上記カバーは、好ましくは内部が
透視できるよう透明性のあるプラスチツク材料で
作られ、固定カバー２５は半割円筒形に形成さ
れ、開口縁に角形の縁材２７を有し、かつ後端が
後方に延出し、該延出部２８を上記ブラシサポー
ト７の連結板１１に固着し、端板部２９が上記ブ
ラシサポート７の内側に位置する。クリーニング
カバー２６は、上記固定カバー２５の外周に覆い
重なる程度の大きさの略半割円筒形に形成され、
一方、端板部３０には、デルリン（商品名）等の
合成樹脂材料で弧状に形成したすべり軸受３１が
固着され、該すべり軸受が上記軸受１８の外周に
嵌着する。また、他方の端板部３２には、上記洗
浄ブラシ１６の他方の支承軸３３に遊嵌するボス
３４を有し該ボス部にスプロケツト３５を設けた
支承板３６が固着されている。該クリーニングカ
バー２６は、上記のようにブラシサポートに枢着
してあるので、上記固定カバー２５と協同して上
記洗浄ブラシ１６を包囲することができる。
上記作用位置においてブラシの前面側を開放
し、上記後退位置においてブラシの前面側を閉鎖
するよう上記ブラシサポートの揺動と連動して上
記クリーニングカバーを回動するよう駆動手段を
設けてある。該駆動手段は種々に構成することが
でき、図においては上記スクラバー本体へのブラ
シサポートの枢着部と同軸的に固定歯車（太陽歯
車）３７が設けられている。図に示すものでは、
該固定歯車３７は、上記軸６の軸受４の内側に固
着され、該固定歯車に係合する遊星歯車３８がブ
ラシサポート７の側面に枢着され、該遊星歯車の
回転を上記クリーニングカバー２６に伝達するよ
うにしてある。第１図、第２図に示すものは、上
記遊星歯車３８に係合する歯車３９をブラシサポ
ート７の側面に軸支、該歯車３９にスプロケツト
４０を固着し、該スプロケツト４０と上記クリー
ニングカバー２６の支承板３６の上記スプロケツ
ト３５との間にラダーチエーン等のチエーン４１
を掛け渡して上記クリーニングカバー２６を回動
するようにしてある。第６図に示すものは、駆動
手段の他の実施例で遊星歯車３８にスプロケツト
４２を固着し、一方上記クリーニンクカバー２６
の支承板３６に歯車４３を設け、該歯車４３に係
合する歯車４４をブラシサポート７に軸支し、該
歯車４４にスプロケツト４５を固着して、該スプ
ロケツト４５と上記スプロケツト４２の間にチエ
ーン４６を掛け渡してある。
し、上記後退位置においてブラシの前面側を閉鎖
するよう上記ブラシサポートの揺動と連動して上
記クリーニングカバーを回動するよう駆動手段を
設けてある。該駆動手段は種々に構成することが
でき、図においては上記スクラバー本体へのブラ
シサポートの枢着部と同軸的に固定歯車（太陽歯
車）３７が設けられている。図に示すものでは、
該固定歯車３７は、上記軸６の軸受４の内側に固
着され、該固定歯車に係合する遊星歯車３８がブ
ラシサポート７の側面に枢着され、該遊星歯車の
回転を上記クリーニングカバー２６に伝達するよ
うにしてある。第１図、第２図に示すものは、上
記遊星歯車３８に係合する歯車３９をブラシサポ
ート７の側面に軸支、該歯車３９にスプロケツト
４０を固着し、該スプロケツト４０と上記クリー
ニングカバー２６の支承板３６の上記スプロケツ
ト３５との間にラダーチエーン等のチエーン４１
を掛け渡して上記クリーニングカバー２６を回動
するようにしてある。第６図に示すものは、駆動
手段の他の実施例で遊星歯車３８にスプロケツト
４２を固着し、一方上記クリーニンクカバー２６
の支承板３６に歯車４３を設け、該歯車４３に係
合する歯車４４をブラシサポート７に軸支し、該
歯車４４にスプロケツト４５を固着して、該スプ
ロケツト４５と上記スプロケツト４２の間にチエ
ーン４６を掛け渡してある。
而して、上記固定歯車（太陽歯車）、遊星歯車
等の歯車比や上記スプロケツトの歯数比を選定す
ることにより、上記ブラシサポート７が起立した
後退位置（第２Ａ図）にあるとき、クリーニング
カバー２６は閉じた位置にあり、ブラシサポート
７がエアシリンダ等の操作により作用位置に降下
し始めると、上記固定歯車３７の周囲を遊星歯車
３８が回転し、その回転を上記クリーニングカバ
ー２６に伝達して該クリーニングカバーを上記固
定カバー２５の後方に移動させることができる。
（第２Ｂ図）。したがつて、作用位置においては、
洗浄ブラシ１６がカバーから露出するので、ウエ
ハ等の薄板１をブラシ洗浄することができる。そ
の後、ブラシサポート７がエアシリンダ等の操作
により起立した後退位置に移動すると、上記遊星
歯車は逆回転し、上記クリーニングカバー２６は
固定カバー２５の前面側に移動して洗浄ブラシ１
６の前面側を包囲する。この状態で上記ブラシシ
ヤワーノズル１２から洗浄液を噴出しながら上記
ブラシを回転させれば、洗浄液を飛散させること
なく上記洗浄ブラシを自己洗浄することができ
る。
等の歯車比や上記スプロケツトの歯数比を選定す
ることにより、上記ブラシサポート７が起立した
後退位置（第２Ａ図）にあるとき、クリーニング
カバー２６は閉じた位置にあり、ブラシサポート
７がエアシリンダ等の操作により作用位置に降下
し始めると、上記固定歯車３７の周囲を遊星歯車
３８が回転し、その回転を上記クリーニングカバ
ー２６に伝達して該クリーニングカバーを上記固
定カバー２５の後方に移動させることができる。
（第２Ｂ図）。したがつて、作用位置においては、
洗浄ブラシ１６がカバーから露出するので、ウエ
ハ等の薄板１をブラシ洗浄することができる。そ
の後、ブラシサポート７がエアシリンダ等の操作
により起立した後退位置に移動すると、上記遊星
歯車は逆回転し、上記クリーニングカバー２６は
固定カバー２５の前面側に移動して洗浄ブラシ１
６の前面側を包囲する。この状態で上記ブラシシ
ヤワーノズル１２から洗浄液を噴出しながら上記
ブラシを回転させれば、洗浄液を飛散させること
なく上記洗浄ブラシを自己洗浄することができ
る。
本発明は以上のように構成され、洗浄ブラシが
薄板を洗浄していないとき、該洗浄ブラシ自体を
自己洗浄し、常に清潔に保つことができ、この
際、ブラシ自体を洗浄する位置ではブラシ全体を
固定カバーとクリーニングカバーで包囲している
ので、周囲を汚すこともなく、安心して使用する
ことができる。
薄板を洗浄していないとき、該洗浄ブラシ自体を
自己洗浄し、常に清潔に保つことができ、この
際、ブラシ自体を洗浄する位置ではブラシ全体を
固定カバーとクリーニングカバーで包囲している
ので、周囲を汚すこともなく、安心して使用する
ことができる。
図面は本発明の実施例を示し、第１図は一部を
断面して示す正面図、第２Ａ、２Ｂ図は主として
ブラシサポートの移動による変化を示す一部切欠
側面図で、第２Ａ図は後退位置、第２Ｂ図は作用
位置を示し、第３図はブラシサポートの一部切欠
斜視図、第４図は固定カバーの一部切欠斜視図、
第５図はクリーニングカバーの斜視図、第６図は
変形例の側面図である。 １……薄板、２……スクラバー本体、７……ブ
ラシサポート、１２……ブラシシヤワーノズル、
１６……洗浄ブラシ、２５……固定カバー、２６
……クリーニングカバー、３７……固定歯車、３
８……遊星歯車。
断面して示す正面図、第２Ａ、２Ｂ図は主として
ブラシサポートの移動による変化を示す一部切欠
側面図で、第２Ａ図は後退位置、第２Ｂ図は作用
位置を示し、第３図はブラシサポートの一部切欠
斜視図、第４図は固定カバーの一部切欠斜視図、
第５図はクリーニングカバーの斜視図、第６図は
変形例の側面図である。 １……薄板、２……スクラバー本体、７……ブ
ラシサポート、１２……ブラシシヤワーノズル、
１６……洗浄ブラシ、２５……固定カバー、２６
……クリーニングカバー、３７……固定歯車、３
８……遊星歯車。
Claims (1)
- １ 薄板を洗浄ブラシで洗浄するスクラバーにお
いて、先端に洗浄ブラシを回転可能に取付けたブ
ラシサポートを該洗浄ブラシが薄板に接する作用
位置と該薄板から離れる後退位置の間で揺動する
ようスクラバー本体に枢着し、上記洗浄ブラシに
洗浄液を噴出するように上記ブラシサポートの先
部にブラシシヤワーノズルを設けると共に上記洗
浄ブラシの後面側を固定カバーで包囲しかつ該洗
浄ブラシの前面側にクリーニングカバーを開閉可
能に設け、上記作用位置においてブラシの前面側
を開放し上記後退位置において前面側を閉鎖する
よう上記ブラシサポートの揺動と連動して上記ク
リーニングカバーを回動する駆動手段を設けたス
クラビング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15883684A JPS6139523A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | スクラビング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15883684A JPS6139523A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | スクラビング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6139523A JPS6139523A (ja) | 1986-02-25 |
| JPH0460337B2 true JPH0460337B2 (ja) | 1992-09-25 |
Family
ID=15680454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15883684A Granted JPS6139523A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | スクラビング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6139523A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ITVI20070235A1 (it) * | 2007-08-13 | 2009-02-14 | Equitan S R L | Macchina perfezionata per la pulizia di superfici laminari flessibili. |
| CN107999426A (zh) * | 2018-01-04 | 2018-05-08 | 冀中能源邢台矿业集团有限责任公司总医院 | 医疗器械清洗刷 |
| CN110154991B (zh) * | 2019-06-06 | 2020-12-18 | 宁波中令清洁技术有限公司 | 一种自动洗车机 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58182234A (ja) * | 1982-04-17 | 1983-10-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 複数種のブラシ使用可能な洗浄装置 |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP15883684A patent/JPS6139523A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58182234A (ja) * | 1982-04-17 | 1983-10-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 複数種のブラシ使用可能な洗浄装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6139523A (ja) | 1986-02-25 |
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