JPS6139523A

JPS6139523A - スクラビング装置

Info

Publication number: JPS6139523A
Application number: JP15883684A
Authority: JP
Inventors: Takaaki Suzuki; 孝昭鈴木
Original assignee: SHIOYA SEISAKUSHO KK
Current assignee: SHIOYA SEISAKUSHO KK
Priority date: 1984-07-31
Filing date: 1984-07-31
Publication date: 1986-02-25
Also published as: JPH0460337B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は半導体ウェハその他の薄板を清浄化するスクラ
ビング装置に関する。

半導体ウェハ等をチャックした状態で洗浄液を供給しな
がらブラシで洗浄するスクラビング装置は、洗浄後のブ
ラシ自体も汚染されるので、該ブラシ自体も洗浄しなけ
ればならないが、該ブラシをカバーで包囲した状態で洗
浄しないと洗浄液が飛散してしまう。

本発明はそのような実情に鑑み、ブラシサポートに取付
けた洗浄ブラシを包囲するよう固定カバーと開閉可能な
りリーニングカバーを設け、上記洗浄ブラシ自体を洗浄
する際には上記ブラシサポートの揺動に伴って上記クリ
ーニングカバーを閉じた位置に回動してブラシの自己洗
浄ができるようにしたスクラビング装置に係るものであ
る。なお、本発明のスクラビング装置は、半導体ウェハ
、ガラス板、アルミナ、水晶板、セラミック板、すファ
イヤ板、アルミディスクその他の薄板のスクラバーとし
て好適に使用することができる。

以下実施例と共に説明する。

適宜の搬送手段により、薄板（１）はスクラバー本体（
２）の清浄化工程へ送られ、吸引チャック手段、把持爪
チャック手段その他の薄板チャック手段（３）によりチ
ャックされる。上記スクラバー本体には、軸受（４）、
（５）で支持された輔（６）があり、該軸にブラシサポ
ート（７）が固着され、エアシリンダ（図示略）等の駆
動手段で該軸を回動することにより上記ブラシサポート
（７）は、その先端が上記チャック手段（３）に接近す
る作用位置とチャック手段から離れた起立位置の間で揺
動する。上記ブラシサポートは、図に示すものでは、ボ
ス（８）を有し上記軸（６）に固定される下方サポート
（９）と、該下方サポートにねじその他の固定手段で固
定される上方サポート（ｌＯ）で構成され、上方サポー
ト（１０１には、連結板（１１）を設け、該連結板に、
後記する洗浄ブラシに洗浄液を噴出スるブラシシャワー
ノズル（１２）を設けである。

該ノズルは、長手方向に延び、下面にノズル孔（図示略
）を有する横パイプ（１３）と、わん凸状態で該横パイ
プに接続した縦パイプ（１４）を含む。」二記連結板（
１１）の下方には傾斜板（１５）があり、落下した洗浄
液を案内する。上記ブラシサボ−１−＋７１の先端には
、洗浄ブラシ（１６）を回転可能に取付けである。該洗
浄ブラシ（１６）の一方の支承軸（１７）は、」；記ブ
ラシサポート（７）に設けた軸受（１８）に支持され、
一端にスプロケット（１９）を有し、上記軸（６）の一
端外周に回転可能に嵌着した回転体（２ｏ）に設けたス
プロケット−（２１）との間に、ラダーチェーン等のチ
ェーン（２２）を掛は渡し、−に配回転体（２のを適宜
位置に設けたモータ、ベルｌ−（２３）、プーリ（２４
）を介し回転することにより回転される。上記ブラシサ
ポート（７）の先端には、上記洗浄ブラシ（１６）の外
周の後面側を包囲する固定カバー（２５）と前面側を包
囲するクリーニングカバー（２）が設けられている（第
４図、第５図）。」二記カバーは、好ましくは内部が透
視できるよう透明性のあるプラスチック材料で作られ、
固定カバー（２５）は半割円筒形に形成され、開口縁に
角形の縁材（２７）を有し、かつ後端が後方に延出し、
該延出部（２８）を上記ブラシサポート（７）の連結板
（１１）に固着し、端板部（２９）が上記ブラシサポー
ト（７）の内側に位置する。−クリーニングカバー（２
）は、上記固定カバー（２５）の外周に覆い重なる程度
の大きさの略半割円筒形に形成され、一方の端板部（３
０）には、デルリン（商品名）等の合成樹脂材料で弧状
に形成したすべり軸受（３１）が固着され、該すべり軸
受が上記軸受（１８）の外周に嵌着する。また、他方の
端板部（３２）には、上記洗浄ブラシ（１６）の他方の
支承軸（３３）に遊嵌するボス（３４）を有し該ボス部
にスプロケット（３５）を設けた支承板（３６）が固着
されている。該クリーニングカバー（２６）は、上記の
ようにブラシサポートに枢着しであるので、上記固定カ
バー（２５）と協同して上記洗浄ブラシ（１６）を包囲
することができる。

上記スクラバー本体へのブラシサポートの枢着部と同軸
的に固定山車（太陽歯車）　（３７）が設けられている
。図に示すものでは、該固定歯車（３７）は、上記軸（
６）の軸受（４）の内側に固着され、該固定歯車に係合
する遊星歯車（３８）がブラシサポート（７）の側面に
枢着され、該遊星歯車の回転を上記クリーニングカバー
（２６）に伝達するようにしである。第１図、第２図に
示すものは、上記遊星歯車（３８）に係合する歯車（３
９）をブラシサポート（７）の側面に軸支し、該歯ホ（
３９）にスプロケット（４のを固着し、該スプロケット
（４０）と上記クリーニングカバー（２６）の支承板（
３６）の上記スプロケット（３５）との間にラダーチェ
ーン等のチェーン（４１）を掛は渡して上記クリーニン
グカバー（２６）を回動するようにしである。第６図に
示すものは、遊星１１．ｒ車（３８）にスプロケット（
４２）を固着し、一方上記クリーニングカバー　（２６
）の支承板（３６）に歯ホ（４３）を設け、波山、ＴＩ
ｊ　ｆａ３）に係合する歯車（４４）をブラシサポート
（７）に軸支し、該歯車（４４）にスプロケット（４５
）を固着して、該スプロケット（４５）と上記スプロケ
ット（４２）の間にチェーン（４６）を掛は渡しである
。

而して、上記固定歯車（太陽歯車）、遊星山車等ノ歯車
比や上記スプロケットの歯数比を選定することにより、
」１記ブラシサポート（７）が起立位置（第２　Ａ図）
にあるとき、クリーニングカバー（２６）は閉じた位置
にあり、ブラシサポート（７）がエアシリンダ等の操作
により作用位置に降下し始めると、上記固定歯車（３７
）の周囲を遊星歯車（３８）が回転し、その回転を上記
クリーニングカバー（２６）に伝達して該クリーニング
カバーを上記固定カバー（２５）の後方に移動させるこ
とができる（第２Ｂ図）。したがって、作用位置におい
ては、洗浄ブラシ（１６）がカバーから露出するので、
ウエノ１等の薄板（１）をブラシ洗浄することができる
。その後、ブラシサポート（７）がエアシリンダ等の操
作により起立位置に移動すると、上記遊星歯車は逆回転
し、」二記クリーニングカバー（２６）は固定カバー（
２５）の前面側に移動して洗浄ブラシ（１６）の前面側
を包囲する。

この状態で上記ブラシシャワーノズル（１２）から洗浄
液を噴出しながら上記ブラシを回転させれば、洗浄液を
飛散させることなく上記洗浄ブラシを自己洗浄すること
ができる。

本発明は以上のように構成され、洗浄ブラシが薄板を洗
浄していないとき、該洗浄ブラシ自体を自己洗浄し、常
に清潔に保つことができる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示し、第１図は一部を断面して
示す正面図、第２Ａ、２Ｂ図は主としてブラシサボ−１
・の移動による変化を示す一部切欠側面図で、第２Ａ図
は起立位置、第２Ｂ図は作用位置を示し、第３図はブラ
シサポートの一部切欠斜視図、第４図は固定カバーの一
部切欠斜視図、第５図はクリーニングカバーの斜視図、
第６図は変形例の側面図である。１・・・薄板、２−・・・スクラバー本体、７・・・ブ
ラシサポート、１２・・・ブラシシャワーノズル、１６
・・・洗浄ブラシ、２５・・・固定カバー、２６・・・
クリーニングカバー、３７・・・固定歯車、３８・・・
遊星歯車特許出願人　株式会社塩谷製作所第１図第２Ａ図２ら

Claims

【特許請求の範囲】

薄板を洗浄ブラシで洗浄するスクラバーにおいて、スク
ラバー本体に揺動可能にブラシサポートを枢着し、該ブ
ラシサポートの先端に洗浄ブラシを回転可能に取付けか
つ該ブラシに洗浄液を噴出するブラシシャワーノズルを
設け、上記ブラシサポートに取付けた洗浄ブラシの外周
の後面側を包囲する固定カバーと該洗浄ブラシの外周の
前面側を包囲するクリーニングカバーを形成し、上記固
定カバーを上記ブラシサポートに固定すると共に上記ク
リーニングカバーを該固定カバーと協同して上記洗浄ブ
ラシを包囲するよう上記ブラシサポートに枢着し、上記
ブラシサポートのスクラバー本体への枢着部と同軸的に
固定歯車を設け、該固定歯車に係合する遊星歯車を上記
ブラシサポートに設け、該遊星歯車の回転を上記クリー
ニングカバーに伝達し、上記ブラシサポートの揺動に伴
つて上記クリーニングカバーを回動して上記洗浄ブラシ
の前面側を開閉するようにしたスクラビング装置。