JPH0450755B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 発明の関連技術分野 本発明は、複数のセンサ素子と、該センサ素子
に対する複数のリード導体とを備えた放射線受信
機であつて、前記センサ素子は、絶縁材から成る
深鍋形の内壁部材の底部表面に設けられており、
該深鍋形内壁部材は、深鍋形外壁部材と共に深鍋
形のデユーワ容器を構成しており、前記リード導
体は、デユーワ空間外に導出されている、放射線
受信機に関する。

更に本発明は、この形式の放射線受信機の製造
方法に関する。

公知技術 多数のセンサ素子または検出素子を備えた放射
線受信機は公知である。この公知の検出器の放射
線感度は例えば熱線の範囲または紫外線の範囲に
ある。この多数の素子検出器は画像再生に用いら
れる。公知のように、この受信機は感度を高くす
るためには非常に低い温度で使用しなけらばなら
ない。そのためこの放射線受信機の検出素子を真
空室内に設け、また真空室を同時にデユーワ空間
として構成することも公知である。この形式の放
射線受信機は通常２つの深鍋形の壁部から成るデ
ユーワ容器によつて構成されており、その際検出
素子は内壁部材の底部外表面に設けられている。
そして内壁部材の空胴内へ気化冷却器等の冷却部
材が装入される。

画像再生は相互に別個に分離されたセンサ素子
が多くあればあるほど良好になる。しかしこれは
センサ素子用の相当な数のリード導体を設け、且
つデユーワ容器から導出しなけらばならないこと
を意味する。各センサ素子を極めて細い金属線と
接続し、この金属線をデユーワ容器の両壁部材の
溶封領域において容器から導出することによつ
て、外部と接続可能にすることは公知である。

この形式の放射線受信機は任意の大きさにする
ことができないので、リード導体の数が増加する
に従つてデユーワ容器を十分に気密封止するのが
難しくなる。これは殊に放射線受信機に高い機械
的負荷ならびに温度負荷が加わる場合に難しくな
る。

発明の目的 本発明の目的は、冒頭に述べた形式の放射線受
信機を、小さな寸法で簡単に製造でき、しかもリ
ード導体数を可及的に多くすることができ、更に
デユーワ容器の確実且つ耐久性の密閉を行なえる
ように改善することにある。

発明の構成 上記目的は本発明により、前記内壁部材に、外
方から広がる環状フランジが設けられており、上
記リード導体は、膜状の導体路として前記内壁部
材の外表面に形成されており、前記深鍋形外壁部
材の縁部が、導体路を担持する内壁部材の環状フ
ランジ表面と、部分的に再結晶性のガラスろう接
合部によつて結合されており、この場合該ガラス
ろう接合部によつて、全ての導体路の真空密な貫
通引出部が形成されるものであり、さらに該導体
路の一部がデユーワ空間の外側で接触端子として
形成されるように構成されて解決される。

発明の効果 本発明により、簡単な製造法で極めて多数のリ
ード導体を作ることができ、従つて極めて多数の
センサ素子を備えた放射線受信機を実現すること
ができる。上記の構成では、200個より多くのリ
ード導体を気密に導出することが容易に行なえ
る。ガラスろうによる密閉は、大きな衝撃による
負荷や温度変化に耐え、気密性が損なわれない。
本発明によれば、各センサ素子の抵抗を、相応の
薄膜リード導体部分により高い電気抵抗をもたせ
ることによつて付加的に調整できる。これは例え
ば薄膜リード導体の厚さないし太さを部分的に減
少させることによつて行う。

実施例の説明 次に本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明
する。

第１図は本発明の放射線受信機の縦断面を示
す。放射線受信機は深鍋形の部材１および２から
成り、そのうち内壁用部材１はガラスまたはセラ
ミツク等の絶縁材から形成されている。外側の部
材も図示の実施例ではガラスから形成されてい
る。両部材は各々鍋底に相当する底部３ないし１
０を有する。外壁部材の底部１０は、少なくとも
センサ素子１４および１５に対向する領域を、検
出すべき放射線が必ず通過できるようにする。外
壁部材２の円筒形壁部９は必要に応じ少なくとも
部分的に金属から形成してもよい。しかし気密な
縫合溶封部８の領域においては充分な絶縁がなさ
れるよう注意すべきである。

底部３と円筒形壁部７とを有する内壁部材１の
自由端には、ほぼ半径方向に張出した環状フラン
ジ６を設ける。このとき環状フランジを湾曲部１
７を介して円筒形部分７につながつているように
すると有利である。多数のセンサ素子のうち、見
易くするため単に２つの素子１４，１５のみ示し
た。密閉されたデユーワ空間内に設けられたこの
センサ素子１４，１５の電気接続の為に、内壁部
材１の外面に薄膜状の導体路４が付着されてい
る。この導体路は内側の円筒形部材１の長手方向
に平行に延在しており、更に環状フランジ６の上
面にも引続き延在している。図では、デユーワ空
間１６より外にある導体路は５で示した。

外壁部材２と内壁部材１とは、外壁部材１の円
筒部９の縁端部を、環状フランジ６の、半径方向
に導体路５が延在している側の面に、ガラスろう
８でもつて溶封することによつて連結されてい
る。

溶封に用いられるガラスろう８は、先ず非晶質
の状態で溶封を行なえ、次に温度を比較的長く高
めることによつて、結晶状態に変化する種類のも
のが有利である。このようなガラスろうは、再結
晶ガラスろうと称されている。この種の再結晶ガ
ラスろうを用いると、外壁部材２と内壁部材１と
の間で必要な気密封止を簡単に確実に行なえ、且
つ導体路等の金属に申し分なく気密に付着させる
ことができる。導体路の各部分４と５とは１つの
連続する導体路から成つている。

更に導体路は、複数の異なる金属から成る多層
構造にすると有利である。このとき例えば内壁部
材１のガラス７に直接付着される層１１はクロム
から形成すると有利である。

第２図は、有利な層の順序を示すための断面拡
大図である。導体路はここでは３つの重なり合う
層１１，１２，１３から成る。部分１はガラスか
ら成る。この上に先ずクロム層１１が約0.04μの
厚さで付着されている。次に厚さ約0.5μの銅層１
２があり、この銅層１２の上に貴金属、例えば金
の層１３が、所要抵抗値に応じて厚さ約0.5〜10μ
の間で設けられている。適当な熱処理によつて、
各層の互いに境を接している領域に拡散帯域が形
成されるようにすることができる。この多層導体
路は、センサ素子１４，１５とのコンタクト接続
個所から外部端子領域５まで連続して延在してい
る。

第３図には、この導体路５が環状フランジ６の
外縁部に向つて扇形に広がつており、これにより
良好な接続が行なえるようになつていることを示
す。内壁部材１の円筒形部分７の外壁において
は、導体路は互いに絶縁された狭い金属層４とな
つている。

導体路を内側部材１の外壁面に設けるには、先
ず所望の領域に全体的に多層金属層を設け、次に
この大きな面積の層を、所望の形状の導体路に分
離するという構成方法を用いると有利である。

本発明の別の実施例によれば、導体路の抵抗の
調整を、殊に内壁部材１の円筒形部分７におい
て、所属のセンサ素子１４ないし１５の電気抵抗
に依存して導体路４の横断面積を減少させ、これ
によりその抵抗値を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の放射線受信機の有利な実施例
の縦断面図であり、第２図は本発明の放射線受信
機の内壁の一部を示す拡大断面図、第３図は第１
図のＡ−Ｂ線に沿つて切断して矢印方向からみた
図である。 １……内壁部材、２……外壁部材、４，５……
導体路、６……環状フランジ、８……ガラスろ
う、１４，１５……センサ素子、１６……デユー
ワ空間。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 複数のセンサ素子と、該センサ素子に対する
   複数のリード導体とを備えた放射線受信機であつ
   て、 前記センサ素子は、絶縁材から成る深鍋形の内
   壁部材の底部表面に設けられており、該深鍋形内
   壁部材は、深鍋形外壁部材と共に深鍋形のデユー
   ワ容器を構成しており、 前記リード導体は、デユーワ空間外に導出され
   ている、放射線受信機において、 前記内壁部材１に、外方に広がる環状フランジ
   ６が設けられており、上記リード導体は、膜状の
   導体路４，５として前記内壁部材１の外表面に形
   成されており、 前記深鍋形外壁部材２の縁部が、導体路５を担
   持する内壁部材１の環状フランジ６表面と、部分
   的に再結晶性のガラスろう接合部８によつて結合
   されており、この場合該ガラスろう接合部８によ
   つて、全ての導体路の真空密な貫通引出部が形成
   されるものであり、さらに該導体路５の一部がデ
   ユーワ空間の外側で接触端子として形成されてい
   ることを特徴とする、放射線受信機。 ２ 前記環状フランジ６上の導体路５の幅が、外
   縁に向かつて広がつている、特許請求の範囲第１
   項記載の放射線受信機。 ３ 前記導体路は、拡散帯域を介して相互に重ね
   合わされた少なくとも２つの金属層から成る、特
   許請求の範囲第１項又は第２項記載の放射線受信
   機。 ４ 内壁部材１に付着させる前記導体路４，５の
   第１の層１１が、クロムから形成されている、特
   許請求の範囲第１項〜第３項いずれか１項記載の
   放射線受信機。 ５ 前記第１の層１１に設けられる第２の層１２
   が、銅又はチタンから成る、特許請求の範囲第３
   項又は４項記載の放射線受信機。 ６ 貴金属から成る第３の金属層１３が、前記第
   １の層及び第２の層に設けられた、特許請求の範
   囲第３項又は第４項記載の放射線受信機。 ７ 前記導体路−層は、スパツタリング又は蒸着
   により付着されている、特許請求の範囲第１項〜
   第６項いずれか１項記載の放射線受信機。 ８ 前記内壁部材１は、ガラス又はセラミツクか
   ら成る、特許請求の範囲第１項〜第７項いずれか
   １項記載の放射線受信機。 ９ 複数のセンサ素子と、該センサ素子に対する
   複数のリード導体とを備え、前記センサ素子は、
   絶縁材から成る深鍋形の内壁部材の底部表面に設
   けられており、該深鍋形内壁部材は、深鍋形外壁
   部材と共に深鍋形のデユーワ容器を構成し、前記
   リード導体は、デユーワ空間外に導出されてお
   り、 内壁部材に外方に広がる環状フランジが設けら
   れており、前記リード導体は、膜状の導体路とし
   て前記内壁部材の外表面に形成されており、前記
   深鍋形外壁部材の縁部が、導体路を担持する内壁
   部材の環状フランジ表面と、部分的に再結晶性の
   ガラスろう接合部によつて結合されており、この
   場合該ガラスろう接合部によつて、全ての導体路
   の真空密な貫通引出部が形成されており、さらに
   該導体路の一部がデユーワ空間の外側で接触端子
   として形成される、放射線受信機の製造方法にお
   いて、 ガラスろう接合部領域８に、所定量のガラスろ
   うを被着し、少なくとも融着領域においてガラス
   ろうが軟化するまで加熱して内壁部材１と外壁部
   材２とを結合させ、さらに焼きなましによつてガ
   ラスろうの再結晶を行なうようにすることを特徴
   とする、放射線受信機の製造方法。 １０ 前記ガラスろうを、プレス又は焼結によつ
   て予め形成されたガラスろうリングの形で融着領
   域に設ける特許請求の範囲第９項記載の方法。 １１ 内壁部材１の表面全体を導体路のための金
   属膜で被着した後で、絶縁に必要な部分の金属膜
   層を剥離することによつて、導体路を形成する、
   特許請求の範囲第９項記載の方法。