JPS58130565A - 放射線受信機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の関連技術分野 本発明は、絶縁材から成る深鍋形の内壁部材の底部の外
表面に設けられた複数のセンサ素子を備えており、内壁
部材は深鍋形の外側部と共に深鍋形のデューワ形容器を
構成しており、更にデューワ形空間から導出された、セ
ンサ素子用の複数のり−ｒ導体を備えている放射線受信
機に関する。

更に本発明は、この形式の放射線受信機の製造方法に関
する。

公知技術 多数のセンサ素子または検出素子を備えた放射線受信機
は公知である。この公知の検出器の放射線感度は例えば
熱線の範囲または紫外線の範囲にある。この多数の素子
検出器は画像再生に用いられる。公知のように、この受
信機は感度を高くするためには非常に低い温度で使用し
なければならない。そのためこの放射線受信機の検出素
子を真空室内に設け、また真空室を同時にデューワ空間
として構成することも公知である。この形式の放射線受
信機は通常２つの深鍋形の壁部から成るデューワ容器に
よって構成されており、その際検出素子は内壁部材の底
部外表面に設けられている。そして内壁部材の空胴内へ
気化冷却器等の冷却部材が装入される。

画像再生は相互に別個に分離されたセンサ素子が多くあ
ればあるほど良好になる。しかしこれはこのセンサ素子
用の相当な数のＩＪ−ｒ導体を設け、且つデューワ容器
から導出しなければならないことを意味する。各センサ
素子を極めて細い金属線と接続し、この金属線をデュー
ワ容器の両壁部材の溶封領域において容器から導出する
ことによって、外部と接続可能にすることは公知である
。

この形式の放射線受信機は任意の大きさにすることがで
きないので、リード導体の数が増加するに従ってデュー
ワ容器を十分に気密封止するのが難しくなる。これは殊
に放射線受信機に高い機械的負荷ならびに温度負荷が加
わる場合に難しくなる。

発明の目的 本発明の目的は、冒頭に述べた形式の放射線受信機を、
小さな寸法で簡単に製造でき、しかもリード導体数を可
及的に多くすることができ、更にデューワ容器の確実且
つ耐久性の密閉を行なえるように改善することにある。

発明の開示 本発明ではこの目的を次のようにして達成する、即ち、
内壁部材に外方に広がる環状７ランジを設け、ＩＪ−ｒ
導体を内壁部材の外表面に設けた薄膜状の導体路として
構成し、更に深鍋形外壁部材の縁端部を少なくとも部分
的に再結晶性のガラスろうを用いて、環状７ランジの導
体路の設けられた側の表面と連結し、その際導体路の一
部がデューワ空間の外側で端子部分を形成するようにす
る。

発明の効果 本発明により、簡単な製造法で極めて多数のり−Ｐ導体
を作ることができ、従って極めて多数のセンサ素子を備
えた放射線受信機を実現することができる。上記の構成
では、２００個より多くのり−Ｐ導体を気密に導出する
ことが容易に行なえる。ガラスろうによる密閉は、大き
な衝撃による負荷や温度変化に耐え、気密性が損なわれ
ない。本発明によれば、各センサ素子の抵抗を、相応の
薄膜り−ｒ導体部分により高い電気抵抗をもたせること
によって付加的に調整できる。これは例えば薄膜り−ｒ
導体の厚さないし太さを部分的に減少させることによっ
て行う。

実施例の説明 次に本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。

第１図は本発明の放射線受信機の縦断面を示す。放射線
受信機は深鍋形の部材ｌおよび２から成り、そのうち内
壁用部材１はガラスまたはセラミック等の絶縁材から形
成されている。外側の部材も図示の実施例ではガラスか
ら形成されている。両部材は各々鍋底に相当する底部３
ないし１０を有する。外壁部材の底部１ｏは、少なくと
もセンサ素子１４および１５に対向する領域を、検出す
べき放射線が必ず通過できるようにする。外壁部材２０
円筒形壁部９は必要に応じ少なくとも部分的に金属から
形成してもよい。しかし気密な縫合溶封部８の領域にお
いては充分な絶縁がなされるよう注意すべきである。

底部３と円筒形壁部７とを有する内壁部材１の自由端に
は、はぼ半径方向に張出した環状７ランジ６を設ける。

このとき環状７ランジを湾曲部１７を介して円筒形部分
７につながっているようにすると有利である。多数のセ
ンサ素子のうち、見易くするため単に２つの素子１４゜
１５のみ示した。密閉されたデューワ空間内に設けられ
たこのセンサ素子Ｌ４，１５の電気接続の為に、内壁部
材１の外面に薄膜状の導体路牛が付着されている。この
導体路は内側の円筒形部材１の長手方向に平行に延在し
ており、更に環状７ランジ６の上面にも引続き延在して
いる。図では、デューワ空間１６より外にある導体路は
５で示した。

外壁部材２と内壁部材１とは、外壁部材ｌの円筒部９の
縁端部を、環状フラン−）６の、半径方向に導体路５が
延在している側の面に、ガラスろう８でもって溶封する
ことによって連結されている。

溶封に用いられるガラスろう８は、先ず非晶質の状態で
溶封を行なえ、次に温度を比較的長く高めることによっ
て、結晶状態に変化する種類のものが有利である。この
ようなガラスろうは、再結晶ガラスろうと称されている
。この種の再結晶ガラスろうを用いると、外壁部材２と
内壁部材りとの間で必要な気密封止を簡単に確実に行な
え、且つ導体路等の金属に申し分なく気密に付着させる
ことができる。導体路の各部分４と５とは１つの連続す
る導体路から成っている。

更に導体路は、複数の異なる金属から成る多層構造にす
ると有利である。このとき例えば内壁部材１のガラス７
に直接付着される層１１はクロムから形成すると有利で
ある。

第２図は、有利な層の順序を示すための断面拡大図であ
る。導体路はここでば３つの重なり合う層１１，１２．
１３から成る。部分１はガラスから成る。この上に先ず
りリム層１１が約０．０４μの厚さで付着されている。

次に厚さ約０５μの銅層１２があり、この銅層１２の上
にｖＩ金金属例えば金の層１３が、所要抵抗値に応じて
厚さ約０．５〜１０μの間で設けられている。適当な熱
処理によって、各層の互いに境を接している領域に拡散
帯域が形成されるようにすることができる。この多層導
体路は、センサ素子１４．１５とのフンタクト接続個所
から外部端子領域５まで連続して延在している。

第３図には、この導体路５が環状７ランー）６の外縁部
に向って扇形に広がっており、これにより良好な接続が
行なえるようになっていることを示す。内壁部材１の円
筒形部分７の外壁においては、導体路は互いに絶縁され
た狭い金属層牛となっている。

導体路を内側部材１の外壁面に設けるには、先ず所望の
領域に全体的に多層金属層を設け、次にこの大きな面積
の層を、所望の形状の導体路に分離するという構成方法
を用いると有利である。

本発明の別の実施例によれば、導体路の抵抗の調整を、
殊に内壁部材１の円筒形部分７において、所属のセンサ
素子１４ないし１５の電気抵抗に依存して導体路養の横
断面積を減少させ、これによりその抵抗値を高めること
ができる

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の放射線受信機の有利な実施例の縦断面
図であり、第２図は本発明の放射線受信機の内壁の一部
を示す拡大断面図、第３図は第１図のＡ−Ｂｉ！に沿っ
て切断して矢印方向からみた図である。 １・・・内壁部材、２・・・外壁部材、牛、５・・・導
体路、６・・・環状７ランジ、８・・・ガラスろう、１
４．１５・・・センサ素子、１６・・・デューワ空間図
面の浄書（内容に変更なし） 第３図 手続補正書（方式） ％式％ １、事件の表示　昭和５７年特許願第１９２６３９号２
、発明の名称 放射線受信機 ３、補＋Ｅをする者 事件との関係　特許出願人 名　称　リソエンソイア・ｔｅｆントーフエルヴアルツ
ングスーゲゼルシャフト・ミツト・ベシュレンクテルー
ハフソング４復代理人 昭和５８年２　月　２２日　　　（発送日）６、補正の
対象 図面

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、絶縁材から成る深鍋形の内壁部材の底部の外表面に
   設けられた複数のセンサ素子を備えており、内壁部材は
   深鍋形の外側部と共に深鍋形のデューワ容器を構成して
   おり、更にデューワ空間から導出されたセンサ素子用の
   複数のり−ｙ導体を備えている放射線受信機において、
   内壁部材（１）に外方に広がる環状フラン、）（６）を
   設け、リーＰ導体を内壁部材（１）の外表面に設けた薄
   膜状の導体路（牛、５）として構成し、更に深鍋形外壁
   部材（２）の縁端部を少なくとも部分的に再結晶性のガ
   ラスろう（８）を用いて、環状７ランジ（６）の導体路
   （５）の設けられた側の表面と連結し、その際導体路の
   一部（５）によってデューワ空間の外側で端子を形成し
   たことを特徴とする、放射線受信機。 ２、環状フランジ（６）上の導体路（５）の幅を、外縁
   に向って広げた特許請求の範囲第１項記載の放射線受信
   機。 ３、導体路を、少なくとも２つの相互に拡散帯域を介し
   て重ね合わせられた金属層から構成した特許請求の範囲
   第１項記載の放射線受信機。 先　導体路（４，５）の、内壁部材（１）に付着させる
   第１の層をクロムから形成した特許請求の範囲第１項記
   載の放射線受信機。 ５、第１の層（１１）の上に設ける第２の層（１２）を
   銅またはチタンから形成した特許請求の範囲第３項記載
   の放射線受信機。 ６、　貴金属から成る第３の金属層（１３）を、第１お
   よび第２の層上に設けた特許請求の範囲第１項記載の放
   射線受信機。 ７、　　導体路層を、スパッタリングまたは蒸着により
   付着させた特許請求の範囲第１項記載の放射線受信機。 ８、内壁部材（１）をガラスまたはセラミックから形成
   した特許請求の範囲、第１項記載の放射線受信機。 ９６　　絶縁材から成る深鍋形の内壁部材の底部の外表
   面に設けられた複数のセンサ素子を備えており、内壁部
   材は深鍋形の外側部と共に深鍋形のデューワ容器を構成
   しており、更にデューワ空間から導出された、センサ素
   子用の複数のリード導体を備えている放射線受信機にお
   いて、外方に広がる環状フランジ（６）を設けた内壁部
   材（１）の外表面に薄膜状の導体路（４，５）としてリ
   ード導体を設け、外壁部材（２）の縁端部を、環状７ラ
   ンジ（６）の導体路（５）がある側の表面と、少なくと
   も部分的に再結晶性のガラスろう（８）を用いて連結し
   、その際縫合融着ガラスろう（８）として所定の領域に
   所定量のガラスろうを載せ、次に少なくとも融着領域に
   おいてガラスろうが軟化するまで加熱して内壁部材（１
   ）と外壁部材（２）とが連結されるようにし、更ニ焼な
   ましによってガラスろうが再結晶するようにし、更にそ
   の際導体路の一部（５）がデューワ空間の谷側で端子を
   形成するようにすることを特徴とする、放射線受信機の
   構成方法。 １０、ガラスろうを、プレスまたは焼結によって予め形
   成されたガラスろうリングの形で溶接領域に設ける特許
   請求の範囲第９項記載の放射線受信機の構成方法。 １１、導体路を、導体路の金属で内壁部材（１）の表面
   全体を被覆した後に、導体路間の絶縁に必要な場所の金
   属層を剥離することによって構成する特許請求の範囲第
   ９項記載の放射線受信機の構成方法。