JPH0438135B2 - - Google Patents

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JPH0438135B2
JPH0438135B2 JP58204809A JP20480983A JPH0438135B2 JP H0438135 B2 JPH0438135 B2 JP H0438135B2 JP 58204809 A JP58204809 A JP 58204809A JP 20480983 A JP20480983 A JP 20480983A JP H0438135 B2 JPH0438135 B2 JP H0438135B2
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JP
Japan
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wire
bonding
wire bonding
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bonded
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JP58204809A
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Kenji Watanabe
Isamu Yamazaki
Michio Tanimoto
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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    • H01L2924/1016—Shape being a cuboid
    • H01L2924/10161—Shape being a cuboid with a rectangular active surface

Description

【発明の詳細な説明】 ［技術分野］ 本発明は、ワイヤボンデイング技術、特に、複
数台のワイヤボンデイング装置（以下、ボンダと
いう。）を群制御してワイヤボンデイングを行う
技術に関する。
［背景技術］ 半導体装置の製造において、ペレツトボンデイ
ングとワイヤボンデイングとのサイクルタイムの
差を解消するため、複数台のボンダを用いてワイ
ヤボンデイングを行う技術が考えられる。
しかし、かかるワイヤボンデイング技術におい
ては、各ボンダが同一形態の被ボンデイング物に
同一のボンデイングをそれぞれに行うことになる
ため、ボンデイング後に欠陥が発見された場合、
いずれのボンダによる欠陥であるかの追跡調査が
できず、原因解析、対策等が遅延するという問題
点があることが、本発明者によつて明らかにされ
た。
［発明の目的］ 本発明の目的は、ワイヤボンデイング欠陥の追
跡調査を簡単化できるワイヤボンデイング技術を
提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特
徴は、本明細書の記述および添付図面から明らか
になるであろう。
［発明の概要］ 本願において開示される発明のうち代表的なも
のの概要を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、ボンダのそれぞれに識別ワイヤを独
自の態様でボンデイングさせることにより、その
識別ワイヤの判別によつてボンデイングしたボン
ダを容易に割り出せるようにしたものである。
［実施例］ 第１図は本発明の一実施例であるワイヤボンデ
イングシステムを示す概略系統図、第２図および
第３図は作用を説明するための被ボンデイング物
の各平面図である。
本実施例において、このワイヤボンデイングシ
ステムは、マイクロコンピユータ等からなる中央
制御部１を備えており、この制御部１には、図形
処理部２と、データ読み取り機３と、インタフエ
ース回路４を介して複数台のボンダ５と、位置合
わせを行うための視覚系６とが接続されている。
各ボンダ５は、被ボンデイング物としてのリー
ドフレーム８を搬送するコンベア７にそれぞれ臨
まされており、コンベア７上のリードフレーム８
を適宜ボンデイングステージに取り込んでワイヤ
ボンデイングを行うようになつている。
ボンダ５のそれぞれはマイクロコンピユータ等
からなるコントローラ（図示せず）を備えてお
り、このコントローラは、ボンデイングシーケン
スの制御、ボンデイング位置演算、図形処理部と
のデータ転送、ボンダの自己診断および異常表示
等を行うようになつている。さらに、コントロー
ラのそれぞれは、各ボンデイング作業の一貫とし
て、後述する如く、リードフレームのタブ吊りリ
ードにおける各所定位置に識別ワイヤをボンデイ
ングさせるようにプログラミングされている。
次に、前記システムによつて実施されるワイヤ
ボンデイング方法について説明する。
リードフレーム８はペレツト９をタブ１０上に
ボンデイングされた状態でコンベア７により各ボ
ンダ５に沿つて搬送される。
中央制御部１の指令により、待機中のボンダ５
はコンベア７上のリードフレーム８をボンデイン
グステージに取り込む。続いて、視覚系６と図形
処理部３等の協働により、あらかじめ記憶されて
いる基準位置とペレツト９のボンデイングパツド
とのずれが求められ、座標的に補正される。
その後、ボンダ５は内部コントローラの制御に
より、ペレツト９と各リード１１とのボンデイン
グパツド間にワイヤ１３を架橋するワイヤボンデ
イング作業を順次実施して行く。
このワイヤボンデイングの作業中、ボンダ５は
タブ吊りリード１２の所定位置に識別ワイヤ１４
をボンデイングする。この識別ワイヤ１４の所定
位置は各ボンダ５ごとに相異され、独自の位置に
なつている。たとえば、第２図および第３図に示
されるように、あるボンダではタブ吊りリード１
２の先端位置に識別ワイヤ１４がボンデイングさ
れ、他のボンダではタブ吊りリード１２の基端位
置に識別ワイヤ１４がボンデイングされる。この
位置の相異により、識別ワイヤ１４相互の識別が
可能になる。
なお、識別ワイヤ１４のボンデイングはボンデ
イング作業中、相対移動効率等を考慮して適時実
施すればよいが、作業の最初に実施した場合、ウ
オーミングアツプの役目を果たし、待機中の冷却
等による作動誤差を排除できるという効果が得ら
れる。
ワイヤボンデイング作業が完了すると、リード
フレーム８はコンベア７に戻され、次工程へ搬送
されて行く。
このようにしてワイヤボンデイングされたリー
ドフレーム８はその後、たとえば、断線不良や短
絡不良等についての欠陥検査を受ける。この検査
において、欠陥が発見された場合、そのリードフ
レーム８における識別ワイヤ１４の位置により、
そのリードフレーム８に対してワイヤボンデイン
グを行つたボンダ５を求める。欠陥発生源たるボ
ンダを究明した後、欠陥の原因を解析し、これに
逸早く対策を講ずる。
［効果］ (1) ボンダのそれぞれに識別ワイヤを独自の態様
でボンデイングさせることにより、ワイヤボン
デイングを行つたボンダを簡単に求めることが
できるため、欠陥発生源の究明が容易になり、
原因解析、対策が迅速に行える。
(2) 識別手段をボンデイングワイヤとすることに
より、ワイヤボンデイング作業の一貫として識
別手段を形成できるため、識別手段形成のため
の専用機構の新設や改造が不要であり、設備費
や維持被の増加が回避できる。
(3) 識別ワイヤを作業の冒頭においてボンデイン
グすることにより、ウオーミングアツプできる
ため、作業開始時の作動誤差が排除できる。
以上本発明者によつてなされた発明を実施例に
基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しな
い範囲で種々変更可能であることはいうまでもな
い。
たとえば、識別ワイヤはタブ吊りリードにボン
デイングするに限らず、リードやダム等にボンデ
イングしてもよい。
識別ワイヤの識別に必要な独自の態様は、位置
の選定に限らず、長さを相異させて構成してもよ
い。また、実際のボンデイングワイヤのうち特定
のものを、たとえば長さを相異させる等の態様に
より、識別ワイヤとして兼用するようにしてもよ
い。
被ボンデイング物はリードフレームに限らず、
セラミツク基板等であつてもよい。
［利用分野］ 以上の説明では主として本発明者によつてなさ
れた発明をその背景となつた利用分野である半導
体装置の製造において使用されるワイヤボンデイ
ング技術に適用した場合について説明したが、そ
れに限定されるものではなく、たとえば、電子部
品等の製造において使用されるワイヤボンデイン
グ技術に適用できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す系統図、第２
図および第３図はその作用を説明するための被ボ
ンデイング物の各平面図である。 １……中央制御部、２……図形処理部、３……
データ読み取り機、４……インタフエース回路、
５……ボンダ、６……視覚系、７……コンベア、
８……リードフレーム（被ボンデイング物）、９
……ペレツト、１０……タブ、１１……リード、
１２……タブ吊りリード、１３……ボンデイング
ワイヤ、１４……識別ワイヤ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 複数台のワイヤボンデイング装置が各被ボン
    デイング物に同種のワイヤボンデイングをそれぞ
    れ行うワイヤボンデイング方法において、前記ワ
    イヤボンデイング装置のそれぞれが前記ワイヤボ
    ンデイング中に独自の態様の識別ワイヤをボンデ
    イングすることを特徴とするワイヤボンデイング
    方法。 ２ 識別ワイヤが、各ワイヤボンデイング装置相
    互においてボンデイングされる位置を相異されて
    なることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
    のワイヤボンデイング方法。 ３ 識別ワイヤが、各ワイヤボンデイング装置相
    互において長さを相異されてなることを特徴とす
    る特許請求の範囲第１項記載のワイヤボンデイン
    グ方法。
JP58204809A 1983-11-02 1983-11-02 ワイヤボンデイング方法 Granted JPS6097630A (ja)

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JP58204809A JPS6097630A (ja) 1983-11-02 1983-11-02 ワイヤボンデイング方法

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JPS6097630A JPS6097630A (ja) 1985-05-31
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JP4194094B2 (ja) 2003-12-26 2008-12-10 株式会社クボタ 作業車の運転部構造
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