JPS6171641A - ワイヤボンデイング方法 - Google Patents

ワイヤボンデイング方法

Info

Publication number
JPS6171641A
JPS6171641A JP59192690A JP19269084A JPS6171641A JP S6171641 A JPS6171641 A JP S6171641A JP 59192690 A JP59192690 A JP 59192690A JP 19269084 A JP19269084 A JP 19269084A JP S6171641 A JPS6171641 A JP S6171641A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bonding
wire
cycle
wire bonding
printed circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59192690A
Other languages
English (en)
Inventor
Takao Watanabe
隆夫 渡辺
Masayoshi Yamaguchi
政義 山口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP59192690A priority Critical patent/JPS6171641A/ja
Publication of JPS6171641A publication Critical patent/JPS6171641A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/484Connecting portions
    • H01L2224/48463Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • H01L2224/7825Means for applying energy, e.g. heating means
    • H01L2224/783Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
    • H01L2224/78301Capillary
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/8512Aligning
    • H01L2224/85148Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus
    • H01L2224/85169Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus being the upper part of the bonding apparatus, i.e. bonding head, e.g. capillary or wedge
    • H01L2224/8518Translational movements
    • H01L2224/85181Translational movements connecting first on the semiconductor or solid-state body, i.e. on-chip, regular stitch
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01082Lead [Pb]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明はワイヤボンディング方法に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
半導体工業の急速な需要に伴ない供給が需要に応じきれ
なくなっている。このような急成長の時には特に要望さ
れることは自動化ラインの確立であシ、その自動化ライ
ンに、より高速性が要求される。高速性が要求された時
、特に注意しなければならないのは製品の品質管理であ
る。ワイヤボンかし、現実には高速性が要求されると上
記条件を満さないものが発生する。特に印刷回路基板に
多種のICがマウントされたものについてのワイヤボン
ディングにおいて、夫々のIC,夫々のボンディング面
の状態に応じたボンディングが必要となることが判った
洋食してみると一つのワイヤにおいて一方のボンディン
グ位置と他方のボンディング位置で高低差があった場合
吟橿、あるいはリード長が極端に短かった場合には総て
ではないが、かなり高い頻度で、エツジ部へのショート
による不良が多いことが判った。具体的には例えば半導
体ベレットのボンディングパノドと印刷回路基板上のリ
ードとをワイヤボンディングした時、半導体ペレットの
エツジ部にワイヤが接触することである。これは高速ボ
ンディングすることにより、ワイヤとキャピラリーとの
M擦抵抗が増大してワイヤが接触するものと思われる。
〔発明の目的〕
この発明は上記点に鑑みなされたもので、高速ワイヤボ
ンディングを実現してもワイヤのショートによる歩留シ
の低下を改善したワイヤボンディング方法を提供するも
のである。
〔発明の概要〕
即ち第1のボンディング位置から第2のボンディング位
置へワイヤで配線するワイヤボンディング方法において
、他のワイヤボンディングサイクルと異ったボンディン
グサイクルによ)ボンディングしだワイヤを有すること
を特徴とするワイヤボンディング方法を得るものである
〔発明の実施例〕
次にこの発明方法の実施例を図面を参照して説明する。
印刷回路基板は多数の電子部品が取着された一つの機能
を持った装置として組立てられる。電子部品には多種の
IC,半導体素子、抵抗、コンデンサ、コイルなどのチ
ップ部品などである。電子部このチップマウンタで装着
した後、ワイヤリングにてワイヤボンディングを行う。
このワイヤボンディングに際して多数のボンディング点
についてボンディングの順序が定められるが、この発明
の方法では、ワイヤの配線路に段差を有し、この段差部
でワイヤがショートする可能性のある部分についてボン
ディングサイクルを他のボンディングサイクルよシ長く
することである。この長さはショートを発生しない範囲
の最短期間近傍に選択される。
勿論yH及び第2のボンディング点で段差のない平担部
では高速ワイヤボーディングが、例えばlボンディング
1、サイクルタイム0.25秒で実行さnる。即ち比較
的ボンディングサイクルが最短に選択される。第1及び
第2のボンディング点間で段差が6っても第1図に示め
す、印刷回路基板山上に設けられる半導体ペレット(2
)のポンディングパッド(3)と上記基板tll上に設
けられるリード(4)との間のワイヤボンディングをキ
ャビリラリ(5)にボンディングワイヤ(6,)を挿通
させたキャピラリ(5)でワイヤリングするものにおい
て、  2+  の距離が0.5關以下又けt2 の距
離が0.31.以上の場合にはボンディングサイクルを
適宜長くする必要がある。
例えば1ボンディングサイクル0.4秒に選択される。
第2図は上記の様子をキャピラリ(5)の変位曲線で示
めしたものである。
この速度曲線に相当する制御は次の様にして行なわれる
。ワイヤボンディングする印刷回路基板が決定すると、
その印刷回路基板についてボンディング順に定めてプロ
グラムする。このプログラムはボンディングワイヤの配
線位置毎にボンディングサイクルを決定し、第3図に示
めすようにデータ入力部6υからコンピュータの記憶部
clυに順次CPUの制御で記憶する。6さ記憶部CI
)には第2図に示めす速度曲線が記憶されプログラムが
作成される。このプログラムされたキャピラリ変位度曲
線からキャピラリ(5)のXY軸方向およびZ軸方向の
駆動制御信号をZ軸制御信号発生部(至)で発生し、こ
の発生部Q出力をZ軸駆動部(至)例えばボンディング
ツールを2軸方向に制御するりニアモータに供給してキ
ャピラリ(5)のZ軸方向の制御を行う。上記XY軸方
向へのキャピラリ(5)の移動は、周知の如く第2回速
度曲線の立上9立下シ期間内に第1および第2のボンデ
ィング位置間を移動させるように制御する。
これら制御系を第4図にフローチャートで示めす。
このようにして作成したプログラムにより多数の印刷回
路基板について順次自動でワイヤボンディングが実行さ
れる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、この発明によれば印刷回路基板の
全ボンディングワイヤのボンディングサイクルを最適ボ
ンディング条件のプログラムによ行できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明方法の実施例説明図、第2図は第1図ボ
ンディングの変位曲線説明図、第3図は第2回置位曲線
のコンピュータへの入力・制御系を説明するための回路
構成図、第4図は第3図のコンピュータ入力のフローチ
ャートである。 3.4・・・ポンディングパッド。 5・・・キャピラリー、   6・・・ワイヤ代理人 
弁理士 則 近 憲 佑 (ほか1名) 第1図 第2図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)第1のボンディング位置から第2のボンディング
    位置にワイヤで配線するワイヤボンディング方法におい
    て、他のワイヤのボンディングサイクルと異ったボンデ
    ィングサイクルによりボンディングしたワイヤを有する
    ことを特徴とするワイヤボンディング方法。
  2. (2)異なったボンディングサイクルによりボンディン
    グするワイヤはペレットのエッジを跨設するワイヤにつ
    いてボンディングスピードを遅くしたことを特徴とする
    特許請求の範囲第1項記載のワイヤボンディング方法。
JP59192690A 1984-09-17 1984-09-17 ワイヤボンデイング方法 Pending JPS6171641A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59192690A JPS6171641A (ja) 1984-09-17 1984-09-17 ワイヤボンデイング方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59192690A JPS6171641A (ja) 1984-09-17 1984-09-17 ワイヤボンデイング方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS6171641A true JPS6171641A (ja) 1986-04-12

Family

ID=16295421

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59192690A Pending JPS6171641A (ja) 1984-09-17 1984-09-17 ワイヤボンデイング方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6171641A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1394557A3 (en) Electronic apparatus
JPS62136098A (ja) 高密度配線基板
JPS6171641A (ja) ワイヤボンデイング方法
EP0698291A1 (en) Plastic encapsulated integrated circuit package and method of manufacturing the same
JPS617656A (ja) マルチチップパッケ−ジ
JPH03167872A (ja) 半導体装置用リードフレーム
JPH04129250A (ja) 薄型混成集積回路基板
JPH0547820A (ja) ワイヤボンデイング方法
JPS6171643A (ja) 超音波ワイヤボンデイング方法
JPH01150332A (ja) プリント回路基板
JPS6097630A (ja) ワイヤボンデイング方法
JPH01241138A (ja) 半導体装置のワイヤボンディング方法
JPH088323B2 (ja) 多面付チップキャリア基板のプッシュバック工法
JPH04184967A (ja) 半導体装置
JPH0247843A (ja) 集積回路の製造方法
JPH04279051A (ja) フラットic
JPH05190753A (ja) 半導体装置
JPS59161056A (ja) セラミツクパツケ−ジ半導体装置
JPH05129772A (ja) 被覆ワイヤのボンデイング装置
JPS61107734A (ja) ボンデイング位置認識方法
JPH0357235A (ja) 半導体素子設計法
JPH03101232A (ja) 集積回路内の配置配線方法
JPH05211191A (ja) 集積回路装置
JPS61248530A (ja) ワイヤボンデイング方法
JPS63211730A (ja) 電子部品の実装構造